CN101970311B - 施配流体之装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种瓶纳袋总成，其由具有施配附件的挠性施配容器形成。所述施配容器被邻设于一或多个挠性加压容器或夹置于所述一或多个挠性加压容器之间，所述一或多个挠性加压容器具有穿过第二附件的单独入口/出口路径。然后可将袋纳袋总成置于安装有所述附件的容置容器中，使得可于容器上接近所述袋纳袋总成。可通过以足够的压力将流体引入该一或多个加压容器内以迫使液体经所述施配附件流出，自所述施配容器中提取液体。经造型的施配头可利用凸轮致动配置耦合至所述瓶纳袋总成，以将加压、排放及流体提取耦合件同时锁定。可利用键码系统，其中对通用键码环加以修改而达成对容置容器的键编码，使其仅与某些施配头相容。

Description

施配流体之装置及方法

技术领域

本发明关于用于容置液体的挠性塑料材料领域。更具体而言，本发明是关于通过提供加压流体而施配一施配流体的方法、装置、施配系统、及组件。

背景技术

容纳于刚性容器中的可塌缩容器的概念迄今已被付诸实践很多年。该等概念可从相对简单之例如具有挠性塑胶囊的厚纸板咖啡提包一直到用于在专用双重壁密封容器中处理有害性或高纯度化学品的更复杂系统。无论其设计如何，一般的原理皆涉及呈小袋或袋形状的挠性容器，当所述袋或小袋的内含物被提取或施配后，所述袋或小袋便会塌缩。所述挠性容器系容纳于例如盒子、圆筒或瓶子等刚性外侧容器中，所述刚性外侧容器用以支撑及保护挠性小袋或袋并用以容置用于使袋或小袋塌缩的加压流体。

有各种改良的塌缩式容器设计已被提出并被授予专利。可塌缩的袋外套容器式设计(bag-in-container design)的实例包括颁予Bouet的美国专利第3,223,289号、颁予Smernoff的美国专利第5,377,876号、及颁予Takezawa等人的美国专利第5,562,227号，除其中所包含之明确定义外，各该美国专利皆以引用方式倂入本文中。在化学容器的设计中，亦已设想出各种袋外套瓶式设计(bag-in-bottle design)。其代表性实例包括颁予Wolf等人的美国专利第4,793,491号、颁予Osgar等人的美国专利第5,102,010号、颁予Rauworth等人的美国专利第5,597,085号、及颁予Olsen等人的美国专利第6,158,853号，除其中所包含之明确定义外，各该美国专利皆以引用方式倂入本文中。

另外，利用一或多种自容器总成的挠性袋中提取内含物的方法的各种替代设计亦已得到利用。该等设计的实例包括颁予Kinnavy等人的美国专利第3,467,283号、颁予Gortz等人的美国专利第3,767,078号、颁予Credle等人的美国专利第4,445,539号、颁予Rawlins等人的美国专利第4,925,138号、颁予Osgar等人的美国专利第6,206,240号、颁予Mekata等人的美国专利第6,345,739号、颁予Wertenberger等人的美国专利第6,698,619号、及颁予Wertenberger等人的美国专利第6,942,123号，除其中所包含的明确定义外，各所述美国专利皆以引用方式倂入本文中。所述构造并未提供最佳之效能及清洁度，尤其系对于在半导体加工行业中施配高纯流体(例如光阻剂)而言。通常，提供加压流体至一内侧施配袋与一刚性外侧容器之间。于此一配置中，内侧袋可不均匀地塌缩，致使过量的流体仍留存于内侧袋中，使得无法完全地施配流体。所浪费的流体亦会加重与内侧袋相关联的回收利用及处置问题。

袋外套瓶式施配器在光刻工业中广泛用于施配光阻剂。已发现，当加压流体是为一气体(例如氮气)时，气体可渗透过由与施配光阻剂兼容的材料(例如含氟聚合物)构成的挠性容器的壁。因此，于其中加压流体与容纳施配液体的挠性容器直接接触的系统中，加压气体可扩散入挠性容器内，进而导致于所容纳施配流体中形成微小气泡并污染施配流体。

基于含氟聚合物的材料难以与具有高气体渗透性的材料(例如聚乙烯)结合，此部分归因于所述各别材料实质不同的熔化温度。最近为解决气体扩散问题所作之努力已包含放弃基于含氟聚合物的材料并提供具有双重壁的单个挠性袋，其中内壁是为洁净的聚乙烯，外壁则是为能阻挡气体渗透的聚乙烯/耐纶层压体(polyethylene/nylon laminate)。选用基于聚乙烯的材料是因为在将内壁结合至外壁的过程中的兼容性。然而却发现内壁对光阻剂的阻挡力不足。

仍需要提供具有最低成本及污染、同时使装置完整性、使用灵活性及可预测地提取容器内含物容易性最大化的改良设计。

发明内容

本发明之各态样包括设置于容置容器中的内侧及外侧挠性容器，用于较习知技术装置更有效、更完整地自容器施配流体。其它实施例可包括帽总成，所述帽总成与用于对所述外侧挠性容器加压的施配头相配合，用于自所述内侧挠性容器提取流体。所述帽可有键码装置构造，所述键码装置被编码以标识容纳于所述容置容器中之的流体类型，且所述帽仅与被构造成与所述键码装置兼容配对的施配头配合。所述施配头可构造有与所述帽相啮合的凸轮，以快速且容易地达成啮合及释放。所述凸轮可由握把致动，所述握把被造型成当处于完全啮合位置时，所述握把的任何部分皆不延伸出所述容置容器的占用区域。所述施配头亦可包括杆或汲取管，所述杆或汲取管自所述帽延伸进入所述内侧挠性容器并于末端具有用以提取流体的入口。所述汲取管可包含形成于外侧所述通道或槽，以为否则会陷获于该汲取管的流体囊提供向下疏导的途径，以便透过所述汲取管入口提取之。

于一实施例中，用于容纳施配流体的内侧挠性容器可包含由耐化学品的聚合物(例如含氟聚合物)制成的构件。举例而言，无针孔的过氟烷氧基(perfluoroalkoxy；PFA)材料可有利地用于容纳例如光阻剂等化学品，乃因其具有惰性分子特性，能防止流体污染或泄露。内侧挠性容器可通过将施配附件密封于矩形、八边形、或其它定制形状薄片或构件的中央孔中而形成，其中所述薄片或构件系由PFA材料形成。所述PFA构件可对半折迭，以使其两半可于开口侧的边缘密封于一起，进而形成内侧挠性容器，其中所述施配附件位于容器的顶部。外侧挠性容器可包含单独的外侧附件，所述外侧附件被密封至二薄片(内侧构件及外侧构件)的中央附近的孔，所述二薄片是由聚乙烯(polyethylene；PE)或其它挠性不可渗透性材料形成。

外侧挠性容器的内侧构件及外侧构件的外周缘尺寸可大于内侧挠性容器的薄片，但具有类似的形状。所述内侧构件及外侧构件的周缘可被密封以形成外侧挠性容器。所述附件可被设计成使内侧挠性容器的内侧附件可穿过外侧附件的中央信道。所述外侧附件能使加压气体(例如氮气)或其它流体注射入外侧挠性容器中。所述外侧挠性容器可对半折迭，以在所述二附件结合于一起时围绕内侧挠性容器形成马鞍状之形状。

可通过使内侧挠性容器与马鞍形外侧挠性容器相结合，将已组装的内侧挠性容器与外侧挠性容器(亦称作「袋纳袋总成(bag-in-bag assembly)」)熔合于一起。当对内侧挠性容器与外侧挠性容器利用不同的材料(例如PFA与PE)时，熔化温度的差异可使得无法通过熔化而将其简单地焊接于一起。然而，内侧挠性容器与外侧挠性容器可通过以下方式相结合：围绕内侧挠性容器之周缘于所选点处冲出复数贯穿孔，并透过所述孔使外侧挠性容器的二马鞍形部相互连接。此实施例所形成的构造是为中央施配容器夹置于加压容器之二部分之间。所述外侧挠性容器的二马鞍形部可相互流体连通。施配头可密封地附装至所述附件，以提供所述施配流体的进/出通道、用于加压流体以及排放陷获于容器之间的气体入口埠。

然后，可将所述袋纳袋总成置于容置容器中，以利于储存、运输、填充、及施配内含物。容置容器会限制外侧挠性(加压)容器向往运动，因而当加压时，外侧挠性容器贴靠内侧挠性(施配)容器向内膨胀，迫使内侧挠性容器内之液体经内侧附件排出。

内侧施配容器及外侧加压容器的附件可被构造成以同心布置方式相互配合。而且，可透过附件提供通往挠性容器与容置容器中间的空间的排放路径。

上述本发明实施例的优点在于，加压流体并不直接接触施配容器。本发明的某些实施例于内侧挠性容器与加压流体之间提供具有高的气体不可渗透性的材料屏障。试验已证实，提供具有高的气体不可渗透性的屏障能显着减少施配液体中微小气泡的形成。

本发明某些实施例的另一优点在于，可以实质均匀且平整的方式压缩内侧施配容器，进而完全地施配内含物。某些实施例的再一特征及优点在于，容置容器无需密封，尽管于某些实施例中，密封的容置容器可为施配流体提供另一容置层。而且，于某些实施例中，内侧附件与外侧附件间之密封以及加压容器与容置容器间之密封可较不太重要。

于某些实施例中，内侧流体施配容器可夹置于二单独袋之间，各该袋分别具有用于附装至加压流体源的单独附件。

于某些实施例中，施配容器可邻设于加压袋。通过注射流体(例如氮气)至所述加压袋，所述施配袋被压缩于加压袋与容置容器之间。此亦可提供使施配袋均匀塌缩、完全施配、及将加压流体与施配袋隔离的特征及优点。

于某些实施例中，内侧挠性容器可置于外侧挠性容器内。可施加压力至外侧挠性容器的内部，藉此使加压流体直接作用于内侧挠性容器的外表面上。

或者，加压流体可施加于外侧挠性容器外侧与容置容器之间，以施加提取力。外侧挠性容器此时充当不渗透气体的屏障，藉此对内侧容器提供保护。

于再一变化形式中，可安装三个同心布置的挠性容器于一容置容器中，其中内侧挠性施配容器是容纳于第二挠性容器中，所述第二挠性容器又容纳于第三挠性容器内。所有三个挠性容器又皆容纳于所述容置容器中。加压流体可注射入第二袋与第三袋间的空间中，藉以隔离加压流体而使之不能接触内侧施配袋以及容置容器。

于再一实施例中，可与施配袋相邻地放置复数加压袋。所述加压袋可分阶段加压，以利于完全施配。举例而言，位于容置容器下侧的一或多个袋可先于其上面的相邻袋被加压。此种顺序可于压力容器外部加压控制，或者所述袋可被构造成循序加压/膨胀。

附图说明

图1是为本发明一实施例中施配系统的示意图；

图2是为本发明一实施例中瓶纳袋总成的立体图；

图2A是为图2所示瓶纳袋总成的帽的独立视图；

图2B是为图2所示瓶纳袋总成的剖视图；

图3A是为本发明一实施例中单组件式外侧附件的立体剖视图；

图3B是为本发明一实施例中二组件式外侧附件的立体剖视图；

图4是为本发明一实施例中内侧施配附件的立体图；

图5是为本发明一实施例中已组装内侧挠性容器的侧视图；

图6是为本发明一实施例中具有二侧部之已组装外侧挠性容器的端视图；

图7是为图6所示已组装外侧挠性容器的侧视图；

图8是为图6所示已组装外侧挠性容器的侧视图，其中其各部分被展开以容置内侧挠性容器；

图9是为图6所示已组装内侧挠性容器插入于已组装外侧挠性容器的二侧部间的侧视图；

图10是为本发明一实施例中焊接总成的端视图；

图11是为图10的焊接总成的侧视图；

图12是为本发明一实施例中袋纳袋总成的立体图；

图13是为图12所示袋纳袋总成的另一立体图；

图14是为图12所示袋纳袋总成的已组装附件的俯视图；

图15是为本发明一实施例中于图12所示袋纳袋总成附装有RFID装置的侧视图；

图16是为本发明一实施例中使图13所示袋纳袋总成装纳于容置容器内的剖视图；

图17、图18及图19是为本发明一实施例中瓶纳袋总成于不同程度下提取容器内液体的侧视图；

图18A是为具有复数轴向对齐的加压袋之一总成的剖视图；

图20是为图19所示瓶纳袋总成的侧视图；

图21是为图18所示瓶纳袋总成于运作中的局部剖视图；

图22及图23为本发明一实施例中已包裹的袋总成的示意图；

图24绘示本发明一实施例中具有受限衬垫密封帽的帽系统；

图25是为本发明一实施例中具有锥台插塞的密封帽的局部剖视图；

图26是为本发明一实施例中具有帽的瓶的局部剖视图，所述帽具有受限衬垫及握环；

图27是为图26所示帽的局部剖视立体图；

图28及图29是为本发明一实施例中瓶纳袋总成及异型的凸轮致动施配头的局部立体图；

图30是为图29所示瓶纳袋总成于移除凸轮致动施配头时的局部立体图；

图31是为图30所示异型的凸轮致动施配头的爆炸图；

图32A是为凸轮致动施配头组装于图30所示瓶纳袋装置的局部剖视图；

图32B是为本发明一实施例中凸轮致动施配头与具有二组件式外侧附件的瓶纳袋装置完成组装的局部剖视图；

图33是为本发明一实施例中施配头及瓶纳袋装置的局部立体图，所述施配头具有延伸的汲取管；

图34A及图34B是为本发明一实施例中凸轮致动施配头分别于完全分离及完全啮合的致动阶段的剖视图；

图35是为图29所示瓶纳袋总成于完全啮合位置的正视图；

图36是为图29所示瓶纳袋总成的俯视图；

图37是为本发明一实施例中施配头的爆炸图，所述施配头具有弹簧锁握把，所述弹簧锁握把具有槽及插口结构，用于与掣子相配合以将握把锁定于定位上；

图37A是为图37所示弹簧锁握把的槽及插口结构的局部放大图；以及

图37B及图37C是为图37所示施配头分别于完全啮合位置及完全分离位置的局部剖视正视图。

具体实施方式

参见图1，其于本发明的一实施例中绘示光刻系统70，光刻系统70包含用于提供光刻处理器74的施配系统72。施配系统72包含压力源80，压力源80可操作地耦合至设置于容置器82中的瓶纳袋装置100。工艺控制器84可操作地耦合至施配系统72，以控制并监测压力源80及瓶纳袋装置100。

参见图2、图2A及图2B，其于本发明的一实施例中绘示瓶纳袋装置100的代表性实施例，瓶纳袋装置100包含挠性袋纳袋总成102、容置容器104、及帽总成106。袋纳袋总成102包含套于外侧附件112a中的内侧施配附件110、及套于第二或外侧双重壁挠性容器118内的内侧或第一挠性容器114。内侧施配附件110是结合至内侧挠性容器114。外侧附件112a是结合至外侧挠性容器118。外侧挠性容器118的双重壁形成内腔116，使外侧挠性容器118的内含物与内侧挠性容器114的壁隔绝。

容置容器104可由适合于储存及运输袋纳袋总成102的刚性塑料材料制成。容置容器104可形成有颈部105，颈部105界定通向容置容器104的口并与欲被紧固的帽总成106相啮合。颈部105可包含例如螺纹107等结构，用以将帽总成106紧固至容置容器104。替代实施例可包括由玻璃、不锈钢、或根据需要由其它材料制成的容器、以及除螺纹以外的其它结构。

帽总成106一般是由与容置容器104的材料相同的刚性塑料材料或由另一适合于密封所述容器的材料(例如含氟聚合物)制成。帽总成106可包含剥离式入口盖120，以便容易进入内侧施配附件110及外侧附件112a。剥离式盖120可包含凸片(图未显示)或环122，以帮助自帽总成106移除盖120。

参见图3A、图3B及图4，其绘示外侧附件112a及内侧施配附件110的实施例。外侧附件112a可包含中央部129，中央部129界定具有内表面130.2的中空中央通道130。当所述二附件及其相关联挠性容器114、118配合于一起时，中空中央通道130的尺寸适可容纳内侧施配附件110。

外侧附件112a的内表面130.2可包含其中形成有分流狭槽130.6的定心结构130.4。外侧附件112a亦可具有复数加压供应通道131，加压供应通道131延伸贯穿外侧附件112a并透过外侧附件112a的基座部136处的复数开口134，将用于施配流体(例如氮气)的入口/出口埠132及134连接至外侧挠性容器118的内腔116。

外侧附件112a可为单组件式(图3A)，并可包含基座部136的基座凸缘137，以用于容置及贴靠外侧挠性容器118的内表面进行密封，进而可利用加压流体342(例如氮气)对包含内腔116的空间加压。外侧附件112a亦可包含沿径向延伸自中央部129的第二凸缘部135，第二凸缘部135具有朝上表面及朝下表面，所述朝上表面及朝下表面二者皆可容置并密封至外侧挠性容器118(图2B)。外侧附件112a亦可包含桥接结构138，桥接结构138具有末端部139，末端部139是用以于外侧附件112a组装于容置容器104中时自颈部105支撑桥接结构138。桥接结构138可与中空中央通道130的外侧相配合，以界定连续的环形通道141。

或者，外侧附件112b可包含二组件式构造(图3B)，其中桥接结构138是与中央部129分别单独形成。桥接结构138可与沿径向自中央部129突出的掣子139.2相配合，以将桥接结构138紧固至中央部129。桥接结构138可包含弯曲狭槽139.4，以于组装期间在桥接结构138经过掣子139.2时增强弹性变形。桥接结构138的末端部139可更包含一或多个凹口139.6，用以与容置容器104上的配合结构相配合，进而使桥接结构相对于容置容器104对准特定取向。于所示实施例中，入口埠132可与沿径向延伸贯穿基座部136的出口埠139.8流体连通(关于更详细的说明，参见附图图32B)。亦应注意，图3B中所示构造具有基座凸缘137，而不具有与图3A的第二凸缘135相似的结构。

内侧施配附件110(图4)可包括上部140，上部140自基座部142延伸出并界定中空中央通道111，以用于施配内侧挠性容器114的内含物。包含内袋的聚合物构件114.1(图2B)可例如通过焊接，密封地固定至内侧施配附件110的朝上表面142.1。于一实施例中，内侧施配附件110的上部140是至少等于外侧附件112a或112b的长度，以使内侧施配附件110延伸贯穿外侧附件112a或112b的中空中央通道130，使帽108可密封内侧施配附件110。于一实施例中，内侧施配附件110的上部140与中空中央通道111相配合以界定环形排放通道113(图21)，以用于透过分流狭槽130.6排放至周围环境。内侧施配附件110的基座142可紧固至外侧附件112a或112b的基座部136。于不同实施例中，内侧施配附件110可通过掣子、干涉配合、黏合或通过其它能将所述二组件牢固地结合于一起的机制，紧固至外侧附件112a或112b。

外侧附件112a或112b亦可包含位于第二凸缘部135与桥接结构138之间并穿过中央部129的一或多个径向孔133。于该实施例中，径向孔133使原本陷获于外侧挠性容器118与容置容器104间的气体能够透过环形排放通道113排出。

于一可能的实施例中，图2及图2B所示复数袋的构造可包含三个分离且同心设置之袋117.1、117.2及117.3，其中第一袋117.1用以容置、储存、及施配该施配流体(例如光阻剂)。第二袋117.2容纳第一袋，第三袋117.3则又容纳第二袋117.2。加压流体可注射于第二袋117.2与第三袋117.3之间(即第二袋117.2与第三袋117.3间的内腔116中)。第一袋117.1与第二袋117.2间的空间117.5可透过环形排放通道113通往外界。此种排放是可取的，用以防止因气体渗透过第一袋117.1而于内部或第一袋117.1中形成微小气泡。于一替代实施例中，形成包含内腔116的外侧挠性容器118的中间构件及外侧构件包括可如下文所述加以构造的单个袋。

参见图5，其根据本发明的一实施例绘示内侧挠性容器114。袋纳袋总成102的不同实施例一般是由二单独的挠性容器(即内侧挠性容器114及外侧挠性容器118)构成。内侧挠性容器114可通过将内侧施配附件110密封于矩形、八边形、或其它定制形状的材料薄片103中央的孔中而形成。

材料薄片103可包含过氟烷氧基(PFA)或其它适合的含氟聚合物材料。通常，为提供所期望之挠性，材料薄片103是小于0.25毫米(0.010英时)厚。于一实施例中，材料薄片103是为通过共挤出工艺(co-extruding process)形成的双层结构，其中内层是由0.05毫米(0.002英时)厚的PFA制成，外层则由亦为0.05毫米厚的改性聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene；PTFE)制成。

定制形状材料薄片103可实质对半折迭，使所述二半部可围绕周缘密封，藉此与位于容器114上部的施配附件110形成内侧挠性容器114，如图5所示。施配附件110可通过黏合剂、或热焊接、或通过用以将所述二材料扣紧于一起的另一适合方法，附装至材料薄片103。沿内侧挠性容器114的侧边，可将较大的接缝焊接于一起而形成附装凸片150。端视内侧挠性容器114的体积而定，附装凸片150可具有不同的尺寸。于一实施例中，附装凸片150可宽约二分之一英时并具有复数孔152。

孔152的非限定性构造是为直径6.4毫米(0.25英时)、中心距约为12.3毫米(0.5英时)。为不降低围绕内侧挠性容器114密封的完整性，孔152应位于附装凸片150上。附装凸片150中的孔152可为任意形状(例如圆形、正方形、三角形)，且无需为圆形。替代的细长孔可使各缝份部164相互接触的面积更大(例如，如图12所示)。

参见图6至图15，于本发明的一实施例中，例示袋纳袋总成102的实例性构造。于一实施例中，外侧挠性容器118是由不可渗透性材料(例如聚乙烯(PE))以及第二或外侧部或构件160所制成的第一或内侧部或构件162形成。外侧构件160及内侧构件162可通过熟习此项技术者可思及的工艺(例如焊接)，沿其共同周缘以及沿密封线161结合于一起而形成气密性外侧挠性容器118。密封线161可自外侧挠性容器118的外侧构件160及内侧构件162的周缘镶入，以沿外侧挠性容器118边缘的至少一部分界定缝份部164。缝份部164可等于或大于内侧挠性容器114的附装凸片150。

为具有挠性，内侧构件162及外侧构件160的厚度将通常小于0.25毫米(0.01英时)。于一实施例中，内侧构件162及外侧构件160是由五个层构成，所述五个层被共挤出而形成厚约0.08毫米(0.03英时)的薄片材料。于此实施例中，所述五个层分别为聚乙烯外层、耐纶次层、乙烯-乙烯醇(ethylene vinyl alchohol；EVOH)中间层、另一耐纶层、及另一作为内层的聚乙烯层。

外侧挠性容器118的外侧构件160及内侧构件162可分别包含界定有孔163的结构，以于孔163中设置外侧附件112a或112b。孔163的直径可小于基座136及外侧附件112a的第二凸缘部135的直径，但亦大至足以容置外侧附件112的中央部129(图3A)。

图9的实施例亦绘示附加的下部附装凸片151位于内侧挠性容器114底部并与侧面附装凸片150相类似地具有复数孔153。于所示实施例中，相对应的缝份部165位于外侧挠性容器118各半的底部。

于组装时，可通过以下方式形成周缘密封及密封线161：沿外侧构件160及内侧构件162的边缘加热，使其焊接于一起而形成外侧挠性容器118。当采用单组件式外侧附件112a(图3A)时，可将外侧附件112a插穿过孔163，使外侧构件160与外侧附件112的第二凸缘部135相接触并使内侧构件162与外侧附件112的基座部136的上表面相接触。然后，可将外侧构件160及内侧构件162分别密封至第二凸缘部135及基座136。

当采用二组件式外侧附件112b(图3B)时，可将无桥接结构138的外侧附件112b插穿过孔163，使外侧构件160与基座部136的基座凸缘137的上表面相接触，并使内侧构件160与基座凸缘137的下表面相接触。因于不存在桥接结构138时，可接近基座凸缘137的顶部以使其与外侧构件160相结合，故可无需使用第二凸缘(例如图3A中的凸缘135)。此外，孔163于外侧构件160及内侧构件163上可具有相同的尺寸，以使所述二组件可相同地构造而成。

于外侧构件160及内侧构件162组装后，二组件式外侧附件112b的出口端口139.8与外侧挠性容器118的内腔116流体连通。桥接结构138可藉各种方式附装至中央部129，包括卡扣于掣子139.2上(如图所示)、旋至螺纹结构上、以黏合剂进行胶粘、或通过熟习此项技术者可思及的其它技术。欲将外侧附件112a或112b密封至外侧构件160及内侧构件162，可通过黏合剂、热焊接、或通过熟习此项技术者可思及的其它机制而达成。

或者，可通过于孔163的位置，将外侧附件112夹置于外侧构件160与内侧构件162之间，达成外侧挠性容器118的组装。藉此，可减小外侧构件160及内侧构件162二者中孔163的尺寸。通常，外侧构件160的孔163将大于下部构件162的孔，乃因下部构件162的孔仅需与外侧附件112的中空中央通道130一样大。

于一实施例中，通过将外侧挠性容器118折迭于内侧挠性容器114上，组装袋纳袋总成102。图8中显示外侧挠性容器118的二部分118a及118b被展开，以容置内侧挠性容器114。图9描绘内侧挠性容器114组装于外侧挠性容器118的中央。图12及图13中则最佳地绘示内侧挠性容器114放置于外侧挠性容器118的二部分118a及118b之间。

于组装期间，内侧施配附件110可贯穿过孔163延伸入外侧附件112中(图12及图13)。内侧及外侧挠性容器114及118可对齐，使相对的缝份部164位于附装凸片150的贯穿孔152的二侧上(图10及图11)。然后，通过贯穿孔152将相对的缝份部164彼此附装于一起而形成袋纳袋总成102。所述附装可通过热焊接、黏合、或熟习此项技术者可思及的其它扣紧技术达成。

附装凸片150可由一种材料类型(例如PFA)构成，所述二缝份部164则由不同材料类型(例如PE)构成。孔152使所述二外侧缝份部164能够通过附装凸片150中的孔152直接焊接于一起，故能消除将具有不同焊接温度的二材料结合于一起的问题。于本实例中，所述焊接形成可将内侧挠性容器114牢固地固定于外侧挠性容器118二侧之间的PE-PFA-PE接缝。当通过孔将所述二缝份部164直接焊接于一起时，仅需施加用以熔化外侧挠性容器118的材料及厚度的足够热量。

在功能上，内侧挠性容器114及外侧挠性容器118于附装凸片150及缝份部164处固定地对齐可使外侧挠性容器118保持与内侧挠性容器114具有固定关系，进而当膨胀时，外侧挠性容器118不会相对于内侧挠性容器114上下蠕动或沿横向蠕动。通过此种配置，可更彻底地排出内侧挠性容器114的内含物。下部附装凸片151及下部缝份部165为内侧与外侧挠性容器114及118的对齐提供额外固定点，藉以更有助于排出内侧挠性容器114的内含物。

图15中绘示如下构造：其中内侧挠性容器114的附装凸片150与外侧挠性容器118的缝份部164的二区域在实体上附装于一起而完整地形成袋纳袋总成。图15中亦绘示射频辨识(radiofrequency identification；RFID)装置172靠近该总成顶部。此RFID装置172可用以储存与总成内含物及设置相关的资料，包括但不限于该袋纳袋总成的年限、内含物、填充日期、容量及制造商。

参见图16，于本发明的一实施例中，袋纳袋总成102位于容置容器104内。如上所述，内侧挠性容器114是由单个挠性材料薄片103构成，通过将所述材料围绕其周缘热焊接于一起以形成密封115，对挠性材料薄片103进行密封。类似地，可通过将材料焊接于一起以形成密封170，而将内侧构件162与外侧构件160密封于一起，藉以形成外侧挠性容器118。然后，将外侧挠性容器118对半折迭而形成马鞍袋形构造，使内侧构件162与内侧挠性容器114的外表面在每一侧上皆实体接触。于所示实施例中，内侧挠性容器114的附装凸片150与外侧挠性容器118的缝份部164可利用扣件168实体相连。扣件168可呈复数塑料铆钉的形式。亦可利用例如夹具或螺钉等其它机械扣紧装置将所述二挠性容器紧固于一起。另一选择为，或另外，内侧挠性容器与外侧挠性容器亦可通过黏合或通过将所述材料的边缘熔合于一起以于挠性容器周缘处或附近形成焊接而予以紧固，如图11及图12所示。

参见图17、图18、图19及图20，于本发明一实施例中绘示瓶纳袋装置182的操作。于图17中，内侧挠性容器114被完全填充以流体，且内侧挠性容器114在被填充时施加给外侧挠性容器118的压力已使外侧挠性容器118被排空，且外侧挠性容器118的外表面被压抵于装纳该袋纳袋总成的容置容器104的内表面。图18绘示在通过引入气体(例如氮气)至外侧挠性容器118内而形成的压力、进而施配内侧挠性容器114所容纳流体的一部分后的总成。随着愈来愈多的气体被引入外侧挠性容器118中，内侧挠性容器114受到均匀压缩。此种均匀压缩可使内侧挠性容器114中所容纳的流体接近完全被施配，如图19及图20所示。

参见图18A，其绘示本发明的一实施例，其中复数加压袋118.1可邻设于所述施配袋并沿轴向排列，即其轴线于压力容器中沿大体垂直方向延伸。此等加压袋可被施加不同的压力或被分级，以利于更完全地自施配袋114施配流体。一般而言，此种加压可于压力容器外控制，但亦可属于所述复数袋之一部分，例如限制通往各顺序性袋的通路，以使最下部的袋首先膨胀/加压，然后再使相邻的袋膨胀/加压。此等顺序性加压袋可例如为圆环形状并围绕所述施配袋堆栈或排列。

参见图21，其绘示根据本发明的一实施例，内侧附件110被紧固于外侧附件112内。通道111提供通往内侧挠性容器114内部所需的入口，以用于填充及施配液体内含物。内侧附件110与外侧附件112间的空间界定内侧挠性容器114与外侧挠性容器118间的环形排放通道113。所述排放路径使原本在所述总成制造或使用期间陷获于内侧挠性容器114与外侧挠性容器118间的气体得以逸出。容许原本被陷获的气体经环形排放通道113逸出有助于确保当提供加压气体至外侧挠性容器118时内侧挠性容器114以均匀的方式塌缩，并减缓气体渗透过内侧挠性容器114而形成微小气泡。

环形排放通道113亦与排放路径109流体连通，此使于总成制造或使用期间陷获于外侧挠性容器118与容置容器104间的气体得以逸出。自总成的所述二空间中排出任何所陷获的气体有助于消除在化学品(例如光阻剂)中形成微小气泡。外侧附件112亦包含穿过外侧附件112本体的复数加压供应通道131，所述加压供应通道131与外侧挠性容器118的内腔116流体连通。加压供应通道131能将施配气体或流体注射入内腔116中，藉以提供使外侧挠性容器118膨胀所需的压力，进而迫使内侧挠性容器114的内含物经内侧附件110的中央信道111排出。

于另一实施例(图未显示)中，液体或凝胶可以填隙方式设置于内侧与外侧挠性容器114及118之间，以阻止空气进入其间。此构造将减缓气体于加压过程中进入所述空隙区域并陷获于其中而作用于内侧容器114。

参见图22及图23，其绘示根据本发明的一实施例，已包裹的袋总成180使内侧挠性容器114仅被外侧构件160包裹。图中显示外侧附件112仅附装至外侧构件160。于本实施例中，不存在内侧构件或独立的外侧挠性容器。而是，外侧构件160与内侧挠性容器114相配合以界定加压室(图未显示)。此实施例无需使用上述实施例中所述的附加内侧构件162。当外侧构件160的周缘与内侧挠性容器114结合于一起时，便形成挠性袋纳袋总成102。外侧挠性构件160如第23图所示对半折迭，并随后将内侧挠性容器114插入外侧挠性构件160之二部分160a及160b之间。一旦所述构件配合于一起，即可通过焊接或熟习此项技术者可思及的用于所用材料的其它结合方法，将外侧挠性构件160与内侧挠性容器114的外周缘紧固于一起，进而将所述构件相互附装于一起。

可通过内侧挠性容器114的周边区域上的孔(例如图13所示的孔152)，将外侧构件160焊接于其自身上，以在结构上围绕内侧挠性容器114紧固外侧构件160。于一实施例中，可于靠近内侧挠性容器的周缘处将外侧构件160密封至内侧挠性容器114，藉以提供气密性加压室。

另一选择为，外侧构件160可用作气体屏障，而非界定加压室的外边界。于此替代配置中，并非将气体抽吸入挠性外侧构件160与内侧挠性容器114间的区域。而是，将已包裹的袋总成180作为单元从外部加压，以提取内侧挠性容器114内中液体。外侧构件160可于靠近内侧挠性容器的周缘处密封至内侧挠性容器114，以阻止气体进入内侧挠性容器114与外侧构件160间的空隙区域。

在功能上，已包裹的袋总成180的替代配置使吾人能够选取内侧挠性容器114的材料，以达成对液体的增强或最佳容置(例如，在容纳光阻剂时选取PFA)，而外侧挠性构件160的选取则可基于气体不可渗透性(例如，对于氮气，选取PA作为屏障)。于操作中，可将已包裹的袋总成180置于容置容器(例如第16图的容置容器104)中，并对容器加压以使已包裹的袋总成塌缩，藉以提取流体。内侧挠性容器114的材料能防止或减缓液体渗漏，外侧构件160的材料则能减缓气体分子透过内侧挠性容器114并于液体内形成微小气泡。熟习此项技术者亦将认识到，外侧构件160及内侧挠性容器114可以一种能排出可存在于其间的残留气体的方式耦合至外侧附件112。

参见图24，其绘示根据本发明另一实施例的帽系统200。于此实施例中，帽202具有剥离式顶部204，所述剥离式顶部204具有受限衬垫(captive gasket)206黏附至其内表面208。帽202可被构造成与颈部105的螺纹107以螺纹相啮合，使受限衬垫206啮合内侧施配附件110的上部140，藉以密封中央通道111。

参见图25，其绘示根据本发明的一实施例的帽系统220，帽系统220包括具有顶部构件224的帽222，顶部构件224与锥形或锥台形插塞226可操作地相耦合。顶部构件224可藉螺纹227啮合至帽222(如图所示)，或者通过熟习此项技术者可思及的其它可分离式啮合结构(例如卡扣接合)、抑或采用掣子啮合至帽222。另一选择为，顶部构件224可与帽222一体成型。于所述二情形中，帽222皆可与颈部105的螺纹107以螺纹相啮合，使锥台形插塞226与通道111内的内侧施配附件110的上部140相啮合，藉以提供密封。

于操作中，帽系统200及220提供用于在运输之前密封瓶纳袋装置100的一步式程序。以足够大的力将帽202或222旋紧，直到使衬垫206或锥台形插塞压靠内侧施配附件110的上部140以达成密封为止。

图25所示实施例亦包含对环形握把228，所述对环形握把228是与容置容器104一体成型。环形握把228容许操作人员提起及操纵容置容器104。

参见图26及图27，其绘示根据本发明一实施例的帽总成234，帽总成234包含具有环圈部231的帽体230、帽键码装置233及帽握环232。帽握环232可与环圈部231一体成型，并可于环圈部231的一侧上大体沿径向向外延伸。某些实施例可包含复数此种帽握环(图未显示)。

帽键码装置233可界定帽总成234的上肩部，并可包含形成于周缘的复数阴性键码狭槽237。复数键码凸片235跨越各所述阴性键码狭槽237，如第27图所最佳地绘示。凸片235可易破碎地连接至帽键码装置233。

环圈部231可包含唇部236，唇部236沿轴向延伸并具有配合结构238(例如所示螺纹)，用于将顶部构件224紧固至环圈部231。唇部236可自环圈部231的外周缘沿径向嵌入，以界定肩部240。对齐结构241可自肩部240沿轴向及/或自唇部236沿径向突伸出。对齐结构241可包含凹槽242，凹槽242中设置有近似开关(proximity switch)材料243。环圈部231可更包含裙部244，裙部244具有界定于内周缘245.1上的棘齿结构245。

于操作中，帽握环232用以替代或追加至握环228，以在帽总成234被啮合时可操作容置容器104。帽握环232可较容置容器104上的握环228更易于形成或制作。棘齿结构245可与容置容器104上的配合结构(图未示出)相配合，以将帽总成234锁定于定位上并防止帽总成234松动。

对齐结构241可提供不对称性，此种不对称性可确保某些组件(例如帽键码装置233)以正确的取向耦合至环圈，以与施配头相配合。帽键码装置233又可被构造用以指示该总成内液体(例如光阻剂)的具体种类或等级，及/或用以仅使某些施配头与瓶相配合(于下文论述)。可根据瓶纳袋装置250中所容纳的特定光阻剂或其它液体之键码，撬掉、折断、剪掉或以其它方式移除某些凸片235。藉此，光阻剂使用者及/或供货商便无需储存给定帽键码装置配置的数种版本或为每种版本制作专用模具。而是，每帽键码装置233可被视为通用的，并可于制造后利用简单工具针对具体光阻剂码加以配置，例如利用螺丝刀或被配备用以配置键码装置233的自动装置。

图26所示实施例将受限衬垫206与以螺纹啮合帽总成234的顶部构件224结合使用。顶部构件224可包含用以与扳手(spanner wrench)相啮合的复数凹槽246，如图26及图27所示，以用于操作顶部构件224。

参见图28至图33，其绘示根据本发明一实施例，上面安装有帽总成234的瓶纳袋装置250具有凸轮致动施配头254。图中显示帽总成234中的顶部构件224已移除，因而界定开口256(图28)。凸轮致动施配头254是与帽总成234可操作地相耦合并与开口256可操作地相耦合。凸轮致动施配头254及帽总成234可于施配头254的一侧包含总体对齐结构，例如V形凹口258，其与帽总成234的帽体230的一侧的V形凸脊259相配合。帽总成234亦可包含从帽体230或环圈部231的周缘沿径向突出的完全相对的销260。于组装时，将凸轮致动施配头254置于开口的帽总成234上，使汲取管部270贯穿过开口256延伸入内侧施配附件110。此处所示瓶纳袋装置250的典型但非限定性的尺寸系直径约为18公分、高度为30公分且具有约4升的容量。典型的尺寸范围(同样为非限定性的)可为直径介于约9公分至30公分、高度介于约27公分至76公分、容量介于约1升至20升。

凸轮致动施配头254可包含本体262，本体262具有对用以支撑可旋转致动器握把265的枢轴构件263。本体262可包含侧面狭槽261，用以容纳自帽总成234的帽体230延伸出的销260。可旋转致动器握把265可包含对凸轮构件264，所述对凸轮构件264与枢轴构件263可操作地相耦合。各所述凸轮构件264可包含与销260滑动啮合的复数拱形狭槽268。臂构件267可自各所述凸轮构件264延伸出。臂构件267可是为弯曲形状，并可于末端269处结合形成横跨本体262的握把266，握把266像经过造型的U形或V形。握把266的某些或所有组件(即凸轮构件264、臂构件267及末端269)可一体成型。

凸轮致动施配头254可包含汲取管部270，汲取管部270悬垂于本体262的顶部272、经内侧施配附件110进入内侧挠性容器114。汲取管部270可包含一或多个流动通道275，所述一或多个流动通道275沿轴向延伸贯穿汲取管部270并于内侧挠性容器114的内含物与光阻剂出口290之间建立流体连通(第30图)。于一实施例中，凸轮致动施配头254可包含延伸汲取管280。所述延伸汲取管可包含形成于外侧的外部通道282，例如螺旋槽。

于操作中，外部通道282可防止流体囊被陷获于汲取管部280中(图33)。举例而言，当内侧挠性容器114接近变空时，内侧挠性容器114作用于无外部通道282的汲取管部280的压力可使流体囊悬浮，使其无法直接向下流动并积聚于流动通道275的入口285。外部信道282提供向下的流动通道，乃因内侧挠性容器114不与外部通道282密封隔绝，由此使流体向下流动进入流动通道275。

复数阳性键码突起部276可悬垂于设置于本体262中的施配头键码装置277(图31)。阳性键码突起部276可被构造成在帽键码装置233上的相对应阴性键码狭槽237内对齐。施配头键码装置277可通过扣件279(如图所示)、通过胶粘、焊接或通过熟习此项技术者可思及的其它方式耦合至本体262。

在功能上，键码突起部276及帽键码装置233可被构造成只能彼此配合或与某些子集的光阻剂瓶配合。此可防止无意间将错误类型的光阻剂连接至被帽键码装置233标记为只能容置特定类型或相容类型光阻剂的帽。某些瓶可通过暴露出所有键码狭槽237而通用于任意帽(例如帽总成234)。

以上叙述及说明是关于包含环形本体的键码装置233及277。键码装置233及277的本体亦可利用其它几何形状，例如但不限于圆盘形、代表性或框架形。此外，尽管所示实施例系绘示帽键码装置233具有狭槽且施配头键码装置277具有突起部，但亦可利用相反的配置。亦即，带狭槽的结构可位于施配头上，而突起结构可为帽总成的一部分。

于一实施例中，凸轮致动施配头254上的入口通道306是与入口端口292流体连通，以便能够对图21的外侧挠性容器118加压。施配头254亦可包含与排放埠296流体连通的排放通道307，以排放被陷获于内侧挠性容器114与外侧挠性容器118间的空气或气体。

于本发明的一实施例中，凸轮致动施配头254可包含路由插塞304a，用于路由光阻剂、压力气体及排放气体。路由插塞304a在图31的分解图中被独立显示且在图32A中则显示组装于凸轮致动施配头254中，其被构造用以与图3A的单组件式外侧附件112相配合。路由插塞304a可包含沿轴向延伸入汲取管部270的中央通道305。于一实施例中，复数供应信道306与外侧附件112的压力供应通道131流体连通，以便能够对图21的外侧挠性容器118加压。排放通道307可形成于路由插塞304a中，排放通道307是与界定于内侧附件110与外侧附件112间的环形排放通道113流体连通。路由插塞304a亦可包含形成于路由插塞304a外周缘的供应信道308及排放信道309、以及复数外周缘O形圈310至313。所述路由插塞亦可包含螺纹孔314，以利用扣件314.2安装至凸轮致动施配头254的本体262。

当利用图3B的二组件式外侧附件112b时，可采用替代路由插塞304b。因桥接结构138及中央部129与弯曲狭槽139.4之间存在接口，二组件式外侧附件112b的连续环形通道141可不被密封。因此，二组件式外侧附件112b的入口端口132是于中央部129内路由，进而使加压流体342绕过连续环形通道141。应注意，此种配置无需使用第32A图所示配置的O形圈313，且O形圈318能防止气体进入而非离开连续环形通道141。

于组装时，可将第一接头315a与中央通道305相耦合，以经其施配光阻剂。外周缘O形圈310及311可密封隔绝密封本体262的内部，以提供与第二接头315b相连通的第一切向通道316。同样地，外周缘O形圈311及312可密封隔绝本体262的内部，以提供与排放通道307及过滤器315c相连通的第二切向通道317。外周缘O形圈313与内部O形圈318相结合，可密封出连续环形通道141，以界定与加压供应通道131及入口供应通道306流体连通的第三切向通道319。

于操作中，加压流体342(例如氮气)被供应至第二接头316并经过第一切向通道316、供应通道306及第三切向通道319，进而进入供应通道131并通过前文所述的机制，使光阻剂经第一接头314排出瓶纳袋装置250。经环形排放通道113排出所述总成的排放气体经过排放通道307进入第二切向通道317，然后经过滤器315c排出。

过滤器315c可由具渗透选择性的材料(例如GORTEX)构成，所述材料能使气体通过但同时用作液体屏障。藉此，万一光阻剂到达过滤器315c，其仍将被阻挡而不会泄露出瓶纳袋装置250。

接近开关344(图31)亦可于一埠346处与本体262相耦合，埠346是与帽总成234的近似材料243(图26)实质对齐。所述近接开关可为电容传感器，于接近近似材料243时被启动。近似材料243可为适合的材料，例如金属。

于操作中，当施配头254接近完全啮合位置时，近接开关344被带至近似材料243附近，并可加以调整以使近接开关344相应地闭合。近接开关344可包含灯348，其于开关344打开时或者，另一选择为，于开关344闭合时点亮。

参见图34A及图34B，其绘示根据本发明的一实施例，凸轮致动施配头254的操作。当将握把266自第一位置(例如，图34A所示的向上位置)运动至一第二位置(例如，图35所示的向下位置)时，各个O形圈310-313、318被滑动地及/或压缩地啮合于施配头254与帽总成234之间，以于其间形成密封。V形凹口258及V形凸脊259可用以确保凸轮致动施配头254及帽总成234彼此相对地以正确取向相啮合。臂构件267可提供显着的杠杆作用，以使施配头254与帽总成234相耦合及解耦合。亦应注意，图34A及图34B绘示在一替代实施例中，臂构件267为平面状且握把266垂直于臂构件267，以替代图28至图33所示经造型的U形或V形握把266配置。

参见图35及图36，其绘示根据本发明的一实施例，凸轮致动施配头254的异型态样。容置容器104的特征可在于具有总体直径或占用区域301。可旋转致动器握把265的形状及尺寸可被确定成在凸轮致动施配头254完全啮合时，使末端269或任一其它部分不延伸出容置容器104的占用区域301。

容置容器104亦可被造型成适可容纳袋纳袋总成的形状，例如通过于容置容器104底部具有锥形侧面302(图35)。可于此容器的底部提供套管，以提供稳定性。

在功能上，可旋转致动器握把265围绕枢轴构件263的长回转半径可具有能防止握把在处于受限位置时(例如，处于相关工艺设备的容置区域中或当邻设于其它瓶纳袋装置时)被抬起的预防效果。此种限制使臂构件267无法于水平方向完全伸展。操作场所可更设计有指定区域，以在使用满量的瓶子更换用完的瓶子时利用此态样，藉以提供增大的操作安全性。

作为附加安全措施，每当臂构件267不处于倾斜向下的位置时，可旋转致动器握把265可提供可视指示，以指示施配头254未处于完全啮合位置。

此外，相较于可旋转致动器总成265，凸轮致动施配头254的异型态样可更不易于在操纵期间意外释放。当容置容器在其它装置(例如具有带伴随臂构件267的凸轮致动施配头的其它瓶纳袋装置)中间储存时，相较于其中臂构件延伸出容置容器104或套管303的占用区域301的配置，在自储存库中取出所述容置容器或相邻装置时臂构件267钩挂相邻装置之可能性更小。当靠近墙或角落储存时亦为如此；当可旋转致动器总成位于处在完全啮合位置的容置容器104的占用区域301中时，因与墙或角落摩擦或碰撞而造成凸轮致动施配头254意外释放的可能性更小。

而且，当凸轮致动施配头254完全啮合时，自环圈231延伸出的帽握环232可被定位成使其被握把266圈框或部分地环绕并紧靠握把266。此一布置能利用例如挂锁、扎线带(cable tie)、夹、系绳、金属丝或其它紧固装置等将可旋转致动器握把265紧固至帽握环321。此外，可教导操纵具有凸轮致动施配头254的容置容器104的人员同时抓握或倾向于同时抓握可旋转致动器握把265与帽握环321二者。抓握所述环可防止握把于操纵期间被意外释放。

参见图37及图37A至图37C，其绘示根据本发明的一实施例，具有弹簧锁握把352的施配头350。弹簧锁握把352可包含其中具有复数微凹或插口356的拱形槽354，且亦可包含对插口358，所述对插口358与枢轴构件323相配合以支撑握把。掣子360可突伸出施配头350的本体262。于所述实施例中，存在二个此种槽354及掣子360。掣子360可与本体262一体成型，并可包含半球形尖端，如第38A图所示。可利用例如弹簧加载定位球塞(spring loaded ball plunger)等其它结构来替代掣子360。

于操作中，弹簧锁握把352的弹性或回弹性可将插口358保持于枢轴构件323上。当施配头350处于完全啮合位置(图37C)时，掣子360与该等插口356中的第一插口356a对齐(图37A)。弹簧锁握把352的弹性亦可使第一插口356a保持与掣子360相啮合，以使弹簧锁握把352保持于实质直立的位置。掣子360及/或第一插口356a可被构造成当施加致动力370子弹簧锁握把352而使得围绕枢轴构件323运动时，掣子360可滑出第一插口356a。图37A所示掣子360的半球形尖端即可适合于此目的。掣子360及第一插口356a可被构造成使操作人员可轻易地施加达成分离所需的致动力370。

所述插口356中的第二插口356b(图37B)可具有与第一插口356a相似的构造，并可位于拱形槽354内以在施配头350处于完全啮合位置时与掣子相啮合(图37C)。通过沿与致动力370实质相反的方向施加力，可使掣子360自第二插口356b移出。

当弹簧锁握把352被定向成使掣子360处于各插口356之间时，弹簧锁握把352可相对于完全啮合位置或完全分离位置沿径向向外弯曲。此种位移可足以使掣子360沿拱形槽354滑动，但不足以使插口358滑离枢轴构件323的端部。

在功能上，当掣子360啮合于所述插口356其中之一中时，弹簧锁握把352被肯定地保持于相应位置(例如完全啮合位置或完全分离位置)，此可防止施配头350假啮合或假分离。当将握把自中间位置带到所述位置其中之一时，弹簧锁握把352可「卡扣」至掣子360上，从而产生声音及/或感觉以通知操作人员所述握把已到达相应位置。

应注意，出于揭示与本文所揭示具体实施例相一致、或相容、及/或可用于所述具体实施例的组件、材料、工艺、配置的目的，以引用方式包含于本文以及在本发明「先前技术」部分中所述及的专利在此亦被视为包含于「实施方式」部分中。

所提及的相对性术语，例如「上部」及「下部」、「正面」及「背面」、「左侧」及「右侧」等等皆旨在为了便于说明而非旨在将本发明或其组件限制至任何特定取向。图式中所示的所有尺寸皆可随可能的设计以及本发明具体实施例的拟定用途而变化，此并不脱离本发明之范围。

本文所揭示的每一图式及方法皆可单独用于、或与其它特征及方法结合用于提供改良系统以及用于制造及利用所述改良系统的方法。因此，本文所揭示特征及方法的组合可能并非是为以本发明最广泛意义实践本发明所必需的，而只是为了具体描述本发明的代表性实施例。

应理解，本发明可实施为熟习此项技术者所显而易见的其它未提及的具体形式，所述形式并不脱离本发明的精神或实质属性。因此，上述实施例的每一方面皆仅为例示性质，而不应被视为具有限定性。本发明是由随附申请专利范围及其在法律上等效的范围加以界定。

Claims (19)

1.一种用以施配液体的施配系统，其特征在于，包含：

内侧挠性容器，用以容纳所述液体且具有外表面，所述内侧挠性容器包含附装凸片，所述附装凸片包含贯穿所述附装凸片的贯穿孔；

外侧挠性容器，实质环绕所述内侧挠性容器，所述外侧挠性容器包含内侧部及外侧部且两者共同至少部分地界定加压容器，所述内侧部是具有挠性的且具有一内表面，所述内表面与所述内侧挠性容器的所述外表面相接触；所述外侧挠性容器具有缝份，其中所述缝份的第一部分设置于所述贯穿孔的第一侧上，且所述缝份的第二部分设置于所述贯穿孔的第二侧上，通过所述贯穿孔，所述缝份的所述第一部分附装至所述缝份的所述第二部分；以及

容置容器，具有界定内腔的内表面，所述内侧挠性容器及所述外侧挠性容器是设置于所述内腔内，所述外侧挠性容器的所述外侧部是受所述容置容器限制；

其中，施加压力于所述外侧挠性容器的所述内侧部压迫所述内侧挠性容器以施配容纳于所述内侧挠性容器的所述液体。

2.如权利要求1所述的施配系统，其特征在于，更包含：

内侧附件，可操作地与所述内侧挠性容器相耦合且传递往来于所述内侧挠性容器的所述液体；以及

外侧附件，可操作地与所述外侧挠性容器相耦合且传递往来于所述外侧挠性容器的流体。

3.如权利要求2所述的施配系统，其特征在于，所述内侧附件及所述外侧附件相配合以作为附件总成，所述附件总成自所述容置容器的所述内腔排出气体。

4.如权利要求2所述的施配系统，其特征在于，所述流体是为气体。

5.如权利要求1所述的施配系统，其特征在于，所述容置容器是为刚性结构。

6.如权利要求1所述的施配系统，其特征在于，所述内侧挠性容器包含过氟烷氧基。

7.如权利要求1所述的施配系统，其特征在于，所述外侧挠性容器包含聚乙烯。

8.如权利要求1所述的施配系统，其特征在于，所述容置容器，界定占用面积，所述的施配系统更包含：

帽体，有效地与所述容置容器相耦合，所述帽体包含自所述帽体沿径向向外凸伸而完全互相相对的一对销；

凸轮致动施配头，有效地与所述帽体相耦合；以及

致动器握把，可枢转地安装至所述帽体，所述致动器握把包含复数拱形狭槽，所述拱形狭槽与于径向上互相相对的所述一对销相啮合以将所述凸轮致动施配头紧固至所述帽体，所述致动器握把是经造型以当所述凸轮致动施配头与所述帽体完全啮合时，使所述致动器握把位于所述容置容器的所述占用面积内。

9.如权利要求8所述的施配系统，其特征在于，更包含自所述帽体沿径向向外凸伸的握持环，所述握持环是延伸靠近所述致动器握把的末梢部。

10.如权利要求8所述的施配系统，其特征在于，所述施配头包含复数掣子且所述致动器握把包含复数插口，当所述凸轮致动施配头与所述帽体完全啮合时，所述插口与所述掣子相啮合。

11.如权利要求8所述的施配系统，其特征在于，更包含具有末端的汲取管部，所述汲取管部悬挂于所述施配头，所述汲取管部包含位于外部的信道，所述信道终止于所述汲取管部的所述末端。

12.如权利要求1所述的施配系统，其特征在于，包含：

所述内侧挠性容器包含第一薄片材料，所述第一薄片材料包含聚四氟乙烯，所述薄片材料具有小于0.25毫米的厚度；

所述内侧挠性容器的所述外表面是被所述一外侧挠性构件密封，所述外侧挠性构件包含第二薄片材料，所述第二薄片材料具有较所述聚四氟乙烯为低的气体可渗透性且具有小于0.25毫米的厚度；以及

所述内侧挠性容器及所述外侧挠性构件是设置于所述内腔内并受所述容置容器局限。

13.如权利要求12所述的施配系统，其特征在于，所述第二薄片材料包含聚乙烯。

14.如权利要求1所述的施配系统，其特征在于，更包含：

微影处理器；

容置器，用于容置所述容置容器；以及

加压气体源；

其中所述容置容器设置于所述容置器中且容纳光阻流体；以及

其中所述内侧挠性容器包含用以施配位于所述容置容器中的所述光阻流体的挠性聚合物施配容器，所述挠性聚合物施配容器具有接至所述容置容器外部的流体流动连接，用以施配所述光阻流体；

所述外侧挠性容器包含挠性加压容器，与所述施配容器呈面对关系地定位于所述容置容器中，所述加压容器可连接至所述容置容器外的所述加压气体源，其中所述加压容器可膨胀以将所述施配容器中的所述光阻流体压迫出所述容置容器到达所述微影处理器。

15.如权利要求14所述的施配系统，其特征在于，所述容置容器是为刚性容器。

16.一种制造如权利要求1所述的施配系统的方法，其特征在于，包含：

形成包含附装凸片的所述内侧挠性容器；

形成贯穿所述附装凸片的贯穿孔；

形成具有缝份的所述外侧挠性容器；

围绕所述外侧挠性容器于所述内侧挠性容器，以使所述缝份的第一部分设置于所述贯穿孔的第一侧上，且所述缝份的第二部分设置于所述贯穿孔的第二侧上；以及

通过所述贯穿孔，附装所述缝份的所述第一部分至所述缝份的所述第二部分。

17.如权利要求16所述的制造所述施配系统的方法，其特征在于，更包含：

选取用于形成所述内侧挠性容器及所述附装凸片的第一材料；以及

选取用于形成所述外侧挠性容器及所述缝份的第二材料，所述第二材料具有不同于所述第一材料的成分。

18.如权利要求17所述的制造所述施配系统的方法，其特征在于，所述第一材料包含过氟烷氧基且所述第二材料包含聚乙烯。

19.如权利要求16所述的制造所述施配系统的方法，其特征在于，附装所述缝份的所述第一部分至所述缝份的所述第二部分的所述步骤包含焊接所述缝份的所述第一部分至所述缝份的所述第二部分。

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