-
Querverweis zu verwandten
Anmeldungen
-
Diese
Anmeldung beansprucht die Wirkung der am 9. Juni 2006 eingereichten
vorläufigen US-Anmeldung Nr. 60/812,150.
-
Hintergrund der Erfindung
-
Die
vorliegende Erfindung betrifft Messfühlermesssysteme zum
Testen integrierter Schaltungen und anderer mikroelektronischer
Vorrichtungen und insbesondere Messfühlermesssysteme, die
differentielle Signale zum Testen von Schaltkreisen und Vorrichtungen
verwenden.
-
Integrierte
Schaltkreise (ICs; engl.: Integrated circuits) und andere mikroelektronische
Vorrichtungen werden auf der Oberfläche einer Halbleiterscheibe
(engl.: wafer) oder einem Substrat hergestellt und verwenden üblicherweise
asymmetrische bzw. einpolig geerdete (engl.: single-ended) oder
auf Masse bezogene Signale, die auf eine Masseebene an der unteren
Oberfläche des Substrats bezogen sind, auf dem die aktiven
und passiven Vorrichtungen des Schaltkreises hergestellt sind. Als
ein Ergebnis des physikalischen Aufbaus der Vorrichtungen einer integrierten
Schaltung existieren zwischen vielen der Teile der einzelnen Vorrichtungen
und zwischen Teilen der Vorrichtungen und der Halbleiterscheibe,
auf welcher die Vorrichtungen hergestellt sind, parasitäre Verbindungen.
Diese Verbindungen sind üblicherweise kapazitiver und/oder
induktiver Natur und weisen frequenzabhängige Impedanzen
auf. Zum Beispiel sind typischerweise die Anschlüsse von
auf halbleitenden Substraten oder Halbleiterscheiben hergestellten
Transistoren durch das Substrat kapazitiv mit der Masseebene verbunden
und bei höheren Frequenzen werden das Massepotential und
die wahre Natur von auf Masse bezogenen Signalen unsicher. Differentielle
Signale verwendende symmetrische Vorrichtungen sind schlechter Hochfrequenz(HF)-Erdung
gegenüber toleranter als asymmetrische (engl: single-ended,
deutsch auch: einpolig geerdete) Vorrichtungen, was sie zunehmend
attraktiv macht, da ICs bei höheren und höheren
Frequenzen betrieben werden.
-
Bezugnehmend
auf 1 ist eine differentielle Verstärkerzelle 20 eine
symmetrische Vorrichtung mit zwei nominell identischen Schaltkreishälften 20A, 20B.
Wenn sie mit Gleichstrom vorgespannt ist, z. B. mit einem von einer
Gleichstrom(DC; engl.: direct current)-Quelle 22 stammenden
Strom, und mit einem Signal im differentiellen Modus angeregt wird, das
Takt- und Gegentaktmoduskomponenten (engl.: even and odd mode components)
gleicher Amplitude und entgegengesetzter Phase aufweist (Si +1 und Si –1), wird
an der symmetrischen Achse 26 der zwei Schaltkreishälften
eine virtuelle Masse erzeugt. An der virtuellen Masse ändert
sich das Potential bei der Betriebsfrequenz unabhängig
von der Amplitude des anregenden Signals nicht über die
Zeit. Die Qualität der virtuellen Masse einer symmetrischen
Vorrichtung ist unabhängig von dem physikalischen Massepfad,
was symmetrische oder differentielle Schaltkreise in die Lage versetzt,
eine schlechte HF-Erdung besser als Schaltkreise zu tolerieren,
die mit asymmetrischen Signalen betrieben werden. Darüber
hinaus stellen die zweikomponentigen Wellenformen des differentiellen
Ausgabesignals (So +1 und
So –1) gegenseitige
Referenzen dar, was es digitalen Vorrichtungen ermöglicht,
schneller zu arbeiten, mit einer größeren Sicherheit
beim Übergehen von einem Binärwert zu dem anderen
und mit einer verringerten Spannungsschwankung für das
Signal. Darüber hinaus weisen symmetrische oder differentielle
Schaltkreise eine gute Immunität gegen Rauschen von externen
Quellen wie etwa benachbarten Leitern auf, da Rauschen dazu neigt,
elektrisch und elektromagnetisch an den Gleichtaktmodus zu koppeln
und sich in dem differentiellen Modus aufzuheben. Die verringerte
Anfälligkeit gegenüber Rauschen erstreckt sich auf
geradzahlharmonische Frequenzen, da Signale, die gegenüberliegende
Phasen bei der Fundamentalfrequenz aufweisen, sich bei den geradzahligen Harmonischen
in Phase befinden.
-
Auf
die Herstellung der ICs folgend werden die einzelnen Rohchips, auf
denen die ICs hergestellt sind, getrennt oder vereinzelt und in
einem Gehäuse eingeschlossen, das elektrische Verbindungen
zwischen der Gehäuseaußenseite und der Schaltung auf
dem eingeschlossenen Rohchip bereitstellt. Das Trennen und Einhausen
eines Rohchips beansprucht einen beträchtlichen Anteil
der Herstellungskosten einer Vorrichtung, die einen IC aufweist,
und Hersteller fügen um den IC-Herstellungsprozess zu überwachen
und zu kontrollieren und die Kosten des Einhausens von Rohchips
mit Defekten zu vermeiden, der Halbleiterscheibe üblicherweise
elektrische Schaltungen oder Teststrukturen hinzu, um ein On-Wafer-Testen
oder "Prüfen" (engl.: "probing") zum Verifizieren von Eigenschaften
von Elementen der integrierten Schaltkreise zu ermöglichen,
bevor die Rohchips vereinzelt werden. Eine Teststruktur umfasst
typischerweise eine zu testende Vorrichtung (DUT; engl.: device-under-test) 30,
mehrere an der Oberfläche der Halbleiterscheibe aufgebrachte
metallische Messfühler- oder Bondinganschlussflächen 32 und mehrere
leitende Durchgänge oder Durchkontaktierungen 34,
welche die Bondinganschlussflächen mit der DUT verbinden,
die typi scherweise unterhalb der Oberfläche der Halbleiterscheibe
mit dem gleichen Verfahren hergestellt ist, das dazu verwendet wird, die
entsprechenden Bestandteile des vermarktbaren IC herzustellen. Die
DUT umfasst typischerweise einen einfachen Schaltkreis, der eine
Kopie eines oder mehrerer der Basiselemente der vermarktbaren integrierten
Schaltung umfasst, wie etwa eine einzelne Leitung leitenden Materials,
eine Reihe von Durchgängen oder einen einzelnen Transistor.
Da die Schaltkreiselemente der DUT mit dem gleichen Verfahren hergestellt
werden wie die entsprechenden Elemente der vermarktbaren integrierten
Schaltungen, ist zu erwarten, dass die elektrischen Eigenschaften
der DUT für die elektrischen Eigenschaften der entsprechenden
Komponenten der vermarktbaren integrierten Schaltung repräsentativ
sind.
-
Die
DUT der Teststruktur 40 umfasst die differentielle Verstärkerzelle 20,
eine übliche elementare Vorrichtung symmetrischer oder
differentieller Schaltkreise. Eine differentielle Verstärkerzelle
hat fünf Anschlüsse, vier Signalanschlüsse
und einen Vorspannungsanschluss, durch welchen die Transistoren
der differentiellen Zelle vorgespannt sind. Die vier Signalanschlüsse
umfassen zwei Eingangsanschlüsse, um die Takt- und Gegentaktmoduskomponenten
des differentiellen Eingangssignals von einer Signalquelle zu empfangen,
und zwei Ausgangsanschlüsse, um die Takt- und Gegentaktmoduskomponenten
des differentiellen Ausgangssignals von der differentiellen Verstärkerzelle
zu einer Signalsenke zu übertragen. Üblicherweise
werden beim Prüfen einer Teststruktur, die eine differentielle
oder symmetrische Vorrichtung umfasst, zwei Messfühler 42, 44 verwendet.
Ein Messfühler leitet typischerweise die Signale von der
Signalquelle zu den Messfühlerkontakten der Teststruktur
und der zweite Messfühler leitet die Signale von der Teststruktur
zu der Signalsenke. Typischerweise weist einer der zwei Messfühler mindestens
drei Messfühlerspitzen auf, in einer Signal-Masse-Signal-Anordnung,
um zwei der Komponenten eines differentiellen Signals zu leiten
und die Transistoren der differentiellen Zelle vorzuspannen.
-
ICs
werden typischerweise auf der Halbleiterscheibe (engl.: "on-wafer")
durch Anlegen eines von einem Testinstrument erzeugten Signals an
die Teststruktur und Messen der Antwort der Teststruktur auf das
Signal charakterisiert. Bezugnehmend auf 2 wird bei
höheren Frequenzen eine Charakterisierung auf der Halbleiterscheibe üblicherweise
mit einem Netzwerkanalysator 100 durchgeführt.
Ein Netzwerkanalysator umfasst eine Quelle 102 eines Wechselstrom(AC;
engl.: alternating current)-Signals, oft eines Hochfrequenz(HF)-Signals,
die dazu verwendet wird, die DUT 30 einer Teststruktur
anzuregen. Direktionale Koppler oder Brücken nehmen die
sich vorwärts zu der Teststruktur hin oder rückwärts
von dieser weg bewegenden Wellen auf und leiten sie zu einer Signalsenke 104,
wo sie in Abschnitte mittlerer Frequenz (IF; engl.: intermediate frequency)
herunterkonvertiert, gefiltert, verstärkt und digitalisiert
werden. Das Ergebnis des Signalbearbeitens in dem Netzwerkanalysator
sind mehrere s-Parameter (Streuparameter; engl.: scattering parameters),
das Verhältnis einer normalisierten Wellengröße
(engl.: normalized power wave), welches die Antwort der DUT auf
die normalisierte Wellengröße mit der durch die
Signalquelle bereitgestellten Anregung umfasst, die die Antwort
der DUT auf das anregende Signal registrieren. Ein Vorwärts/Rückwärtsschalter
(engl.: forward-reverse switch) 106 ermöglicht
das Umkehren der Verbindungen zwischen dem/den Messfühler/n
und dem Netzwerkanalysator, so dass die jeweiligen Paare von das
Eingangssignal empfangenden und das Ausgabesignal übertragenden
Messfühleranschlussflächen umgekehrt werden können.
-
Beim
Testen differentieller Vorrichtungen ist ein Netzwerkanalysator
mit vier Anschlüssen (engl.: four-port network analysator)
wünschenswert, da er differentielle Signale ausgeben und
empfangen kann, was eine Mischmodusanalyse der Vorrichtungen ermöglicht.
Netzwerkanalysatoren mit vier Anschlüssen sind jedoch verhältnismäßig
unüblich und teuer. Netzwerkanalysatoren mit zwei Anschlüssen sind
weiter verbreitet und werden oft beim Testen von differentiellen
Vorrichtungen verwendet. Netzwerkanalysatoren mit zwei Anschlüssen
geben jedoch asymmetrische bzw. einpolig geerdete Signale aus und
empfangen eben solche, die in differentielle Signale oder aus diesen
umgewandelt werden müssen, um die symmetrische Vorrichtung
anzuregen und deren Ausgabe zu analysieren.
-
Das
durch den Netzwerkanalysator ausgegebene asymmetrische Signal kann
einen Gleichspannungsversatz umfassen. Wenn dies der Fall ist, wird
das Ausgabesignal in üblicher Weise zu einer Vorspannungsverzweigung 108 geleitet,
welche einen Kondensator 110 in Serie mit dem Hochfrequenz(HF)-Anschluss 112 der
Vorspannungsverzweigung und eine Induktivität 114 in
Serie mit einem Gleichstromanschluss 116 umfasst. Der Kondensator
blockiert die Übertragung der Gleichstromkomponente des
Signals von dem Hochfrequenzanschluss und die Induktivität
blockiert die Übertragung des modulierten Signals von dem
Gleichstromanschluss, erlaubt aber die Übertragung des
Gleichstromanteils des Signals. Der Gleichstromanschluss der Vorspannungsverzweigung 108 ist
durch die Vorspannungsmessfühlerspitze 140 mit
der Vorspannungsmessfühleranschlussfläche 150 der
Teststruktur verbunden, was es ermöglicht, die Transistoren
der differentiellen Zelle mit der Gleichstromkomponente des Ausgangssignals
des Netzwerkanalysators vorzuspannen.
-
Das
modulierte Signal von dem HF-Anschluss der Vorspannungsverzweigung 108 wird
zu einer Symmetrieschaltung (engl.: balun) 120 geleitet, welche
das asymmetrische Signal in ein symmetrisches oder differentielles
Signal mit zwei differentiellen Signalkomponenten (Si +1 und Si –1) mit im Wesentlichen der gleichen
Amplitude aber entgegengesetzter Phase umwandelt. Typischerweise
werden die zwei Komponenten des differentiellen Signals über ein
Koaxialkabel von der Symmetrieschaltung zu zugehörigen
Signalmessfühlerspitzen 146, 148 eines Messfühlers 42 übertragen,
welcher einen Übergang von dem Signalpfad des Koaxialkabels
zu dem Signalpfad der Messfühleranschlussflächen
der Teststruktur bietet. Der Messfühler ist relativ zu
der Teststruktur beweglich, so dass jede der Messfühlerspitzen
bei zugehörigen Messfühlerkontakten angeordnet
sein kann, die mit der DUT verbunden sind.
-
Die
DUT dient als Senke für die differentiellen Eingabesignale
und gibt die differentiellen Ausgabesignalkomponenten (So +1 und So –1) aus,
welche zu zugehörigen Messfühleranschlussflächen 152, 154 der
differentiellen Verstärkerzelle geleitet werden. Die Komponenten
der Ausgabesignale werden zu einer Symmetrieschaltung 122 übertragen,
welche die differentiellen Signalkomponenten in ein asymmetrisches
Signal umwandelt, das zum Verarbeiten, Analysieren und Anzeigen
zu der Signalsenke 104 des Netzwerkanalysators übertragen
wird.
-
Eine
zum Umwandeln von asymmetrischen Signalen in differentielle Signale
und umgekehrt verwendete Symmetrieschaltung ist üblicherweise
ein Transformator mit einer asymmetrischen Verbindung zu einer der
Wicklungen und einer symmetrischen Verbindung zu der anderen Wicklung,
und ist typischerweise eine teure Vorrichtung. Ferner sind Symmetrieschaltungen
typischerweise im Verhältnis zu dem Messfühler
groß und sind üblicherweise entfernt angeordnet
und mit dem Messfühler durch ein Koaxialkabel verbunden,
was das Anordnen der Testinstrumentierung verkompliziert. Daher
ist ein Messfühler gewünscht, der eine Symmetrieschaltung
umfasst und das Verwenden eines Netzwerkanalysators mit zwei Anschlüssen
ermöglicht, wenn differentielle Schaltkreise geprüft
werden, um die Kosten zu verringern und das Einrichten der Messinstrumentierung zu
vereinfachen.
-
Kurzbeschreibung der Zeichnungen
-
1 ist
eine perspektivische Ansicht eines Teils eines Substrats mit einer
differentiellen Teststruktur.
-
2 ist
eine schematische Darstellung eines Systems zum Prüfen
einer differentiellen Teststruktur.
-
3 ist
eine perspektivische Ansicht eines Messfühlers mit einer
integrierten Symmetrieschaltung.
-
4 ist
eine Schnittansicht des Messfühlers aus 3 entlang
der Linie A-A.
-
5 ist
eine perspektivische Ansicht eines Messfühlerkopfs und
eines freien Endes eines Koaxialkabels des Messfühlers
aus 3.
-
6 ist
eine Schnittansicht des Messfühlerkopfes und des freien
Endes des Koaxialkabels aus 5 entlang
der Linie B-B.
-
7 ist
eine schematische Ansicht von Stromflüssen in einem Koaxialkabel.
-
8 ist
eine graphische Darstellung der Induktivität über
der Frequenz für mehrere magnetisch permeable Materialien.
-
9 ist
eine perspektivische Ansicht eines Messfühlers mit einer
integrierten Symmetrieschaltung, der eine Vorspannungsverbindung
umfasst.
-
10 ist
eine perspektivische Ansicht eines Messfühlerkopfes und
von Leitern des Messfühlers aus 9.
-
Detaillierte Beschreibung
bevorzugter Ausführungsformen
-
Die
Integrität eines Herstellungsprozesses für integrierte
Schaltkreise (IC) wird üblicherweise durch Herstellen mehrerer
Teststrukturen auf einer Halbleiterscheibe getestet, die eine oder
mehrere vermarktbare ICs umfasst. Die Teststrukturen werden die
gleichen Verfahren verwendend hergestellt, die zum Herstellen der
vermarktbaren ICs verwendet werden. Durch Anregen der Teststruktur
mit einem durch ein Testinstrument erzeugten Signal und Aufnehmen
der Antwort der Teststruktur wird auf Eigenschaften der vermarktbaren
ICs geschlossen. Obwohl Teststrukturen typischerweise einfache Schaltkreise
sind, wird erwartet, dass die Antwort von in den komplexeren vermarktbaren
ICs eingebauten ähnlichen Vorrichtungen ähnlich
der Antwort der Teststruktur ist, da die Vorrichtungen in den vermarktbaren
ICs und ähnliche Vorrichtungen in den Teststrukturen mit
dem gleichen Verfahren hergestellt sind.
-
Im
Detail Bezug nehmend auf die Zeichnungen, in denen ähnliche
Teile durch gleiche Bezugszeichen identifiziert sind, und insbesondere
auf 1, umfasst eine Teststruktur 40 üblicherweise mehrere
leitende Bonding- oder Messfühleranschlussflächen 32,
die auf der Oberfläche einer Halbleiterscheibe oder einem
Substrat 50 abgelagert sind, eine zu testende Vorrichtung
oder DUT 30, typischerweise einen einfachen Schaltkreis,
der Schaltkreiselemente umfasst, die durch das gleiche Verfahren
und in den gleichen Schichten der Halbleiterscheibe erzeugt worden
sind wie entsprechende Komponenten der vermarktbaren ICs, und mehrere leitende
Durchgänge 34, welche die Messfühleranschlussflächen
und die Elemente der DUT verbinden. Die beispielhafte Teststruktur 40 umfasst
eine DUT, welche eine differentielle Verstärkerzelle 20 umfasst, ein übliches
Schaltungselement, welches differentielle Signale verwendet. Differentielles
Signalisieren verwendende Schaltkreise werden immer üblicher, insbesondere
für Anwendungen höherer Frequenz. Verglichen mit
Vorrichtungen, welche asymmetrische Signale verwenden, arbeiten
differentielles Signalisieren verwendende oder symmetrische Vorrichtungen üblicherweise
bei niedrigeren Leistungsniveaus, bieten für Binärvorrichtungen
einen schnelleren Zustandsübergang, weisen eine größere
Immunität gegenüber Rauschen und verringerte Anfälligkeit
für elektromagnetisches Koppeln auf und sind toleranter gegenüber
schlechten Erdungsbedingungen, welche üblicherweise angetroffen
werden, wenn integrierte Schaltkreise bei höheren Frequenzen
betrieben werden.
-
Die
beispielhafte differentielle Verstärkerzelle 20 umfasst
zwei im Wesentlichen identische Feldeffekt-(JFET; engl.: junction
field effect transistor)-Transistoren 52A und 52B.
Eine DUT umfasst typischerweise jedoch den in den auf der Halbleiterscheibe
hergestellten vermarktbaren integrierten Schaltkreisen entsprechende
Komponenten und es können andere Arten von Transistoren,
wie Bipolartransistoren (BJT; engl.: bipolar junction transistor) oder
MOSFET(engl.: metal Oxide semiconductor fieldeffect transistor;
deutsch: Metall-Oxid-Halbleiter-Feldeffekttransistor)-Transistoren
bei der Herstellung einer differentiellen Verstärkerzelle
einer Teststruktur verwendet werden. Außerdem können
zusätzliche aktive oder passive Schaltkreiselemente in der
Teststruktur vorgesehen sein. Die Teststruktur umfasst fünf
Messfühleranschlussflächen 150, 152, 154, 156 und 158,
durch welche die Transistoren der DUT vorgespannt sind und durch
welche die zwei Komponenten der differentiellen Eingangs- und Ausgangssignale
zu und von der Teststruktur übertragen werden. Die Quellenanschlüsse
(engl.: source terminals) der Transistoren der differentiellen Verstärker zelle
sind als ein Transistorvorspannungsanschluss miteinander verbunden,
welcher mit einer Vorspannungsmessfühleranschlussfläche 150 verbunden
ist. Die Gateanschlüsse der Transistoren sind jeweils mit Messfühleranschlussflächen 156, 158 eines
ersten Paares von Signalmessfühleranschlussflächen
verbunden und die Drainanschlüsse der Transistoren sind
jeweils mit den Messfühleranschlussflächen 152, 154 des
zweiten Paars von Signalmessfühleranschlussflächen
verbunden. Ein Eingangssignal im differentiellen Modus, welches
eine Taktmoduskomponente (Si +1)
und eine Gegentaktmoduskomponente (Si –1) mit im Wesentlichen der gleichen
Amplitude, aber der entgegengesetzten Phase der Taktmoduskomponente,
wird an ein Paar von Signalmessfühleranschlussflächen
angelegt, z. B. die Messfühleranschlussflächen 156 und 158,
was die differentielle Verstärkerzelle dazu bringt, von
den Messfühleranschlussflächen 152 und 154 des
anderen Paares von Signalmessfühleranschlussflächen
ein Ausgabesignal im differentiellen Modus mit einer Taktmoduskomponente
(So +1) und einer
Gegentaktmoduskomponente (So –1)
auszugeben. Umgekehrt kann die DUT durch Einspeisen der Eingangssignalkomponenten in
die Messfühleranschlussflächen 152 und 154 und Beziehen
der Ausgabesignale von den Messfühleranschlussflächen 156 und 158 getestet
werden.
-
Während
das Verwenden differentieller Signale eine Reihe von Vorteilen mit
sich bringt, kann das Testen von Schaltkreisen unter Verwendung
differentieller Signale komplizierter sein als Schaltkreise unter
Verwendung asymmetrischer Signale zu testen, da die beim Testen
auf einer Halbleiterscheibe verwendete Testinstrumentierung üblicherweise nur
asymmetrische Signale überträgt und empfängt. Ein
Netzwerkanalysator mit vier Anschlüssen kann differentielle
Signale ausgeben, was unmittelbar eine Mischmodusanalyse von differentiellen
Teststrukturen erlaubt, jedoch sind Netzwerkanalysatoren mit vier
Anschlüssen verhältnismäßig
selten und teuer. Netzwerkanalysatoren mit zwei Anschlüssen
sind weiter verbreitet und günstiger und werden üblicherweise
zum Testen von differentiellen Vorrichtungen verwendet, aber die
durch den Netzwerkanalysator ausgegebenen asymmetrischen Signale
müssen in differentielle Signale für eine Eingabe
in eine differentielle Teststruktur umgewandelt werden, und die
differentiellen Ausgabesignale der Teststruktur müssen
in asymmetrische Signale zur Eingabe in die Signalsenke des Netzwerkanalysators
umgewandelt werden.
-
Bezug
nehmend auf 2 umfasst ein Netzwerkanalysator 100 mit
zwei Anschlüssen eine Signalquelle 102, welche
ein asymmetrisches Signal ausgibt, und eine Signalsenke 104,
welche ein von der DUT 30 einer Teststruktur übertragenes
asymmetrisches Signal empfängt. Der Netzwerkanalysator
umfasst außerdem einen Vorwärts/Rückwärts-Schalter 106,
der es ermöglicht, die Verbindungen zu der Quelle und der
Senke umzukehren, so dass die Eingangssignale empfangenden und Ausgangssignale übertragenden
Anschlüsse der DUT umgekehrt werden können. Zum
Beispiel nehmen die Messfühleranschlussflächen 156, 158 die
differentiellen Eingabesignalkomponenten (Si +1 und Si –1) auf und die Ausgabesignalkomponenten
(So +1 und So –1) werden
von dem Messfühleranschlussflächen 152 und 154 übertragen,
wenn der Vorwärts/Rückwärts-Schalter
sich in der dargestellten Stellung befindet. Wenn der Vorwärts/Rückwärts-Schalter
in die zweite Stellung gebracht wird, wird das Eingabesignal an
die Messfühleranschlussflächen 152 und 154 angelegt
und das Ausgabesignal wird von den Messfühleranschlussflächen 156 und 158 übertragen.
Das asymmetrische Ausgabesignal von der Quelle des Netzwerkanalysators
wird typischerweise durch eine Symmetrieschaltung in ein symmetrisches
oder differentielles Signal umgewandelt, welches differentielle Komponenten
mit im Wesentlichen der gleichen Amplitude, aber entgegengesetzter
Phase aufweist. Ähnlich wandelt eine Symmetrieschaltung
das differentielle Ausgabesignal der differentiellen DUT in ein asymmetrisches
Signal zum Bearbeiten und Anzeigen durch die Signalsenke des Netzwerkanalysators mit
zwei Anschlüssen um.
-
Das
asymmetrische Ausgabesignal des Netzwerkanalysators kann einen Gleichspannungsversatz
aufweisen. Wenn dies der Fall ist und der Vorwärts/Rückwärts-Schalter
sich in der dargestellten Stellung befindet, wird das Ausgabesignal
in herkömmlicher Weise zu einer Vorspannungsverzweigung 108 geleitet,
welche einen Kondensator 110 in Reihe mit einem Hochfrequenz-(HF)-Anschluss 112 und
eine Induktivität 114 in Reihe mit einem Gleichstromanschluss 116 umfasst.
Der Kondensator blockiert die Übertragung der Gleichstromkomponente des
Netzwerkanalysatorsignals von dem HF-Anschluss, erlaubt aber die Übertragung
der modulierten Signalkomponente von dem HF-Anschluss. Andererseits
blockiert die Induktion die Übertragung der modulierten
Signalkomponente von dem Gleichstromanschluss, erlaubt aber die Übertragung
des Gleichstromanteils des Signals. Der Gleichstromanschluss der
Vorspannungsverzweigung 108 ist durch die Vorspannungsmessfühlerspitze 140 mit
der Vorspannungsmessfühleranschlussfläche 150 einer Teststruktur
verbunden, was das Vorspannen der Transistoren einer differentiellen
Zelle mit der Gleichstromkomponente eines durch den Netzwerkanalysator übertragenen
Signals ermöglicht. Eine dritte Vorspannungsverzweigung 124 und
eine vierte Vorspannungsverzweigung 126 verhindern die
Leitung des Gleichstromvorspannungssignals zu der Signalsenke des
Netzwerkanalysators.
-
Die
modulierte Komponente der Netzwerkanalysatorausgabe wird von dem
HF-Anschluss der Vorspannungsverzweigung zu einer Symmetrieschaltung 120 geleitet,
welche das asymmetrische Signal in ein differentielles Signal mit
zwei Komponenten mit im Wesentlichen gleicher Amplitude und entgegengesetzter
Phase umwandelt. Die differentiellen Eingabesignalkomponenten, Si +1 und Si –1, werden
zugehörigen Messfühlerspitzen 146, 148 zugeführt,
typischerweise über Koaxialkabel, welche die Symmetrieschaltung
und die Messfühlerspitzen miteinander verbinden. Die Messfühlerspitzen 146, 148 des
bewegbaren Messfühlers 42 sind so angeordnet, dass
sie sich bei den zugehörigen Signalmessfühleranschlussflächen 156, 158 befinden
können, welche mit der DUT 30 einer Teststruktur
verbunden sind.
-
In
Antwort auf das differentielle Eingabesignal gibt die differentielle
Verstärkerzelle der DUT zwei differentielle Ausgabesignalkomponenten
(So +1 und So –1) aus.
Die differentiellen Ausgabesignalkomponenten werden von zugehörigen
Messfühleranschlussflächen 152, 154 der
Teststruktur zu zugehörigen Messfühlerspitzen 142, 144 geleitet.
Die Messfühlerspitzen sind typischerweise durch ein Koaxialkabel
mit einer zweiten Symmetrieschaltung 122 verbunden, welche
die differentiellen Signale in ein asymmetrisches Signal umwandelt.
Das modulierte asymmetrische Signal wird zu der Signalsenke 104 des
Netzwerkanalysators übertragen.
-
Wenn
der Vorwärts/Rückwärts-Schalter in die
zweite Stellung bewegt wird, wird die asymmetrische Ausgabe des
Netzwerkanalysators durch eine zweite Vorspannungsverzweigung 128,
welche die Gleichstromkomponente von dem modulierten Teil des Signals
separiert, zu der zweiten Symmetrieschaltung 122 geleitet,
was ein Vorspannen der DUT ermöglicht. Die zweite Symmetrieschaltung 122 wandelt
den modulierten Teil der asymmetrischen Ausgabe des Netzwerkanalysators
in die differentiellen Eingabesignalkomponenten um, welche durch die
Messfühlerspitzen 142, 144 und Messfühleranschlussflächen 152 und 154 zu
der DUT geleitet werden. Die Ausgabe der DUT wird zu den Messfühleranschlussflächen 156 und 158 und
nachfolgend zu den Messfühlerspitzen 146 und 148 geleitet.
Die differentiellen Ausgabesignalkomponenten werden in der ersten
Symmetrieschaltung 120 in ein asymmetrisches Signal umgewandelt,
und das asymmetrische Signal wird durch die erste 108 und
vierte 124 Vorspannungsverzweigung zu der Signalsenke des Netzwerkanalysators übertragen.
-
Symmetrieschaltungen
werden üblicherweise dazu verwendet, die durch Netzwerkanalysatoren mit
zwei Anschlüssen übertragenen asymmetrischen Signale
in differentielle Signale umzuwandeln und umgekehrt. Symmetrieschaltungen
sind typischerweise teuer, da sie einen Transformator mit einer asymmetrischen
(engt: unbalanced) Verbindung zu einer der Wicklungen und einer
symmetrischen Verbindung zu der anderen Wicklung aufweisen. Die Symmetrieschaltungen
sind typischerweise von dem Messfühler getrennt und mit
dem Messfühler durch ein Koaxialkabel verbunden, da die
Symmetrieschaltung verglichen zu einem Messfühler verhältnismäßig
groß ist. Der vorliegende Erfinder erkannte, dass dann,
wenn eine Symmetrieschaltung, und vorzugsweise eine kostengünstige
Symmetrieschaltung, in den Messfühler eingebaut werden
könnte, das Einrichten der Instrumentierung wesentlich
vereinfacht werden könnte, was die Zeitdauer und Kosten
des Testens von Halbleiterscheiben verringert.
-
Bezug
nehmend auf 3 und 4 umfasst
der Messfühler 200 mit integraler Symmetrieschaltung
einen Lagerblock 202, der zur Verbindung mit einem bewegbaren
Messfühlerlagerelement 204 einer Messfühlerstation
geeignet konstruiert ist. Zum Beispiel umfasst der Lagerblock eine Öffnung 206 für
ein Eingreifen eines eng sitzenden Ausrichtungsstifts 208,
der vertikal von dem Messfühlerlagerelement vorsteht. Darüber
hinaus umfasst der Lagerblock ein Paar angesenkter Öffnungen 210,
um ein Paar Befestigungsschrauben 212 aufzunehmen, welche
dazu angeordnet sind, mit Gewindelöchern in dem Messfühlerlagerelement
in Eingriff zu treten und den Messfühler an dem Messfühlerlagerelement
zu befestigen.
-
Der
Messfühler umfasst einen Eingangsanschluss 214,
welcher in der dargestellten Ausführungsform einen Zündkerzenstecker
artigen K-Verbinder umfasst. Dieser Verbinder ermöglicht
das externe Verbinden eines gewöhnlichen Koaxialkabels, was
es erlaubt, einen gut abgeschirmten Hochfrequenzübertragungskanal
zwischen dem Messfühler und dem Netzwerkanalysator oder
anderer Testinstrumentierung einzurichten. Wenn gewünscht,
können andere Arten von Verbindern verwendet werden, wie
ein 2,4 mm Verbinder, ein 1,85 mm Verbinder oder ein 1 mm Verbinder.
-
In
der dargestellten Ausführungsform ist ein halbsteifes Koaxialkabel 216 an
seinem hinteren Ende mit dem K-Verbinder verbunden, welches den Anschluss
des Messfühlers darstellt. Auch bezugnehmend auf 5 und 6 umfasst
das Koaxialkabel 216 vorzugsweise einen länglichen,
röhrenartigen äußeren Leiter 218 mit
einer äußeren Oberfläche 220 und
einer inneren Oberfläche 222, einen innerhalb
und koaxial mit der inneren Oberfläche des äußeren
Leiters angeordneten inneren Leiter und ein inneres Dielektrikum 226,
welches den inneren Leiter von der inneren Oberfläche des äußeren
Leiters über eine Länge des inneren Leiters trennt.
Vorzugsweise ist das Koaxialkabel ein Kabel vom phasenstabilen, verlustarmen
Typ. Das Koaxialkabel kann ebenso andere Schichten von Materialien
umfassen, wie gewünscht, und umfasst in üblicher
Weise ein die äußere Oberfläche des äußeren
Leiters umgebendes äußeres Dielektrikum 228.
Um das hintere Ende des Koaxialkabels für eine Verbindung
mit dem K-Verbinder vorzubereiten, wird das hintere Ende abisoliert, um
den inneren Leiter freizulegen, und dieser innere Leiter wird vorübergehend
innerhalb eines Hilfsverbinders gehalten, während der benachbarte äußere Leiter
in eine in dem Hauptlagerblock ausgebildete Bohrung 230 gelötet
wird. Eine Vertiefung 232 in dem Lagerblock unterhalb dieser
Bohrung bietet einen Zugang, um den Lötvorgang zu erleichtern.
Der Hilfsverbinder wird dann entfernt und der K-Verbinder wird in
eine in dem Block oberhalb der Bohrung gebildete Gewindeöffnung
geschraubt, um eine elektrische Verbindung zwischen dem Verbinder
und dem Koaxialkabel herzustellen. Um eine sichere physikalische
Verbindung sicherzustellen, kann auf die Gewinde des K-Verbinders
vor dessen Einbau ein Schraubensicherungsmittel aufgetragen werden.
-
Das
vordere Ende des Koaxialkabels verbleibt frei hängend und
in diesem Zustand dient es als eine bewegliche Lagerung für
einen Messfühlerkopf 240 des Messfühlers.
Bevor sie mit dem K-Verbinder verbunden werden, werden die Kabel
auf die gezeigte Art entlang erster und zweiter Mittelabschnitte
gebogen, so dass in dem Kabel eine allgemein nach oben gekrümmte
90 Grad-Biegung und eine nach unten gekrümmte Biegung gebildet
werden.
-
Der
Messfühlerkopf
240 kann einer der vielen Arten
von Messfühlerköpfen sein, die zum Testen integrierter
Schaltungen und anderer mikroelektronischer Vorrichtungen entwickelt
wurden. Godshalk et al.,
U.S.
Patent Nr. 5,506,515 ; Burr et al.,
U.S. Patent Nr. 5,565,788 ; und Gleason
et al.,
U.S. Patent Nr. 6,815,963 ;
angemeldet auf Cascade Microtech Inc. und hierin durch Bezugnahme
eingeschlossen, offenbaren eine Anzahl von Messfühlerköpfen,
die mit dem Messfühler mit integrierter Symmetrieschaltung verwendet
werden können. In einer bevorzugten Ausführungsform
umfasst der Messfühler
200 einen Messfühlerkopf
in Mikrostreifenart, welcher ein dielektrisches Blatt
242 mit
allgemein ebenen oberen und unteren Oberflächen umfasst,
das an dem vorderen Ende des Koaxialkabels befestigt ist. Die Unterseite
des Kabels ist weggeschnitten, um eine Ablagefläche
244 zu
bilden, und das dielektrische Blatt ist an der Ablagefläche
befestigt. Alternativ kann das dielektrische Blatt durch eine nach
oben gerichtete Ablagefläche gelagert sein, die von dem
Kabel weggeschnitten ist, oder durch das Ende des Kabels ohne eine
Ablagefläche. Das dielektrische Blatt kann eine flexible
Membran oder eine Platte aus einem steiferen dielektrischen Material
umfassen.
-
Ein
Paar leitender Signalbahnen sind von der oberen Oberfläche
des dielektrischen Blattes getragen. Die leitenden Bahnen können
auf der oberen Oberfläche des dielektrischen Blattes irgendeine Technik
verwendend abgelagert sein, oder anderweitig daran befestigt sein.
Eine erste leitende Signalbahn 246 ist elektrisch mit dem
inneren Leiter 224 des Koaxialkabels verbunden, und eine
zweite leitende Signalbahn 248 ist elektrisch mit dem äußeren Leiter 218 des
Koaxialkabels verbunden. Die jeweiligen Leitungsbahnen 246, 248 leiten
normalerweise die Komponenten der differentiellen Eingabe- oder Ausgabesignale
zu oder von der DUT. Andere Schichten über, unter und/oder
zwischen der leitenden Bahn bzw. den leitenden Bahnen und dem dielektrischen
Blatt können vorhanden sein, falls dies gewünscht
ist.
-
Durch
das dielektrische Blatt hindurchgehende leitende Durchgänge 250 ermöglichen
die Übertragung von dem Signalpfad von den leitenden Bahnen
an der oberen Fläche des Blattes zu der unteren Oberfläche
des Blattes. Der leitende Durchgang bietet einen Pfad von einer
Seite des Blattes zu der anderen Seite, der für zumindest
ein Großteil der Dicke des Blattes frei von einer Luftlücke
zwischen dem Durchgang und dem Dielektrikum ist und die Kapazität
des Signalpfades verglichen mit einem sich über das Ende
des dielektrischen Blattes erstreckenden leitenden Finger beträchtlich
verringert.
-
Die
untere Oberfläche des dielektrischen Blattes umfasst mehrere
Kontakthöcker oder Messfühlerspitzen 252, 254,
die jeweils elektrisch mit den sich von den zugehörigen
leitenden Bahnen an der oberen Oberfläche des dielektrischen
Blattes erstreckenden Durchgängen verbunden sind. Die Messfühlerspitzen
sind vorzugsweise so angeordnet, dass die Schwerpunkte ihrer unteren
Enden im Wesentlichen ausgerichtet sind und allgemein parallel zu
der vorderen Kante des Messfühlerkopfs sind. Die Messfühlerspitzen
sind räumlich zueinander benachbart so angeordnet, dass
sie bei zugehörigen Messfühleranschlussflächen
angeordnet werden können, welche Signale für die
zu prüfende Teststruktur leiten. Es versteht sich, dass
die Messfühlerspitzen jede geeignete Form annehmen können,
wie einen Höcker, eine gemusterte Struktur, oder einen
länglichen Leiter.
-
Eine
integrale Symmetrieschaltung 260, die eine Hülle
aus magnetisch permeablem Material hat, umgibt im Wesentlichen eine
Länge der äußeren Oberfläche
des äußeren Leiters 218 des die Messfühlerspitzen 250 und
den Anschluss 214 des Messfühlers verbindenden
Koaxialkabels 216. Bezug nehmend auf 7 umfasst
ein Koaxialkabel typischerweise zwei Leiter, einen länglichen,
röhrenförmigen äußeren Leiter 312 mit
einer inneren Oberfläche und einer äußeren
Oberfläche und einen inneren Leiter 310, der innerhalb
der durch die innere Oberfläche des äußeren
Leiters definierten Öffnung angeordnet ist und durch ein
Dielektrikum von dem äußeren Leiter getrennt ist.
Als ein Ergebnis des Oberflächeneffektes (engl.: skin effect)
haben die zwei Leiter des Koaxialkabels drei leitende Pfade: den
inneren Leiter, die innere Oberfläche des äußeren
Leiters und die äußere Oberfläche des äußeren
Leiters. Wenn ein asymmetrisches Signal zu oder von einer Quelle 304 über
ein Koaxialkabel übertragen wird, ist einer der Leiter,
typischerweise der äußere Leiter, mit Masse 302 verbunden,
und das Signal 306 wird über den zweiten Leiter übertragen,
typischerweise den inneren Leiter. Da die durch das in dem inneren
Leiter fließende Signal erzeugten elektrischen und magnetischen
Felder auf den die inneren und äußeren Leiter trennenden
Raum beschränkt sind, wird an der inneren Oberfläche
des äußeren Leiters ein Strom 308 fließen,
der in der Größe dem Signal gleich ist, aber in
der entgegengesetzten Richtung fließt. An dem zweiten Ende
des äußeren Leiters wird ein erster Teil 318 dieses
an der inneren Oberfläche des äußeren Leiters
fließenden Stromes auf die Last 316 übertragen,
und abhängig von den Impedanzverhältnissen wird
ein zweiter Teil des Stroms, ein Ungleichgewichtsstrom (engl.: unbalance
current) 320, an der äußeren Oberfläche
des äußeren Leiters zurück zu Masse fließen
oder von dem äußeren Leiter abgestrahlt werden.
Die Symmetrieschaltung, die magnetisch permeable Hülle 260,
wirkt als eine Induktivität 322 in dem leitenden
Pfad, welche die äußere Oberfläche des äußeren
Leiters umfasst, um den Strom des Ungleichgewichtsstrom auf der äußeren
Oberfläche des äußeren Leiters zu behindern
und im Wesentlichen zu blockieren. Als ein Ergebnis werden zwischen
den inneren und äußeren Leitern des Koaxialkabels
und den Anschlüssen 324, 326 der Last 316,
welche die Senken für die Komponenten des differentiellen
Signals darstellen, gleiche und entgegengesetzte differentielle
Signale geleitet, welche das Signal 306 und den Strom 308/318 umfassen.
-
Ähnlich
blockiert dann, wenn gleiche und entgegengesetzte differentielle
Signale von dem Paar Anschlüsse 324, 326 der
Last zu den inneren und äußeren Leitern des Koaxialkabels
gespeist werden, die in den leitenden Pfad an der äußeren
Oberfläche des äußeren Leiters durch
die magnetisch permeable Hülle eingeführte Impedanz
im Wesentlichen einen Stromfluss über die äußere
Oberfläche des äußeren Leiters, wodurch
die Signale auf den inneren Leiter und die innere Oberfläche
des äußeren Leiters beschränkt werden,
sogar obwohl der äußere Leiter an dem entgegengesetzten
Ende des Kabels geerdet 302 ist und ein asymmetrisches
Signal zu der Senke 304 geleitet wird.
-
Die
magnetisch permeable Hüllen-Symmetrieschaltung 260 umfasst
mehrere magnetisch permeable Rohre oder Segmente 262, die
Ende an Ende entlang einer Länge des Koaxialkabels 216 angeordnet
ist. Die Segmente umfassen typischerweise Ferrit-Toroide, die im
Wesentlichen die äußere Oberfläche des
Koaxialkabels umgeben, aber die Segmente können einen oder
mehrere nicht-kontinuierliche Abschnitte aufweisen, die um den Umfang
des Kabels herum angeordnet sind. Ferrite sind typischerweise keramische
ferromagnetische Materialien. Die Zutaten werden gemischt, gebrannt,
zerstossen oder gemahlen und gepresst oder extrudiert und gebrannt,
um ihre Endform auszubilden. Ferrite können Seltene Erden
wie Kobalt umfassen, aber die herkömmlichsten Ferrite umfassen
etwa 50% Eisenoxid. Der übrige Teil der Materialien bestimmt
den Gütegrad des fertigen Ferrits und umfasst üblicherweise
eine Mischung aus Mangan oder Nickel und Zink oder Zinkoxid. Die
magnetische Permeabilität von Ferriten ist durch Variieren
der Zusammensetzung und des Verfahrens zum Herstellen des Ferrits variierbar.
Bezug nehmend auf 8 hängt die durch ein
Ferritsegment produzierte Induktivität mit der magnetischen
Permeabilität des Ferrits zusammen und variiert mit der
Frequenz. Um einen über einen weiten Frequenzbereich nützlichen
Messfühler bereitzustellen, umfasst eine bevorzugte Ausführungsform der
magnetisch permeablen Hüllen-Symmetrieschaltung mehrere
Segmente, welche mehrere unterschiedliche Ferritmaterialien 352, 354, 354 umfassen,
die derart angeordnet sind, dass die magnetische Permeabilität
der Segmente sich mit zunehmendem Abstand von der Messfühlerspitze
erhöht. Darüber hinaus ist die Induktivität
der magnetischen Hüllen-Symmetrieschaltung bei Intervallen
von einem Viertel der Wellenlänge des abgeschwächten Signals
maximiert. In einer bevorzugten Ausführungsform ist der
Abstand L, 272, zwischen den Messfühlerspitzen 254 und
dem den Messfühlerspitzen am nächsten liegenden
Ende der magnetischen Hülle geringer als die Hälfte
der Wellenlänge der höchsten durch den Messfühler
zu messenden Frequenz und ist vorzugsweise geringer als 35% und größer
als 15% der Wellenlänge der höchsten Frequenz,
und beträgt noch bevorzugter etwa ein Viertel der Wellenlänge
der höchsten zu messenden Frequenz. Ähnlich ist
es vorzuziehen, dass der Abstand von den Messfühlerspitzen
zu einem Teil der Symmetrieschaltung, welche ein Ferrit aufweist,
das eine maximale Induktivität bei einer bestimmten Frequenz aufweist,
etwa ein Viertel der Wellenlänge der Frequenz beträgt,
bei welcher die Induktivität für das Ferrit maximiert
ist.
-
Obwohl
die Symmetrieschaltung im Wesentlichen den Ungleichgewichtsstrom
blockiert, der auf der äußeren Fläche
des äußeren Leiters fließen könnte,
kann in dem äußeren Leiter als ein Ergebnis der
Gegenwart des Leiters in den Strahlungsfeldern der Messfühleranschlussflächen
Strom induziert werden. Um das Induzieren von Strom durch das Strahlungsfeld
zu verringern, kann das vorstehende Ende des Koaxialkabels verschiebbar
in eine Röhre 270 eingefügt sein, welche
ein halbflexibles Mikrowellen absorbierendes Material umfasst. Ein
Material, das zum Bilden der Röhre verwendet wird, umfasst
Eisen und Urethan. Die halbflexible Röhre aus Mikrowellen absorbierendem
Material dient dazu, im Wesentlichen das Maß induzierter
Mikrowellenenergie zu verringern, die sich entlang des äußeren
Leiters des Kabels bewegen kann.
-
Bezug
nehmend auf 9 und 10 umfasst
eine zusätzliche Ausführungsform des Messfühlers 400 mit
integrierter Symmetrieschaltung eine zum Vorspannen der DUT verbindbare
dritte Messfühlerspitze 402. Der Lagerblock 402 umfasst
einen zusätzlichen Eingangsanschluss 404, welcher
in der dargestellten Ausführungsform einen Zündkerzenstecker
artigen K-Verbinder umfasst, der einen Anschluß der Gleichstromvorspannung
von dem Netzwerkanalysator erlaubt. In der dargestellten Ausführungsform
ist ein Kabel 406 an seinem hinteren Ende mit dem zweiten
Anschluss des Messfühlers verbunden und verläuft
von dem Lagerblock zu dem Messfühlerkopf 408.
-
Der
Messfühler 408 umfasst ein dielektrisches Blatt 410 und
hat allgemein ebene obere und untere Oberflächen und ist
an dem vorderen Ende des Koaxialkabels 216 befestigt. Eine
erste leitende Signalbahn 246 ist elektrisch mit dem inneren
Leiter 224 des Koaxialkabels verbunden und eine zweite leitende
Signalbahn 248 ist elektrisch mit dem äußeren
Leiter 218 des Koaxialkabels verbunden. Die zugehörigen
leitenden Bahnen leiten die Komponenten der differentiellen Eingabe-
oder Ausgabesignale zu oder von der DUT. Leitende Durchgänge
erstrecken sich durch das dielektrische Blatt, was einen Transfer des
Signalpfads von den leitenden Bahnen an der oberen Oberfläche
des Blatts zu der unteren Oberfläche des Blatts zu den
Kontakthöckern oder Messfühlerspitzen 252, 254 ermöglicht.
-
Der
Leiter 414 des Kabels 406 ist leitend an einem
Durchgang 416 befestigt, der sich von dem Boden des dielektrischen
Blattes zu dessen oberer Oberfläche erstreckt. Eine an
der unteren Oberfläche des dielektrischen Blattes befestigte
leitende Bahn 412 verbindet den Durchgang mit einer zentral
angeordneten Messfühlerspitze 420. Die leitende
Schicht kann, falls gewünscht, im Wesentlichen die gesamte untere
Oberfläche des dielektrischen Blattes mit Ausnahme von
Abstandsflächen um die Signalmessfühlerspitzen 252 und 254 herum
abdecken.
-
Der
Messfühler mit integrierter Symmetrieschaltung ermöglicht
es, dass ein Netzwerkanalysator mit zwei Anschlüssen ohne
teure externe Symmetrieschaltungen beim Testen integrierter Schaltungen
und anderer mikroelektronischer Vorrichtungen mit differentiellen
Signalen verwendet wird.
-
Die
obige detaillierte Beschreibung stellt zahlreiche spezielle Details
dar, um ein vollständiges Verständnis der vorliegenden
Erfindung zu bieten. Fachleute werden jedoch erkennen, dass die
vorliegende Erfindung ohne diese speziellen Details ausgeführt
werden kann. In anderen Fällen wurden gut bekannte Verfahren,
Prozeduren, Komponenten und Schaltungen nicht detailliert beschrieben,
um ein Verschleiern der vorliegenden Erfindung zu vermeiden.
-
Die
obige detaillierte Beschreibung stellt zahlreiche spezielle Details
dar, um ein vollständiges Verständnis der vorliegenden
Erfindung zu bieten. Fachleute werden jedoch erkennen, dass die
vorliegende Erfindung ohne diese speziellen Details ausgeführt
werden kann. In anderen Fällen wurden gut bekannte Verfahren,
Prozeduren, Komponenten und Schaltungen nicht detailliert beschrieben,
um ein Verschleiern der vorliegenden Erfindung zu vermeiden.
-
Alle
hierin zitierten Druckschriften sind durch Bezugnahme mit eingeschlossen.
-
Die
in der vorstehenden Beschreibung verwendeten Begriffe und Ausdrücke
sind als Begriffe zur Beschreibung und nicht zur Beschränkung
verwendet, und es besteht beim Verwenden derartiger Begriffe und
Ausdrücke keinerlei Absicht, Äquivalente der gezeigten
und beschriebenen Merkmale oder Teile davon auszuschließen,
da es klar ist, dass der Rahmen der Erfindung nur durch die folgenden
Ansprüche definiert und beschränkt ist.
-
Zusammenfassung
-
Messfühler für differentielle
Signale mit integrierter Symmetrieschaltung
-
Ein
Messfühler mit integraler Symmetrieschaltung ermöglicht
es, eine differentielle Signale verwendende Vorrichtung mit einer
Quelle oder Senke asymmetrischer Signale zu verbinden.
-
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
-
Diese Liste
der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert
erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information
des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen
Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt
keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
-
Zitierte Patentliteratur
-
- - US 5506515 [0037]
- - US 5565788 [0037]
- - US 6815963 [0037]