DE112010000848T5 - Schaltungen und Verfahren zum Erzeugen eines Selbsttests eines Magnetfeldsensors - Google Patents
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 538
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 134
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 31
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 22
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 15
- 230000005355 Hall effect Effects 0.000 claims description 11
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000010248 power generation Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 64
- 230000006870 function Effects 0.000 description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 8
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 7
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 6
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 3
- 206010004966 Bite Diseases 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IPSRBUVJOPXXTM-UHFFFAOYSA-N [In+3].[O-][Sb]([O-])[O-] Chemical compound [In+3].[O-][Sb]([O-])[O-] IPSRBUVJOPXXTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N indium antimonide Chemical compound [Sb]#[In] WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/0023—Electronic aspects, e.g. circuits for stimulation, evaluation, control; Treating the measured signals; calibration
- G01R33/0035—Calibration of single magnetic sensors, e.g. integrated calibration
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/0023—Electronic aspects, e.g. circuits for stimulation, evaluation, control; Treating the measured signals; calibration
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R35/00—Testing or calibrating of apparatus covered by the other groups of this subclass
- G01R35/005—Calibrating; Standards or reference devices, e.g. voltage or resistance standards, "golden" references
Abstract
Description
- GEBIET DER ERFINDUNG
- Diese Erfindung bezieht sich im Allgemeinen auf Magnetfeldsensoren und insbesondere auf Magnetfeldsensoren, welche eine Selbsttestfähigkeit haben.
- HINTERGRUND DER ERFINDUNG
- Wie bekannt ist, gibt es eine Vielfalt von Typen von Magnetfeldsensierelementen bzw. Magnetfelderkennungselementen, einschließlich jedoch nicht beschränkt auf Halleffektelemente, Magnetowiderstandselemente und Magnetotransistoren. Wie auch bekannt ist, gibt es verschiedene Typen von Halleffektelementen, beispielsweise ein planares Hallelement, ein vertikales Hallelement und ein zirkulares Hallelement. Wie auch bekannt ist, gibt es verschiedene Typen von Magnetowiderstandselementen, beispielsweise ein Riesenmagnetowiderstandselement (GMR = Giant Magneto Resistance = Riesenmagnetowiderstand), ein anisotropes Magnetowiderstandselement (AMR = Anisotropic Magneto Resistance = Anisotroper Magnetwiderstand), ein Tunnelmagnetowiderstandselement (TMR = Tunnelling Magneto Resistance = Tunnelmagnetowiderstand) und einen magnetischen Tunnelkontakt (MTJ = Magnetic Tunnel Junction = Magnetischer Tunnelkontakt).
- Halleffektelemente erzeugen eine Ausgabespannung proportional zu einem Magnetfeld. Im Gegensatz dazu verändern Magnetowiderstandselemente den Widerstand in Proportion zu einem Magnetfeld. In einer Schaltung kann ein elektrischer Strom durch das Magnetowiderstandselement gerichtet sein, wodurch er ein Spannungsausgabesignal proportional zu dem Magnetfeld erzeugt.
- Magnetfeldsensoren, d. h. Schaltungen, welche Magnetfeldsensierelemente verwenden, werden in einer Vielfalt von Anwendungen verwendet, einschließlich, jedoch nicht beschränkt auf einen Stromsensor, welcher ein Magnetfeld, welches durch einen Strom erzeugt wird, welcher durch einen stromführenden Leiter geführt wird, sensiert bzw. erkennt, einen Magnetschalter, welcher die Nähe eines ferromagnetischen Objekts sensiert, einen Drehdetektor, welcher vorbeitretende ferromagnetische Artikel, beispielsweise magnetische Domänen eines Ringmagneten, sensiert und einen Magnetfeldsensor, welcher eine magnetische Felddichte eines Magnetfelds sensiert.
- Wie bekannt ist, haben einige integrierte Schaltungen interne eingebaute Selbsttestfähigkeiten (BIST = Bild In Self Test = Eingebauter Selbsttest). Ein eingebauter Selbsttest ist eine Funktion, welche alle oder einen Teil der internen Funktionalitäten einer integrierten Schaltung überprüfen bzw. verifizieren kann. Einige Typen von integrierten Schaltungen haben eingebaute Selbsttestschaltungen, welche direkt in den integrierten Schaltungschip gebaut sind. Typischerweise wird der eingebaute Selbsttest durch externe Mittel aktiviert, beispielsweise ein Signal, welches von außerhalb der integrierten Schaltung an bestimmte Pins bzw. Anschlussstifte oder Anschlüsse an der integrierten Schaltung kommuniziert wird. Beispielsweise kann eine integrierte Schaltung, welche einen Speicherabschnitt hat, eine eingebaute Selbsttestschaltung einschließen, welche durch ein Selbsttestsignal aktiviert werden kann, welches von außerhalb der integrierten Schaltung kommuniziert wird. Die eingebaute Selbsttestschaltung kann den Speicherabschnitt der integrierten Schaltung in Antwort auf das Selbsttestsignal testen.
- Herkömmliche eingebaute Selbsttestschaltungen neigen dazu, es der integrierten Schaltung nicht zu erlauben, ihre vorgesehene Funktion durchzuführen, während der eingebaute Selbsttest durchgeführt wird. An Stelle dessen gebraucht während des eingebauten Selbsttests die eingebaute Selbsttestschaltung alle oder Teile von Schaltungen auf der integrierten Schaltung auf eine bestimmte Art und Weise, welche nicht notwendigerweise einen gleichzeitigen Betrieb von Funktionen erlaubt, von denen vorgesehen ist, dass sie die integrierte Schaltung durchführt. Demzufolge wird der eingebaute Selbsttest typischerweise nur einmal aktiviert, beispielsweise beim Einschalten der integrierten Schaltung oder von Zeit zu Zeit. Zu anderen Zeiten bzw. Zeitpunkten sind die eingebaute Selbsttestschaltung und die Funktion schlafend und die integrierte Schaltung kann ihre vorgesehene Funktion durchführen.
- Weiterhin neigen, wenn sie in Magnetfeldsensoren verwendet werden, herkömmliche eingebaute Selbsttestschaltungen dazu, das Magnetfeldsensierelement, welches in dem Magnetfeldsensor verwendet wird, nicht zu testen.
- Es wäre erstrebenswert, eingebaute Selbsttestschaltungen und Techniken in einem Magnetfeldsensor vorzusehen, welche es ermöglichen, dass der Selbsttest von Zeit zu Zeit oder auf einen Befehl hin ablauft, während der Magnetfeldsensor gleichzeitig seine vorgesehene Funktion durchführt. Es wäre auch erstrebenswert, einen solchen gleichzeitigen Selbsttest vorzusehen, welcher ein Magnetfeldsensierelement testet, welches in dem Magnetfeldsensor verwendet wird.
- ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
- Die vorliegende Erfindung sieht Selbsttestschaltungen und Techniken in einem Magnetfeldsensor vor, welche es ermöglichen, dass der Selbsttest von Zeit zu Zeit oder auf einen Befehl hin ausgeführt wird, während der Magnetfeldsensor gleichzeitig seine vorgesehene Funktion durchführt. Die vorliegende Erfindung sieht auch einen solchen gleichzeitigen Selbsttest vor, welcher ein Magnetfeldsensierelement testet, welches in dem bzw. innerhalb des Magnetfeldsensors verwendet wird.
- In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfindung weist ein Magnetfeldsensor ein Magnetfeldsensierelement auf, welches durch ein Substrat unterstützt bzw. abgestützt wird. Das Magnetfeldsensierelement ist zum Erzeugen eines zusammengesetzten Magnetfeldsignals, welches einen auf ein gemessenes Magnetfeld reagierenden Signalabschnitt bzw. Signalanteil und einen auf einen Selbsttest reagierenden Signalanteil bzw. Signalabschnitt hat. Der auf das gemessene Magnetfeld reagierende Signalanteil reagiert auf ein gemessenes Magnetfeld. Der auf einen Selbsttest reagierende Signalanteil reagiert auf ein Selbsttestmagnetfeld. Der Magnetfeldsensor weist auch eine Selbsttestschaltung auf, welche einen Selbstteststromleiter in der Nähe zu dem Magnetfeldsensierelement hat. Der Selbstteststromleiter ist zum Führen eines Selbstteststromes, um das Selbsttestmagnetfeld zu erzeugen. Der Magnetfeldsensor weist auch eine Verarbeitungsschaltung auf, welche gekoppelt ist, um ein Signal, welches für das zusammengesetzte Magnetfeldsignal repräsentativ ist, zu empfangen. Die Verarbeitungsschaltung ist konfiguriert, um ein Sensorsignal zu erzeugen, welches repräsentativ ist für den auf das gemessene Magnetfeld reagierenden Signalanteil. Die Verarbeitungsschaltung ist auch konfiguriert, um wenigstens eines eines diagnostischen Signals bzw. Diagnosesignals, welches repräsentativ für den auf den Selbsttest reagierenden Signalanteil ist, oder eines zusammengesetzten Signals, welches repräsentativ ist sowohl für den auf das gemessene Magnetfeld reagierenden Signalanteil als auch für den auf den Selbsttest reagierenden Signalanteil, zu erzeugen.
- In Übereinstimmung mit einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung weist ein Verfahren zum Erzeugen eines Selbsttests eines Magnetfeldsensors ein Erzeugen eines zusammengesetzten Magnetfeldsignals mit einem Magnetfeldsensierelement, welches einen auf ein gemessenes Magnetfeld reagierenden Signalanteil und einen auf einen Selbsttest reagierenden Signalanteil hat. Der auf das gemessene Magnetfeld reagierende Signalanteil reagiert auf ein gemessenes Magnetfeld. Der auf einen Selbsttest reagierende Signalabschnitt reagiert auf ein Selbsttestmagnetfeld. Das Verfahren schließt auch das Erzeugen eines Selbstteststromes in einem Selbstteststromleiter benachbart zu dem Magnetfeldsensierelement ein. Der Selbstteststromleiter ist zum Führen des Selbstteststromes, um das Selbsttestmagnetfeld zu erzeugen. Das Verfahren schließt auch das Erzeugen eines Sensorausgabesignals, welches repräsentativ für den auf das gemessene Magnetfeld reagierenden Signalanteil ist, ein. Das Verfahren schließt auch das Erzeugen von wenigstens einem eines Diagnosesignals, welches repräsentativ für den auf den Selbsttest reagierenden Signalanteil ist, oder eines zusammengesetzten Signals, welches repräsentativ für sowohl den auf das gemessene Magnetfeld reagierenden Signalanteil als auch für den auf den Selbsttest reagierenden Signalanteil ist, ein.
- KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
- Die vorstehenden Merkmale der Erfindung sowie die Erfindung selbst können vollständiger verstanden werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung der Zeichnungen, in welchen:
-
1 ein Blockdiagramm ist, welches einen Magnetfeldsensor in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung zeigt, welcher ein Magnetfeldsensierelement, einen Selbsttestleiter, einen Diagnoseanfrageprozessor, einen Signalprozessor und Ausgabeschaltungen hat; -
2 ein Blockdiagramm ist, welches eine beispielhafte Anordnung des Magnetfeldsensierelements und des Selbsttestleiters der1 zeigt; -
2A ein Blockdiagramm ist, welches eine andere beispielhafte Anordnung des Magnetfeldsensierelements und des Selbsttestleiters der1 zeigt; -
2B ein Blockdiagramm ist, welches noch eine andere beispielhafte Anordnung des Magnetfeldsensierelements und des Selbsttestleiters der1 zeigt; -
2C ein Blockdiagramm ist, welches noch eine andere beispielhafte Anordnung des Magnetfeldsensierelementes und des Selbsttestleiters der1 zeigt; -
2D ein Blockdiagramm ist, welches noch eine andere beispielhafte Anordnung des Magnetfeldsensierelementes, hier gezeigt als vier Magnetfeldsensierelemente, und den Selbsttestleiter der1 zeigt; -
3 ein Blockdiagramm ist, welches einen Querschnitt zeigt, welcher repräsentativ für eine beispielhafte Anordnung des Magnetfeldsensierelementes und des Selbsttestleiters der1 ist, nämlich, das Magnetfeldsensierelement und den Selbsttestleiter der2B , wobei die Anordnung ein elektromagnetisches Schild aufweist; -
3A ein Blockdiagramm ist, welches einen Querschnitt zeigt, welcher repräsentativ für eine andere beispielhafte Anordnung des Magnetfeldsensierelementes und des Selbsttestleiters der1 ist, wobei die Anordnung ein elektromagnetisches Schild aufweist; -
3B ein Blockdiagramm ist, welches einen Querschnitt zeigt, welcher repräsentativ für noch eine andere beispielhafte Anordnung des Magnetfeldsensierelementes und des Selbsttestleiters der1 ist; -
3C ein Blockdiagramm ist, welches einen Querschnitt zeigt, welcher repräsentativ für noch eine andere beispielhafte Anordnung des Magnetfeldsensierelementes und des Selbsttestleiters der1 ist, nämlich das Magnetfeldsensierelement und den Selbsttestleiter der2C , wobei die Anordnung ein elektromagnetisches Schild aufweist; -
3D ein Blockdiagramm ist, welches einen Querschnitt zeigt, welcher repräsentativ für noch eine andere beispielhafte Anordnung des Magnetfeldsensierelementes und des Selbsttestleiters der1 ist, wobei die Anordnung ein elektromagnetisches Schild aufweist; -
3E bis3G Blockdiagramme sind, welche drei Anordnungen für Magnetfeldsensoren zeigen; -
4 ein Blockdiagramm ist, welches weitere Details des Diagnoseanfrageprozessors der1 zeigt; -
5 ein Blockdiagramm eines beispielhaften Magnetfeldsensors ist, welches weitere Details des Magnetfeldsensierelementes, des Selbsttestleiters und des Signalprozessors der1 zeigt; -
5A ein Blockdiagramm eines anderen beispielhaften Magnetfeldsensors ist, welches weitere Details des Magnetfeldsensierelementes, des Selbsttestleiters und des Signalprozessors der1 zeigt; -
5B ein Blockdiagramm ist, welches gemeinsame Drainausgabeschaltungen zeigt, welche als ein Teil des Magnetfeldsensors der5 und5A verwendet werden können; -
6 ein Blockdiagramm noch eines anderen beispielhaften Magnetfeldsensors ist, welches weitere Details des Magnetfeldsensierelementes, des Selbsttestleiters und des Signalprozessors der1 zeigt; -
7 ein Diagramm ist, welches beispielhafte Ausgabesignale von den Magnetfeldsensoren der1 ,5 ,5A und6 zeigt; -
7A ein Diagramm ist, welches ein anderes beispielhaftes Ausgabesignal von den Magnetfeldsensoren der1 ,5 ,5A und6 zeigt; -
7B bis7F Diagramme sind, welche verschiedene beispielhafte Diagnoseeingabesignale zeigen, welche durch den Diagnoseanfrageprozessor der Magnetfeldsensoren der1 ,5 ,5A und6 empfangen werden; -
8 ein Diagramm ist, welches ein Diagnoseeingabesignal, das gleiche wie oder ähnlich zu dem Diagnoseneingabesignal der7B zeigt, welches durch den Diagnoseanfrageprozessor des Magnetfeldsensors der1 ,5 ,5A und6 empfangen wird; -
8A bis8D Diagramme sind, welche verschiedene beispielhafte Diagnoseausgabesignale zeigen, welche durch die Magnetfeldsensoren der1 ,5 ,5A und6 erzeugt werden; -
9 ein Diagramm ist, welches beispielhafte Ausgabesignale, die gleichen wie oder ähnlich zu den Ausgabesignalen, welche in7 gezeigt sind, von den Magnetfeldsensoren der1 ,5 ,5A und6 zeigt; -
9A ein Diagramm ist, welches ein Diagnoseeingabesignal zeigt, das gleiche wie oder ähnlich zu dem Diagnoseeingabesignal der7B und8 , welches durch den Diagnoseanfrageprozessor der Magnetfeldsensoren der1 ,5 ,5A und6 empfangen wird; -
9B bis9E Diagramme sind, welche verschiedene beispielhafte kombinierte Ausgabesignale zeigen, welche durch die Magnetfeldsensoren der1 ,5 ,5A und6 erzeugt werden; -
10 und10B eine Serie von Diagrammen sind, welche ein Diagnosesteuersignal, ein Diagnoseausgabesignal, welches durch die Magnetfeldsensoren der5 und6 erzeugt wird, und ein Diagnoseausgabesignal, welches durch den Magnetfeldsensor der5A erzeugt wird, zeigen; -
11 eine Draufsicht auf ein beispielhaftes elektromagnetisches Schild ist, welches einen Teil des Magnetfeldsensors der1 bilden kann, und welches als das elektromagnetische Schild der3 ,3A ,3C und3D verwendet werden kann; -
12 eine Draufsicht auf ein anderes beispielhaftes elektromagnetisches Schild ist, welches einen Teil des Magnetfeldsensors der1 bilden kann, und welches als das elektromagnetische Schild der3 ,3A ,3C und3D verwendet werden kann; -
13 eine Draufsicht auf noch ein anderes elektromagnetisches Schild ist, welches einen Teil des Magnetfeldsensors der1 bilden kann, und welches als das elektromagnetische Schild der3 ,3A ,3C und3D verwendet werden kann; -
14 eine Draufsicht auf noch ein anderes beispielhaftes elektromagnetisches Schild ist, welches einen Teil des Magnetfeldsensors der1 bilden kann, und welches als das elektromagnetische Schild der3 ,3A ,3C und3D verwendet werden kann; -
15 ein Blockdiagramm ist, welches eine Mehrzahl von Magnetfeldsensoren zeigt, welche verwendet werden, um eine Position eines Gangschalthebels, wie er in einem Automobil vorgesehen sein kann, zu sensieren bzw. zu erkennen; und -
16 ein Blockdiagramm einer Schaltung ist, welche einen Selbsttestleiter hat, durch welchen einen Richtung eines Antriebsstromes bzw. Treiberstromes verändert werden kann. - DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
- Bevor die vorliegende Erfindung beschrieben wird, werden einige einführende Konzepte und die Terminologie erklärt. Wie hierin verwendet, wird der Term bzw. Wortlaut „Magnetfeldsensierelement” bzw. ”Magnetfelderkennungselement” verwendet, um eine Vielzahl von elektronischen Elementen zu beschreiben, welche ein Magnetfeld sensieren bzw. erkennen können. Die Magnetfeldsensierelemente können sein, sind jedoch nicht beschränkt auf Halleffektelemente, Magnetowiderstandselemente oder Magnetotransistoren. Wie bekannt ist gibt es verschiedene Typen von Halleffektelementen, beispielsweise ein planares Hallelement, ein vertikales Hallelement und ein zirkulares Hallelement. Wie auch bekannt ist, gibt es verschiedene Typen von Magnetowiderstandselementen, beispielsweise ein Riesenmagnetowiderstands(GMR = Giant Magneto Resistance = Riesenmagnetwiderstand)-Element, ein anisotropes Magnetowiderstandselement (AMR = Anisotropic Magneto Resistance = Anisotroper Magnetwiderstand), ein Tunnelmagnetowiderstands-(TMR = Tunnelling Magneto Resistance = Tunnelmagnetowiderstand)-Element, einen Indium-Antimonit(InSb)-Sensor und einen magnetischen Tunnelkontakt (MTJ = Magnetic Tunnel Junction = Magnetischer Tunnelkontakt).
- Wie bekannt ist, neigen einige der oben beschriebenen Magnetfeldsensierelemente dazu, eine Achse maximaler Empfindlichkeit parallel zu einem Substrat zu haben, welches das Magnetfeldsensierelement abstützt, und andere der oben beschriebenen Magnetfeldsensierelemente neigen dazu, eine Achse maximaler Empfindlichkeit rechtwinklig zu einem Substrat zu haben, welches das Magnetfeldsensierelement abstützt. Insbesondere neigen die meisten Typen von Magnetowiderstandselementen dazu, Achsen maximaler Empfindlichkeit parallel zu dem Substrat zu haben und die meisten Typen von Hallelementen neigen dazu, Achsen von Empfindlichkeit rechtwinklig zu einem Substrat zu haben.
- Wie hierin verwendet wird der Term bzw. Wortlaut „Magnetfeldsensor” verwendet, um eine Schaltung zu beschreiben, welche ein Magnetfeldsensierelement aufweist. Magnetfeldsensoren werden in einer Vielzahl von Anwendungen verwendet einschließend, jedoch nicht beschränkt auf einen Stromsensor, welcher ein Magnetfeld erkennt bzw. sensiert, welches durch einen Strom erzeugt wird, welcher durch einen stromführenden Leiter geführt wird, einen magnetischen Schalter, welcher die Nähe eines ferromagnetischen Objekts erkennt, einen Drehdetektor, welcher vorbeitretende ferromagnetische Artikel, beispielsweise magnetische Domänen eines Ringmagneten, erkennt, und einen Magnetfeldsensor, welcher eine Magnetfeldichte eines Magnetfeldes erkennt.
- Bezug nehmend auf
1 weist ein Magnetfeldsensor10 ein Magnetfeldsensierelement32 auf, welches durch ein Substrat (nicht gezeigt) abgestützt wird. Das Magnetfeldsensierelement32 ist zum Erzeugen eines zusammengesetzten Magnetfeldsignals32a , welches einen auf ein gemessenes Magnetfeld reagierenden Signalanteil und einen auf einen Selbsttest reagierenden Signalanteil hat. Der auf das gemessene Magnetfeld reagierende Signalanteil reagiert auf ein gemessenes Magnetfeld. Der auf einen Selbsttest reagierende Signalanteil reagiert auf ein Selbsttestmagnetfeld. Der Magnetfeldsensor10 weist auch eine Selbsttestschaltung auf, welche einen Selbstteststromleiter30 in der Nähe zu dem Magnetfeldsensierelement32 hat. Der Selbstteststromleiter30 ist zum Leiten bzw. Führen eines Selbstteststromes24a zum Erzeugen des Selbsttestmagnetfelds. Der Magnetfeldsensor10 weist auch eine Verarbeitungsschaltung34 auf, welche gekoppelt ist, um ein Signal, beispielsweise das Signal32a , welches repräsentativ für das zusammengesetzte Magnetfeldsignal32a ist, zu empfangen. Die Verarbeitungsschaltung34 ist konfiguriert, um ein Sensorsignal36a zu erzeugen, welches repräsentativ für den Magnetfeldsignalanteil ist. Die Verarbeitungsschaltung34 ist auch konfiguriert, um wenigstens eines eines Diagnosesignals36c , welches repräsentativ für den auf den Selbsttest reagierenden Signalanteil ist oder eines zusammengesetzten Signals36b , welches repräsentativ für sowohl den auf das gemessene Magnetfeld reagierenden Signalanteil als auch für den auf den Selbsttest reagierenden Signalanteil ist, zu erzeugen. - In einigen Ausführungsformen ist das Selbsttestmagnetfeld innerhalb eines Bereichs von ungefähr 20 bis 40 Gauss. In anderen Ausführungsformen jedoch kann das Selbsttestmagnetfeld kleiner als 20 Gauss oder größer als 40 Gauss sein.
- Der Magnetfeldsensor
10 kann Leistungs- und Bias- bzw. Vorspannungs- und Treiberschaltungen22 aufweisen. Die Leistungs- und Bias- und Treiberschaltungen22 können eine Leistungsschaltung und ein Bias-Modul28 aufweisen, welche konfiguriert sind, um verschiedene Spannungen und Ströme für den Rest der Schaltungen innerhalb des Magnetfeldsensors10 vorzusehen. Die Leistungs- und Bias- und Treiberschaltungen22 können auch ein Sensorelementtreibermodul26 (beispielsweise eine Stromquelle) aufweisen, welche beispielsweise konfiguriert ist, um ein Stromsignal26a zu erzeugen, welches mit dem Magnetfeldsensierelement32 gekoppelt ist. Die Leistungs- und Bias- und Treiberschaltungen22 können auch ein Spulentreibermodul24 (beispielsweise eine Stromquelle) aufweisen, welche konfiguriert ist, um ein Stromsignal24a zu erzeugen, welches mit dem Selbstteststromleiter30 gekoppelt ist. In anderen Ausführungsformen jedoch kann ein externes Spulentreibermodul, entfernt von der integrierten Schaltung10 verwendet werden. - Der Magnetfeldsensor
10 kann auch einen Diagnoseanfrageprozessor bzw. Diagnoseanforderungsprozessor58 aufweisen, welcher gekoppelt ist, um ein Diagnoseeingabesignal (Diag_In)23 zu empfangen. Der Diagnoseanfrageprozessor58 wird vollständiger unten in Verbindung mit4 beschrieben und das Diagnoseeingabesignal23 wird vollständiger untenstehend in Verbindung mit den4 und7B bis7F beschrieben. Es sei jedoch an dieser Stelle ausreichend zu sagen, dass, in manchen Ausführungsformen, das Diagnoseeingabesignal23 durch den Diagnoseanfrageprozessor58 dekodiert werden kann, und, in Antwort auf das Diagnoseeingabesignal23 der Diagnoseanfrageprozessor58 einen Selbsttest des Magnetfeldsensors10 initiieren kann. Der Diagnoseanfrageprozessor58 kann ein Diagnosesteuersignal58 erzeugen und das Spulentreibermodul24 kann gekoppelt sein, um das Diagnosesteuersignal58a zu empfangen. In Antwort auf das Diagnosesteuersignal58a kann die Spulentreiberschaltung24 das Stromsignal24a erzeugen. - Die Verarbeitungsschaltung
34 (hierauf wird hierin auch Bezug genommen als ein Signalprozessor34 ) kann ein Verarbeitungsmodul36 aufweisen, welches entweder einen analogen Signalprozessor830 , einen digitalen Signalprozessor40 oder irgendeine Kombination von analogen und digitalen Prozessoren38 ,40 hat, welche irgendeine Kombination von analogen und digitalen Verarbeitungen des zusammengesetzten Magnetfeldsignals32a durchführen. Der Pfeil, welcher zwischen dem analogen Signalprozessor38 und dem digitalen Signalprozessor40 gezeigt ist, wird lediglich dazu verwendet, um die Kombination von analoger und digitaler Signalverarbeitung und verschiedenen Kopplungen dazwischen anzuzeigen. - Der Signalprozessor
34 kann auch ein Verstärkungsanpassungsmodul24 , ein Offset-Anpassungsmodul44 und ein Temperaturanpassungsmodul46 aufweisen, wovon jedes mit dem Verarbeitungsmodul36 gekoppelt ist. Das Verstärkungsanpassungsmodul42 ist konfiguriert, um zu einem Signal48 beizutragen, welches durch das Verarbeitungsmodul36 empfangen wird, wobei das Signal48 konfiguriert ist, um eine Verstärkung des Verarbeitungsmoduls36 anzupassen oder zu kalibrieren. Das Offset-Anpassungsmodul44 ist auch konfiguriert, um zu dem Signal48 , welches durch das Verarbeitungsmodul36 empfangen wird, beizutragen, wobei das Signal48 auch konfiguriert ist, um einen DC-Offset des Verarbeitungsmoduls36 anzupassen oder zu kalibrieren. Das Temperaturanpassungsmodul46 ist auch konfiguriert, um zu dem Signal48 , welches durch das Verarbeitungsmodul36 empfangen wird, beizutragen, wobei das Signal48 konfiguriert ist, um eine Verstärkung und/oder einen DC-Offset des Verarbeitungsmodules36 über bzw. in Abhängigkeit von Temperaturabweichungen anzupassen oder zu kalibrieren. Es wird verstanden werden, dass eine Verstärkung, ein Offset und eine Temperatur nur einige gemeinsame Parameter sind, welche kompensiert/angepasst werden, dass jedoch die Kompensation/Anpassung nicht nur auf diese Parameter beschränkt ist. - Das Verarbeitungsmodul
36 ist konfiguriert, um das Sensorsignal36a zu erzeugen, welches repräsentativ für den oben beschriebenen auf das gemessene Magnetfeld reagierenden Signalanteil ist. Das Verarbeitungsmodul36 ist auch konfiguriert, um wenigstens eines des Diagnosesignals36c , welches repräsentativ für den oben beschriebenen auf den Selbsttest reagierenden Signalanteil ist, oder des zusammengesetzten Signals36b , welches repräsentativ sowohl für den auf das gemessene Magnetfeld reagierenden Signalanteil als auch auf den Selbsttest reagierenden Signalanteil ist, zu erzeugen. - In einigen Ausführungsformen kann der Magnetfeldsensor
10 auch Ausgabeschaltungen50 , beispielsweise eine Sensorausgabeformatierschaltung52 , eine Diagnoseausgabeformatierschaltung56 und eine Kombinierschaltung54 auweisen. Der Betrieb der Sensorausgabeformatierschaltung52 der Diagnoseausgabeformatierschaltung56 und der Kombinierschaltung54 werden weiter verstanden werden aus der untenstehenden Diskussion in Verbindung mit den8 bis8D und9 bis9E . Es sei an dieser Stelle ausreichend zu sagen, dass die Sensorausgabeformatierschaltung52 das Signal36a , welches repräsentativ für den auf das gemessene Magnetfeld reagierenden Signal anteil ist, umformatieren bzw. reformatieren kann, um ein Sensorausgabesignal52a (Sensor_Out) zu erzeugen. Die Diagnosesignalformatierschaltung56 kann das Signal36c , welches repräsentativ für den auf den Selbsttest reagierenden Signalanteil ist, umformatieren bzw. reformatieren, um ein Diagnoseausgabesignal56a (Diag_Out) zu erzeugen. Die Kombinierschaltung54 kann entweder das Signal36b , welches repräsentativ ist für sowohl den auf das gemessene Magnetfeld reagierenden Signalanteil als auch für den auf den Selbsttest reagierenden Signalanteil, reformatieren bzw. umformatieren, um ein kombiniertes Ausgabesignal54a (Combined_Out) zu erzeugen, oder es kann die Signale52a ,56a verwenden, um ein ähnliches Resultat bzw. Ergebnis zu erreichen. - Der Magnetfeldsensor
10 kann auch ein externes Spulentreibersignal16 und eine externe Masse20 vorsehen, welche mit einem externen Leiter oder einer Spule18 gekoppelt werden können. Die Spule18 kann an Stelle des Selbstteststromleiters30 verwendet werden, um das oben beschriebene Selbsttestmagnetfeld zu erzeugen. - In Betrieb kann das Stromsignal
24a ein Pulssignal sein und demzufolge kann das Selbsttestmagnetfeld ein gepulstes Magnetfeld sein, welches durch den Selbstteststromleiter30 oder durch die externe Spule18 erzeugt wird. Das Selbsttestmagnetfeld kann physikalisch mit dem oben beschriebenen gemessenen Magnetfeld kombinieren, welches ein Feld ist, welches mit demjenigen verbunden ist, für dessen Messung der Magnetfeldsensor10 vorgesehen ist. Beispielsweise kann der Magnetfeldsensor10 vorgesehen sein, um ein Magnetfeld zu messen, welches mit einem ferromagnetischen oder einem magnetischen Objekt verbunden ist, welches das gemessene Magnetfeld erzeugt. Als ein anderes Beispiel kann der Magnetfeldsensor10 vorgesehen sein, um einen Strom, welcher in einem Leiter (nicht gezeigt) fließt, zu messen, welcher das gemessene Magnetfeld erzeugt. - In Betrieb wird die Kombination des gemessenen Magnetfelds und des Selbsttestmagnetfeldes durch das Magnetfeldsensierelement
32 empfangen. Das Selbsttestmagnetfeld kann durch das Diagnoseeingabesignal23 initiiert werden, welches vollständiger untenstehend in Verbindung mit den7 bis7F beschrieben ist. Das Selbsttestmagnetfeld kann auch auf anderen Wegen initiiert werden, welche vollständiger untenstehend in Verbindung mit4 beschrieben sind. Das Magnetfeldsensierelement erzeugt demnach das oben beschriebene zusammnengesetzte Magnetfeldsignal32a , welches einen auf ein gemessenes Magnetfeld reagierenden Signalanteil hat, welcher auf das gemessene Magnetfeld reagiert, und einen auf den Selbsttest reagierenden Signalanteil hat, welcher auf das Selbsttestmagnetfeld reagiert. - In einigen Ausführungsformen kann die Verarbeitungsschaltung
36 arbeiten, um den auf das gemessene Magnetfeld reagierenden Signalanteil von dem auf den Selbsttest reagierenden Signalanteil zu trennen, um das Sensorsignal36a , welches repräsentativ ist für den Magnetfeldsignalanteil, und das Diagnosesignal36c zu erzeugen, welches repräsentativ ist für den auf den Selbsttest reagierenden Signalanteil. In manchen Ausführungsformen jedoch kann die Verarbeitungsschaltung das zusammengesetzte Signal36b erzeugen, welches repräsentativ ist für sowohl den auf das gemessene Magnetfeld reagierenden Signalanteil als auch für den auf den Selbsttest reagierenden Signalanteil, und zwar zusätzlich zu oder an Stelle des Signals36c . - In Betrieb können die Ausgabeschaltungen
50 die Signale36a bis36c in wenigstens die untenstehend in Verbindung mit den8A bis8D ,9 ,9B bis9E ,10A und10B beschriebenen Formate umformatieren bzw. reformatieren. - Bezug nehmend nunmehr auf
2 , in welcher gleiche Elemente der1 gleiche Bezugszeichen habend gezeigt sind, ist ein Selbstteststromleiter30' (wobei das Strichsymbol eine bestimmte Variation des Selbstteststromleiters30 der1 anzeigt) benachbart zu dem Magnetfeldsensierelement32 . Wenn ein Strom in der Richtung des Pfeiles des Leiters30' durch den Selbstteststromleiter30' hindurchtritt, wird ein Selbsttestmagnetfeld60a erzeugt und durch das Magnetfeldsensierelement32 als ein Magnetfeld, welches im Allgemeinen rechtwinklig zu einer Hauptoberfläche des Magnetfeldsensierelementes32 ist, empfangen. Demnach ist diese Anordnung im Allgemeinen geeignet für die meisten Typen von Halleffektelementen. - Das Selbsttestmagnetfeld
60a kann ein gepulstes Magnetfeld sein, welches durch einen gepulsten Strom erzeugt wird, welcher durch den Selbstteststromleiter30' geführt bzw. geleitet wird. Das Selbsttestmagnetfeld60a addiert bzw. addiert sich physikalisch zu irgendeinem anderen Magnetfeld (nicht gezeigt), beispielsweise dem gemessenen Magnetfeld, welches durch das Magnetfeldsensierelement32 erfahren wird. - Bezugnehmend nunmehr auf
2A , in welcher gleiche Elemente der1 und2 gleiche Bezugszeichen habend gezeigt sind, ist ein Selbstteststromleiter30'' benachbart zu dem Magnetfeldsensierelement32 . Der Selbstteststromleiter30'' bildet eine Schleife mit einer Wicklung um das Magnetfeldsensierelement32 . Wenn ein Strom in der Richtung der Pfeile an dem Leiter30'' durch den Selbstteststromleiter30'' hindurchtritt, wird ein Selbsttestmagnetfeld60b erzeugt und durch das Magnetfeldsensierelement32 empfangen als ein Magnetfeld, welches im Allgemeinen rechtwinklig zu einer Hauptoberfläche des Magnetfeldsensierelementes32 ist. Demnach ist diese Anordnung auch im Allgemeinen für die meisten Typen von Halleffektelementen geeignet. - Es wird verstanden werden, dass das Selbsttestmagnetfeld
60b größer ist als das Selbsttestmagnetfeld60a der2 , wenn der Selbstteststrom der gleiche ist. - Das Selbsttestmagnetfeld
60b kann ein gepulstes Magnetfeld sein, welches durch einen gepulsten Strom erzeugt wird, welcher durch den Selbstteststromleiter30'' geleitet wird. Das Selbsttestmagnetfeld60b addiert sich physikalisch zu irgendeinem anderen Magnetfeld (nicht gezeigt), beispielsweise dem gemessenen Magnetfeld, welches durch das Magnetfeldsensierelement32 erfahren wird. - Bezug nehmend nunmehr auf
2B , in welcher gleiche Elemente der1 ,2 und2A gleiche Bezugszeichen habend gezeigt sind, ist ein Selbstteststromleiter30''' benachbart zu dem Magnetfeldsensierelement32 . Der Selbstteststromleiter30''' bildet eine Mehrwicklungs-Schleife oder Spule um das Magnetfeldsensierelement32 . Wenn ein Strom in der Richtung der Pfeile an dem Leiter30''' durch den Selbstteststromleiter30''' hindurchtritt, wird ein Selbsttestmagnetfeld60c erzeugt und durch das Magnetfeldsensierelement32 empfangen als ein Magnetfeld, welches im Allgemeinen rechtwinklig zu einer Hauptoberfläche des Magnetfeldsensierelementes32 ist. Demnach ist diese Anordnung auch im Allgemeinen für die meisten Typen von Halleffektelementen geeignet. - Es wird verstanden werden, dass das Selbsttestmagnetfeld
60c größer ist als das Selbsttestmagnetfeld60a der2 und das Selbsttestmagnetfeld60b der2A , wenn der Selbstteststrom der gleiche ist. - Das Selbsttestmagnetfeld
60c kann ein gepulstes Magnetfeld sein, welches durch einen gepulsten Strom erzeugt wird, welcher durch den Selbstteststromleiter30''' geleitet wird. Das Selbsttestmagnetfeld60c addiert sich physikalisch zu irgendeinem anderen Magnetfeld (nicht gezeigt), beispielsweise dem gemessenen Magnetfeld, welches durch das Magnetfeldsensierelement32 erfahren wird. - Bezug nehmend nunmehr auf
2C , in welcher gleiche Elemente der1 ,2 ,2A und2B gleiche Bezugszeichen habend gezeigt sind, ist ein Selbstteststromleiter30'''' benachbart zu dem Magnetfeldsensierelement32 . Wenn ein Strom in der Richtung des Pfeiles an dem Leiter30'''' durch den Selbstteststromleiter30'''' hindurchtritt, wird ein Selbsttestmagnetfeld60d erzeugt und durch das Magnetfeldsensierelement32 empfangen als ein Magnetfeld, welches im Allgemeinen parallel zu einer Hauptoberfläche des Magnetfeldsensierelementes32 ist. Demnach ist diese Anordnung im Allgemeinen für die meisten Typen von Magnetowiderstandselementen geeignet. - Das Selbsttestmagnetfeld
60d kann ein gepulstes Magnetfeld sein, welches durch einen gepulsten Strom erzeugt wird, welches durch den Selbstteststromleiter30'''' geleitet wird. Das Selbsttestmagnetfeld60d addiert sich physikalisch zu irgendeinem anderen Magnetfeld (nicht gezeigt), beispielsweise dem gemessenen Magnetfelt, welches durch das Magnetfeldsensierelement32 erfahren wird. - Bezug nehmend nunmehr auf
2D , in welcher gleiche Elemente der1 ,2 ,2A ,2B und2C gleiche Bezugszeichen habend gezeigt sind, ist ein Selbstteststromleiter30''''' benachbart zu dem Magnetfeldsensierelement32 . Das Magnetfeldsensierelement32 besteht aus vier Magnetfeldsensierelementen32a bis32d . Wenn ein Strom in der Richtung des Pfeils an dem Leiter30''''' durch den Selbstteststromleiter30''''' hindurchtritt, wird ein Selbsttestmagnetfeld60e erzeugt und durch das Magnetfeldsensierelement32a bis32d als ein Magnetfeld empfangen, welches im Allgemeinen parallel zu den Hauptoberflächen der Magnetfeldsensierelemente32a bis32d ist. Demnach ist diese Anordnung im Allgemeinen geeignet für die meisten Typen von Magnetowiderstandselementen. - Das Selbsttestmagnetfeld
60e kann ein gepulstes Magnetfeld sein, welches durch einen gepulsten Strom, welcher durch den Selbstteststromleiter30''''' geleitet wird, erzeugt wird. Das Selbsttestmagnnetfeld60e addiert sich physikalisch zu irgendeinem anderen Magnetfeld (nicht gezeigt), beispielsweise dem gemessenen Magnetfeld, welches durch die Magnetfeldsensierelemente32a bis32d erfahren wird. In einigen Anordnungen kann ein Knoten62a mit einer Leistungsversorgungsspannung, beispielsweise Vcc gekoppelt sein, ein Knoten62d kann mit einer Spannungsreferenz, beispielsweise Masse gekoppelt sein, und Knoten62b und62c können ein unterschiedliches Ausgabesignal vorsehen bzw. bereitstellen. - Bezug nehmend nunmehr auf
3 ist ein Querschnitt eines Abschnittes eines Magnetfeldsensors70 repräsentativ für das Magnetfeldsensierelement32 und den Selbstteststromleiter30''' der2B . Der Magnetfeldsensor70 weist ein Magnetfeldsensierelement92 auf, welches durch ein Substrat82 , welches eine Oberfläche82a hat, abgestützt bzw. unterstützt wird. Das Magnetfeldsensierelement92 kann beschichtet bzw. eingeschichtet in oder diffundiert in und unter die Oberfläche82a des Substrates82 sein, wie es für die Herstellung von Halleffektelementen bekannt ist. Das Magnetfeldsensierelement92 kann eine Achse96 maximaler Antwort im Allgemeinen rechtwinklig zu der Oberfläche82a des Substrates82 haben. - Der Magnetfeldsensor
70 kann Metalllagen bzw. Metallschichten84 ,86 ,88 aufweisen, welche durch isolierende Lagen bzw. isolierende Schichten76 ,78 ,80 getrennt sind. Andere metallische und isolierende Lagen bzw. Schichten (nicht gezeigt) können zwischen der leitenden Schicht76 und der metallischen Schicht84 angeordnet sein. Ein elektromagnetisches Schild72 kann über einer anderen isolierenden Schicht74 angeordnet sein. - Sektionen bzw. Abschnitte
94a bis94c sind repräsentativ für einen Spulenselbsttestleiter, wie beispielsweise den Selbsttestleiter30''' der2B und repräsentativ für den Selbsttestleiter30 der1 . Die Sektionen94a bis94c können einen zusammenhängenden Selbsttestleiter, hier auf verschiedenen der metallischen Schichten84 ,86 ,88 angeordnet und über Vias90a ,90b gekoppelt, bilden. Ein Selbstteststrom, welcher durch den Selbsttestleiter94a bis94c geleitet bzw. geführt wird, neigt dazu, ein Selbsttestmagnetfeld entlang der Achse96 maximaler Antwort zu bilden. - Bezug nehmend nunmehr auf
3A , in welcher gleiche Elemente der3 gleiche Bezugszeichen habend gezeigt sind, kann ein Magnetfeldsensor100 alle der Lagen bzw. Schichten des Magnetfeldsensors70 der3 und auch das Magnetfeldsensierelement92 der3 aufweisen, der Selbsttestleiter94a bis94c der3 jedoch kann durch einen ununterbrochenen externen Spulenselbsttestleiter102 ersetzt sein, welcher, in einigen Ausführungsformen, an bzw. auf einer Leiterplatte104 angeordnet sein kann. Der externe Selbsttestleiter102 ist repräsentativ für den externen Selbsttestleiter18 der1 . Der Selbsttestleiter102 , welcher auf einer metallischen Schicht der Leiterplatte104 gezeigt ist, kann an Stelle dessen aus einer Mehrzahl von Metallschichten bzw. metallischen Schichten auf bzw. an der Leiterplatte104 gebildet sein. Ein Selbstteststrom, welcher durch den Selbsttestleiter102 geleitet wird, neigt dazu, ein Selbsttestmagnetfeld entlang der Achse96 maximaler Antwort zu bilden. - Bezugnehmend nunmehr auf
3B , in welcher gleiche Elemente der3 und3A gleiche Bezugszeichen habend gezeigt sind, kann ein Magnetfeldsensor110 alle der Schichten der Magnetfeldsensoren70 der3 und100 der3A aufweisen, der externe Selbsttestleiter102 der3A jedoch kann durch einen zusammenhängenden externen Spulenselbsttestleiter114 ersetzt sein. Weiterhin kann das Magnetfeldsensierelement92 der3 und3A durch ein Magnetfeldsensierelement112 ersetzt sein, welches eine Achse116 maximaler Antwort im Allgemeinen parallel zu der Oberfläche82a des Substrates82 hat. Der externe Selbsttestleiter114 ist repräsentativ für den externen Selbsttestleiter18 der1 . - Das Magnetfeldsensierelement
112 kann auf oder in der Nähe der Oberfläche82a des Substrates82 angeordnet sein, wie es bekannt ist für die Herstellung von Magnetowiderstandselementen. Das Magnetfeldsensierelement92 kann eine Achse116 maximaler Antwort im Allgemeinen parallel zu der Oberfläche82a des Substrats82 haben. Ein Selbstteststrom, welcher durch den Selbsttestleiter114 geleitet wird, neigt dazu, ein Selbsttestmagnetfeld entlang der Achse116 maximaler Antwort zu bilden. - Bezug nehmend nunmehr auf
3C , in welcher gleiche Elemente der3 bis3B gleiche Bezugszeichen habend gezeigt sind, kann ein Magnetfeldsensor120 alle Lagen bzw. Schichten der Magnetfeldsensoren70 ,100 und110 der3 ,3A und3B und auch das Magnetfeldsensierelement112 der3B aufweisen, der externe Selbsttestleiter114 der3B kann jedoch durch einen internen Einzelleiter-Selbsttestleiter122 ersetzt sein. Der Selbsttestleiter122 ist repräsentativ für den Selbsttestleiter30 der1 und den Selbsttestleiter30'''' der2C . - Ein Selbstteststrom, welcher durch den Selbsttestleiter
122 geleitet wird, neigt dazu, ein Selbsttestmagnetfeld entlang der Achse116 maximaler Antwort zu bilden. - Bezug nehmend nunmehr auf
3D , in welcher gleiche Elemente der3 bis3C gleiche Bezugszeichen habend gezeigt sind, kann ein Magnetfeldsensor130 alle Lagen bzw. Schichten der Magnetfeldsensoren70 ,100 ,110 und120 der3 ,3A ,3B und3C aufweisen, der interne Selbsttestleiter122 der3C kann jedoch durch einen externen Einzelleiter-Selbsttestleiter132 ersetzt sein, welcher, in einigen Ausführungsformen, auf bzw. an einer Leiterplatte134 angeordnet sein kann. Der Selbsttestleiter132 ist repräsentativ für den externen Selbsttestleiter18 der1 . - Ein Selbstteststrom, welcher durch den Selbsttestleiter
132 geleitet wird, neigt dazu, ein Selbsttestmagnetfeld entlang der Achse116 maximaler Antwort zu bilden. - Während die
3 bis3D verschiedene alternative Ausführungsformen zeigen, welche mit dem Magnetfeldsensierelement32 und Selbstteststromleitern30 ,80 oder1 verbunden sind, wird erkannt werden, dass es viele andere mögliche Konfigurationen bzw. Aufbauten gibt, einschließlich jedoch nicht beschränkt auf Kombinationen der gezeigten Konfigurationen bzw. Aufbauten. - Während die
3 bis3D repräsentativ für Abschnitte von Magnetfeldsensoren70 ,100 ,110 ,120 ,130 sind, sollte verstanden werden, dass das Magnetfeldsensierelement32 und der Selbstteststromleiter30 der1 auf demselben Substrat als andere Abschnitte des Magnetfeldsensors10 der1 angeordnet sein können, oder in anderen Ausführungsformen auf einem zweiten, von den anderen Abschnitten des Magnetfeldsensors10 der1 unterschiedlichen Substrat. - Bezug nehmend nunmehr auf
3E kann ein Magnetfeldsensor144 , hier in einer Packung142 eingehaust, derselbe wie oder ähnlich zu dem Magnetfeldsensor10 der1 sein. Der Magnetfeldsensor144 kann an einen Leiterrahmen, welcher Leitungen bzw. Leiter146 hat, gekoppelt sein. Die Leiter146 können elektrisch mit einer Leiterplatte150 gekoppelt sein. Der Magnetfeldsensor144 kann auf ein Magnetfeld148 rechtwinklig zu einer Hauptoberfläche des Magnetfeldsensors144 reagierend sein, wie es durch eine Nachbarschaft einer Magnetfeldquelle140 erzeugt werden kann, beispielsweise ein hartferromagnetisches Objekt. - Bezug nehmend nunmehr auf
3F kann ein Magnetfeldsensor156 , hier in einer Packung154 eingehaust, derselbe wie oder ähnlich zu dem Magnetfeldsensor10 der1 sein. Der Magnetfeldsensor156 kann mit einem Leiterrahmen, welcher Leiter hat, für welche Leiter160a ,160b repräsentativ sind, gekoppelt sein. Die Leiter, beispielsweise160a ,160b , können elektrisch mit einer Leiterplatte150 gekoppelt sein. Der Magnetfeldsensor156 kann auf ein Magnetfeld164 , welches parallel zu einer Hauptoberfläche des Magnetfeldsensors156 ist, reagierend sein, wie es beispielsweise durch die Nachbarschaft einer Magnetfeldquelle152 , beispielsweise einem hartmagnetischem Objekt erzeugt werden kann. - Auch gezeigt, können in einigen alternativen Ausführungsformen die Leiter mit einem gleichmäßigen bzw. bemessenen Leiter
158 gekoppelt sein, welcher als ein Teil des Leiterrahmens gebildet sein kann, von welchem die Leiter160a ,160b ein anderer Teil sind. Ein gemessener bzw. bemessener Strom, welcher durch den bemessenen Leiter158 geleitet wird, neigt dazu, ein Magnetfeld162 zu bilden, welches in das Blatt bzw. die Seite hinein oder aus dieser herausgeht, abhängig von einer Richtung des Stromes, welcher durch den bemessenen Leiter158 geleitet wird. Für diese Anordnungen kann der Magnetfeldsensor156 ein Stromsensor sein und der Magnetfeldsensor156 kann, an Stelle dessen auf das Magnetfeld162 rechtwinklig zu der Hauptoberfläche des Magnetfeldsensors156 (d. h. zu dem Strom) reagierend sein, eher als auf das Magnetfeld164 . - Bezug nehmend nunmehr auf
3G kann ein Magnetfeldsensor170 , hier in einer Packung168 eingehaust, derselbe wie oder ähnlich zu dem Magnetfeldsensor10 der1 sein. Der Magnetfeldsensor170 kann mit einem Leiterrahmen, welcher Leiter hat, gekoppelt sein, für welche ein Leiter174 repräsentativ ist. Die Leiter, beispielsweise174 , können elektrisch mit einer Leiterplatte176 gekoppelt sein. Der Magnetfeldsensor170 kann auf ein Magnetfeld reagierend sein, welches durch eine Nachbarschaft einer Magnetfeldquelle172 innerhalb der Packung168 erzeugt wird. Beispielsweise kann die Magnetfeldquelle172 ein bemessener bzw. gemessener Stromleiter ähnlich zu dem bemessenen bzw. gemessenen Stromleiter158 der3F sein. - Bezug nehmend nunmehr auf
4 kann ein Diagnoseanfrageprozessor190 derselbe wie oder ähnlich zu dem Diagnoseanfrageprozessor58 der1 sein. Der Diagnoseanfrageprozessor190 kann gekoppelt sein, um ein Diagnoseeingabesignal192 zu empfangen, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem Diagnoseeingabesignal23 der1 sein kann. Der Diagnoseanfrageprozessor190 kann einen Diagnoseeingabedecoder204 aufweisen, um das Diagnoseeingabesignal192 zu empfangen und zu decodieren. Der Diagnoseeingabedecoder204 kann ein decodiertes Diagnosesignal204a erzeugen. - Der Diagnoseanfrageprozessor
190 kann auch einen Pulsgenerator198 aufweisen, welcher gekoppelt ist, um das decodierte Diagnosesignal204a zu empfangen, und welcher konfiguriert ist, um ein Diagnosesteuersignal198a zu erzeugen, welches Pulse in Antwort auf das decodierte Diagnosesignal204a hat. Das Diagnosesteuersignal198a kann dasselbe wie oder ähnlich zu dem Diagnosesteuersignal58a der1 sein. - Der Diagnoseanfrageprozessor bzw. Diagnoseanforderungsprozessor
190 kann auch einen Taktgeber194 aufweisen, welcher konfiguriert bzw. aufgebaut ist, um ein periodisches Taktsignal194a zu erzeugen. Der Diagnoseanfrageprozessor190 kann auch einen internen Diagnosetaktgeber196 aufweisen, welcher gekoppelt ist, um das Taktsignal194a zu empfangen und welcher konfiguriert ist, um ein periodisches Diagnosetaktsignal196a zu erzeugen. - Der Pulsgenerator
198 kann gekoppelt sein, um das Diagnosetaktsignal196a zu empfangen und kann konfiguriert sein, um das Diagnosesteuersignal198a zu erzeugen, welches Pulse hat, welche mit dem Diagnosetaktsignal196a synchronisiert sind. - Demnach kann es wenigstens zwei Wege geben, um den Pulsgenerator
198 und zugeordnete Diagnoseereignisse, d. h. Pulse innerhalb des Diagnoseeingabesignals198a zu steuern. Wie obenstehend beschrieben ist, kann der Pulsgenerator198 auf das Diagnoseeingabesignal192 reagierend sein. Alternativ kann der Pulsgenerator168 auf das Steuersignal196a an Stelle von oder zusätzlich zu dem Diagnoseeingabesignal192 reagierend sein. Wenn er auf das Steuersignal196a reagierend ist, kann der Pulsgenerator198 Pulse zu periodischen Zeitintervallen bzw. unter periodischen Zeitabständen oder Gruppen von Pulsen zu periodischen Zeitintervallen bzw. unter periodischen Zeitabständen erzeugen. - Der Diagnoseanfrageprozessor
190 kann auch eine Einschaltschaltung202 aufweisen, welche gekoppelt ist, um ein Einschaltsignal202a zu erzeugen, welches einen ersten Zustand für eine vorbestimmte Zeitdauer, nachdem der Magnetfeldsensor, beispielsweise der Magnetfeldsensor10 der1 zuerst eingeschaltet wird, gefolgt von einem zweiten unterschiedlichen Zustand hat. Der Pulsgenerator196 kann gekoppelt sein, um das Einschaltsignal202a zu empfangen und kann weiterhin auf das Einschaltsignal202a derart reagierend sein, dass der Pulsgenerator198 auch Pulse in dem Diagnosesteuersignal198a in Erwiderung bzw. Reaktion auf das Einschaltsignal202a erzeugt. - In einigen Ausführungsformen hat das Diagnosetaktsignal
196a eine Frequenz in dem Bereich von ungefähr 10 Hz bis 100 Hz. Das Diagnosetaktsignal196a kann jedoch auch eine Frequenz höher als 100 Hz (beispielsweise 1000 Hz) oder geringer als 10 Hz (beispielsweise 1 Hz) oder irgendwo zwischen 10 Hz und 100 Hz haben. - In einigen Ausführungsformen erzeugt der Pulsgenerator
198 Pulse, welche eine Periode bzw. Zeitdauer zwischen ungefähr 1 μs und 10 μs in dem Diagnosesteuersignal198a haben. Der Pulsgenerator198 kann jedoch auch Pulse erzeugen, welche eine Periode größer als 10 μs (beispielsweise 100 μs) oder weniger als 1 μs (beispielsweise 0,1 μs) oder irgendwo zwischen 1 μs und 10 μs haben. - Das Diagnosesteuersignal
198a kann durch eine Spulentreiberschaltung200 , beispielsweise eine Stromquelle empfangen werden, welche dieselbe wie oder ähnlich zu der Spulentreiberschaltung24 der1 sein kann. Die Spulentreiberschaltung200 kann ein Selbstteststromsignal200a erzeugen, welches durch den Selbstteststromleiter empfangen wird, welcher derselbe wie oder ähnlich zu dem Selbstteststromleiter30 der1 oder der externen Spule18 der1 ist. - Bezug nehmend nunmehr auf
5 kann ein Magnetfeldsensor210 derselbe wie oder ähnlich zu dem Magnetfeldsensor10 der1 sein. Der Magnetfeldsensor210 kann eine Stromquelle216 aufweisen, welche gekoppelt ist, um ein Versorgungsspannungssignal212 zu empfangen, und welcher konfiguriert ist, um ein Selbstteststromsignal218 zu erzeugen. Die Stromquelle216 kann dieselbe wie oder ähnlich zu dem Spulentreiber24 der1 sein. - Der Magnetfeldsensor
210 kann auch einen Selbstteststromleiter224 aufweisen, welcher gekoppelt ist, um das Selbstteststromsignal218 zu empfangen und zu tragen bzw. zu leiten. Während der Selbstteststromleiter224 als Spule gezeigt ist, wird es aus den2 bis2D verstanden werden, dass der Selbstteststromleiter224 eine einer Vielzahl von Anordnungen haben kann. - Der Magnetfeldsensor
210 kann auch ein Magnetfeldsensierelement226 aufweisen, welches benachbart zu dem Selbstteststromleiter224 derart ist, dass das Magnetfeldsensierelement226 ein Selbsttestmagnetfeld, welches durch den Strom218 erzeugt wird, welcher durch den Selbstteststromleiter224 getragen bzw. geführt wird, empfangen kann. Das Magnetfeldsensierelement226 kann auch ein gemessenes Magnetfeld, welches einem Magnetfeldgenerator (nicht gezeigt) zugeordnet ist, für dessen Messung der Magnetfeldsensor210 vorgesehen ist, empfangen. Demnach ist der Magnetfeldsensor konfiguriert bzw. aufgebaut, um ein zusammengesetztes Differential-Magnetfeldsignal226a ,226b zu erzeugen, welches einen auf ein gemessenes Magnetfeld reagierenden Signalanteil und einen auf einen Selbsttest reagierenden Signalanteil aufweist. - Der Magnetfeldsensor
210 kann auch einen Verstärker228 aufweisen, welcher gekoppelt ist, um das zusammengesetzte Magnetfeldsignal226a ,226b zu empfangen, und welcher konfiguriert ist, um ein verstärktes Signal228a zu erzeugen, welches repräsentativ für das zusammengesetzte Magnetfeldsignal226a ,226b ist. - Der Magnetfeldsensor
210 kann auch einen Tiefpassfilter230 und einen Hochpassfilter248 aufweisen, von welchem jeder gekoppelt ist, um das verstärkte Signal228a zu empfangen. Der Tiefpassfilter230 ist konfiguriert, um ein gefiltertes Signal230a zu erzeugen, und der Hochpassfilter248 ist konfiguriert, um ein gefiltertes Signal248a zu erzeugen. - Ein Vergleicher bzw. Komparator
240 kann gekoppelt sein, um das gefilterte Signal230a zu empfangen. Der Komparator240 kann eine Hysterese oder andere Schaltungstechniken haben, um zu zwei Grenzwerten242 zu führen, einem Magnetfeldbetriebspunkt (BOP = Magnetic Field Operate Point) und einen Magnetfeldauflösungspunkt (BRP = Magnetic Field Release Point). Die BOP- und BRP- Grenzwerte242 können in einigen Ausführungsformen durch ein Spannungsäquivalent um ungefähr 5 Gauss getrennt sein, welches durch das Magnetfeldsensierelement226 empfangen wird. In anderen Ausführungsformen können die BOP- und BRP-Grenzwerte242 durch ein Spannungsäquivalent von ungefähr 50 Gauss, welches durch das Magnetfeldsensierelement226 empfangen wird, getrennt sein. Die BOP- und BRP-Grenzwerte242 können jedoch durch ein Spannungsäquivalent von einem Magnetfeld irgendwo zwischen 5 und 50 Gauss getrennt sein. Die BOP- und BRP-Grenzwerte242 können auch durch ein Spannungsäquivalent von einem Magnetfeld geringer als 5 Gauss oder größer als 50 Gauss getrennt sein. Der Komparator240 ist konfiguriert, um ein Zweizustands-Vergleichssignal240a zu erzeugen. - Ein Komparator
250 kann gekoppelt sein, um das gefilterte Signal248a zu empfangen. Der Komparator250 kann eine Hysterese oder andere Schaltungstechniken haben, um zu zwei Grenzwerten zu führen, welche relativ nahe von bzw. um eine Diagnosegrenzwertspannung (TH_Diag)252 beabstandet sind. In einigen Ausführungsformen ist die Hysterese, welche mit der Diagnosegrenzwertspannung252 verbunden ist, ungefähr 50 mV. Der Komparator250 ist konfiguriert, um ein Zweizustands-Vergleichssignal250a zu erzeugen. - Der Magnetfeldsensor
210 kann auch eine Sensorausgabeformatierschaltung (SOFC)244 aufweisen, welche gekoppelt ist, um das Vergleichssignal240a zu empfangen, und welche konfiguriert ist, um ein nichtlineares Sensorausgabesignal244a zu erzeugen. Die SOFC244 kann dieselbe wie oder ähnlich zu der Sensorausgabeformatierschaltung52 der1 sein. - Der Magnetfeldsensor
210 kann auch eine Diagnoseausgabeformatierschaltung (DOFC)254 aufweisen, welche gekoppelt ist, um das Vergleichssignal250a zu empfangen, und welche konfiguriert ist, um ein Diagnoseausgabesignal254a zu erzeugen. Die DOFC254 kann dieselbe wie oder ähnlich zu der Diagnoseausgabeformatierschaltung56 der1 sein. - Der Magnetfeldsensor
210 kann auch eine Kombinierschaltung256 aufweisen, welche gekoppelt ist, um das nichtlineare Sensorausgabesignal244a zu empfangen, welche gekoppelt ist, um das Diagnoseausgabesignal254a zu empfangen, und welche konfiguriert ist, um ein kombiniertes Ausgabesignal256a zu erzeugen. Die Kombinierschaltung256 kann dieselbe wie oder ähnlich zu der Kombinierschaltung54 der1 sein. - Der Magnetfeldsensor
210 kann auch eine andere SOFC246 aufweisen, welche gekoppelt ist, um das gefilterte Signal230a zu empfangen, und welche konfiguriert ist, um ein lineares Sensorausgabesignal246a zu erzeugen. Die SOFC246 kann dieselbe wie oder ähnlich zu der Sensorausgabeformatierschaltung52 der1 sein. - Der Magnetfeldsensor
210 kann auch einen Diagnoseanfrageprozessor260 aufweisen, welcher gekoppelt ist, um ein Diagnoseeingabesignal258 zu empfangen, und welcher konfiguriert ist, um ein Diagnosesteuersignal260a zu erzeugen. Der Diagnoseanfrageprozessor260 kann derselbe wie oder ähnlich zu dem Diagnoseanfrageprozessor58 der1 oder dem Diagnoseanfrageprozessor190 der4 sein. Der Betrieb des Diagnoseanfrageprozessors260 kann sein, wie er obenstehend in Verbindung mit4 beschrieben ist, und wird weiterhin untenstehend in Verbindung mit den7 bis7F beschrieben. - In Betrieb kann bei einer Aktivierung des Diagnosesteuersignals
260a die Stromquelle216 einen oder mehrere Strompulse218 erzeugen, welche durch den Selbsttestleiter224 geführt bzw. geleitet werden, was zu einem Selbsttestmagnetfeld führt, welches durch das Magnetfeldsensierelement226 empfangen wird. Es wird verstanden werden, dass das Selbsttestmagnetfeld und demzufolge der auf den Selbsttest reagierende Signalanteil des zusammengesetzten Magnetfeldsignals226a ,226b einen Frequenzinhalt haben kann, welcher im Allgemeinen über einem bzw. oberhalb eines Frequenzinhalts eines gemessenen Magnetfeldes ist, für dessen Messung der Magnetfeldsensor210 vorgesehen ist. Demnach kann das gefilterte Signal248a vorwiegend aus Bern auf den Selbsttest reagierenden Signalanteil bestehen, d. h. Pulsen, und das gefilterte Signal230a kann vorwiegend aus dem auf das gemessene Magnetfeld reagierenden Signalanteil bestehen. Demnach wird durch den Weg der Filter230 ,248 das zusammengesetzte Magnetfeldsignal226a ,226b in zwei Komponenten bzw. Anteile auf gespalten, den auf den Selbsttest reagierenden Signalantteil und den auf das gemessene Magnetfeld reagierenden Signalanteil. - In einer bestimmten Ausführungsform hat der Tiefpassfilter
230 eine Grenzfrequenz von ungefähr 200 kHz und der Hochpassfilter248 hat eine Grenzfrequenz oberhalb von ungefähr 200 kHz derart, dass das Signal248a dazu neigt, den auf den Selbsttest reagierenden Signalanteil des zusammengesetzten Magnetfeldsignals226a ,226b zu repräsentieren. Demzufolge kann in einigen Ausführungsformen das gemessene Magnetfeld eine Frequenz unterhalb von ungefähr 200 kHz haben. - Es wird verstanden werden, dass der Komparator
250 und der Diagnosegrenzwert252 sicherstellen können, dass die Pulse in dem gefilterten Signal248a von geeigneter und ausreichender Größe bzw. Größenordnung sind, um einen zuverlässigen Betrieb des Magnetfeldsensierelementes226 , des Verstärkers228 und des Filters248 anzuzeigen. Im Betrieb erzeugt der Komparator250 das Zweizustands-Vergleichssignal250a , d. h. Pulse nur, wenn die Pulse in dem gefilterten Signal248a angemessen bzw. ordnungsgemäß sind. Pulse des Vergleichssignals250a können durch die DOFC254 in irgendein Format reformatiert bzw. umformatiert werden, um das Diagnoseausgabesignal254a zu erzeugen. Beispielhafte Formate des Diagnoseausgabesignals254a sind untenstehend in Verbindung mit den8A bis8D beschrieben. - Wie obenstehend beschrieben ist, besteht das gefilterte Signal
230a vorwiegend aus dem auf das gemessene Magnetfeld reagierenden Signalanteil. Die SOFC246 kann das gefilterte Signal230 in irgendein Forma reformatieren bzw. umformatieren, um das lineare Sensorausgabesignal246a zu erzeugen. In einer bestimmten Ausführungsform führt die SOFC246 das gefilterte Signal230a lediglich durch die SOFC246 , in welchem Falle keine Reformatierung bzw. Umformatierung auftritt. - Das Vergleichssignal
240a kann den Magnetfeldsensor210 anzeigen, welcher als ein Magnetschalter arbeitet. Beispielsweise hat, wenn das Magnetfeldsensierelement226 nahe zu einem gemessenen Magnetobjekt ist, was zu einem Magnetfeld an dem Magnetfeldsensierelement226 führt, welches größer ist als ein Betriebspunkt, das Vergleichssignal240a einen ersten Zustand, und wenn das Magnetfeldsensierelement226 nicht nahe zu einem gemessenen magnetischen Objekt ist, was zu einem Magnetfeld an dem Magnetfeldsensierelement226 führt, welches geringer ist als ein Auflösungspunkt, hat das Vergleichssignal240a einen zweiten unterschiedlichen Zustand. Die SOFC244 kann das Vergleichssignal240a in irgendein Format reformatieren bzw. umformatieren, um die nichtlineare Sensorausgabe244a zu erzeugen. In einer bestimmten Ausführungsform führt die SOFC244 das Vergleichssignal240a lediglich durch die SOFC244 , in welchem Falle keine Umformatierung bzw. Reformatierung auftritt. - Während viele der Blöcke des Magnetfeldsensors
210 als analoge Blöcke gezeigt sind, sollte anerkannt werden, dass ähnliche Funktionen digital durchgeführt werden können. - Bezug nehmend nunmehr auf
5A , in welcher gleiche Elemente der5 gleiche Bezugszeichen habend gezeigt sind, weist ein Magnetfeldsensor300 alle Bauteile bzw. Komponenten des Magnetfeldsensors210 der5 auf. Zusätzlich weist der Magnetfeldsensor300 einen Inverter bzw. Umrichter302 auf, welcher konfiguriert ist, um ein invertiertes Diagnosesteuersignal302a zu erzeugen. Der Magnetfeldsensor300 weist auch ein UND-Gatter304 auf, welches gekoppelt ist, um das Vergleichssignal250a zu empfangen, welches gekoppelt ist, um das Diagnosesteuersignal260a zu empfangen, und welches konfiguriert ist, um ein Diagnosevergleichssignal304a zu erzeugen. Der Magnetfeldsensor300 weist auch einen Schalter222 auf, welcher ein FET sein kann, welcher über den Selbstteststromleiter224 gekoppelt ist, und durch das invertierte Diagnosesteuersignal302a gesteuert wird. Der Magnetfeldsensor300 weist auch eine Logikschaltung306 auf, welche konfiguriert ist, um einen nichtlinearen Sensorgrenzwert (TH_SONL)314 zu erzeugen, welcher durch den Verstärker240 an Stelle des BOP-/BRP-Grenzwertes242 der5 empfangen wird. Jedes dieser hinzugefügten Elemente verbessert den Betrieb des Magnetfeldsensors210 der5 auf Wegen bzw. Art und Weisen, welche weiterhin unterstehend beschrieben werden. - Die Logikschaltung
306 kann ein UND-Gatter308 aufweisen, welches gekoppelt ist, um das Diagnosevergleichssignal304a zu empfangen, welches gekoppelt ist, um das nichtlineare Sensorvergleichssignal240a zu empfangen, und welches konfiguriert ist, um ein Logiksignal308a zu erzeugen. Das Logiksignal308a kann an einem Setzknoten eines Setz-/Rücksetz Flip-Flops310 empfangen werden. Das Setz-/Rücksetz Flip-Flop310 kann auch gekoppelt sein, um das invertierte Diagnosesteuersignal302a an einem Rücksetzknoten zu empfangen. Das Setz-/Rücksetz Flip-Flop310 kann konfiguriert bzw. aufgebaut sein, um ein Steuersignal310a zu erzeugen, welches durch einen p-Kanal-FET312 empfangen wird, welcher als ein Schalter zu einer Leistungsversorgung Vcc agiert. - Die Logikschaltung
306 kann einen Inverter bzw. Umrichter316 aufweisen, welcher gekoppelt ist, um das nichtlineare Sensorvergleichssignal240a' zu empfangen, und welcher konfiguriert ist, um ein invertiertes Signal316a zu erzeugen. Die Logikschaltung306 kann auch ein anderes UND-Gatter318 aufweisen, welches gekoppelt ist, um das Diagnosevergleichssignal304a zu empfangen, welches gekoppelt ist, um das invertierte Signal316a zu empfangen, und welches konfiguriert bzw. aufgebaut ist, um ein Logiksignal318a zu erzeugen. Das Logiksignal318a kann an einem Setzknoten eines anderen Setz-/Rücksetz Flip-Flops320 empfangen werden. Das Setz-/Rücksetz Flip-Flop320 kann auch gekoppelt sein, um das invertierte Diagnosesteuersignal302 an einem Rücksetzknoten zu empfangen. Das Setz-/Rücksetz Flip-Flop320 kann konfiguriert bzw. aufgebaut sein, um ein Steuersignal320a zu erzeugen, welches durch einen n-Kanal-FET322 empfangen wird, welcher als ein Schalter zu Masse agiert. Eine Source des FET312 kann mit einer Drain des FET322 einen Verbindungsknoten bildend gekoppelt sein. Die BOP-/BRP-Grenzwerte können auch an dem Verbindungsknoten empfangen werden. An dem Verbindungsknoten wird das nichtlineare Sensorausgabegrenzwertsignal314 erzeugt. - Mit dieser Anordnung sollte verstanden werden, dass zu manchen Zeiten der nichtlineare Sensorausgabegrenzwert
314 gleich zu BOP ist, zu anderen Zeiten gleich zu BRP ist, zu anderen Zeiten gleich zu Vcc ist und zu anderen Zeiten gleich zu Masse ist. - Bezug nehmend kurz auf
5 sollte verstanden werden, dass der Selbstteststrom218 und der resultierende auf den Selbsttest reagierende Signalanteil des zusammengesetzten Magnetfeldsignals226a ,226b nicht durch den Komparator240 oder die SOFC244 hindurchtritt. Demnach sind der Komparator240 und die SOFC244 im Wesentlichen von dem Selbsttest ausgeschlossen. - Wiederum Bezug nehmend auf
5A sieht die Logikschaltung306 vor, dass der Komparator240 und die SOFC in dem Selbsttest auf dem folgenden Wege bzw. in der folgenden Art und Weise eingeschlossen sind. Wann immer ein Diagnosepuls in dem Selbstteststromsignal218 auftritt, wird der nichtlineare Sensorausgabegrenzwert314 entweder auf Vcc oder auf Masse gezogen. Zu anderen Zeiten verhält sich der nichtlineare Sensorausgabegrenzwert314 wie in5 , wobei der nichtlineare Sensorausgabegrenzwert314 entweder bei einem BOP- oder einem BRP-Spannungswert ist. Demnach vollzieht bzw. macht das nichtlineare Sensorausgabesignal244a (wobei das Strichsymbol repräsentativ für einen Unterschied zu dem Signal244a der5 ist) Zustandsübergänge nicht nur reagierend auf ein gemessenes magnetisches Objekt in der Nähe zu oder entfernt von dem Magnetfeldsensierelement226 , sondern es vollführt bzw. macht Übergänge auch, wenn ein Selbsttestpuls auftritt. Es sollte erkannt werden, dass dasselbe Ergebnis nicht erreicht werden kann durch ein bloßes Entfernen des Filters230 , beispielsweise in dem Fall, in dem das gemessene Magnetfeld viel größer als das Selbsttestmagnetfeld ist, wobei der Komparator240 in der Anwesenheit des auf den Selbsttest reagierenden Signalanteiles nicht schalten würde. Diese Funktion wird weiterhin beschrieben in Verbindung mit den10 bis10B . - Das Hinzufügen des UND-Gatters
304 , welches einen Eingabeknoten hat, welcher gekoppelt ist, um das Diagnosesteuersignal260a zu empfangen, führt zu einer Entfernung einer Möglichkeit, dass irgendwelche belanglosen bzw. von außen kommenden Impulsspitzen oder Störpulse in dem Vergleichssignal250a zu dem Diagnoseausgabesignal254a durchtreten könnten, wenn kein Selbstteststrompuls218 läuft bzw. im Gange ist. Solche Impulsspitzen könnten aus externem Magnetfeldrauschen bzw. Magnetfeldstörungen oder Pulsen resultieren, welche durch den Magnetfeldsensor300 erfahren werden. - Der Schalter
222 sieht auch eine verbesserte Funktion vor. Der Schalter222 ist nur geöffnet, wenn ein Selbstteststrompuls218 im Gange ist. Der Schalter ist zu anderen Zeiten geschlossen. Demnach wird irgendein externes Rauschen oder Magnetfelder, welche durch den Magnetfeldsensor300 erfahren werden, nicht durch den Selbsttestleiter aufgenommen werden zu Zeiten bzw. Zeitpunkten, wenn keine Selbstteststrompulse218 auftreten. - Der grundlegende Betrieb des Stromsensors
300 wird obenstehend in Verbindung mit5 beschrieben. Das nichtlineare Sensorausgabesignal244a' wird untenstehend in Verbindung mit10B beschrieben. - Bezug nehmend nunmehr auf
5B , in welcher gleiche Elemente der1 ,5 und5A gleiche Bezugszeichen habend gezeigt sind, können Ausgabeschaltungen350 als Teil des Magnetfeldsensors210 ,300 der5 und5A oder irgendeines anderen Magnetfeldsensors, welcher hierin gezeigt oder beschrieben ist, eingeschlossen sein. Ausgabeschaltungen350 können Widerstände352a bis352c aufweisen, welche mit einer Leistungsversorgung Vdd gekoppelt sind, und welche mit einer jeweiligen Drain von jeweiligen FETs354a bis354c gekoppelt sind. Der FET354a kann gekoppelt sein, um das nichtlineare Sensorausgabesignal244a an einem Gateknoten zu empfangen, und konfiguriert sein, um ein invertiertes nichtlineares Sensorausgabesignal356 zu erzeugen. Der FET354b kann gekoppelt sein, um das Diagnoseausgabesignal254a an einem Gateknoten zu empfangen, und konfiguriert sein, um ein invertiertes Diagnoseausgabesignal358 zu erzeugen. Der FET354c kann gekoppelt sein, um das kombinierte Ausgabesignal256a an einem Gateknoten zu empfangen, und konfiguriert sein, um ein invertiertes kombiniertes Ausgabesignal360 zu erzeugen. - In einigen Ausführungsformen sind die FETs
354a bis354c innerhalb eines integrierten Magnetfeldsensors und die Widerstände352a bis352c und die Leistungsversorgung Vdd sind außerhalb des integrierten Magnetfeldsensors. In anderen Ausführungsformen jedoch sind sowohl die FETs354a bis354c und die Widerstände352a bis352c innerhalb des integrierten Stromsensors. In noch anderen Ausführungsformen können andere Ausgabeschaltungsanordnungen verwendet werden, beispielsweise unter Verwendung von bipolaren Transistoren oder unter Verwendung einer push-pull-Konfiguration bzw. einer Gegentakt-Konfiguration. - Bezug nehmend nunmehr auf
6 , in welcher gleiche Elemente der1 ,5 und5A gleiche Bezugszeichen habend gezeigt sind, ist ein Magnetfeldsensor370 ähnlich zu dem Magnetfeldsensor210 der5 , der Magnetfeldsensor370 weist jedoch ein transparentes Latch bzw. ein zustandsgesteuertes Flip-Flop372 auf, welches zwischen dem Komparator und der SOFC244 gekoppelt ist, welches gekoppelt ist, um das Vergleichssignal240a an einem Eingabeanschluss zu empfangen und welches konfiguriert ist, um ein Latch-Signal372a an einem Ausgabeanschluss zu erzeugen, welches durch die SOFC244 empfangen wird. Das transparente Latch372 ist auch gekoppelt, um das invertierte Diagnosesteuersignal302a an einem Enable-Anschluss (enable port) zu empfangen. - Der Magnetfeldsensor
370 weist auch eine track-and-hold-Schaltung bzw. eine Abtast-Halte-Schaltung374 auf, welche gekoppelt ist, um das verstärkte Signal228a zu empfangen, und welche konfiguriert ist, um ein tracking-Signal bzw. Folge-Signal374a zu erzeugen. Die track-and-hold-Schaltung374 ist auch gekoppelt, um das Diagnosesteuersignal260a an einem Steuerknoten derart zu empfangen, dass die track-and-hold-Schaltung hält, wann immer ein Strompuls in dem Selbstteststromsignal218 auftritt und andernfalls folgt. Der Magnetfeldsensor370 weist auch eine Differenzschaltung376 auf, welche gekoppelt ist, um das verstärkte Signal228a zu empfangen, welche gekoppelt ist, um das tracking-Signal374a zu empfangen, und welche konfiguriert ist, um ein Differenzsignal376a welches durch den Komparator250 an Stelle des gefilterten Signals248a der5 empfangen wird, zu erzeugen. Der Magnetfeldsensor370 weist auch das UND-Gatter304 der5A auf, welches gekoppelt ist, um ein Vergleichssignal250a' ähnlich zu dem Vergleichssignal250a der5 und5A zu empfangen, wobei das Strichsymbol repräsentativ für ein ähnliches Signal ist. Der Magnetfeldsensor370 kann auch einen optionalen Tiefpassfilter378 aufweisen, welcher gekoppelt ist, um das verstärkte Signal228a zu empfangen und welcher konfiguriert ist, um ein gefiltertes Signal378a zu erzeugen, welches das gleiche wie oder ähnlich zu dem gefilterten Signal230a der5 sein kann. - Im Betrieb ist das transparente Latch
372 nur transparent, wenn das Selbstteststromsignal218 keinen Strompuls enthält. Demzufolge bzw. demnach ist es weniger wahrscheinlich, dass das Latch-Signal372a , welches vorgesehen ist, um repräsentativ für nur das auf das gemessene Magnetfeld reagierende Signalanteil des zusammengesetzten Magnetfeldsignals226a ,226b zu sein, nicht echte Übergänge aufgrund der Strompulse beinhaltet. - In Betrieb beinhaltet das tracking-Signal
374a vorwiegend den auf das gemessene Magnetfeld reagierenden Signalanteil des verstärkten Signals228a , da die track-and-hold-Schaltung während des auf den Selbsttest reagierenden Signalabschnitts des verstärkten Signals228a hält. Demnach ist das tracking-Signal374a ähnlich zu dem gefilterten Signal378a , welches dasselbe ist wie oder ähnlich zu dem gefilterten Signal230a der5 und5A . Die SOFC246' kann demnach entweder das tracking-Signal374a oder das gefilterte Signal378a empfangen, um das lineare Sensorausgabesignal246' zu erzeugen. - Der allgemeine Betrieb des Magnetfeldsensors
320 ist ähnlich zu demjenigen, welcher obenstehend in Verbindung mit den5 und5A beschrieben ist und wird demnach nicht weiterhin beschrieben. - Bezug nehmend auf die
7 bis7F haben Diagramme400 ,420 ,430 ,440 ,450 ,460 und470 vertikale Achsen mit Maßstäben in beliebigen Einheiten von Volt und horizontale Achsen mit Maßstäben in beliebigen Einheiten der Zeit. - Das Diagramm
400 weist ein nichtlineares Sensorausgabesignal402 und ein lienares Sensorausgabesignal408 auf, welche dieselben wie oder ähnlich zu dem nichtlinearen Sensorausgabesignal244a und dem linearen Sensorausgabesignal246a der5 sein können. Das nichtlineare Sensorausgabesignal402 weist hohe Zustände (high. states), beispielsweise hohe Zustände404a ,404b und niedrige Zustande (lpw sttes), beispielsweise einen niedrigen Zustand406 auf. - Das lineare Sensorausgabesignal
408 ist hier als ein Dreiecksignal gezeigt, kann jedoch irgendein lineares Signal sein. Das lineare Sensorausgabesignal408 weist Sektionen bzw. Abschnitte mit positiven Steigungen, beispielsweise Sektionen410a ,410b auf, und Sektionen mit negativen Steigungen, beispielsweise eine Sektion412 . - Das Diagramm
420 weist ein beispielhaftes Diagnosesteuersignal422 auf, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem Diagnosesteuersignal260a der5 ,5A und6 sein kann. Das Diagramm420 kann auch repräsentativ sein für ein Diagnoseausgabesignal, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem Diagnoseausgabesignal254a ,254a' der5 ,5A und6 und dem Diagnosesteuersignal198a der4 sein kann. Es sollte verstanden werden, dass das Diagramm420 auch repräsentativ für Strompulse in dem Selbstteststromsignal218 der5 ,5A und6 sein kann. - Das Signal
422 kann Pulse aufweisen, von welchen ein Puls424 nur ein Beispiel ist. Während das Signal422 fünf Pulse aufweisend gezeigt ist, können andere derartige Signale422 mehr als fünf oder weniger als fünf Pulse aufweisen. - Das Diagramm
430 weist ein beispielhaftes Diagnoseeingabesignal432 auf, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem Diagnoseeingabesignal258 der5 ,5A und6 , dem Diagnoseeingabesignal23 der1 und dem Diagnoseeingabesignal192 der4 sein kann. Das beispielhafte Diagnoseeingabesignal432 kann Pulse aufweisen, von welchen ein Puls434 nur ein Beispiel ist. Jeder Puls des Diagnoseeingabesignals432 kann zu einem entsprechenden Puls des Diagnosesteuersignals422 und einem entsprechenden Puls des Diagnoseausgabesignals422 führen. - Während das Signal
432 fünf Pulse einschließend gezeigt ist, können andere derartige Signale432 mehr als fünf oder weniger als fünf Pulse aufweisen. - Das Diagramm
440 weist ein anderes beispielhaftes Diagnoseeingabesignal442 auf, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem Diagnoseeingabesignal258 der5 ,5A und6 , dem Diagnoseeingabesignal23 der1 und dem Diagnoseeingabesignal192 der4 sein kann. Das Diagnoseeingabesignal442 kann einen Puls444 haben. Jeder Puls des Diagnoseeingabesignals442 kann zu einer Mehrzahl von Pulsen des Diagnosesteuersignals442 und einer entsprechenden Mehrzahl von Pulsen des Diagnoseausgabesignals422 führen. - Das Diagramm
450 weist noch ein anderes beispielhaftes Diagnoseeingabesignal452 auf, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem Diagnoseeingabesignal258 der5 ,5A und6 , dem Diagnoseeingabesignal23 der1 und dem Diagnoseeingabesignal192 der4 sein kann. Das Diagnoseeingabesignal452 kann einen hohen Zustand454 (high state), einen niedrigen Zustand456 (low state) und einen Rand458 (edge) haben. Der hohe Zustand454 des Diagnoseeingabesignals452 kann zu einer Mehrzahl von Pulsen des Diagnosesteuersignals422 und einer entsprechenden Mehrzahl von Pulsen des Diagnoseausgabesignals422 führen. - Das Diagramm
460 weist noch ein anderes beispielhaftes Diagnoseeingabesignal462 auf, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem Diagnoseeingabesignal258 der5 ,5A und6 , dem Diagnoseeingabesignal23 der1 und dem Diagnoseeingabesignal192 der4 sein kann. Das Diagnoseeingabesignal462 kann Pulse haben, beispielsweise einen Puls464 mit einer ersten Einschaltdauer (duty cycle) und Pulse, beispielsweise einen Puls466 mit einer zweiten unterschiedlichen Einschaltdauer. Ansteigende Ränder der Pulse464 , welche die erste Einschaltdauer haben und einen Rand466 aufweisen, können zu einem entsprechenden Puls des Diagnosesteuersignals422 und einem entsprechenden Puls des Diagnoseausgabesignals422 führen führen. Die Pulse466 , welche die zweite unterschiedliche Einschaltdauer haben, führen zu keinem Puls in dem Diagnosesteuersignal422 oder dem Diagnoseausgabesignal422 . - Das Diagramm
470 , welches eine Zeitskala hat, welche von derjenigen der7 bis7F expandiert ist, weist noch ein anderes beispielhaftes Diagnoseeingabesignal478 auf, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem Diagnoseeingabesignal258 der5 ,5A und6 , dem Diagnoseeingabesignal23 der1 und dem Diagnoseeingabesignal192 der4 sein kann. Das Diagnoseeingabesignal478 kann eine digitale Chipadresse472 haben, eine digitale Registeradresse474 und digitale Registerdaten476 . Das Diagnoseeingabesignal478 kann zu einer Mehrzahl von Pulsen des Diagnosesteuersignals422 und einer entsprechenden Mehrzahl von Pulsen des Diagnoseausgabesignals422 führen. - Das Diagnoseeingabesignal
478 kann in einer einer Vielzahl von Formaten oder Protokollen, beispielsweise einem kundenspezifischen oder maßgefertigten Protokoll oder einem herkömmlichen Protokoll, beispielsweise I2C, SENT, BISS, LIN oder CAN sein. - Es sollte verstanden werden, dass jedes der Diagnoseeingabesignale
432 ,442 ,452 ,462 und478 durch den Diagnoseeingabedecoder204 der4 decodiert werden kann, um zu dem Diagnoseausgabe-/Diagnosesteuersignal422 zu führen. - Es sollte erkannt werden, dass die
7B bis7F nur einige beispielhafte Typen von Diagnoseeingabesignalen zeigen, welche verwendet werden können. Viele andere Typen von Diagnoseeingabesignalen können auch verwendet werden. - Bezug nehmend nunmehr auf die
8 bis8D haben Diagramme480 ,490 ,500 ,510 und520 vertikale Achsen mit Maßstäben in beliebigen Einheiten von Volt, und horizontale Achsen mit Maßstäben in beliebigen Einheiten der Zeit. - Das Diagramm
480 weist ein beispielhaftes Diagnoseeingabesignal482 auf, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem Diagnoseeingabesignal258 der5 ,5A und6 , dem Diagnoseeingabesignal23 der1 , dem Diagnoseeingabesignal192 der4 und dem Diagnoseeingabesignal432 der7B sein kann. Das beispielhafte Diagnoseeingabesignal482 kann Pulse aufweisen, von welchen ein Puls484 nur ein Beispiel ist. - Das Diagramm
490 weist ein beispielhaftes Diagnosesteuersignal492 auf, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem Diagnosesteuersignal260a der5 ,5A und6 und dem Diagnosesteuersignal422 der7A sein kann. Das Diagramm490 kann auch repräsentativ für ein Diagnoseausgabesignal sein, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem Diagnoseausgabesignal254a ,254a' der5 ,5A und6 , dem Diagnoseausgabesignal198a der4 und dem Diagnoseausgabesignal422 der7A sein kann. Es sollte verstanden werden, dass das Diagramm490 auch repräsentativ für Strompulse in dem Selbstteststromsignal218 der5 ,5A und6 sein kann. - Das Signal
492 kann Pulse aufweisen, von welchen ein Puls494 nur ein Beispiel ist. Während das Signal492 fünf Pulse aufweisend gezeigt ist, können andere derartige Signale492 mehr als fünf oder weniger als fünf Pulse aufweisen. - Jeder Puls des Diagnoseeingabesignals
482 kann zu einem entsprechenden Puls des Diagnosesteuersignals492 und einem entsprechenden Puls des Diagnoseausgabesignals492 führen. Die Pulse494 des Diagnoseausgabesignals zeigen einen Selbsttest, welcher vorangehend ist, an. - Während das Signal
492 fünf Pulse aufweisend gezeigt ist, können andere derartige Signale492 mehr als fünf oder weniger als fünf Pule aufweisen. - Das Diagramm
500 weist noch ein anderes beispielhaftes Diagnoseausgabesignal502 auf, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem Diagnoseausgabesignal254a ,254a' der5 ,5A und6 und dem Diagnoseausgabesignal422 der7A sein kann. Das Diagnoseausgabesignal502 kann einen hohen Zustand504 (high state), einen niedrigen Zustand506 (low state) und einen Rand508 (edge) haben. Der hohe Zustand504 des Diagnoseausgabesignals502 kann aus einer Mehrzahl von Pulsen494 des Diagnosesteuersignals492 oder von irgendeinem der Diagnoseeingabesignale der7B bis7F resultieren. Der hohe Zustand504 des Diagnoseausgabesignals502 kann einen Selbsttest, welcher voranschreitend ist, anzeigen. - Das Diagramm
510 weist noch ein anderes beispielhaftes Diagnoseausgabesignal512 auf, welche dasselbe wie oder ähnlich zu dem Diagnoseausgabesignal254a ,254a' der5 ,5A und6 und dem Diagnoseausgabesignal422 der7A sein kann. Das Diagnoseausgabesignal512 kann Pulse haben, beispielsweise einen Puls514 mit einer ersten Einschaltdauer (duty cycle) und Pulse, beispielsweise einen Puls516 mit einer zweiten Einschaltdauer (duty cycle). Die Pulse514 , welche die erste Einschaltdauer haben und einen Rand518 , können jeweils von einem entsprechenden Puls des Diagnosesteuersignals492 oder von irgendeinem der Diagnoseeingabesignale der7B bis7F resultieren. Die Pulse514 , welche die erste Einschaltdauer haben, können einen Selbsttest, welcher voranschreitend ist, anzeigen. - Das Diagramm
520 , welches eine Zeitskala hat, welche von derjenigen der8 bis8C expandiert ist, weist noch ein anderes beispielhaftes Diagnoseausgabesignal528 auf, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem Diagnoseausgabesignal254a ,254a der5 ,5A und6 und zu dem Diagnoseausgabesignal422 der7A sein kann. Das Diagnoseausgabesignal528 kann eine digitale Chipadresse522 , eine digitale Registeradresse524 und digitale Registerdaten526 haben. Das Diagnoseausgabesignal522 kann aus einer Mehrzahl von Pulsen des Diagnosesteuersignals492 oder von irgendeinem der Diagnoseeingabesignale der7B bis7F resultieren. Besonders die digitalen Registerdaten526 können einen Selbsttest, welcher voranschreitend ist, anzeigen. - Das Diagnoseausgabesignal
528 kann in einer einer Vielzahl von Formaten oder Protokollen sein, beispielsweise einem kundenspezifischen bzw. maßgefertigten Protokoll oder einem herkömmlichen Protokoll, beispielsweise I2C, SENT, BiSS, LIN oder CAN. - Es sollte anerkannt werden, dass die
8A bis8D nur einige beispielhafte Typen von Diagnoseausgabesignalen zeigen, welche erzeugt werden können. Viele andere Typen von Diagnoseausgabesignalen können auch erzeugt werden. - Bezug nehmend nunmehr auf die
9 bis9E haben Diagramme530 ,550 ,560 ,570 ,580 und590 vertikale Achsen mit Maßstäben in beliebigen Einheiten von Volt und horizontale Achsen mit Maßstäben in beliebigen Einheiten der Zeit. - Das Diagramm
530 weist wie das Diagramm400 der7 ein nichtlineares Sensorausgabesignal532 und ein lineares Ausgabesignal538 auf, welche dieselben wie oder ähnlich zu dem nichtlinearen Sensorausgabesignal244a und dem linearen Sensorausgabesignal246a der5 sein können. Das nichtlineare Sensorausgabesignal532 weist hohe Zustände (high states), beispielsweise hohe Zustände534a ,534b und niedrige Zustände (low states), beispielsweise einen niedrigen Zustand536 auf. - Das lineare Sensorausgabesignal
538 ist hier als ein Dreiecksignal gezeigt, kann jedoch irgendein lineares Signal sein. Das lineare Sensorausgabesignal538 weist Sektionen oder Abschnitte mit positiven Steigungen, beispielsweise die Sektionen540a ,540b und Sektionen mit negativen Steigungen, beispielsweise eine Sektion542 auf. - Das Diagramm
550 weist wie das Diagramm430 der7B und das Diagramm480 der8 ein beispielhaftes Diagnoseeingabesignal552 auf, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem Diagnoseeingabesignal258 der5 ,5A und6 , zu dem Diagnoseeingabesignal23 der1 und dem Diagnoseeingabesignal192 der4 sein kann. Das beispielhafte Diagnoseeingabesignal552 kann Pulse aufweisen, von welchen ein Puls554 nur ein Beispiel ist. - Das Diagramm
560 weist ein beispielhaftes kombiniertes Ausgabesignal562 auf, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem kombinierten Ausgabesignal256a ,256a der5 ,5A und6 und dem kombinierten Ausgabesignal54a der1 sein kann. Das kombinierte Ausgabesignal562 kann Pulsgruppen, beispielsweise Pulsgruppen564 ,566 kombiniert mit dem nichtlinearen Sensorausgabesignal532 der9 , hier als eine dunkle Linie gezeigt, aufweisen. Die Pulsgruppen, beispielsweise Pulsgruppen564 ,566 können einen Selbsttest, welcher voranschreitend ist, anzeigen. - Das Diagramm
570 weist ein anderes beispielhaftes kombiniertes Ausgabesignal572 auf, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem kombinierten Ausgabesignal256a ,256a der5 ,5A und6 und dem kombinierten Ausgabesignal54a der1 sein kann. Das kombinierte Ausgabesignal572 kann kleine Pulse aufweisen, beispielsweise kleine Pulse574 ,576 , kombiniert mit dem nichtlinearen Sensorausgabesignal532 der9 , welches hier als dunkle Linie gezeigt ist. Die kleinen Pulse, beispielsweise die kleinen Pulse574 ,576 können einen Selbsttest anzeigen, welcher voranschreitend ist. - Das Diagramm
580 weist noch ein anderes beispielhaftes kombiniertes Ausgabesignal582 auf, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem kombinierten Ausgabesignal256a ,256a' der5 ,5A und6 und dem kombinierten Ausgabesignal54a der1 sein kann. Das kombinierte Ausgabesignal582 kann Pulse aufweisen, beispielsweise Pulse584 ,586 , kombiniert mit dem nichtlinearen Sensorausgabesignal532 der9 , welches hier als dunkle Linie gezeigt ist. Die Pulse, beispielsweise die Pulse584 ,586 können einen Selbsttest, welcher voranschreitend ist, anzeigen. - Das Diagramm
590 weist noch ein anderes beispielhaftes kombiniertes Ausgabesignal592 auf, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem kombinierten Ausgabesignal256a ,256a' der5 ,5A und6 und dem kombinierten Ausgabesignal54a der1 sein kann. Das kombinierte Ausgabesignal592 kann kleine Pulse aufweisen, beispielsweise Pulse594 ,596 , kombiniert mit dem linearen Sensorausgabesignal538 der9 , welches hier als dunkle Linie gezeigt ist. Die Pulse, beispielsweise die Pulse594 ,596 können einen Selbsttest anzeigen, welcher voranschreitend ist. Digital codierte Versionen all der obigen Ausgabesignale sind auch möglich. - Bezugnehmend nunmehr auf die
10 bis10B haben Diagramme600 ,610 und620 vertikale Achsen mit Maßstäben in beliebigen Einheiten von Volt und horizontale Achsen mit Maßstäben in beliebigen Einheiten der Zeit. - Das Diagramm
600 weist wie das Diagramm420 der7A und das Diagramm490 der8A ein beispielhaftes Diagnosesteuersignal602 auf, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem Diagnosesteuersignal260a der5 ,5A und6 und dem Diagnosesteuersignal198a der4 sein kann. Das Diagramm600 kann auch repräsentativ für ein Diagnoseausgabesignal sein, welches dasselbe wie oder ähnlich dem Diagnoseausgabesignal254a ,254a' der5 ,5A und6 sein kann. Es sollte verstanden werden, dass das Diagramm600 auch repräsentativ sein kann für Strompulse in dem Selbstteststromsignal218 der5 ,5A und6 . - Das Signal
602 kann Pulse aufweisen, von welchen ein Puls604 nur ein Beispiel ist. Während das Signal602 fünf Pulse aufweisend gezeigt ist, können andere derartige Signale422 mehr als fünf oder weniger als fünf Pulse aufweisen. - Das Diagramm
610 weist ein nichtlineares Sensorvergleichssignal612 auf, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem nichtlinearen Sensorvergleichssignal240a' der5A sein kann. Das nichtlineare Sensorvergleichssignal612 weist hohe Zustände (high states), beispielsweise hohe Zustände614a ,614b und niedrige Zustande (low states), beispielsweise einen niedrigen Zustand616 auf. - Das Diagramm
620 weist ein beispielhaftes nichtlineares Sensorausgabesignal622 auf, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem nichtlinearen Sensorausgabesignal244a' der5A sein kann. Das nichtlineare Sensorausgabesignal622 ist repräsentativ für die Funktion der Logikschaltung306 der5A . Das nichtlineare Sensorausgabesignal622 kann Pulse aufweisen, beispielsweise Pulse624 ,626 , kombiniert mit dem nichtlinearen Sensorvergleichssignal612 der10A , hier als dunkle Linie gezeigt. Die Pulse, beispielsweise die Pulse624 ,626 können einen Selbsttest anzeigen, welcher im Voranschreiten ist, nämlich einen ordnungsgemäß funktionierenden Komparator240 und SOFC244 der5A . - Bezug nehmend nunmehr auf
11 kann ein beispielhaftes elektromagnetisches Schild800 dasselbe sein wie oder ähnlich zu dem elektromagnetischen Schild72 der3 . Das elektromagnetische Schild800 ist im Allgemeinen über einem Magnetfeldsensierelement816 platziert, welches dasselbe wie oder ähnlich zu dem Magnetfeldsensierelement92 der3 sein kann. Das elektromagnetische Schild800 weist einen ersten Abschnitt802 und einen zweiten Abschnitt804 auf, welche durch einen Schlitz806 getrennt sind. Der erste Abschnitt802 und der zweite Abschnitt804 sind mit einem leitfähigen Bereich808 gekoppelt. Ein Bonding-Pad810 ermöglicht es, dass das elektromagnetische Schild800 an eine DC-Spannung (= Gleichspannung), beispielsweise an eine Massespannung gekoppelt ist. - Das elektromagnetische Schild
800 kann aus einer Metalllage bzw. Metallschicht während der Herstellung eines Magnetfeldsensors, beispielsweise des Magnetfeldsensors70 der3 gebildet werden. Die Metallschicht kann aus einer Mehrzahl von Materialien, beispielsweise Aluminium, Kupfer, Gold, Titan, Wolfram, Chrom oder Nickel bestehen. - Es sollte verstanden werden, dass ein elektromagnetisches Schild nicht dasselbe wie ein magnetisches Schild ist. Ein elektromagnetisches Schild ist dazu vorgesehen, elektromagnetische Felder zu blocken. Ein magnetisches Schild ist dazu vorgesehen, Magnetfelder zu blocken.
- In der Anwesenheit eines AC-Magnetfeldes (beispielsweise ein Magnetfeld, welches einen stromführenden Leiter umgibt) wird es verstanden werden, das AC-Wirbelströme bzw. Wechselstromwirbelströme (AC eddy currents)
812 ,814 in dem elektromagnetischen Schild800 induziert werden können. Die Wirbelströme812 ,814 bilden sich, wie gezeigt, in geschlossenen Kreisen aus. Die Wirbelströme mit geschlossenen Kreisen812 ,814 neigen dazu, zu einem kleineren Magnetfeld in der Nachbarschaft des elektromagnetischen Schildes800 zu führen als dem Magnetfeld, welches die Wirbelströme812 ,814 induziert bzw. induzierte. Demnach erführt, wenn das elektromagnetische Schild800 in der Nähe eines Magnetfeldsensierelementes platziert wäre, beispielsweise des Magnetfeldsensierelementes92 der3 , das Magnetfeldsensierelement92 , ein geringeres bzw. kleineres Magnetfeld als es anderweitig erfahren wird, was zu einem weniger empfindlichen Magnetfeldsensor führt, was im Allgemeinen unerwünscht ist. Weiterhin könnte, wenn das Magnetfeld, welches mit dem Wirbelstrom verbunden ist, nicht gleichmäßig oder symmetrisch um das Magnetfeldsensierelement92 ist, das Magnetfeldsensierelement92 auch eine unerwünschte offset-Spannung erzeugen. - Der Schlitz
806 neigt dazu, eine Größe (d. h. einen Durchmesser oder eine Weglänge) der geschlossenen Kreise, in denen sich die Wirbelströme812 ,814 fortbewegen, zu verringern. Es wird verstanden werden, dass die verringerte Größe der geschlossenen Kreise, in welchen sich die Wirbelströme812 ,814 fortbewegen, zu geringeren bzw. kleineren Wirbelströmen812 ,814 und einem geringeren lokalen Effekt des AC-Magnetfeldes führen, welches die Wirbelströme induzierte. Demnach ist die Empfindlichkeit eines Magnetfeldsensors, auf welchem das Magnetfeldsensierelement816 und das elektromagnetische Schild800 verwendet werden, weniger durch die geringen Wirbelströme betroffen bzw. beeinflusst. - Weiterhin wird es verstanden werden, dass durch ein Platzieren des Schildes
800 in Beziehung zu dem Magnetfeldsensierelement816 wie gezeigt, so dass der Schlitz806 über das Magnetfeldsensierelement816 verläuft, das Magnetfeld, welches irgendeinem der Wirbelströme812 ,814 zugeordnet ist, dazu neigt, Magnetfelder zu bilden, welche durch das Magnetfeldsensierelement816 in zwei Richtungen hindurchtreten, welche sich über wenigstens einen Abschnitt des Bereichs des Magnetfeldsensierelements816 aufheben. - Bezug nehmend nunmehr auf
12 kann ein anderes beispielhaftes elektromagnetisches Schild850 dasselbe wie oder ähnlich zu dem elektromagnetischen Schild72 der3 sein. Das elektromagnetische Schild850 weist vier Abschnitte852 bis858 auf, welche durch vier Schlitze860 bis866 getrennt sind. Die vier Abschnitte852 bis858 sind mit einem leitfähigen Bereich876 gekoppelt. Ein bonding-pad878 ermöglicht es dem elektromagnetischen Schild850 , mit einer DC-Spannung bzw. Gleichspannung gekoppelt zu sein, beispielsweise einer Massespannung. - In der Anwesenheit eines Magnetfeldes wird es verstanden werden, dass Wirbelströme
868 bis874 in dem elektromagnetischen Schild850 induziert werden können. Aufgrund der vier Schlitze860 bis866 wird es verstanden werden, dass eine Größe (beispielsweise ein Durchmesser oder eine Weglänge) der Wirbelströme868 bis874 mit geschlossenen Kreisbahnen dazu neigt, kleiner bzw. geringer zu sein als die Größe der Wirbelströme812 ,814 mit geschlossenen Kreis der11 . Es wird verstanden werden, dass die verringerte Größe der geschlossenen Kreise, in welchen sich die Wirbelströme868 bis874 fortbewegen, zu kleineren Wirbelströmen868 bis874 und einer geringeren lokalen Beeinflussung des AC-Magnetfelds, welches die Wirbelströme induzierte, fährt, als diejenigen, welche von dem Schild800 der11 resultieren. Demnach ist die Empfindlichkeit eines Magnetfeldsensors, auf welchem das Magnetfeldsensierelement880 und das elektromagnetische Schild850 verwendet werden, weniger durch die geringeren Wirbelströme868 bis874 betroffen bzw. beeinflusst als die Empfindlichkeit eines Stromsensors, welcher das Schild800 der11 verwendet. - Weiterhin wird es verstanden werden, dass durch ein Platzieren des Schildes
850 in Beziehung zu dem Magnetfeldsensierelement880 , wie gezeigt, so dass die Schlitze860 bis866 über dem Magnetfeldsensierelement880 verlaufen, das Magnetfeld, welches irgendeinem. der Wirbelströme868 bis874 zugeordnet ist, dazu neigt, Magnetfelder zu bilden, welche durch das Magnetfeldsensierelement880 in zwei Richtungen verlaufen, welche sich über wenigstens einem Abschnitt des Bereiches des Magnetfeldsensierelements880 aufheben. - Bezug nehmend nunmehr auf
13 kann ein anderes beispielhaftes elektromagnetisches Schild900 dasselbe wie oder ähnlich zu dem elektromagnetischen Schild72 der3 sein. Das elektromagnetische Schild900 weist einen Schildabschnitt bzw. Abschirmabschnitt902 auf, welcher ineinander greifende Bauteile hat, für welche ein Bauteil902a nur ein Beispiel ist. Die ineinander greifenden Bauteile sind durch einen Leiterabschnitt904 mit einem bonding-pad906 gekoppelt, welches es ermöglicht, dass das elektromagnetische Schild900 mit einer DC-Spannung bzw. Gleichspannung, beispielsweise einer Massespannung, gekoppelt ist. - Es wird anerkannt werden, dass das elektromagnetische Schild
900 in der Lage ist, Wirbelströme zu unterstützen, welche eine viel geringere Größe (beispielsweise Durchmesser der Weglänge) haben als das elektromagnetische Schild850 der12 oder das elektromagnetische Schild800 der11 . Demnach neigt das elektromagnetische Schild900 dazu, eine noch geringere negative Auswirkung auf die Empfindlichkeit eines Magnetfeldsensors zu haben als diejenigen, welche obenstehend beschrieben sind. - Bezug nehmend nunmehr auf
14 kann ein elektromagnetisches Schild950 dasselbe wie oder ähnlich zu dem elektromagnetischen Schild72 der3 sein. Das elektromagnetische Schild950 weist einen Schildabschnitt bzw. Abschirmabschnitt952 auf, welcher eine Mehrzahl von Bauteilen hat, für welche Bauteil952a nur ein Beispiel ist. Die Bauteile sind durch einen Leiterabschnitt954 mit einem bonding-pad956 gekoppelt, welches es ermöglicht, dass das elektromagnetische Schild950 mit einer DC-Spannung bzw. Gleichspannung, beispielsweise einer Massespannung, gekoppelt ist. Vorteile des elektromagnetischen Schildes950 werden aus der obenstehenden Diskussion offensichtlich werden. - Während Schilde, welche Merkmale haben, um Wirbelströme zu verringern, obenstehend beschrieben sind, kann das Schild
72 der3 ,3A ,3C und3D auch keine Merkmale haben, um Wirbelströme zu verringern. - Bezug nehmend nunmehr auf
15 weist eine beispielhafte Anwendung der oben beschriebenen Magnetfeldsensoren fünf Magnetfeldsensoren1004a bis1004f auf, welche in einer Linie angeordnet sein. Ein Gangschalthebel1000 , wie beispielsweise derjenige, welcher in einem Automobil aufgefunden werden kann, kann sich in der gezeigten Ansicht nach links oder rechts bewegen, um einen Gang bzw. eine Fahrstufe auszuwählen, welche beispielsweise eine Parkstufe (P), eine Rückwärtsstufe (R), eine Neutralstufe (N), eine Fahrstufe (D), ein zweiter Gang (2) oder ein erster Gang (1) sein kann. Jeder Gang bzw. jede Fahrstufe ist mit einem entsprechenden einen der Magnetfeldsensoren wie gezeigt verbunden. - Der Gangschalthebel
1000 kann einen Magneten1002 haben, welcher an einem Ende davon am nähesten zu den Magnetfeldsensoren1004a bis1004f angeordnet ist. Im Betrieb erkennt bzw. sensiert ein Magnetfeldsensor, beispielsweise der Magnetfeldsensor1004d , wenn der Schalthebel1000 an einer Position des bestimmten Magnetfeldsensors, beispielsweise1004d , ist und demnach erkennt er den bestimmten Gang bzw. die bestimmte Fahrstufe, welche der Position des Schalthebels zugeordnet ist. Auf diesem Wege können die Magnetfeldsensoren1004a bis1004f jeweilige Signale für einen Computerprozessor oder dergleichen bereitstellen, welche elektronisch/mechanisch das Automobilgetriebe in den ausgewählten Gang konfigurieren können. - Dieser bestimmte Aufbau ist gezeigt, um ein mögliches Problem mit den Anordnungen der
5 ,5A und6 aufzuzeigen bzw. zu betonen. Insbesondere kann, wenn das Magnetfeld, welches durch die Magneten1002 erzeugt wird, in derselben Richtung ist wie das Magnetfeld, welches durch den Selbsttestleiter224 der5 ,5A und6 erzeugt wird, dann das Magnetfeld, welches durch den Selbsttestleiter224 erzeugt wird, durch das Magnetfeld, welches durch den Magneten erzeugt wird, übermannt bzw. überwältigt bzw. überdeckt werden, was zu keinem Diagnoseausgangssignal254a ,254a' (5 ,5A ,6 ) führt. - In einigen Ausführungsformen kann diese Unzulänglichkeit bzw. dieser Mangel durch lediglich ein Auswählen des Magnetfelddes, welches durch den Magneten
1002 erzeugt wird, um in einer Richtung entgegengesetzt zu der Richtung des Magnetfeldes zu sein, welches durch den Selbsttestleiter224 erzeugt wird, beseitigt werden. In anderen Ausführungsformen jedoch kann es erstrebenswert sein, einen Magnetfeldsensor zu haben, welcher eine Richtung des Magnetfeldes, welches durch den Selbsttestleiter224 erzeugt wird, auswählen und/oder ändern kann. Eine beispielhafte Anordnung, welche diese Fähigkeit hat, ist in16 gezeigt. - Bezug nehmend nunmehr auf
16 , in welcher gleiche Elemente der5 ,5A und6 gleiche Bezugszeichen habend gezeigt sind, weist eine Schaltung den Selbsttestleiter224 auf, jedoch auf eine unterschiedliche Art und Weise angeordnet als dies in anderen Figuren gezeigt ist. Obwohl er in16 getrennt beabstandet gezeigt ist, sollte es verstanden werden, dass das Magnetfeldsensierelement226 , wie die Ausführungsformen der5 ,5A und6 , benachbart zu dem Selbsttestleiter224 sein kann. - Zwei Komparatoren
1010 ,1012 können gekoppelt sein, um das Signal228a von dem Verstärker228 zu empfangen. Der Komparator1010 kann auch gekoppelt sein, um ein Vergleichssignal1014a zu empfangen, welches repräsentativ für ein Signal von dem Verstärker228 ist, wenn das Magnetfeldsensierelement 0 Gauss (oder ein Hintergrundmagnetfeld, beispielsweise das Erdmagnetfeld) plus einem Delta erfährt. Der Komparator1012 kann auch gekoppelt sein, um ein Vergleichssignal1014b zu empfangen, welches repräsentativ für ein Signal von dem Verstärker228 ist, wenn das Magnetfeldsensierelement 0 Gauss (oder ein Hintergrundmagnetfeld, beispielsweise das Erdmagnetfeld) minus einem Delta erfährt. - Der Komparator
1010 kann ein erstes Vergleichssignal1010a erzeugen, und der Komparator1012 kann ein zweites Vergleichssignal1012a erzeugen. - Ein Flip-Flop (d. h. ein Latch)
1020 kann gekoppelt sein, um das erste und das zweite Vergleichssignal1010a ,1012a jeweils an Setz- und Rücksetzeingängen zu empfangen und kann konfiguriert sein, um ein erstes Ausgabesignal1020a und ein zweites Ausgabesignal1020b zu erzeugen. - Ein erstes Logik-Gatter, beispielsweise ein UND-Gatter
1022 kann gekoppelt sein, um das erste Ausgabesignal1020a zu empfangen, gekoppelt, um das Diagnosesteuersignal260a (5 ,5A ,6 ) zu empfangen und konfiguriert, um ein Steuersignal1022a (control A) zu erzeugen. - Ein zweites logisches Gatter, beispielsweise ein UND-Gatter
1024 kann gekoppelt sein, um das zweite Ausgabesignal1020b zu empfangen, gekoppelt, um das Diagnosesteuersignal260a zu empfangen, und konfiguriert, um ein Steuersignal1024a (control B) zu erzeugen. - Der Selbsttestleiter
224 kann in dem Kreuzarm einer H-Brücke angeordnet sein, umgeben von Schaltern1026a ,1026b ,1028a ,1028b . Die Schalter1026a ,1026b werden durch das erste Steuersignal1022a gesteuert, und die Schalter1028a ,1028b werden durch das zweite Steuersignal1024a gesteuert. - Demnach fließt im Betrieb, wenn der Stromgenerator
216 den Strom218 in Antwort auf das Diagnnosesteuersignal260a erzeugt, der Strom218 durch den Selbsttestleiter224 in einer von zwei Richtungen, welche durch das erste und das zweite Steuersignal1022a ,1024a bestimmt ist. - Die Komparatoren
1010 ,1012 und das Flip-Flop1020 arbeiten im Wesentlichen als ein Fensterkomparator (window comparator), so dass, wenn das Magnetfeld, welches durch das Magnetfeldsensierelement226 erfahren wird, in einer ersten Richtung groß ist, der Diagnosestrom, welcher durch den Selbsttestleiter224 durchtritt, ein Magnetfeld in einer entgegengesetzten zweiten Richtung erzeugt (wenn das Diagnosesteuersignal260a auch hoch ist). Im Gegensatz hierzu ist, wenn das Magnetfeld, welches durch das Magnetfeldsensierelement226 erfahren wird, in der zweiten Richtung groß ist, der Diagnosestrom, welcher durch den Selbsttestleiter224 durchtritt in der entgegengesetzten ersten Richtung (wenn das Diagnosesteuersignal260a auch hoch ist). - Mit dieser Anordnung kann auch in Anwesenheit eines ziemlich großen Magnetfeldes in einer von beiden Richtungen, welches dazu neigt, das Magnetfeldsensierelement
226 zu saturieren bzw. zu sättigen oder elektronischen Komponenten, welche mit dem Magnetfeldsensierelement gekoppelt sind, beispielsweise den Verstärker228 , das Selbsttestsignal218 noch ein Magnetfeld in der entgegengesetzten Richtung erzeugen, welches zu dem Diagnoseausgabesignal254 ,254a' der5 ,5A und6 fortschreiten kann. - Es wird offensichtlich sein, dass die Schaltung der
16 in die Schaltungen der vorangehenden Figuren eingebaut bzw. inkorporiert werden kann. - Alle Bezugnahmen bzw. Referenzen, welche hierin zitiert sind, werden hierin durch Bezugnahme in ihrer Gesamtheit eingeschlossen. Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung beschrieben habend wird es nun Fachleuten offensichtlich werden, dass andere Ausführungsformen, welche deren Konzepte einschließen bzw. inkorporieren, verwendet werden können. Es wird demnach verspürt, dass diese Ausführungsformen nicht auf die offenbarten Ausführungsformen beschränkt werden sollten, sondern nur durch den Gedanken und den Umfang der beigefügten Ansprüche beschränkt werden sollten.
Claims (42)
- Magnetfeldsensor, aufweisend: ein Magnetfeldsensierelement, welches durch ein Substrat abgestützt ist, wobei das Magnetfeldsensierelement zum Erzeugen eines zusammengesetzten Magnetfeldsignales ist, welches einen auf ein gemessenes Magnetfeld reagierenden Signalanteil und einen auf einen Selbsttest reagierenden Signalanteil hat, wobei der auf das gemessene Magnetfeld reagierende Signalanteil auf ein gemessenes Magnetfeld reagiert und der auf den Selbsttest reagierende Signalanteil auf ein Selbsttestmagnetfeld reagiert; eine Selbsttestschaltung, welche einen Selbstteststromleiter aufweist, welcher benachbart zu dem Magnetfeldsensierelement ist, wobei der Selbstteststromleiter zum Leiten eines Selbstteststromes zum Erzeugen des Selbsttestmagnetfeldes ist; und eine Verarbeitungsschaltung, welche gekoppelt ist, um ein Signal, welches repräsentativ für das zusammengesetzte Magnetfeldsignal ist, zu empfangen, welche konfiguriert ist, um ein Sensorsignal zu erzeugen, welches repräsentativ für den auf das gemessene Magnetfeld reagierenden Signalanteil ist, und welche konfiguriert ist, um wenigstens eines eines Diagnosesignals, welches repräsentativ für den auf den Selbsttest reagierenden Signalanteil ist, oder eines zusammengesetzten Signals, welches repräsentativ sowohl für den auf das gemessene Magnetfeld reagierenden Signalanteil als auch für den auf den Selbsttest reagierenden Signalanteil ist, zu erzeugen.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, wobei der Selbstteststromleiter einen Leiter aufweist, welcher durch das Substrat abgestützt ist und benachbart zu dem Magnetfeldsensierelement ist.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, wobei der Selbstteststromleiter einen Leiter aufweist, welcher durch das Substrat abgestützt ist, und mehr als eine metallische Schicht oder Lage aufspannt, welche durch das Substrat abgestützt ist.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend eine Leiterplatte benachbart zu dem Magnetfeldsensierelement, wobei der Selbstteststromleiter einen Leiter aufweist, welcher durch die Leiterplatte abgestützt ist.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 4, wobei der Selbstteststromleiter eine Spule aufweist, welche durch die Leiterplatte abgestützt ist, und mehr als eine metallische Schicht oder Lage aufspannt, welche durch die Leiterplatte abgestützt ist.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, wobei der Selbstteststromleiter einen Leiter aufweist, welcher getrennt von, jedoch in der Nähe des Substrats ist.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend eine Schaltschaltung, welche konfiguriert ist, um eine Richtung des Selbstteststromes und des zugeordneten Selbsttestmagnetfeldes in Antwort auf eine Größe des gemessenen Magnetfeldes zu schalten.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 7, weiterhin aufweisend ein elektromagnetisches Schild, welches in der Nähe des Selbstteststromleiters ist.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 8, wobei das elektromagnetische Schild wenigstens ein Merkmal aufweist, welches konfiguriert ist, um einen Wirbelstrom in dem elektromagnetischen Schild zu verringern, wenn das Schild einem AC-Magnetfeld ausgesetzt ist.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, wobei die Verarbeitungsschaltung konfiguriert ist, um das zusammengesetzte Magnetfeldsignal zu empfangen, und konfiguriert ist, um wenigstens eines des Diagnosesignals oder des zusammengesetzten Signals zu erzeugen, wobei das Diagnosesignal auf das Selbsttestmagnetfeld reagiert und nicht auf das gemessene Magnetfeld reagiert, und wobei das zusammengesetzte Signal sowohl auf das gemessene Magnetfeld als auch auf das Selbsttestmagnetfeld reagiert.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 14, wobei die Verarbeitungsschaltung weiterhin konfiguriert ist, um das Sensorsignal zu erzeugen, wobei das Sensorsignal auf das gemessene Magnetfeldsignal reagiert und nicht auf das Selbsttestmagnetfeld reagiert.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 11, weiterhin aufweisend eine Kombinierschaltung, welche konfiguriert ist, um ein Signal, welches repräsentativ für das Sensorsignal ist, mit einem Signal, welches repräsentativ für das Diagnosesignal ist, zu kombinieren, um ein kombiniertes Ausgabesignal zu erzeugen.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, wobei die Selbsttestschaltung weiterhin einen Diagnoseanfrageprozessor aufweist, welcher gekoppelt ist, um ein Diagnoseeingabesignal zu empfangen, welcher konfiguriert ist, um das Diagnoseeingabesignal zu decodieren, und welcher konfiguriert ist, um ein Diagnosesteuersignal zu erzeugen, welches konfiguriert ist, um die Selbsttestschaltung zu steuern.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 13, wobei die Selbsttestschaltung weiterhin aufweist: eine Stromerzeugungsschaltung, welche einen Ausgabeknoten hat, an welchem Selbstteststrompulse erzeugt werden, wobei der Selbstteststromleiter gekoppelt ist, um die Selbstteststrompulse zu empfangen, was dazu führt, dass das Selbsttestmagnetfeld Magnetfeldpulse hat.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 14, wobei der Stromgenerator konfiguriert ist, um die Selbstteststrompulse in Reaktion auf das Diagnosesteuersignal zu erzeugen.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 13, wobei das Diagnosesteuersignal Steuerpulse aufweist, wobei jeder Steuerpuls zu einem Selbstteststrompuls von dem Stromgenerator führt.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 13, wobei das Diagnosesteuersignal Steuerpulse aufweist, wobei jeder Steuerpuls zu einer Mehrzahl von Selbstteststrompulsen von dem Stromgenerator führt.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 13, wobei das Diagnosesteuersignal einen ersten Zustand, während dessen der Stromgenerator Selbstteststrompulse erzeugt, und einen zweiten Zustand aufweist, während dessen der Stromgenerator keine Selbstteststrompulse erzeugt.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 13, wobei das Diagnosesteuersignal erste Steuerpulse mit einer ersten Einschaltdauer aufweist, während welcher der Stromgenerator Selbstteststrompulse erzeugt, und wobei das Diagnosesteuersignal zweite Steuerpulse mit einer zweiten Einschaltdauer aufweist, während welcher der Stromgenerator keine Selbstteststrompulse erzeugt.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 13, wobei das Diagnosesteuersignal ein binäres digitales Wort aufweist.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 13, wobei die Verarbeitungsschaltung eine track-and-hold-Schaltung aufweist, welche einen Eingabeknoten und einen Ausgabeknoten und einen Steuerknoten hat, wobei die track-and-hold-Schaltung gekoppelt ist, um ein Signal an dem Eingabeknoten zu empfangen, welches repräsentativ für das zusammengesetzte Signal ist, gekoppelt ist, um ein Signal an dem Steuerknoten zu empfangen, welches repräsentativ für das Diagnosesteuersignal ist, und konfiguriert ist, um ein Signal an dem Ausgabeknoten zu erzeugen, welches repräsentativ für das Sensorsignal ist.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend eine Diagnoseausgabeformatierschaltung, welche gekoppelt ist, um das Diagnosesignal zu empfangen, und welche konfiguriert ist, um ein Diagnoseausgabesignal zu erzeugen, welches repräsentativ für das Diagnosesignal ist, wobei das Diagnoseausgabesignal einen Puls aufweist, welcher einen ordnungsgemäß funktionierenden Magnetfeldsensor anzeigt.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend eine Diagnoseausgabeformatierschaltung, welche gekoppelt ist, um das Diagnosesignal zu empfangen, und welche konfiguriert ist, um ein Diagnoseausgabesignal zu erzeugen, welches repräsentativ für das Diagnosesignal ist, wobei das Diagnoseausgabesignal einen Zustand aufweist, welcher einen ordnungsgemäß funktionierenden Magnetfeldsensor anzeigt.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend eine Diagnoseausgabeformatierschaltung, welche gekoppelt ist, um das Diagnosesignal zu empfangen, und welche konfiguriert ist, um ein Diagnoseausgabesignal zu erzeugen, welches repräsentativ für das Diagnosesignal ist, wobei das Diagnoseausgabesignal eine vorbestimmte Einschaltdauer aufweist, welche einen ordnungsgemäß funktionierenden Magnetfeldsensor anzeigt.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend eine Diagnoseausgabeformatierschaltung, welche gekoppelt ist, um das Diagnosesignal zu empfangen, und welche konfiguriert ist, um ein Diagnoseausgabesignal zu erzeugen, welches repräsentativ für das Diagnosesignal ist, wobei das Diagnoseausgabesignal ein binäres digitales Wort enthält, welches einen ordnungsgemäß funktionierenden Magnetfeldsensor anzeigt.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend eine Sensorausgabeformatierschaltung, welche gekoppelt ist, um das Sensorsignal zu empfangen, und welche konfiguriert ist, um ein Sensorausgabesignal zu erzeugen, welches repräsentativ für das Sensorsignal ist, wobei das Sensorausgabesignnal ein nichtlineares Zweizustands-Signal aufweist, welches auf das gemessene Magnetfeld reagiert.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend eine Sensorausgabeformatierschaltung, welche gekoppelt ist, um das Sensorsignal zu empfangen, und welche konfiguriert ist, um ein Sensorausgabesignal zu erzeugen, welches repräsentativ für das Sensorsignal ist, wobei das Sensorausgabesignal ein zusammenhängendes lineares Signal aufweist, welches auf das gemessene Magnetfeld reagiert.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend ein elektromagnetisches Schild benachbart zu dem Selbstteststromleiter.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 28, wobei das elektromagnetische Schild wenigstens ein Merkmal aufweist, welches konfiguriert ist, um einen Wirbelstrom in dem elektromagnetischen Schild zu verringern, wenn das Schild einem AC-Magnetfeld ausgesetzt ist.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, wobei das gemessene Magnetfeld durch einen Strom erzeugt wird, welcher durch einen Leiter mit gemessenem Stromwert geführt wird.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend einen Leiterrahmen, welcher eine Mehrzahl von Leitern und eine Kopplung von wenigstens zweien der Leiter benachbart zu dem Magnetfeldsensor aufweist, wobei der Leiter mit gemessenem Stromwert die Kopplung von den wenigstens zweien der Leiter aufweist.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, wobei die Selbsttestschaltung weiterhin aufweist: einen Taktgeber, welcher konfiguriert ist, um ein Taktsignal zu erzeugen; einen Diagnosetaktgeber, welcher gekoppelt ist, um das Taktsignal zu empfangen, und konfiguriert ist, um ein Diagnosetaktsignal zu erzeugen; und einen Pulsgenerator, welcher gekoppelt ist, um das Diagnosetaktsignal zu empfangen, und welcher konfiguriert ist, um ein Pulssignal in Antwort auf das Diagnosetaktsignal zu erzeugen, wobei der Stromgenerator gekoppelt ist, um das Pulssignal zu empfangen, und konfiguriert ist, um den Selbstteststrom in Antwort auf das Pulssignal zu erzeugen.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, wobei das Magnetfeldsensierelement ein Halleffektelement aufweist, wobei der Magnetfeldsensor weiterhin einen Strom- oder Spannungsgenerator aufweist, welcher mit dem Halleffektelement gekoppelt ist.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, wobei das Magnetfeldsensierelement ein Magnetowiderstandselement aufweist, wobei der Magnetfeldsensor weiterhin einen Stromgenerator aufweist, welcher mit dem Magnetowiderstandselement gekoppelt ist.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend einen elektronischen Schalter, welcher über den Selbstteststromleiter gekoppelt ist.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, wobei die Verarbeitungsschaltung aufweist: einen Komparator, welcher gekoppelt ist, um ein Signal zu empfangen, welches repräsentativ für das zusammengesetzte Magnetfeldsignal ist, welcher gekoppelt ist, um ein Grenzwertsignal zu empfangen und welcher konfiguriert ist, um ein nichtlineares Ausgabesignal zu erzeugen; und eine Logikschaltung, welche konfiguriert ist, um das Grenzwertsignal zu erzeugen, welches einen Wert hat, welcher dynamisch unter vier verschiedenen Grenzwertsignalwerten ausgewählt wird.
- Verfahren zum Erzeugen eines Selbsttests eines Magnetfeldsensors, aufweisend: Erzeugen eines zusammengesetzten Magnetfeldsignals mit einem Magnetfeldsensierelement, welches einen auf ein gemessenes Magnetfeld reagierenden Signalanteil und einen auf einen Selbsttest reagierenden Signalanteil hat, wobei der auf das gemessene Magnetfeld reagierende Signalanteil auf ein gemessenes Magnetfeld reagiert, und der auf den Selbsttest reagierende Signalanteil auf ein Selbsttestmagnetfeld reagiert; Erzeugen eines Selbstteststromes in einem Selbstteststromleiter benachbart zu dem Magnetfeldsensierelement, wobei der Selbstteststromleiter zum Führen des Selbstteststromes das Selbsttestmagnetfeld erzeugt; Erzeugen eines Sensorausgabesignals, welches repräsentativ für den auf das gemessene Magnetfeld reagierenden Signalanteil ist; und Erzeugen wenigstens eines von einem Diagnosesignal, welches repräsentativ für den auf den Selbsttest reagierenden Signalanteil ist, oder einem zusammengesetzten Signal, welches repräsentativ für sowohl den auf das gemessene Magnetfeld reagierenden Signalanteil als auch den auf den Selbsttest reagierenden Signalanteil ist.
- Verfahren nach Anspruch 37, wobei der Selbstteststromleiter einen Leiter aufweist, welcher durch das Substrat abgestützt ist, und benachbart zu dem Magnetfeldsensierelement ist.
- Verfahren nach Anspruch 37, wobei der Selbstteststromleiter eine Spule aufwiest, welche durch das Substrat abgestützt ist, und mehr als eine metallische Lage oder Schicht aufspannt, welche durch das Substrat abgestützt ist.
- Magnetfeldsensor nach Anspruch 37, schaltend eine Richtung des Selbstteststromes und des zugeordneten Selbsttestmagnetfeld in Antwort auf eine Größe des gemessenen Magnetfelds.
- Verfahren nach Anspruch 40, weiterhin aufweisend ein elektromagnetisches Abschirmen des Selbsttestleiters.
- Verfahren nach Anspruch 37, weiterhin aufweisend ein elektromagnetisches Abschirmen des Selbstteststromleiters.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US15305909P | 2009-02-17 | 2009-02-17 | |
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Family
ID=42358679
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Date | Code | Title | Description |
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R012 | Request for examination validly filed | ||
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R012 | Request for examination validly filed |
Effective date: 20110804 |
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R082 | Change of representative |
Representative=s name: KUHNEN & WACKER PATENT- UND RECHTSANWALTSBUERO, DE |
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R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: ALLEGRO MICROSYSTEMS, LLC, US Free format text: FORMER OWNER: ALLEGRO MICROSYSTEMS, INC., WORCESTER, US Effective date: 20130617 Owner name: ALLEGRO MICROSYSTEMS, LLC, US Free format text: FORMER OWNER: ALLEGRO MICROSYSTEMS, LLC., WORCESTER, US Effective date: 20130701 Owner name: ALLEGRO MICROSYSTEMS, LLC, WORCESTER, US Free format text: FORMER OWNER: ALLEGRO MICROSYSTEMS, LLC., WORCESTER, MASS., US Effective date: 20130701 Owner name: ALLEGRO MICROSYSTEMS, LLC, WORCESTER, US Free format text: FORMER OWNER: ALLEGRO MICROSYSTEMS, INC., WORCESTER, MASS., US Effective date: 20130617 |
|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: KUHNEN & WACKER PATENT- UND RECHTSANWALTSBUERO, DE Effective date: 20130617 Representative=s name: KUHNEN & WACKER PATENT- UND RECHTSANWALTSBUERO, DE Effective date: 20130701 |
|
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final |