DE112005001292T5 - Messvorrichtung für magnetischen Fluss mittels eines Zähler verwendendes Digital-FLL-Systems des Hysterese-Kennlinientyps für ein SQUID - Google Patents

Messvorrichtung für magnetischen Fluss mittels eines Zähler verwendendes Digital-FLL-Systems des Hysterese-Kennlinientyps für ein SQUID Download PDF

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Koichiro Morioka Kobayashi
Daisuke Morioka Oyama
Masahito Morioka Yoshizawa
Kenji Morioka Nakai
Takayuki Morioka Simizu
Tomoaki Ueda
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    • Y10S505/846Magnetometer using superconductive quantum interference device, i.e. squid

Abstract

Messvorrichtung für magnetischen Fluss, die ein Magnetfeld in Übereinstimmung mit einem FLL-System unter Verwendung eines SQUID zum Erzeugen einer Spannung misst, die periodisch mit einer Periode eines magnetischen Flussquants Φ0 auf der Basis eines Anstiegs eines Magnetfeldes schwankt,
wobei die Vorrichtung folgendes aufweist:
einen Verstärker, der eine periodische Ausgangsspannung des SQUID verstärkt und ein verstärktes Analogsignal ausgibt;
einen AD-Wandler, der das verstärkte Analogsignal in ein Digitalsignal umwandelt;
einen Integrator, der auf der Basis eines Ausgangs des AD-Wandlers Integraldaten erzeugt, die einer Änderungskomponente des magnetischen Flusses von einem vorbestimmten Arbeitspunkt für jede Periode entsprechen, wobei Arbeitspunkte sequentiell auf nächste Arbeitspunkte verschoben werden, wenn der magnetische Fluss Regelbereiche übersteigt, die den Arbeitspunkten entsprechen, und der Integrator geregelt rückgesetzt wird;
einen Änderungsratenzähler, der mit dem Integrator verbunden ist und die Anzahl der Rücksetzungen zählt;
eine Datenmischeinheit, die die Integraldaten und die Daten der Anzahl der Rücksetzungen mischt;...

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Erfassungsvorrichtung für magnetischen Fluss eines Flussregelschleifensystems (flux locked loop system-FLL-system), das einen supraleitenden Ring mit einem Josephson-Kontakt verwendet, d. h., ein supraleitendes Quanteninterferometer (superconducting quantum interference device SQUID).
  • Hintergrundtechnik
  • Ein FLL-System führt im Allgemeinen eine Messung eines Magnetfeldes durch Zuführen eines Rückkoppelstromes an eine Rückkoppelspule durch, die zusätzlich an dem SQUID vorgesehen ist, so dass ein Wert eines ersten definierten Arbeitspunktes aufrecht erhalten wird oder dass eine Änderungsrate eines magnetischen Flusses in einem supraleitenden Ring immer konstant wird. D.h., um ein äußeres Magnetfeld zu eliminieren, wird ein Rückkopplungsstrom zugeführt, so dass ein zu dem äußeren Magnetfeld entgegengesetztes Magnetfeld erzeugt wird, und anschließend eine Änderungsrate des äußeren Magnetfeldes durch eine Stärke dieses Rückkoppelstromes erhalten wird. Durch Verwenden einer FLL-Vorrichtung können Linearitätsdaten abgetastet werden, so dass ein äußerer magnetischer Fluss, der zu messen ist, und eine Ausgangsspannung, die ein Messwert dieses äußeren magnetischen Flusses ist, innerhalb einer proportionalen Beziehung liegen.
  • Für ein derartiges System ist ein Erfassungsverfahren für den magnetischen Fluss vorgeschlagen, das ein so genanntes Digital-FLL-System verwendet. In diesem Digital-FLL-System wird die periodische Eigenschaft der Φ-V-Kennlinie des SQUID verwendet. Eine große Änderungskomponente eines magnetischen Flusses wird durch Zählen der Anzahl periodischer Änderungen in der Φ-V-Kennlinie gemessen und anschließend wird eine kleinere Änderungskomponente des magnetischen Flusses linear gemessen und gemischt. Ein Messteil der SQUID-FLL-Vorrichtung ist unter Verwendung eines AD-Wandlers, eines Digitalintegrators, eines Zählers, eines DA- Regelwandlers und eines Regelmesscomputers primär konfiguriert. Um eine hohe Auflösung und eine hohe Anstiegsrate zu erzielen, existiert in diesem Fall ein Erfordernis an teuren Schaltungskomponenten, die eine große Anzahl Verarbeitungsbits aufweisen und einen Verarbeitungsbetrieb mit einer hohen Geschwindigkeit ermöglichen. Deshalb werden die Schaltungskomponenten in einem Digitalsignalverarbeiter 22 (digital signal processing – DSP) ausgebildet.
  • Bei einem derartigen Digital-FLL-Erfassungsverfahren für einen magnetischen Fluss, das einen Zähler verwendet, werden die Daten des äußeren magnetischen Flusses durch Mischen eines Wertes ausgedrückt, der einen magnetischen Fluss aus der Anzahl der Bits, die auf Daten von dem AD-Wandler basieren, und der Anzahl der Bits ausgedrückt, die die Anzahl der Perioden von dem Zähler ausdrückt.
  • 1 zeigt ein dcSQUID-Magnetometer 10, dass eine Digital-FLL-Technologie verwendet. Ein SQUID 11 stellt zwei Josephson-Kontakte 13 auf halbem Weg eines Ringes 12 bereit, der aus einem supraleitenden Material hergestellt ist, und das SQUID ist durch einen Gleichstrom Ib von einer Gleichstromenergieversorgung (nicht dargestellt) vorgespannt. Anschließend wird eine Spannung (Ausgangsspannung V) zwischen einem Eingang und einem Ausgang dieses Vorspannungsstromes durch einen äußeren magnetischen Fluss Φx verändert, der den Ring 12 des SQUID durchdringt. Die 2(a) und 3(a) zeigen jeweils eine Beziehung zwischen dem äußeren magnetischen Fluss Φx und der Ausgangsspannung V. Die Ausgangsspannung V des SQUID 11 ändert sich periodisch in Übereinstimmung mit einer Änderung des äußeren magnetischen Flusses Φx, der den Ring 12 durchdringt. Die Periode beträgt Φ0, welche ein magnetisches Flussquant ist. Auf diese Weise ändert sich die Ausgangsspannung V periodisch, und somit ist ein Wert des äußeren magnetischen Flusses Φx nicht lediglich durch Messen einer Ausgangsspannung V eindeutig definiert.
  • Deshalb wird, wie in 2(a) gezeigt ist, ein Verfahren zum Ausführen einer Messung verwendet, welches eine periodische Änderung eines magnetischen Flusses von einem beliebigen Messstartpunkt „a0" (allgemein als „Arbeitspunkt" bezeichnet) aus aufweist. Dort wird ein System des Berechnens eines Wertes des äußeren magnetischen Flusses Φx verwendet, der auf der Anzahl „n" der periodischen Änderun gen basiert, die auf dem äußeren magnetischen Fluss und einer Änderungskomponente Φ' des magnetischen Flusses in einer Maximalperiode an basieren. Im Allgemeinen wird jeder Arbeitspunkt definiert als ein Punkt einer Spannung, die zu einer anderen für jede Periode gleich ist. Dieser Arbeitspunkt kann in Übereinstimmung mit der Zweckmäßigkeit eines Datenverarbeitungsbetriebs willkürlich gesetzt werden und muss nicht immer unbedingt V = 0 sein, wie in 2 gezeigt ist.
  • Um Werte zu messen, die der periodischen Eigenschaft und einer Änderungskomponente Φ' entsprechen, wird, wie in 2b gezeigt ist, eine Änderungskomponente ΔV einer Ausgangsspannung erhalten, wobei ΔV einer Änderungskomponente des magnetischen Flusses ΔΦ von einem Arbeitspunkt an einem bestimmten Zeitpunkt entspricht, und anschließend wird die derart erhaltene Änderungskomponente stets zu einer Rückkoppelspule 20 über eine Integratorschaltung rückgeführt. Somit wird ein Messpunkt an dem Arbeitspunkt an fixiert und die Änderung ΔV der Ausgangsspannung, die auf der Änderung ΔΦ des magnetischen Flusses zu dem Zeitpunkt jeder Messung basiert, wird stets konstant. Deshalb kann, wie in 2c gezeigt ist, eine Änderungskomponente der Spannung V', die der Änderungskomponente Φ' des magnetischen Flusses entspricht, als Linearitätsdaten erhalten werden. Wenn dieser Datenwert einen Regelbereich eines Schleifenpunktes übersteigt, verschiebt sich der aktuelle Arbeitspunkt zu einem nächsten Arbeitspunkt und gleichzeitig werden vorhergehende Integraldaten in dem Integrator rückgesetzt.
  • In einem Beispiel der 1 wird eine Ausgangsspannung V des SQUID 11 durch einen Verstärker 14 verstärkt und die somit verstärkte Ausgangsspannung wird in Digitaldaten durch einen AD-Wandler 15 umgewandelt. Die Digitaldaten werden durch einen Digitalintegrator 16 integriert. Wenn ein Integralwert einen Regelbereich von jedem Arbeitspunkt übersteigt, wird der Wert rückgesetzt. In Übereinstimmung mit der Rücksetzungszahl wird durch einen Zähler 17 gemessen, bis zu welcher Periode Daten erhalten wurden. Ein Integralwert jeder Periode wird zu der Rückkoppelspule 20 über einen Spannungs/Strom-Wandler 19, zum Erzeugen eines Rückkoppelstromes „If" rückgeführt, der in Antwort der Kennlinien eines DA-Wandlers 18 und des SQUID 11 definiert ist. Zusätzlich wird hier die Integralwertrücksetzung bei den Arbeitspunkten (a0, a1, a2, ... an) jeder Periode einer Datenmischeinheit 21 zuge führt. Der Rückkoppelstrom „If" wird für jede Periode rückgesetzt und steigt somit nicht auf oder über einen vorbestimmten Wert.
  • Die Datenmischeinheit 21 berechnet einen Wert eines Magnetfeldes, der der rückgesetzten Zahl entspricht, die von dem Zähler 17 gemessen wurde, und einen Wert des Magnetfeldes, der einer Änderungskomponente der Spannung V' entspricht, die von dem Digitalintegrator 16 in einer letzten Periode erhalten wurde, summiert diese Werte und erhält anschließend den Wert des äußeren magnetischen Flusses. Die Steuerung des AD-Wandlers 15, des Digitalintegrators 16, des Zählers 17 und der Datenmischeinheit 21 wird im Allgemeinen durch eine Steuereinheit (nicht dargestellt) der DSP 22 ausgeführt.
  • Zusätzlich wird bei dem Digital-FLL der Regelbereich der Arbeitspunkte als ±1Φ0 der Regelarbeitspunkte (a0, a1, a2, ... an) definiert, wie in 3(b) gezeigt ist. In dem Fall, in dem der magnetische Fluss Φ diesen Bereich übersteigt, wird dann ein Verfahren zum Verschieben eines Arbeitspunktes verwendet, das Aufwärts- und Abwärtsinformationen durch den Zähler 17 speichert und anschließend eine Regelung (Rückkopplung) durchführt. Bei diesem Verfahren wird eine Stabilisierung eines Schwingungsvorgangs eines Regelbereiches durch Verwenden von so genannten Hysterese-Kennlinien versucht, in denen Arbeitspunkt- und Spannungsänderungswege zwischen den Fällen verschieden sind, bei denen ein äußerer magnetischer Fluss ansteigt und abfällt.
  • Dies ist im Nicht-Patent-Dokument 1 von Dietmar Drung „HIGH-Tc and low-Tc dc SQUID electronics" Superconductor Science and Technology, 16 (2003), 1320-1136, offenbart.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Die Digital-FLL-Vorrichtung, wie sie in 1 gezeigt ist, verwendet lediglich einen Zähler 17. In dem Fall, in dem ein Zähler in dem Digital-FLL verwendet wird, ist die Anzahl der Bits durch die Anzahl der Bits der Hardware eingeschränkt, beispielsweise des DSP (im Allgemeinen wird eine Gesamtanzahl von 32 Bits für Zählerbits und Rückkoppelbits verwendet). Deshalb existiert ein Problem, dass eine große Anzahl Bits nicht zugeordnet werden kann. In dem Fall, in dem der Zähler 17 in einem Regelcomputer konfiguriert ist, gibt es zusätzlich ein Erfordernis zum Übertragen von Daten innerhalb einer Verschiebung. Deshalb gibt es ein Problem, dass die Anstiegsrate nicht erhöht werden kann, da eine Einschränkung in Abhängigkeit einer Datenübertragungsgeschwindigkeit vorliegt.
  • Zusätzlich ist die SQUID-Digital-FLL-Vorrichtung aus einem AD-Wandler 15, einem Digitalintegrator 16, einem Zähler 17, einem DA-Wandler 18, einem Regel/Messcomputer 22 und dergleichen zusammengesetzt. Bei dem Digital-FLL bestimmt die Anzahl der Bits eine Auflösung und einen dynamischen Bereich und somit wird ein Aufbau unter Berücksichtigung eines Messobjektes oder eines Umgebungsrauschniveaus vorgenommen. Somit existiert ein Problem, dass, um eine hohe Auflösung, eine hohe Anstiegsrate und einen hohen dynamischen Bereich zu erreichen, unvermeidlich teure Komponenten zu verwenden sind, die in der Lage sind, einen Verarbeitungsbetrieb mit hoher Geschwindigkeit mit einer hohen Bit-Rate auszuführen, oder einen DSP zu verwenden.
  • Die Auflösung des Systems wird bestimmt in Abhängigkeit des Regelbereiches und der Anzahl der Regelbits. In dem Fall, wenn die Anzahl der Bits konstant ist, ist es erforderlich, den Regelbereich einzuengen, um eine Auflösung zu verbessern. Um einen stabilen Betrieb bei einer derartigen Technik zu haben, wird ±1Φ0 (Äquivalent zu zwei Perioden) als ein Regelbereich in Bezug auf jeden Arbeitspunkt definiert, wie es in 3(b) gezeigt ist. Bei dem Digital-FLL kann, wie in 5(a) und 5(b) gezeigt ist, jedoch ±0,5Φ0 prinzipiell als ein Regelbereich definiert werden. ±0,5Φ0 ist gleich 1Φ0 in der Größenordnung (entsprechend einer Periode), wodurch es möglich ist, einen vollständigen Bereich abzudecken. Prinzipiell kann ein FLL-Betrieb durchgeführt werden.
  • In dem Fall, in dem der Regelbereich als ±5Φ0 definiert ist, tritt jedoch eine Arbeitspunktverschiebung aufgrund eines externen Rauschens auf, wie in 5(c) gezeigt ist, oder aufgrund einer Änderung eines Signals an einem Punkt S oder in dessen Nähe auf, an dem ein Arbeitspunkt verschoben ist, wie in 5(b) gezeigt ist. In diesem Fall existiert ein Problem, dass ein stabiler Betrieb nicht herstellbar ist. In einem Schaltungsvorgang zu dem Zeitpunkt einer Arbeitspunktänderung, wie in Figur 5(b) gezeigt ist, existiert ein Erfordernis für ein häufiges Ändern von einem großen positiven Wert zu einem großen negativen Wert, d. h. von einem Maximalwert zu einem Minimalwert. Deshalb wird der Vorgang instabil. Insbesondere existiert ein Problem, dass in einer Umgebung mit hohem Rauschen oder in dem Fall, in dem ein Signal sich häufig in der Nähe eines Änderungspunktes S ändert, eine häufige Arbeitspunktänderung auftritt.
  • In der vorliegenden Erfindung sind zwei oder mehr Zähler vorgesehen, beispielsweise ein Änderungsratenzähler und ein Reproduktionszähler. Dann handhabt ein Änderungsratenzähler innerhalb des Digital-FLL lediglich eine Änderungsrate der Messdaten und ein Reproduktionszähler eines Regelcomputers verarbeitet eine aktuelle Frequenz der Messdaten, d. h. der periodischen Eigenschaft eines Magnetfeldes.
  • Zusätzlich ist der Regelbereich als ±(0,5Φ0 + α) durch Verwenden der periodischen Eigenschaft der SQUID-V-Φ-Kennlinie definiert. Als Ergebnis wird eine hohe Auflösung erzielt und anschließend ist ein Betrieb durch Bereitstellen von Hysterese-Kennlinien stabilisiert.
  • Eine erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung sieht eine Messvorrichtung für magnetischen Fluss vor, die ein Magnetfeld in Übereinstimmung mit einem FLL-System unter Verwendung eines SQUID zum Erzeugen einer Spannung misst, die periodisch mit einer Periode eines magnetischen Flussquants Φ0 auf der Basis eines Anstiegs eines Magnetfeldes schwankt, wobei die Vorrichtung folgendes aufweist:
    einen Verstärker, der eine periodische Ausgangsspannung des SQUID verstärkt und ein verstärktes Analogsignal ausgibt;
    einen AD-Wandler, der das verstärkte Analogsignal in ein Digitalsignal umwandelt;
    einen Integrator, der auf der Basis eines Ausgangs des AD-Wandlers Integraldaten erzeugt, die einer Änderungskomponente des magnetischen Flusses von einem vorbestimmten Arbeitspunkt für jede Periode entsprechen, wobei Arbeitspunkte sequentiell auf nächste Arbeitspunkte verschoben werden, wenn der magnetische Fluss Regelbereiche übersteigt, die den Arbeitspunkten entsprechen, und der Integrator geregelt rückgesetzt wird;
    einen Änderungsratenzähler, der mit dem Integrator verbunden ist und die Anzahl der Rücksetzungen zählt;
    eine Datenmischeinheit, die die Integraldaten und die Daten der Anzahl der Rücksetzungen mischt; und
    eine Datenentmischeinheit, die die gemischten Daten empfängt, die von der Datenmischeinheit über einen vorbestimmten Übertragungskanal übertragen wurden, und die gemischten Daten in die Integraldaten und die Daten der Anzahl der Rücksetzungen entmischt;
    einen reproduzierenden Zähler, der eine Frequenz, die einem zu messenden magnetischen Fluss entspricht, basierend auf den entmischten Daten der Anzahl der Rücksetzungen zählt; und
    eine datenreproduzierende Einheit, die einen Wert des magnetischen Flusses auf der Basis der Daten für den Integrator und der gezählten Frequenz misst.
  • Zusätzlich sind in dieser Messvorrichtung für magnetischen Fluss zumindest der Integrator, der Änderungsratenzähler und die Datenmischeinheit in einem Mikrocomputer ausgebildet und die Datenentmischeinheit, der reproduzierende Zähler und die datenreproduzierende Einheit in einem Regelcomputer ausgebildet. Ferner ist ein Rückkoppelstrom in einem FLL-System in Antwort auf die Rücksetzung des Integrators rückgesetzt.
  • Eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung sieht eine Messvorrichtung für magnetischen Fluss vor, die ein Magnetfeld in Übereinstimmung mit einem FLL-System unter Verwendung eines SQUID zum Erzeugen einer Spannung misst, die periodisch auf der Basis eines Anstiegs eines Magnetfeldes schwankt, wobei die Vorrichtung folgendes aufweist:
    einen Verstärker, der eine periodische Ausgangsspannung des SQUID verstärkt und ein verstärktes Analogsignal ausgibt;
    einen AD-Wandler, der das verstärkte Analogsignal in ein Digitalsignal umwandelt, einen Integrator, der auf der Basis eines Ausgangs des AD-Wandlers Integraldaten erzeugt, die einer Änderungskomponente des magnetischen Flusses von einem vorbestimmten Arbeitspunkt für jede Periode entsprechen, wobei die Arbeitspunkte sequentiell auf nächste Arbeitspunkte verschoben werden, wenn der magnetische Fluss Regelbereiche übersteigt, die den Arbeitspunkten entsprechen, und der Integrator geregelt rückgesetzt wird;
    einen Änderungsratenzähler, der mit dem Integrator verbunden ist und die Anzahl der Rücksetzungen zählt;
    einen reproduzierenden Zähler, der mit dem Änderungsratenzähler verbunden ist und eine Frequenz, die einem zu messenden Magnetfeld entspricht, basierend auf den Daten der Anzahl der Rücksetzungen zählt; und
    eine datenreproduzierende Einheit, die einen Wert des magnetischen Flusses basierend auf den Daten für den Integrator und der gezählten Frequenz misst.
  • Zusätzlich sind in dieser Messvorrichtung für magnetischen Fluss zumindest der Integrator und der Änderungsratenzähler in einem Mikrocomputer ausgebildet und der reproduzierende Zähler und die datenreproduzierende Einheit in einem Regelcomputer ausgebildet. Ferner ist ein Rückkoppelstrom in einem FLL-System in Antwort auf die Rücksetzung des Integrators rückgesetzt.
  • Weiterhin beträgt ein für einen vorbestimmten Arbeitspunkt relevanter Regelbereich für jede Periode ±(0,5Φ0 + α)(mit α kleiner als 0,5), wobei α auf einen Wert größer als das Rauschen in einem zu messenden Magnetfeld gesetzt wird.
  • Derzeit wird in der Praxis kaum ein Digital-FLL-Magnetometer verwendet. Das liegt hauptsächlich daran, weil dieser Magnetometer teuer ist. Bei der vorliegenden Erfindung kann durch die Verwendung von zwei oder mehr Zählern eine hohe Güte eines SQUID-Magnetometers unter Verwendung eines stabilen Mikrocomputers mit wenig Bits erzielt werden. Zusätzlich kann eine hohe Auflösung durch Einengung des Regelbereichs erzielt werden. In diesem Fall wird ein Änderungspunkt eines Arbeitspunktes als ±(0,5Φ0 + α) definiert, wodurch Hysterese-Kennlinien bereitgestellt werden. Bei einer Signalvariation nahe einer Arbeitspunktänderung tritt außerdem nur eine Änderung des Arbeitspunktes auf. Sogar in dem Fall, dass das Rauschniveau hoch ist, kann ein stabiler Betrieb erfolgreich hergestellt werden.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist ein Schaltdiagramm eines dcSQUID-Magnetometers, das zur Verwendung einer Digita-FLL-Technologie konfiguriert ist.
  • 2 zeigt eine Beziehung zwischen einem äußeren magnetischen Fluss und einer Ausgangsspannung im SQUID und sie zeigt den Inhalt eines Integrationsprozesses an einem Arbeitspunkt.
  • 3 zeigt einen Bewegungszustand eines Regelbereiches an jedem Arbeitspunkt in einer Digital-FLL-Technik.
  • 4 zeigt ein Schaltdiagramm eines SQUID-Magnetometers in einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 5 zeigt einen Verschiebungszustand eines Regelbereiches an jedem Arbeitspunkt mit Hysterese-Kennlinien in der vorliegenden Erfindung.
  • 6 ist ein Schaltdiagramm eines SQUID-Magnetometers in einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • Beste Weise zur Ausführung der Erfindung:
  • Nachfolgend werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung detailliert unter Bezug auf spezifische Beispiele beschrieben, die in den beigefügten Zeichnungen gezeigt sind. Eine Ausführungsform in Bezug auf die vorliegende Erfindung wird unten beschrieben. Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein allgemeines Prinzip zu verstehen. Deshalb ist die vorliegende Erfindung nicht nur auf eine Konfiguration eingeschränkt, die spezifisch in der Ausführungsform beschrieben ist.
  • 4 zeigt ein dcSQUID-Magnetometer 30 in Übereinstimmung mit einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Wie in 4 gezeigt ist, weist ein SQUID 31 einen Aufbau auf, in dem zwei Josephson-Kontakte auf halbem Weg eines Rings 32 vorgesehen sind, der aus einem supraleitenden Material hergestellt ist. In dem Fall, dass das SQUID ein hochtemperatur-supraleitendes Material verwendet, ist beispielsweise eine typische supraleitende Schleife mit einer Dicke gleich oder geringer als 1 μm ausgebildet, beispielsweise mit einer dünnen Schicht von 0,2 μm. Zusätzlich sind zwei in einer supraleitenden Weise schwache Kontakte, von denen jede beispielsweise eine Breite von 3 μm aufweist, d. h. Josephson-Kontakte 33 vor gesehen. Im Allgemeinen ist das SQUID 31 durch einen Gleichstrom Ib von einer Gleichstrom-Energieversorgung (nicht gezeigt) vorgespannt. In einem derartigen SQUID 31 ändert sich eine Spannung (Ausgangsspannung V) zwischen einer Eingangseinheit und einer Ausgangseinheit eines Vorspannungsstromes aufgrund eines äußeren magnetischen Flusses ΦX, der den Ring 32 des SQUID durchdringt.
  • Ein Ausgang des SQUID 31 ist mit einem Verstärker 34 verbunden und ein Ausgang des Verstärkers ist mit einem AD-Wandler 35 verbunden. Eine Ausgangsspannung V des SQUID 31, die auf dem äußeren magnetischen Fluss basiert, wird durch den Verstärker 34 auf eine geeignete Größe verstärkt, und anschließend wird durch den AD-Wandler 35, der mit dem Ausgang des Verstärkers 34 verbunden ist, eine Umwandlung in digitale Daten durchgeführt.
  • In einer Ausführungsform der 4 kann die Auflösung des AD-Wandlers 35, d. h. die Anzahl der Arbeitsbits eine vergleichsweise geringe Zahl aufweisen, beispielsweise kann sie etwa 10 Bits betragen. Dies ist so, da eine Differenz zwischen dem äußeren magnetischen Fluss ΦX und einem Eliminierungsfluss von einer Rückkoppelspule 40 auftritt. Dies ist nämlich so, da nur eine Änderungsrate AD-gewandelt wird.
  • Ein Ausgang des AD-Wandlers 35 ist mit einem Digitalintegrator 36 verbunden und der Digitalintegrator 36 ist mit einem Änderungsratenzähler 37, einem DA-Wandler 38, der eine Rückkoppelschaltung konfiguriert, und einer Datenmischeinheit 41 verbunden. Der AD-Wandler 35, der Digitalintegrator 36, der Änderungsratenzähler 37 und die Datenmischeinheit 41 können unter Verwendung eines Mikrocomputers 42 ausgebildet werden, ohne auf dieses Verfahren beschränkt zu sein. Beispielsweise können in einem Mikrocomputer 42 diese Elemente in 16 Bits verarbeitet werden. Als ein weiteres Beispiel können zusätzlich der Digitalintegrator 36, der Änderungsratenzähler 37 und die Datenmischeinheit 41 in dem Mikrocomputer 42 ausgebildet sein und der AD-Wandler 35 kann extern vorgesehen werden. Als Mikrocomputer 42 kann ein so genannter Einchipmikrocomputer verwendet werden.
  • Der Digitalintegrator 36 integriert eine Ausgangsspannung ΔV, die einer magnetische Flussänderung ΔΦ in dem Regelbereich eines Arbeitspunktes (a0, a1, a2, ...) ent spricht, die beispielsweise in 3 gezeigt sind. Wie beispielsweise in 2(b) gezeigt ist, integriert der Digitalintegrator 36 eine Änderungskomponente ΔV einer Ausgangsspannung, die einer magnetischen Flussänderungskomponente ΔΦ von einem Arbeitspunkt „an" entspricht, und führt anschließend stets seinen Ausgang an die Rückkoppelspule 40 über den DA-Wandler 38 und einen Spannungs/Strom-Wandler 39 zurück. Somit wird ein mikroskopischer Messpunkt an dem Arbeitspunkt an nacheinander fixiert und eine Änderung ΔV einer Ausgangsspannung, die auf einer Änderung ΔΦ eines magnetischen Flusses zum Zeitpunkt jeder Messung basiert, wird immer konstant. Deshalb werden durch Ausführen der Integration unter Verwendung des Digitalintegrators 36 lineare Ausgangsdaten erhalten, die für eine Änderung des magnetischen Flusses Φ in jedem Regelbereich relevant sind. Wenn der Digitalintegrator 35 den Regelbereich eines bestimmten Arbeitspunktes (beispielsweise a0 in 3(b)) übersteigt, an dem eine Integration durchgeführt wurde, wird ein Integralwert rückgesetzt und der aktuelle Arbeitspunkt wird zu einem nächsten Arbeitspunkt verschoben (beispielsweise a1 in 3(b)).
  • Die Stromrückkoppelmenge an das SQUID 31 wird durch Integrieren einer Änderungskomponente der Spannung ΔV unter Verwendung des Digitalintegrators 36 wie vorstehend beschrieben bestimmt. Ein Integralwert, der von dem Digitalintegrator 36 ausgegeben wurde, wird durch den DA-Wandler 38 in einen analogen Wert umgewandelt. Anschließend wird der analog umgewandelte Integralwert an den Spannungs/Strom-Wandler 39 gesendet. Der Spannungs-Strom-Wandler 39 ist als ein Wandler zum Erzeugen eines vorbestimmten Rückkoppelstromes „If" vorgesehen, der auf einer gemessenen Spannung (vorstehender Analogwert) basiert, der durch eine Änderung eines äußeren Magnetfeldes bewirkt ist. Der vorbestimmte Rückkoppelstrom „If" wird zugeführt, um ein Magnetfeld zu erzeugen, so dass die magnetischen Flussänderungen der Arbeitspunkte jeweils eliminiert werden. Ein Wert des Rückkoppelstromwertes „If" wird durch den Mikrocomputer 42 bestimmt, beispielsweise unter Berücksichtigung der Form oder Anordnung und der Kopplungsrate des Ringes 32 oder der Rückkoppelspule 40.
  • Bei der vorliegenden Ausführungsform bestimmt die Anzahl der Bits des Integrators 36 die Auflösung des SQUID-Magnetometers 30. Unter Bezug auf den DA-Wandler 38 kann ein Gesamtpreis davon durch Verwenden einer Vielzahl preiswerter DA- Wandler mit einer geringen Anzahl an Bits (durch Verwenden von beispielsweise zwei parallelen 8-Bit DA-Wandlern) reduziert werden.
  • Der Digitalintegrator 36 ist mit dem Änderungsratenzähler 37 und dem DA-Wandler 38 verbunden. Der Digitalintegrator 36 sendet einen Integralwert an den DA-Wandler 38 und an die Datenmischeinheit 41, der einer magnetischen Flussänderung in dem Regelbereich entspricht, wie in den 3(b) und 5(d) gezeigt ist und nachfolgend beschrieben wird. In dem Fall, dass der Regelbereich überstiegen wurde, der für einen Arbeitspunkt relevant ist, an dem ein magnetischer Fluss Φ aktiv ist, führt der Mikrocomputer 42 eine Regelung aus, so dass der Regelbereich eines Arbeitspunktes a0 zu dem nächsten Regelbereich eines Arbeitspunktes a1 in Übereinstimmung mit einer periodischen Eigenschaft der Φ-V-Kennlinie verschoben wird, wie in 3(a) gezeigt ist. Durch ein derartiges Verschieben kann der Rückkoppelstrom „If" gleich oder kleiner als ein vorbestimmter Wert gehalten werden. Das Verschieben wird in Übereinstimmung mit einem Befehl von einer Steuereinheit (nicht gezeigt) in dem Mikrocomputer 42 ausgeführt und anschließend zählt der Änderungsratenzähler 37 die Anzahl der Verschiebungen.
  • Ein Betrieb einer Rückkoppelschaltung von dem Digitalintegrator 36 zu der Rückkoppelspule 40 über den DA-Wandler 38 wird bei einer hohen Geschwindigkeit ausgeführt. Im Gegensatz dazu wird eine Datenübertragung zu einem Regelcomputer 50, der später beschrieben wird, bei einer niedrigen Geschwindigkeit von beispielsweise etwa 1 kHz ausgeführt, die eine Abtastrate ist, die zur Messung eines magnetischen Flusses erforderlich ist. Deshalb zählt der Änderungsratenzähler 37 die Anzahl der Verschiebungen, die durch eine magnetische Flussänderung verursacht sind, bis zur nächsten Datenübertragung und hält seine Änderungsrate fest.
  • Auf diese Weise dient der Änderungsratenzähler 37 zum Zählen, wie viele Verschiebungen auftraten, d. h. wie weit ein Arbeitspunkt (a0, a1, a2, ... in 5(a)) verschoben wurde, während Daten an den Regelcomputer 50 übertragen wurden, der folgt. Wenn Daten an den Regelcomputer 50 übertragen werden, wird der Änderungsratenzähler 37 auf Null rückgesetzt. Die Datenmischeinheit 41 erzeugt ein Übertragungssignal durch Kombinieren der Anzahl der vorstehenden Verschiebungen, die durch den Änderungsratenzähler 37 gemessen wurden, und einem Integralwert des Integrators 36. Ein Verarbeitungsvorgang von dem SQUID 31 zu dem Integrator 36 wird mit einer hohen Geschwindigkeit unabhängig von einer Datenübertragung durchgeführt, die folgt, und eine Verarbeitungsgeschwindigkeit kann gesteigert werden. Die Steuerung des AD-Wandlers 35, des Digitalintegrators 36, des Änderungsratenzählers 37 und der Datenmischeinheit 41 wird durch eine Steuereinheit (nicht gezeigt) in dem Mikrocomputer 42 ausgeführt.
  • Bei einer Zeitsteuerung der Datenkommunikation des Übertragungskanals 51 wird ein Übertragungssignal, das von der Datenmischeinheit 41 mit Daten für den Integrator 36 und mit Daten für den Änderungsratenzähler 37 ausgegeben wurde, an den Regelcomputer 50 übertragen. Als Regelcomputer 50 kann ein Terminal verwendet werden, das mit einer allgemeinen Steuereinheit, einer logischen Rechnereinheit, einer Informationsspeichereinheit, einer Anzeigeeinheit, einer Tastatur, die als Eingabeeinheit (nicht gezeigt) dient, und dergleichen ausgerüstet ist, beispielsweise ein kommerziell erhältlicher Personalcomputer und dergleichen. In einem allgemeinen Messsystem ist die Datenübertragungsgeschwindigkeit der bedeutendste Grund, der eine Systemverarbeitungsgeschwindigkeit reduziert. Um dieses Problem zu lösen, werden in der vorliegenden Erfindung zwei Zähler 37 und 43 verwendet, um einen Änderungsraten-Datenverarbeitungsbetrieb und einen Datenverarbeitungsbetrieb aufzuteilen, der relevant für einen aktuellen magnetischen Fluss ist.
  • In dem Regelcomputer 50 werden Messdaten für einen aktuellen magnetischen Fluss erzeugt, die auf Daten für den Integrator 36 und Daten für den Änderungsratenzähler 37 gemäß der empfangenen Daten basieren. Sogar in dem Fall, in dem ein zurzeit kommerziell erhältlicher, allgemein zweckdienlicher Personalcomputer in Übereinstimmung mit einem derartigen Verfahren verwendet wird, kann ein sehr großer dynamischer Bereich erzielt werden.
  • Die Datenmischeinheit 41 bildet ein Übertragungssignal durch Kombinieren einer Änderungsrate eines Arbeitspunktes von dem Änderungsratenzähler 37 und einem Integralwert von dem Integrator 36 und gibt anschließend das Übertragungssignal an einen Datenkommunikationskanal 51 aus.
  • Eine Datenentmischeinheit 52 entmischt die übertragenen Daten in die Daten für den Änderungsratenzähler 37 und die Daten von dem Integrator 36; sendet die Daten für den Änderungsratenzähler 37 zu einem reproduzierenden Zähler 53; und sendet die Daten für den Integrator 36 zu einem Integratordatenteil 54. Obwohl 32 Bits als eine Variable verwendet werden, kann eine Vielzahl von 32-Bit-Variablen in einem Programm verwendet werden (100 oder mehr Variable können einfach verwendet werden) und somit sind diese Variablen in der Praxis gleich unendlich. Zusätzlich können bei 64 Bits, die zwei 32-Bit-Variablen in der Praxis verwenden, der Bereich von 1000T (Wb/m2) gemessen werden (ein Variablenkoeffizient des SQUID ist äquivalent zu InT pro 1Φ0).
  • Eine Speichereinheit 55 ist in dem reproduzierenden Zähler 53 vorgesehen und alle Daten für den Änderungsratenzähler 37 von dem Beginn der Messung an und die nachfolgenden sind darin gespeichert. Anschließend summiert der reproduzierende Zähler 53 die Daten für den Änderungsratenzähler 37, die von dem Mikrocomputer 42 gesendet wurden. Diese Wandlungswertdaten entsprechen der Anzahl der Zeitpunkte, an dem ein Arbeitspunkt passiert wurde und somit entsprechen sie einem so genannten signifikanten Bit der Daten für den aktuellen magnetischen Fluss Φ, der erhalten wurde, nachdem die Messung begann.
  • Der Integratordatenanteil 54 speichert einen entmischten Integralwert des Integrators 36, d.h. Integralwertdaten, die einem Wert eines magnetischen Flusses von einem letzten Arbeitspunkt an entsprechen. Dieser Wert entspricht dem letzten signifikanten Bit zum Ausdrücken der Daten für den aktuellen magnetischen Fluss. Die vorstehenden zwei Elemente der Daten sind miteinander in einem Datenmischer 56 vermischt und ein aktueller magnetischer Flusswert wird in einer datenreproduzierenden Einheit 57 berechnet.
  • Speziell ist beispielsweise der Integrator 36 mit 16 oder mehr Bits ausgebildet, der Änderungsratenzähler 37 mit 8 Bits ausgebildet und der reproduzierende Zähler mit 32 Bits oder mit 64 Bits ausgebildet.
  • Dieses Verfahren ist dadurch ausgezeichnet, dass ein Stromrückkoppelvorgang für einen FLL-Betrieb unabhängig von einer Datenübertragung über den Übertragungs kanal 51 ausgeführt wird. Der Änderungsratenzähler 37 ist unabhängig von dem reproduzierenden Zähler 53 vorgesehen, wodurch es möglich ist, ein Herabsetzen der Verarbeitungsgeschwindigkeit des FLL-Rückkoppelprozesses, das durch niedrige Datenübertragungsgeschwindigkeiten verursacht wird, verglichen mit einem FLL-Betrieb zu vermeiden, und es wird eine hohe Rückkoppelgeschwindigkeit erhalten. Durch Verwenden des reproduzierenden Zählers 53 des Regelcomputers 50 kann eine viel größere Anzahl Bits verglichen mit der Verwendung nur eines Zählers in einer digitalen FLL verwendet werden und ein dynamischer Bereich kann wesentlich erweitert werden. Deshalb kann ein Datenverarbeitungsbetrieb mit einer hohen Geschwindigkeit und eine Verbesserung des dynamischen Bereichs erzielt werden.
  • Zusätzlich kann in einem System der vorliegenden Erfindung ein AD-Wandler und ein Zähler unter Verwendung eines preiswerten Mikrocomputers konfiguriert werden und ein Regelcomputer wird als ein zweiter Zähler verwendet, so dass es möglich ist, ein gesamtes System preiswert ohne höhere Kosten bereitzustellen.
  • Im Folgenden wird eine Beschreibung in Bezug auf eine Verbesserung der Auflösung in diesem Messsystem gegeben. Die Auflösung des Systems ist in Abhängigkeit des Regelbereiches und der Anzahl der Bits zur Regelung bestimmt. Es ist notwendig, den Regelbereich einzuengen, um die Auflösung in dem Fall zu verbessern, in dem die Anzahl der Bits konstant ist.
  • Um einen stabilen Betrieb auszuführen, ist üblicherweise ±1Φ0 (entsprechend zwei Perioden) als ein Regelbereich in Bezug zu jedem Arbeitspunkt definiert, wie in 3(b) gezeigt ist. In dem Digital-FLL, wie in den 5(a) und 5(b) gezeigt ist, kann der gesamte Messbereich jedoch prinzipiell durch Definieren von ±0,5Φ0 als Regelbereich abgedeckt werden. Das bedeutet, ±0,5Φ0 ist gleich zu 1Φ0 in der Größe (entsprechend einer Periode), und somit kann der vollständige Bereich abgedeckt und prinzipiell der FLL-Betrieb durchgeführt werden.
  • Es existiert allerdings ein Problem, dass in dem Fall, in dem ±0,5Φ0 als der Regelbereich definiert ist, eine Arbeitspunktverschiebung aufgrund eines externen Rauschens, wie in der 5(c) gezeigt ist, oder einer Änderung eines Signals an einem Punkt S oder in dessen Nähe auftreten kann, an dem ein Arbeitspunkt, wie in Figur 5(b) gezeigt ist, zu dem nächsten Punkt verschoben ist, wodurch ein stabiler Betrieb behindert wird. Unter Bezug auf einen Schaltungsbetrieb zu dem Zeitpunkt einer Arbeitspunktänderung ist es erforderlich, einen großen positiven Wert in einem großen negativen Wert zu ändern, d. h. einen Maximalwert zu einem Minimalwert, wie in 5(b) gezeigt ist. Wenn diese Änderung häufig auftritt, wird ein Betrieb instabil. In einer rauschenden Umgebung oder in dem Fall, in dem ein Signal sich häufig in der Nähe eines Änderungspunktes eines Arbeitspunktes ändert, tritt eine häufige Änderung eines Arbeitspunktes auf.
  • Um eine derartige Situation zu vermeiden, wird, wie in 5(d) gezeigt ist, ein Bearbeitungsbereich als ±0,6Φ0 durch Vorsehen eines Spielraumes α von weniger als 0,5Φ0, beispielsweise 0,1Φ, bis ±0,5Φ0 definiert und Hysterese-Kennlinien zum Stabilisieren eines Betriebs können vorgesehen sein. Es wurde herausgefunden, dass eine häufige Arbeitspunktverschiebung durch Addieren eines derartigen Spielraumes α verhindert werden kann. Obwohl es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, die Auflösung zu erhöhen, kann ein stabiler Betrieb auch in dem Fall erhalten werden, indem der Regelbereich auf ±(0,5Φ0 + α) durch eine Verwendung derartiger Hysterese-Kennlinien eingeengt ist.
  • In diesem Fall integriert der Integrator 36 die von dem AD-Wandler 35 Abgewandelten Daten. Nur in dem Fall, wenn ±(0,5Φ0 + α) überstiegen wird, wird anschließend die Information an den Änderungsratenzähler 37 gesendet und der Integralwert rückgesetzt. Ein integrierter Wert (Daten) wird stets an den DA-Wandler 38 gesendet. Die Rückkoppelspule 40 erzeugt ein Rückkoppelmagnetfeld, das auf diesem Wert basiert und fixiert das Magnetfeld in dem SQUID 31 an einem Arbeitspunkt. In dem Fall, wenn ±(0,5Φ0 + α) überstiegen wird, wird der Integrator 36 rückgesetzt und anschließend wird nach der Rücksetzung ein Wert an den DA-Wandler 38 gesendet.
  • Auf diese Weise wird in dem Fall des Verwendens der periodischen Eigenschaften der V-Φ-Kennlinien des SQUID 31 eine hohe Auflösung erzielt und ein Betrieb kann verglichen mit vergangenen Regelbereichen (±1Φ0) stabilisiert werden, in Übereinstimmung mit einem Verfahren zum Addieren des Spielraumes α zu einer Periode des Regelbereiches, um den Bereich ±(0,5Φ0 + α) zu bilden, wodurch Hysterese- Kennlinien bereitgestellt werden. Der Regelbereich wird in Übereinstimmung mit einem Programm des Mikrocomputers 42 spezifiziert.
  • Ein dcSQUID-Magnetometer 60 gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird unter Bezug auf die 6 beschrieben. Ein SQUID 31, ein Ring 32, ein Josephson-Kontakt 33, ein Verstärker 34, ein AD-Wandler 35, ein Digitalintegrator 36, ein DA-Wandler 38, ein Spannungs/Strom-Wandler 39, eine Rückkoppelspule 40 und eine Datenmischeinheit 56 und eine datenreproduzierende Einheit 57, die eine FLL-Einheit bilden, werden durch gleiche Bezugszeichen bezeichnet, da diese Elemente identisch mit denen in dem Fall der ersten Ausführungsform sind.
  • Obwohl der Inhalt eines Integrationsvorgangs des Integrators 36 in einem Mikrocomputer 62 identisch zu dem in dem Fall der ersten Ausführungsform ist, wird dessen Ausgabe direkt zum Zeitpunkt einer Abtastung an einen Integratordatenanteil 65 in einem Regelcomputer 64 über einen Übertragungskanal 63 eingegeben. Obwohl der Verarbeitungsinhalt eines Änderungsratenzählers 66 ebenfalls identisch zu dem in dem Fall der ersten Ausführungsform ist, wird dessen Ausgabe an eine Aufnahmeeinheit 69 eines reproduzierenden Zählers 68 in dem Regelcomputer 64 zu einem Zeitpunkt des Abtastens über einen Übertragungskanal 67 eingegeben. Der reproduzierende Zähler 68 reproduziert Daten in Übereinstimmung mit der Anzahl der Perioden in einem zu messenden magnetischen Fluss. Die beiden vorstehenden Elemente der Daten werden in der Datenmischeinheit 56 zu diesem Zeitpunkt gemischt und anschließend wird ein aktueller magnetischer Flusswert in der datenreproduzierenden Einheit 57 berechnet. Als ein Regelcomputer 64 kann ein Terminal ähnlich zu dem Regelcomputer gemäß der ersten Ausführungsform verwendet werden, beispielsweise ein kommerziell erhältlicher Personalcomputer oder dergleichen.
  • Auch wenn ein Arbeitspunkt an einer Position zum Bestimmen, wie viel äußeres Magnetfeld zu messen ist, um den Arbeitspunkt zu verschieben, verändert wird, kann ein korrektes Messen des Magnetfeldes durch Zählen der Anzahl der Änderungen an dem Arbeitspunkt erhalten werden. Zusätzlich kann ein dynamischer Bereich ohne Verringern der Messauflösung erweitert werden. In Übereinstimmung mit einem der artigen Verfahren kann ein dynamischer Bereich ohne Steigern eines dynamischen Stromwertes beachtlich erweitert werden.
  • Industrielle Anwendbarkeit
  • Ein Digital-FLL gemäß der vorliegenden Erfindung arbeitet stabil auch in einer Umgebung, die keinen Raum mit Magnetschild aufweist, oder in einem ferromagnetischen Raum, beispielsweise ein MRI (Magnetic Resonace Imaging). Somit ist die Einschränkung auf Seiten einer Installation eines SQUID-Magnetometers eliminiert und die Anwendbarkeit eines Hochauflösungsmagnetometers ist deutlich erweitert. Zusätzlich kann dieses Digital-FLL auch bei einer MRI-Technik unter Verwendung des SQUID-Magnetometers angewendet werden.
  • Obwohl die Ausführungsform der vorliegenden Erfindung mittels erläuternder Beispiele beschrieben wurde, ist es klar, dass verschiedene Modifikationen ohne Verlassen des technischen Umfangs der vorliegenden Erfindung auftreten können.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die vorstehend beschriebenen Ausführungsformen beschränkt. Bei der Verkörperung kann die vorliegende Erfindung ohne Verlassen des Erfindungsgedankens verschieden modifiziert werden.
  • Zusammenfassung
  • In einem SQUID-Magnetometer werden eine hohe Auflösung, eine hohe Anstiegsrate und ein hoher dynamischer Bereich ohne Verwendung teurer Schaltungskomponenten erzielt, das eine große Anzahl Verarbeitungsbits aufweist und einen Verarbeitungsbetrieb mit hoher Geschwindigkeit ermöglicht.
  • Eine Digital-FLL-Schaltung ist vorgesehen, die ein Doppelzählersystem verwendet. Die Schaltung verwendet zwei oder mehr Zähler, beispielsweise einen Änderungsbereichszähler (37) in einem Digital-FLL zum Ausführen eines Verarbeitungsvorganges mit einer hohen Geschwindigkeit und einem reproduzierenden Zähler (53) in einem Regel/Messcomputer. Zusätzlich werden in der vorliegenden Erfindung Hysterese-Kennlinien mit einem positiven Spielraum von 1Φ0 verwendet. Das heißt, eine Änderung eines Zustandes eines magnetischen Flusses wird durch einen Zähler gezählt. Zum Zeitpunkt dieser Änderung wird eine Regelung vorgenommen, um einen unterschiedlichen Kanal zwischen den Fällen zu verfolgen, in denen ein magnetischer Fluss ansteigt und abfällt, wodurch die Regelung stabilisiert wird.

Claims (8)

  1. Messvorrichtung für magnetischen Fluss, die ein Magnetfeld in Übereinstimmung mit einem FLL-System unter Verwendung eines SQUID zum Erzeugen einer Spannung misst, die periodisch mit einer Periode eines magnetischen Flussquants Φ0 auf der Basis eines Anstiegs eines Magnetfeldes schwankt, wobei die Vorrichtung folgendes aufweist: einen Verstärker, der eine periodische Ausgangsspannung des SQUID verstärkt und ein verstärktes Analogsignal ausgibt; einen AD-Wandler, der das verstärkte Analogsignal in ein Digitalsignal umwandelt; einen Integrator, der auf der Basis eines Ausgangs des AD-Wandlers Integraldaten erzeugt, die einer Änderungskomponente des magnetischen Flusses von einem vorbestimmten Arbeitspunkt für jede Periode entsprechen, wobei Arbeitspunkte sequentiell auf nächste Arbeitspunkte verschoben werden, wenn der magnetische Fluss Regelbereiche übersteigt, die den Arbeitspunkten entsprechen, und der Integrator geregelt rückgesetzt wird; einen Änderungsratenzähler, der mit dem Integrator verbunden ist und die Anzahl der Rücksetzungen zählt; eine Datenmischeinheit, die die Integraldaten und die Daten der Anzahl der Rücksetzungen mischt; und eine Datenentmischeinheit, die die gemischten Daten empfängt, die von der Datenmischeinheit über einen vorbestimmten Übertragungskanal übertragen wurden, und die gemischten Daten in die Integraldaten und die Daten der Anzahl der Rücksetzungen entmischt; einen reproduzierenden Zähler, der eine Frequenz, die einem zu messenden magnetischen Fluss entspricht, basierend auf den entmischten Daten der Anzahl der Rücksetzungen zählt; und eine datenreproduzierende Einheit, die einen Wert des magnetischen Flusses auf der Basis der Daten für den Integrator und der gezählten Frequenz misst.
  2. Messvorrichtung für magnetischen Fluss nach Anspruch 1, bei der zumindest der Integrator, der Änderungsratenzähler und die Datenmischeinheit in einem Mikrocomputer ausgebildet sind, und die Datenentmischeinheit, der reproduzierende Zähler und die datenreproduzierende Einheit in einem Regelcomputer ausgebildet sind.
  3. Messvorrichtung für magnetischen Fluss nach Anspruch 1, bei der ein Rückkoppelstrom in einem FLL-System in Antwort auf die Rücksetzung des Integrators rückgesetzt ist.
  4. Messvorrichtung für magnetischen Fluss, die ein Magnetfeld in Übereinstimmung mit einem FLL-System unter Verwendung eines SQUID zum Erzeugen einer Spannung misst, die periodisch auf der Basis eines Anstiegs eines Magnetfeldes schwankt, wobei die Vorrichtung folgendes aufweist: einen Verstärker, der eine periodische Ausgangsspannung des SQUID verstärkt und ein verstärktes Analogsignal ausgibt; einen AD-Wandler, der das verstärkte Analogsignal in ein Digitalsignal umwandelt, einen Integrator, der auf der Basis eines Ausgangs des AD-Wandlers Integraldaten erzeugt, die einer Änderungskomponente des magnetischen Flusses von einem vorbestimmten Arbeitspunkt für jede Periode entsprechen, wobei die Arbeitspunkte sequentiell auf nächste Arbeitspunkte verschoben werden, wenn der magnetische Fluss Regelbereiche übersteigt, die den Arbeitspunkten entsprechen, und der Integrator geregelt rückgesetzt wird; einen Änderungsratenzähler, der mit dem Integrator verbunden ist und die Anzahl der Rücksetzungen zählt; einen reproduzierenden Zähler, der mit dem Änderungsratenzähler verbunden ist und eine Frequenz, die einem zu messenden Magnetfeld entspricht, basierend auf den Daten der Anzahl der Rücksetzungen zählt; und eine datenreproduzierende Einheit, die einen Wert des magnetischen Flusses basierend auf den Daten für den Integrator und der gezählten Frequenz misst.
  5. Messvorrichtung für magnetischen Fluss nach Anspruch 4, bei der zumindest der Integrator und der Änderungsratenzähler in einem Mikrocomputer ausgebildet sind, und der reproduzierende Zähler und die datenreproduzierende Einheit in einem Regelcomputer ausgebildet sind.
  6. Messvorrichtung für magnetischen Fluss nach Anspruch 4, bei der ein Rückkoppelstrom in einem FLL-System in Antwort auf die Rücksetzung des Integrators rückgesetzt ist.
  7. Messvorrichtung für magnetischen Fluss nach einem der vorstehenden Ansprüche 1 bis 6, bei der ein für einen vorbestimmten Arbeitspunkt relevanter Regelbereich für jede Periode ±(0,5Φ0 + α) beträgt, wobei α kleiner als 0,5 ist.
  8. Magnetflussmessvorrichtung nach Anspruch 7, bei der ein für einen vorbestimmten Arbeitspunkt relevanter Regelbereich für jede Periode ±(0,5Φ0 + α) beträgt, wobei α auf einen Wert größer als das Rauschen in einem zu messenden Magnetfeld gesetzt wird.
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