DE10155423B4 - Method for the homogeneous magnetization of an exchange-coupled layer system of a magneto-resistive component, in particular of a sensor or logic element - Google Patents

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Abstract

Verfahren zur homogenen Magnetisierung eines austauschgekoppelten Schichtsystems eines magneto-resistiven Bauelements, umfassend ein AAF-Schichtsystem und eine eine Schicht des AAF-Schichtsystems austauschkoppelnde antiferromagnetische Schicht, wobei bei festgelegter Richtung der Magnetisierung der antiferromagnetischen Schicht die magnetischen Schichten des AAF-Schichtsystems in einem Magnetfeld gesättigt und anschließend die Lage der Richtung des sättigenden Magnetfelds und die Lage der Richtung der Magnetisierung der antiferromagnetischen Schicht unter anliegendem sättigendem Magnetfeld relativ zueinander gedreht wird, so dass sie unter einem Winkel α von 0° < α < 180° zueinander stehen, wonach das sättigende Magnetfeld abgeschaltet wird.method for homogeneous magnetization of an exchange-coupled layer system a magneto-resistive device comprising an AAF layer system and a layer coupling the AAF layer system antiferromagnetic layer, wherein in the fixed direction of the Magnetization of the antiferromagnetic layer the magnetic Layers of the AAF coating system saturated in a magnetic field and subsequently the location of the direction of the saturating Magnetic field and the location of the direction of magnetization of the antiferromagnetic Layer under adjacent saturating Magnetic field is rotated relative to each other so that they are under one Angle α of 0 ° <α <180 ° to each other stand, after which the saturating Magnetic field is switched off.

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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur homogenen Magnetisierung eines austauschgekoppelten Schichtsystems eines magneto-resistiven Bauelements, insbesondere eines Sensor- oder Logikelements umfassend ein AAF-Schichtsystem und eine eine Schicht des AAF-Schichtsystems austauschkoppelnde antiferromagnetische Schicht.The The invention relates to a method for the homogeneous magnetization of a exchange-coupled layer system of a magneto-resistive device, in particular a sensor or Logic elements comprising an AAF layer system and a layer of the AAF layer system exchange coupling antiferromagnetic layer.

Derartige Bauelemente werden z.B. in Form von Sensorelementen beispielsweise als Magnetfelddetektoren eingesetzt. Ein zentraler Bestandteil bei allen magneto-resistiven Bauelementen ist das Referenzschichtsystem, das als AAF-System (AAF = artifical anti ferromagnetic) ausgebildet ist. Ein derartiges AAF-System ist aufgrund seiner hohen magnetischen Steifigkeit und der relativ geringen Kopplung zum Messschichtsystem durch den so genannten Orange-Peel-Effekt und/oder durch makroskopische magnetostatische Kopplungsfelder von Vorteil. Ein AAF-System besteht in der Regel aus einer ersten Magnetschicht oder einem Magnetschichtsystem, einer antiferromagnetischen Kopplungsschicht und einer zweiten magnetischen Schicht oder einem magnetischen Schichtsystem, das mit seiner Magnetisierung über die antiferromagnetische Kopplungsschicht entgegengesetzt zur Magnetisierung der unteren Magnetschicht gekoppelt wird. Ein solches AAF-System kann z. B. aus zwei magnetischen Co-Schichten und einer antiferromagnetischen Kopplungsschicht aus Cu gebildet werden.such Components are e.g. in the form of sensor elements, for example used as magnetic field detectors. A central part of all magneto-resistive devices is the reference layer system, which is designed as an AAF system (AAF = artifical anti ferromagnetic) is. Such an AAF system is due to its high magnetic Rigidity and the relatively low coupling to the measuring layer system by the so-called orange peel effect and / or by macroscopic magnetostatic Coupling fields of advantage. An AAF system usually consists of one first magnetic layer or a magnetic layer system, an antiferromagnetic Coupling layer and a second magnetic layer or a magnetic layer system, which with its magnetization over the antiferromagnetic coupling layer opposite to the magnetization the lower magnetic layer is coupled. Such an AAF system can z. B. from two magnetic Co layers and an antiferromagnetic coupling layer be formed from Cu.

Um die Steifigkeit des AAF-Systems, also seine Resistenz gegen externe äußere Felder zu verbessern ist es üblich, an der dem Messschichtsystem abgewandten Magnetschicht des AAF-Systems eine antiferromagnetische Schicht anzuordnen. Über diese antiferromagnetische Schicht wird die direkt benachbar te Magnetschicht in ihrer Magnetisierung zusätzlich gepinnt, so dass das AAF-System insgesamt härter wird (exchange pinning oder exchange biasing).Around the rigidity of the AAF system, ie its resistance to external external fields it is customary to improve on the side facing away from the measuring layer system magnetic layer of the AAF system an antiferromagnetic To arrange layer. about this antiferromagnetic layer becomes the directly adjacent magnetic layer in addition to their magnetization pinned, making the AAF system harder overall (exchange pinning or exchange biasing).

Die magnetische Steifigkeit des AAF-System korrespondiert mit der Amplitude des angelegten externen Feldes, das zum Drehen der Magnetisierungen der beiden ferromagnetischen Schichten in die gleiche Richtung, also zur Parallelstellung erforderlich ist. Hierüber wird das magnetische Fenster für Winkelsensoranwendungen eines solchen Sensorsystems begrenzt.The Magnetic stiffness of the AAF system corresponds to the amplitude of the applied external field used to rotate the magnetizations the two ferromagnetic layers in the same direction, So is required for parallel position. This is the magnetic window for angle sensor applications limited such a sensor system.

Ziel ist es dabei stets, die magnetischen Schichten des AAF-Schichtsystems, das z.B. neben der eingangs genannten Materialkombination auch aus zwei ferromagnetischen CoFe-Schichten und einer dazwischen gebrachten Ru-Schicht bestehen kann, so homogen wie möglich zu magnetisieren, im Idealfall mit einer einzigen homogenen Magnetisierungsrichtung. Die Magnetisierung bei dem in Rede stehenden Bauelement mit dem AAF-Schichtsystem und der zusätzlichen austauschkoppelnden bzw. pinnenden antiferromagnetischen Kopplungsschicht, z.B. aus IrMn, erfolgt derart, dass nach Erzeugen des Schichtstapels der Schichtstapel auf eine Temperatur größer als die blocking-Temperatur der antiferromagnetischen Schicht, also z.B. des IrMn erwärmt wird, wobei währenddessen ein starkes, die beiden magnetischen Schichten des AAF-Schichtsystems sättigendes Magnetfeld anliegt. Dies führt zu einer Ausrichtung der Magnetschichtmagnetisierungen, und aufgrund der Kopplungen auch der Magnetisierung der antiferromagnetischen Schicht. Anschließend wird die Temperatur wieder erniedrigt. Wird nun das externe Einstellmagnetfeld ebenfalls zurückgenommen, so beginnt die Magnetisierung der Magnetschicht, die nicht an die antiferromagnetische Schicht gekoppelt ist, sich aufgrund der AAF-Systemkopplung zu drehen.aim It is always the magnetic layers of the AAF layer system, the e.g. in addition to the aforementioned material combination of two ferromagnetic CoFe layers and an interposed Ru layer may consist of magnetizing as homogeneously as possible, ideally with a single homogeneous magnetization direction. The magnetization in the subject device with the AAF layer system and the additional Inter-coupling antiferromagnetic coupling layer, e.g. from IrMn, such that after generating the layer stack the layer stack is at a temperature greater than the blocking temperature the antiferromagnetic layer, e.g. of the IrMn is heated, being Meanwhile a strong, the two magnetic layers of the AAF layer system saturating Magnetic field is applied. this leads to to an orientation of the magnetic layer magnetizations, and due the couplings also the magnetization of the antiferromagnetic Layer. Subsequently, will the temperature lowered again. Now becomes the external adjustment magnetic field also withdrawn, so begins the magnetization of the magnetic layer, which is not attached to the coupled antiferromagnetic layer, due to the AAF system coupling to turn.

Hierbei bilden sich jedoch eine Vielzahl von so genannten 360°-Wänden in der Magnetisierung der Schicht aus. Diese 360°-Wände, die sich im Rahmen der Durchführung einer Domä nenbeobachtung als gewundene, schlängelnde Linien zeigen, bringen eine Reihe von Nachteilen mit sich. So ist beispielsweise das über das Bauelement abgreifbare Signal, beispielsweise ein TMR-Signal bei einem TMR-Bauelement (TMR = tunnel magneto resistive) reduziert. Auch ist das Ummagnetisierungsverhalten der über eine entkoppelnde Schicht, z.B. aus Al2O3, vom AAF-Schichtsystem getrennten Messschicht, z.B. aus Permalloy aufgrund der Streufelder, die über die 360°-Wände, in denen sich die Magnetisierung einmal um 360° dreht, ungünstiger.However, a multiplicity of so-called 360 ° walls are formed in the magnetization of the layer. These 360 ° walls, which appear as winding, meandering lines in the course of domain observation, have a number of disadvantages. For example, the signal that can be tapped off via the component, for example a TMR signal, is reduced in the case of a TMR component (TMR = tunnel magneto resistive). Also, the Ummagnetisierungsverhalten the over a decoupling layer, for example, Al 2 O 3 , separated from the AAF layer system measuring layer, for example made of Permalloy due to the stray fields, on the 360 ° walls, in which the magnetization rotates once 360 °, unfavorable.

Aus der nachveröffentlichten Druckschrift DE 101 28 262 A1 ist ein Verfahren zur Herstellung eines magnetoresistiven Sensorsystems mit einem weichmagnetischen Messschichtsystem und mindestens einem hartmagnetischen, als AAF-System ausgebildeten Referenzschichtsystem, umfassend einen AAF-Schichtverbund sowie wenigstens eine Referenzschicht, wobei der AAF-Schichtverbund zwei Magnetschichten aufweist und wobei das Referenzschichtsystem wenigstens eine antiferromagnetische Schicht umfasst, die benachbart zu einer Magnetschicht des AAF-Schichtverbunds angeordnet ist, bekannt. Dieses Verfahren sieht zur Magnetisierung vor, dass in der antiferromagnetischen Schicht entfernt angeordnete Magnetschicht eine in eine erste Richtung weisende uniaxiale Anisotropie induziert wird, wonach die Magnetisierung der antiferromagnetischen Schicht in eine zweite Richtung weisend ausgerichtet wird, wobei die Anisotropierichtung der Magnetschicht und die Magnetisierungsrichtung der antiferromagnetischen Schicht unter einem Winkel zueinander stehen. Bei dem hieraus resultierenden magnetisierten Sensorsystem stehen also im Endeffekt die Magnetisierungen der beiden Magnetschichten unter einem Winkel zueinander.From the post-published publication DE 101 28 262 A1 is a method for producing a magnetoresistive sensor system having a soft magnetic measuring layer system and at least one hard magnetic, AAF system formed reference layer system comprising an AAF composite layer and at least one reference layer, wherein the AAF composite layer comprises two magnetic layers and wherein the reference layer system at least one antiferromagnetic layer comprises, which is arranged adjacent to a magnetic layer of the AAF layer composite known. This method provides for magnetization that magnetic layer remotely located in the antiferromagnetic layer induces uniaxial anisotropy pointing in a first direction, after which the magnetization of the antiferromagnetic layer is oriented in a second direction, the anisotropic direction of the magnetic layer and the magnetization direction of the antiferromagnetic Layer at an angle to stand by each other. Thus, in the resulting magnetized sensor system, the magnetizations of the two magnetic layers are at an angle to each other.

Der Erfindung liegt damit das Problem zugrunde, ein Verfahren anzugeben, das eine homogene Magnetisierung unter weitgehendster Vermeidung der nachteiligen 360°-Wände ermöglicht.Of the The invention is thus based on the problem of specifying a method that is a homogeneous magnetization while largely avoiding the disadvantageous 360 ° walls.

Zur Lösung dieses Problems ist bei einem Verfahren der eingangs genannten Art erfindungsgemäß vorgesehen, dass bei festgelegter Richtung der Magnetisierung der antiferromagnetischen Schicht die magnetischen Schichten des AAF-Schichtsystems in einem Magnetfeld gesättigt und anschließend die Lage der Richtung des sättigenden Magnetfelds und die Lage der Richtung der Magnetisierung der antiferromagnetischen Schicht unter anliegendem sättigendem Magnetfeld relativ zueinander gedreht wird, so dass sie unter einem Winkel α von 0° < α < 180° zueinander stehen, wonach das sättigende Magnetfeld abgeschaltet wird.to solution This problem is in a method of the type mentioned provided according to the invention, that with fixed direction of magnetization of antiferromagnetic Layer the magnetic layers of the AAF layer system in one Magnetic field saturated and subsequently the location of the direction of the saturating Magnetic field and the location of the direction of magnetization of the antiferromagnetic Layer under adjacent saturating Magnetic field is rotated relative to each other so that they are under one Angle α of 0 ° <α <180 ° to each other after which the saturating magnetic field is switched off.

Die Erfindung schlägt mit besonderem Vorteil vor, die Magnetisierung der antiferromagnetischen Pin-Schicht, die aufgrund der sehr starken Austauschkopplung zur daran angrenzenden magnetischen Schicht des AAF-Schichtsystems deren Magnetisierung festhält, und die Richtung des Magnetfelds unter einen Winkel < 180° und > 0° zu bringen, und anschließend das Magnetfeld abzuschalten. Aufgrund der bereits erfolgten Festlegung der Magnetisierungsrichtung der antiferromagnetischen Schicht wird nun die Magnetisierung der angrenzenden magnetischen Schicht des AAF-Systems automatisch in die gleiche Richtung drehen. Aufgrund der Kopplung der zweiten magnetischen Schicht des AAF-Systems über die dazwischen geordnete Kopplungsschicht dreht nun die Magnetisierung der zweiten magnetischen Schicht in die entgegengesetzte Richtung. Aufgrund der Stellung der Richtung der antiferromagnetischen Schichtmagnetisierung und des vorher noch anliegenden sättigenden Magnetfelds zueinander, muss nun jedoch nicht eine Drehung um 180° stattfinden, sondern lediglich um einen deutlich kleineren Winkel. Denn aufgrund der Winkelstellung und des vorher noch anliegenden sättigenden Magnetfelds steht die noch gesättigte Magnetisierung beider magnetischer AAF-Schichten nicht unter einem Winkel von 0 oder 180° zur Magnetisierung der antiferromagnetischen Schicht, sondern unter einem Zwischenwinkel. Lediglich um diesen Zwischenwinkel muss nun die Magnetisierung der zweiten magnetischen AAF-Schicht gedreht werden. Die Magnetisierung wird also bevorzugt ausschließlich in diese eine Richtung, die den kürzeren Drehweg aufweist und folglich ein energetisch günstigeres Drehen zulässt, drehen. Infolgedessen ist ein Zerfallen der Magnetisierung bzw. die Bildung der 360°-Wände ausgeschlossen, die sich primär dann bilden, wenn die Magnetisierung um 180° drehen muss, da in diesem Fall eine Drehung in zwei Richtungen, nämlich von 180° auf 0° bzw. von 180° auf 360° (letztlich nach "links" und "rechts") möglich ist, was zur Wandbildung führt. Durch die Einstellung der Magnetisierungsrichtungen wird also eine Vorzugs-Drehrichtung definiert, in welche die Schichtmagnetisierung dreht, was vorteilhaft zur Vermeidung der 360°-Wände führt.The Invention proposes with particular advantage, the magnetization of the antiferromagnetic Pin layer, due to the very strong exchange coupling to adjacent thereto magnetic layer of the AAF layer system whose magnetization holds, and bring the direction of the magnetic field at an angle <180 ° and> 0 °, and then the Disconnect the magnetic field. Due to the already made determination the magnetization direction of the antiferromagnetic layer becomes now the magnetization of the adjacent magnetic layer of the Automatically turn the AAF system in the same direction. by virtue of the coupling of the second magnetic layer of the AAF system over the Interposed coupling layer now turns the magnetization the second magnetic layer in the opposite direction. Due to the position of the direction of the antiferromagnetic layer magnetization and the previously applied saturating magnetic field to each other, However, now does not have to take a turn by 180 °, but only at a much smaller angle. Because of the angular position and of the previously existing saturating Magnetic field is the still saturated Magnetization of both magnetic AAF layers not at an angle of 0 or 180 ° to the Magnetization of the antiferromagnetic layer, but under an intermediate angle. Only at this intermediate angle must now rotated the magnetization of the second magnetic AAF layer become. The magnetization is thus preferred exclusively in this one direction, the shorter one Turning and thus has a more energetically favorable turning allows rotate. As a result, disintegration of the magnetization or formation is the 360 ° walls excluded, which are primary then form when the magnetization has to turn 180 °, since in this case a rotation in two directions, namely from 180 ° to 0 ° or from 180 ° up 360 ° (ultimately after "left" and "right") is possible, which leads to wall formation. By setting the magnetization directions so is a Defined preferred direction of rotation, in which the layer magnetization rotates, which advantageously leads to avoiding the 360 ° walls.

Zweckmäßigerweise sollte ein Winkel α von 60° bis 120°, insbesondere von 90° eingestellt werden. Im Falle eines Winkels von 90° muss sowohl die über die antiferromagnetische Schicht gepinnte Magnetisierung der benachbarten AAF-Schicht um 90° drehen, die Magnetisierung der zweiten magnetischen Schicht muss ebenfalls um 90°, jedoch in die andere Richtung drehen. Der Weg ist insgesamt für beide Magnetisierungen relativ kurz, so dass sich eine homogene Magnetisierung einstellt.Conveniently, should be an angle α of 60 ° to 120 °, in particular set by 90 ° become. In the case of an angle of 90 ° both the over the antiferromagnetic layer pinned magnetization of neighboring Rotate AAF layer 90 °, the magnetization of the second magnetic layer must also around 90 °, but turn in the other direction. The way is altogether for both Magnetizations relatively short, so that a homogeneous magnetization established.

Zum Einstellen des Winkels sind mehrere Möglichkeiten im Rahmen der Magnetisierung denkbar. Zum einen kann das Bauelement bezüglich des feststehenden Magnetfelds gedreht werden, alternativ dazu besteht die Möglichkeit, das Magnetfeld bezüglich des feststehenden Bauelements zu bewegen. Schließlich können auch beide bezüglich einander bewegt werden.To the Adjusting the angle are several possibilities in the context of magnetization conceivable. First, the device with respect to the fixed magnetic field be rotated, alternatively there is the possibility of the magnetic field with respect to the to move stationary component. Finally, both can respect each other to be moved.

Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren ist es möglich, bereits bei der erstmaligen Magnetisierung eines Bauelements die Bildung von 360°-Wänden zu vermeiden. Zu diesem Zweck wird zur Einstellung der Magnetisierung der antiferromagnetischen Schicht die Temperatur über die blocking-Temperatur der Schicht erhöht, wobei das sättigende Magnetfeld während der Temperaturerhöhung anliegt, wonach die Temperatur erniedrigt wird und die Einstellung der Magnetisierung des Schichtsystems erfolgt. Hierbei wird also gleichzeitig die Sättigung der magnetischen Schichten des AAF-Systems und die Einstellung der Magnetisierung der antiferromagnetischen Schicht vorgenommen, die, da die Temperatur über der blocking-Temperatur liegt, sich der Magnetisierungsrichtung der benachbarten magnetischen Schicht des AAF-Systems anpasst. Anschließend wird die Temperatur erniedrigt, so dass die Magnetisierung der antiferromagnetischen Schicht nach Unterschreiten der blocking-Temperatur quasi eingefroren wird. Anschließend erfolgt die Drehung des Bauelements und/oder des Magnetfelds zur Einstellung des Winkels α bei nach wie vor anliegendem Magnetfeld, wonach diese abgeschalten wird und die Magnetisierungen der beiden magnetischen Schichten des AAF-Systems in die beiden unterschiedlichen Richtungen drehen.With the method according to the invention Is it possible, already at the first magnetization of a device the Avoid formation of 360 ° walls. For this purpose, to adjust the magnetization of the antiferromagnetic Layer the temperature over the blocking temperature of the layer increases, with the saturating Magnetic field during the temperature increase is present, after which the temperature is lowered and the setting the magnetization of the layer system takes place. This will be so at the same time the saturation the magnetic layers of the AAF system and the setting of the magnetization made of the antiferromagnetic layer, which, as the temperature above the blocking temperature is located, the magnetization direction of the adjacent magnetic layer of the AAF system adapts. Subsequently, will the temperature is lowered, so that the magnetization of the antiferromagnetic Layer after falling below the blocking temperature quasi frozen becomes. Subsequently the rotation of the component and / or the magnetic field to Setting the angle α at still applied magnetic field, after which it is turned off and the magnetizations of the two magnetic layers of the AAF system in the two rotate in different directions.

Gleichermaßen ist es mit dem erfindungsgemäßen Verfahren aber auch möglich, ein bereits magnetisiertes Bauelement, das 360°-Wände aufweist, also inhomogen magnetisiert ist, nachträglich zu homogenisieren. Zu diesem Zweck wird die Magnetisierung des AAF-Schichtsystems in einem ausreichend hohen Magnetfeld gesättigt, ohne dass vorher die Temperatur erhöht wird. Nach Sättigung wird das System bezüglich des Magnetfelds gedreht, z.B. um 90° zur ursprünglichen Sättigungsrichtung der antiferromagnetischen Schicht, wobei diese zweckmäßigerweise vorher parallel zum externen Sättigungsmagnetfeld ausgerichtet wurde bzw. das Bauelement entsprechend positioniert wurde. Nach dem Drehen wird das externe Magnetfeld zurückgefahren, so dass die Schichtmagnetisierungen, die trotz der Drehung aufgrund der Sättigung in Richtung des externen Magnetfelds lagen, um die entsprechenden Winkelabschnitte zurückzudrehen.Equally is it with the method according to the invention but also possible an already magnetized component that has 360 ° walls, ie inhomogeneous magnetized, retrospectively to homogenize. For this purpose, the magnetization of the AAF layer system saturated in a sufficiently high magnetic field, without the temperature before elevated becomes. After saturation the system will be changed of the magnetic field, e.g. by 90 ° to the original saturation direction of the antiferromagnetic Layer, this expediently previously parallel to the external saturation magnetic field has been aligned or the component is positioned accordingly has been. After turning, the external magnetic field is reduced, so that the layer magnetizations, despite the rotation due to the saturation in the direction of the external magnetic field to the corresponding Turn back angle sections.

Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus den im Folgenden beschriebenen Ausführungsbeispiel sowie anhand der Zeichnungen. Dabei zeigen:Further Advantages, features and details of the invention will become apparent the embodiment described below and with reference to the Drawings. Showing:

1 eine Prinzipskizze eines Bauelements während des Aufmagnetisierens mit einer oberhalb der blocking-Temperatur liegenden Temperatur bei anliegendem sättigendem Magnetfeld, 1 a schematic diagram of a device during the magnetization with a lying above the blocking temperature temperature with applied saturating magnetic field,

2 das Bauelement aus 1 nach einer Drehung bei feststehendem sättigendem Magnetfeld und vorangegangener Temperaturerniedrigung, 2 the component 1 after a rotation with a fixed saturating magnetic field and previous temperature decrease,

3 das Bauelement aus 2 nach Abschalten des Magnetfelds, 3 the component 2 after switching off the magnetic field,

4 eine Prinzipskizze einer Vorrichtung einer ersten Ausführungsform zur Durchführung des Magnetisierungsverfahrens, und 4 a schematic diagram of a device of a first embodiment for performing the magnetization method, and

5 eine Prinzipskizze einer Vorrichtung einer zweiten Ausführungsform zur Durchführung des Magnetisierungsverfahrens. 5 a schematic diagram of a device of a second embodiment for carrying out the magnetization process.

1 zeigt ein magneto-resistives Bauelement 1. Dieses besteht aus einem so genannten Referenzschichtsystem 2, das über eine Entkopplungsschicht 3, z.B. Al2O3 von einem weichmagnetischen Messschichtsystem 4 entkoppelt ist. Das Referenzschichtsystem 2 selbst ist auf einem Substrat 5 aufgebaut. Es besteht aus einem AAF-Schichtsystem 6, bestehend aus einer unteren ferromagnetischen Schicht 7, einer oberen ferromagnetischen Schicht 8 und einer zwischen diesen angeordneten, antiparallel koppelnden Kopplungsschicht 9. Die ferromagnetischen Schichten können z.B. aus Co oder CoFe sein, die antiparallel koppelnde Kopplungsschicht kann aus Cu oder aus Ru sein. Der Aufbau eines solchen AAF-Schichtsystems ist hinlänglich bekannt. 1 shows a magneto-resistive device 1 , This consists of a so-called reference layer system 2 that has a decoupling layer 3 , eg Al 2 O 3 from a soft-magnetic measuring layer system 4 is decoupled. The reference layer system 2 itself is on a substrate 5 built up. It consists of an AAF layer system 6 consisting of a lower ferromagnetic layer 7 , an upper ferromagnetic layer 8th and an antiparallel coupling coupling layer disposed therebetween 9 , The ferromagnetic layers may be made of, for example, Co or CoFe, the coupling layer coupled in antiparallel may be made of Cu or of Ru. The structure of such an AAF layer system is well known.

Das Referenzschichtsystem 2 umfasst ferner eine unterhalb der unteren ferromagnetischen Schicht 7 vorgesehene antiferromagnetische Schicht 10, z.B. aus Ni, FeMn, IrMn, NiMn, PtMn, CrPtMn, RhMn oder PdMn. Die antiferromagnetische Schicht 10 koppelt die Magnetisierung der darüber befindlichen unteren ferromagnetischen Schicht 7, d.h. diese richtet sich parallel zu den magnetischen Momenten der antiferromagnetischen Schicht im Grenzflächenbereich aus. Hierdurch wird durch exchange biasing die Magnetisierung der ferromagnetischen Schicht 7 gepinnt. Auch diese Funktion bzw. dieser Aufbau ist hinlänglich bekannt.The reference layer system 2 further includes one below the lower ferromagnetic layer 7 provided antiferromagnetic layer 10 , for example of Ni, FeMn, IrMn, NiMn, PtMn, CrPtMn, RhMn or PdMn. The antiferromagnetic layer 10 couples the magnetization of the underlying lower ferromagnetic layer 7 ie it aligns parallel to the magnetic moments of the antiferromagnetic layer in the interface region. This causes the magnetization of the ferromagnetic layer by exchange biasing 7 pinned. This function or this structure is well known.

Zum Einstellen der Magnetisierung der magnetischen Schichten 7 und 8 und auch der Magnetisierung der antiferromagnetischen Schicht 10 wird das Bauelement, das hier nur in Form einer Prinzipskizze als Ausschnitt gezeigt ist, und das normalerweise an einem großflächigen Wafer mit einer Vielzahl weiterer Bauelemente ausgebildet ist, auf eine Temperatur T oberhalb der blocking-Temperatur Tblocking der antiferromagnetischen Schicht 10 erwärmt. Bei einer Temperatur oberhalb der blocking-Temperatur verliert die antiferromagnetische Schicht ihre antiferromagnetischen Eigenschaften. Die magnetischen Momente der Schicht können durch ein externes Magnetfeld ausgerichtet werden. Ein solches externes Magnetfeld H wird angelegt, wobei dieses größer ist als das Sättigungsmagnetfeld HS das benötigt wird, um die Magnetisierungen der magnetischen Schichten 7, 8 zu sättigen. Ersichtlich richten sich die Magnetisierungen der Schichten 7, 8, die durch die langen Pfeile dargestellt sind, parallel zum externen Feld aus, auch die magnetischen Momente der antiferromagnetischen Schicht 10 richten sich entsprechend aus, wobei die grenzflächennahen Momente, die im Grenzflächenbereich zur magnetischen Schicht 7 liegen, parallel dazu koppeln.For adjusting the magnetization of the magnetic layers 7 and 8th and also the magnetization of the antiferromagnetic layer 10 is the device, which is shown here only in the form of a schematic diagram as a section, and which is usually formed on a large-area wafer with a variety of other components, to a temperature T above the blocking temperature T blocking the antiferromagnetic layer 10 heated. At a temperature above the blocking temperature, the antiferromagnetic layer loses its antiferromagnetic properties. The magnetic moments of the layer can be aligned by an external magnetic field. Such external magnetic field H is applied, which is larger than the saturation magnetic field H S required to magnetize the magnetic layers 7 . 8th to saturate. The magnetizations of the layers are clearly visible 7 . 8th , which are represented by the long arrows, parallel to the external field, also the magnetic moments of the antiferromagnetic layer 10 align accordingly, with the near-surface moments occurring in the interface region to the magnetic layer 7 lie, in parallel to couple.

Anschließend wird die Temperatur erniedrigt, so dass sie unterhalb der blocking-Temperatur Tblocking ist. Bei Unterschreiten der blocking-Temperatur geht die antiferromagnetische Schicht 10 wieder in den antiferromagnetischen Zustand über, die Magnetisierung wird "eingefroren". Das externe Magnetfeld liegt jedoch nach wie vor sättigend an.Subsequently, the temperature is lowered so that it is below the blocking temperature T blocking . Falling below the blocking temperature, the antiferromagnetic layer goes 10 again in the antiferromagnetic state, the magnetization is "frozen". However, the external magnetic field is still saturating.

Wie 2 zeigt erfolgt anschließend eine Drehung um einen Winkel α, wobei α in diesem Fall 90° beträgt. Ersichtlich bleibt die Magnetisierung der antiferromagnetischen Schicht 10 in der vormals eingestellten Richtung, d.h. sie ändert sich trotz des nach wie vor anliegenden externen sättigenden Magnetfelds H nicht. Der Winkel α ist der Winkel, den die Magnetisierungsrichtung der Schicht 10 zum externen Magnetfeld H einnimmt, wie in 2 eingezeichnet ist.As 2 Subsequently, rotation is performed by an angle α, where α is 90 ° in this case. The magnetization of the antiferromagnetic layer remains evident 10 in the previously set direction, ie it does not change in spite of the still applied external saturating magnetic field H. The angle α is the angle that the magnetization direction of the layer 10 to the external magnetic field H occupies, as in 2 be signed is net.

Anders als die feststehende Magnetisierung der antiferromagnetischen Schicht 10 drehen sich bei einer Drehung des Bauelements bezüglich des feststehenden externen Magnetfelds die Magnetisierungen der magnetischen Schichten 7 und 8 während der Drehung, d.h. sie verbleiben nach wie vor parallel zum externen Magnetfeld H, wie 2 deutlich zeigt. Sie stehen also unter einem Winkel zur Richtung der Magnetisierung der antiferromagnetischen Schicht 10, wobei der Winkel ebenfalls α = 90° beträgt.Unlike the fixed magnetization of the antiferromagnetic layer 10 As the device rotates with respect to the fixed external magnetic field, the magnetizations of the magnetic layers rotate 7 and 8th during rotation, ie they still remain parallel to the external magnetic field H, such as 2 clearly shows. They are thus at an angle to the direction of the magnetization of the antiferromagnetic layer 10 , where the angle is also α = 90 °.

Nachfolgend wird, siehe 3, das externe Magnetfeld abgeschalten. Dies führt dazu, dass in den beiden magnetischen Schichten 7 und 8 unterschiedlich gerichtete Drehprozesse stattfinden. Während sich die Magnetisierung der unteren magnetischen Schicht 7, die benachbart zur antiferromagnetischen Schicht 10 liegt, im gezeigten Beispiel nach rechts und damit parallel zu den grenzflächennahen Momenten der antiferromagnetischen Schicht 10 einstellt, was durch die starke Austauschkopplung zwischen beiden Schichten bedingt ist, dreht die Magnetisierung der magnetischen Schicht 8 aufgrund der Kopplungseigenschaften der Kopplungsschicht 9 in die entgegengesetzte Richtung. In 3 sind jeweils die Ausgangsstellungen der Magnetisierungen gestrichelt gezeigt, wie sie aus 2 bekannt sind, die durchgezogenen Pfeile geben die jeweilige Endstellung nach erfolgter Drehung wieder. Ersichtlich drehen beide Magnetisierungen lediglich um einen relativ kleinen Winkel, nämlich um 90°, bedingt durch die vorher ein genommene Stellung des Bauelements bezüglich des externen Magnetfelds, wie bezüglich 2 beschrieben. Für die jeweilige Magnetisierung der Schichten 7, 8 existiert ein ausgezeichneter kürzester Drehweg, um in die jeweils kopplungsbedingt definierte Stellung zu drehen. Ein Zerfall der Magnetisierung in unterschiedliche Magnetisierungsbereiche bzw. die Bildung von unerwünschten 360°-Wänden wird aufgrund dieser Vorzugsdrehrichtung ausgeschlossen.The following will be, see 3 , the external magnetic field switched off. This causes that in the two magnetic layers 7 and 8th take different directed turning processes. While the magnetization of the lower magnetic layer 7 adjacent to the antiferromagnetic layer 10 is in the example shown to the right and thus parallel to the near-surface moments of the antiferromagnetic layer 10 which is due to the strong exchange coupling between both layers, turns the magnetization of the magnetic layer 8th due to the coupling properties of the coupling layer 9 in the opposite direction. In 3 In each case the initial positions of the magnetizations are shown in dashed lines, as they are made 2 are known, the solid arrows indicate the respective end position after the turn again. As can be seen, both magnetizations rotate only by a relatively small angle, namely by 90 °, due to the previously assumed position of the component with respect to the external magnetic field, as with respect to FIG 2 described. For the respective magnetization of the layers 7 . 8th There is an excellent shortest turning path to turn into the respective coupling-defined defined position. A disintegration of the magnetization in different magnetization areas or the formation of unwanted 360 ° walls is excluded due to this preferred direction of rotation.

4 zeigt eine Vorrichtung 11 einer ersten Ausführungsform, die zur Durchführung des bezüglich der 1–3 beschriebenen Verfahrens dient. Sie umfasst eine Aufnahme 12 in Form eines Drehtellers 13, der wie der Pfeil P zeigt gedreht werden kann. Auf ihm wird ein Substrat 14, an dem eine Vielzahl von Bauelementen mit dem eingangs beschriebenen Schichtsystem ausgebildet sind, angeordnet. Der Drehteller 13 selbst ist zweckmäßigerweise beheizbar. Ihm zugeordnet ist eine Magnetfelderzeugungseinrichtung 15, wie durch die beiden magnetischen Pole N und S angedeutet ist. Zur Durchführung des Verfahrens wird das Substrat 14 auf dem Drehteller 13 positioniert, anschließend erfolgt die starke Erwärmung und das Anlegen des externen sättigenden Magnetfelds, wonach die Abkühlung und anschließende Drehung und letztendlich die Abschaltung des externen Magnetfelds vorgenommen wird, wie bezüglich der 1–3 ausführlich beschrieben. 4 shows a device 11 a first embodiment, which for carrying out the relative to the 1 - 3 described method is used. It includes a recording 12 in the form of a turntable 13 , which can be rotated as the arrow P shows. On it becomes a substrate 14 , on which a plurality of components are formed with the layer system described above, arranged. The turntable 13 itself is expediently heated. Associated with it is a magnetic field generating device 15 as indicated by the two magnetic poles N and S. To carry out the method, the substrate 14 on the turntable 13 is positioned, followed by the strong heating and the application of the external saturating magnetic field, after which the cooling and subsequent rotation and finally the shutdown of the external magnetic field is performed, as with respect to 1 - 3 described in detail.

5 zeigt eine weitere Vorrichtung 16. Bei dieser ist die Aufnahme 17 als beheizbarer Tisch ausgebildet, der jedoch nicht drehbar ist. Auch auf der Aufnahme 17 ist ein Substrat 18 anzuordnen. Demgegenüber ist die Magnetfelderzeugungseinrichtung 19, die auch hier wieder durch die beiden Pole N und S angedeutet ist, auf einer geeigneten Dreheinrichtung 20, z.B. in Form eines Drehtellers drehbar gelagert, wie der Pfeil P ebenfalls zeigt. Bei dieser Vorrichtung ist ein etwas abgewandeltes Verfahren zur Erzeugung einer homogenen Magnetisierung möglich. Anstelle der bezüglich 2 beschriebenen Drehung des Bauelements bezüglich des feststehenden Mag netfelds bleibt hier das Bauelement ruhend, während das Magnetfeld zur Einstellung des Winkels α gedreht wird. 5 shows another device 16 , This is the recording 17 designed as a heated table, which is not rotatable. Also on the recording 17 is a substrate 18 to arrange. In contrast, the magnetic field generating device 19 , which is again indicated here by the two poles N and S, on a suitable turning device 20 , For example, rotatably mounted in the form of a turntable, as the arrow P also shows. In this device, a slightly modified method for generating a homogeneous magnetization is possible. Instead of referring 2 described rotation of the component with respect to the fixed Mag netfelds here the component remains stationary, while the magnetic field is rotated to adjust the angle α.

Insgesamt schlägt die Erfindung ein einfach praktikables, keine zusätzlichen zeit- oder kostenaufwendigen Verfahrensschritte erforderndes Verfahren vor, das die homogene Magnetisierung der relevanten Schichten eines Bauelements oder Bauelementsystems ermöglicht.All in all beats the invention a simply practicable, no additional time consuming or costly process steps requiring method, this is the homogeneous magnetization of the relevant layers of a component or component system.

Claims (6)

Verfahren zur homogenen Magnetisierung eines austauschgekoppelten Schichtsystems eines magneto-resistiven Bauelements, umfassend ein AAF-Schichtsystem und eine eine Schicht des AAF-Schichtsystems austauschkoppelnde antiferromagnetische Schicht, wobei bei festgelegter Richtung der Magnetisierung der antiferromagnetischen Schicht die magnetischen Schichten des AAF-Schichtsystems in einem Magnetfeld gesättigt und anschließend die Lage der Richtung des sättigenden Magnetfelds und die Lage der Richtung der Magnetisierung der antiferromagnetischen Schicht unter anliegendem sättigendem Magnetfeld relativ zueinander gedreht wird, so dass sie unter einem Winkel α von 0° < α < 180° zueinander stehen, wonach das sättigende Magnetfeld abgeschaltet wird.Method for homogeneous magnetization of a exchange-coupled layer system of a magneto-resistive device, comprising an AAF layer system and a layer of the AAF layer system exchange coupling antiferromagnetic layer, wherein at fixed Direction of magnetization of the antiferromagnetic layer the magnetic layers of the AAF layer system in a magnetic field saturated and subsequently the location of the direction of the saturating Magnetic field and the location of the direction of magnetization of the antiferromagnetic Layer under adjacent saturating Magnetic field is rotated relative to each other, so that they at an angle α of 0 ° <α <180 ° to each other stand, after which the saturating Magnetic field is switched off. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Winkel α zwischen 60° und 120° eingestellt wird.Method according to claim 1, characterized in that that an angle α between 60 ° and 120 ° set becomes. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zum Einstellen des Winkels das Bauelement bezüglich des feststehenden Magnetfelds gedreht wird.Method according to claim 1 or 2, characterized that for adjusting the angle, the component with respect to fixed magnetic field is rotated. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zum Einstellen des Winkels das Magnetfeld bezüglich des feststehenden Bauelements bewegt wird.A method according to claim 1 or 2, characterized in that for adjusting the angle, the magnetic field with respect to the stationary compo is moved. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zum Einstellen des Winkels das Magnetfels und das Bauelement bewegt werden.Method according to claim 1 or 2, characterized for adjusting the angle, the magnetic field and the component to be moved. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zur Einstellung der Magnetisierung der antiferromagnetischen Schicht die Temperatur über die blocking-Temperatur der Schicht erhöht wird, wobei das sättigende Magnetfeld während der Temperaturerhöhung anliegt, wonach die Temperatur erniedrigt wird und die Einstellung der Magnetisierung des Schichtsystems erfolgt.Method according to one of the preceding claims, characterized characterized in that for adjusting the magnetization of the antiferromagnetic layer the temperature over the blocking temperature of the layer is increased, with the saturating Magnetic field during the temperature increase is present, after which the temperature is lowered and the setting the magnetization of the layer system takes place.
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