DE1284506B

DE1284506B - Support plate for temperature-sensitive electrical circuit parts

Info

Publication number: DE1284506B
Application number: DE1964G0041859
Authority: DE
Inventors: Dr Albert; Regner Karl; Perlick; Tajbl Franz Vinzenz
Original assignee: Linde GmbH; Standard Elektrik Lorenz AG; Ver Deutsche Metallwerke AG
Current assignee: Linde GmbH; Alcatel Lucent Deutschland AG; Ver Deutsche Metallwerke AG
Priority date: 1964-10-24
Filing date: 1964-10-24
Publication date: 1968-12-05
Also published as: GB1090628A

Description

Die Erfindung betrifft ein Trägerblech für elektrische Schaltungsteile, z. B. Elektronenröhren, Widerstände, Kondensatoren und Halbleiter-Bauelemente. Solche Trägerbleche befinden sich beispielsweise in fast jedem Radio- oder Fernsehgerät. Aber auch Halbleiter-Gleichrichtergeräte für hohe Ströme, sogenannte Leistungsgleichrichter, z. B. für Schweißzwecke, enthalten solche Trägerbleche, um nur ein weiteres Beispiel anzuführen. Viele dieser Schaltungsteile sind temperaturempfindlich. Ihre Arbeitscharakteristik ändert sich mit der Temperatur. Es gibt auch viele Schaltungsteile, die bei überhitzung Schaden leiden. Obere Grenztemperaturen dürfen also nicht über- und untere sollen oft nicht unterschritten werden. Das Bestreben, die Schaltungsteile immer enger beineinander anzuordnen, um die räumlichen Ausmaße der Geräte gering zu halten, zwingt daher dazu, die Geräte zu kühlen. Neben der weit verbreiteten Maßnahme, die Gehäusewände der Geräte zu durchlöchern, um Luft frei zu den Schaltungsteilen strömen zu lassen, ist es bekannt, einzelne Schaltungsteile wie Elektronenröhren, Halbleiterdioden oder Transistoren jeweils mit dünnen Kühlblechen zu versehen, um die Wärme besser abzuführen. Auch Lüfter werden verwendet, um das Geräteinnere zu kühlen. So wurden sogar schon kleine Gebläse in den Geräten unmittelbar neben besonders temperaturempfindlichen Leistungsgleichrichtern angeordnet, um gerade sie zu kühlen. Insbesondere künstlich bewegte Kühlluft trägt aber Staub in die Geräte. In staubreicher Industrieluft arbeitende Geräte müssen daher zusätzlich gewartet werden. Nachteilig ist in vielen Fällen auch der Verbrauch an elektrischer Energie für den Lüfterantrieb.The invention relates to a carrier plate for electrical circuit parts, z. B. Electron tubes, resistors, capacitors and semiconductor components. Such Carrier sheets can be found in almost every radio or television set, for example. But also semiconductor rectifier devices for high currents, so-called power rectifiers, z. B. for welding purposes, contain such support plates to just another example to cite. Many of these circuit parts are temperature sensitive. Your work characteristics changes with temperature. There are also many circuit parts that overheat Suffer harm. Upper limit temperatures must therefore not be higher or lower often not be undercut. The endeavor to keep the circuit parts tighter to be arranged on each other in order to keep the spatial dimensions of the devices small, therefore forces the devices to be cooled. In addition to the widespread measure that To perforate the housing walls of the devices so that air can flow freely to the circuit components It is known to let individual circuit parts such as electron tubes, semiconductor diodes or to provide transistors with thin cooling plates to keep the heat better to dissipate. Fans are also used to cool the inside of the device. So were even small fans in the devices right next to particularly temperature-sensitive ones Power rectifiers arranged to just cool them. Especially artificial however, moving cooling air carries dust into the devices. Workers in dusty industrial air Devices therefore require additional maintenance. Is disadvantageous in many cases also the consumption of electrical energy for the fan drive.

Der Erfindung lag die Aufgabe zugrunde, das Trägerblech für temperaturempfindliche elektrische Schaltungsteile zur Kühlung stärker heranzuziehen, als es bisher allein durch Wärmeleitung im Blech geschehen konnte, insbesondere aber örtlich begrenzt entstehende Wärmemengen so zu verteilen bzw. dorthin abzuführen, wo sie nicht mehr stören. Nach der Erfindung enthält das Trägerblech gegen die Außenluft verschlossene Kanäle, in denen sich verdampf-und kondensierbare - Flüssigkeiten befinden. Da der Wärmeübergärig beim 'Verdampfen und Kondensieren sehr gut ist, herrschen in einem solche Kanäle enthaltenden Trägerblech nur Temperaturunterschiede von wenigen Graden, selbst wenn örtlich eng begrenzt verhältnismäßig große Wärmemengen an das Trägerblech abgegeben werden. Die äußere Oberfläche des ganzen Trägerbleches bzw. des von der Außenluft umspülten Oberflächenteiles wird zur Wärmeabgabe an die Umgebungsluft herangezogen und nicht nur die unmittelbare Umgebung der Befestigungsstelle des wärmeabgebenden Schaltungsteiles, wie es bei den derzeit üblichen einfachen Trägerblechen der Fall ist.The invention was based on the object of the support sheet for temperature-sensitive to use electrical circuit parts for cooling more than it was previously alone could happen through heat conduction in the sheet metal, but in particular locally limited To distribute the resulting amounts of heat or to dissipate them where they are no longer disturb. According to the invention, the carrier plate contains sealed against the outside air Channels in which evaporable and condensable liquids are located. Since the Warmth over-fermenting at 'evaporation and condensation is very good, prevail in one such channels containing carrier sheet only temperature differences of a few degrees, even if locally narrowly limited, relatively large amounts of heat are applied to the carrier plate be delivered. The outer surface of the entire carrier plate or of the The part of the surface surrounded by outside air is used to give off heat to the surrounding air used and not just the immediate vicinity of the attachment point of the heat-emitting circuit part, as is the case with the currently common simple carrier plates the case is.

An sich ist es bekannt, in Kanalblechen Flüssigkeiten zu verdampfen und dadurch zu kühlen. Nahezu alle Kühlschränke enthalten Kanalbleche als Verdampfer. Zumeist werden Kanalbleche durch flächiges Verschweißen oder Verlöten zweier zuvor geeignet geprägter Bleche hergestellt. Mitunter werden auch ebene Bleche miteinander verbunden und dann erst Kanäle mit Flüssigkeit oder Gas gebläht. Auch kann ein Kanalblech dadurch erhalten werden, daß geeignet gebogene Rohrabschnitte auf ebene Bleche gelötet oder nur geklemmt werden. Die bekannten Kanalbleche bestehen vorzugsweise aus Aluminium, Eisen oder Kupfer oder deren Legierungen mit anderen Metallen. Allen Kanalblechen ist gemeinsam, daß sie erheblich steifer sind als gleichdicke kanalfreie Bleche. Kanalbleche können daher bei gleicher Steifigkeit erheblich dünner und somit leichter sein als kanalfreie Bleche. Auch dieser Vorteil kommt dem Trägerblech nach der Erfindung zugute.It is known per se to evaporate liquids in duct plates and thereby to cool. Almost all refrigerators contain duct plates as evaporators. In most cases, duct sheets are made by two-dimensional welding or soldering of two beforehand suitably embossed sheet metal produced. Sometimes even sheets are joined together connected and only then inflated channels with liquid or gas. A duct plate can also be used can be obtained in that suitably bent pipe sections are soldered onto flat metal sheets or just be clamped. The known channel plates are preferably made of aluminum, Iron or copper or their alloys with other metals. All duct sheets What they have in common is that they are considerably stiffer than duct-free sheets of the same thickness. Duct plates can therefore be considerably thinner and therefore lighter with the same rigidity be as channel-free sheets. This advantage also comes with the carrier sheet according to the invention benefit.

Es ist ferner bereits bekannt, die warmen Lötstellen von Thermoelement-Batterien in Kühlschränken mit Hilfe von Kanalblechen zu kühlen, in deren Kanälen sich verdampf- und kondensierbare Flüssigkeit befindet. Auch hier sind die Kanäle gegen die Außenluft verschlossen. Die Kanalbleche erfüllen aber dabei lediglich die Aufgabe von Kühlrippen, nämlich von einer einzigen ebenen Fläche Wärme abzuführen und sie an die Umgebungsluft zu übertragen. Sie stellen also nicht zugleich ein tragendes Bauteil für eine Vielzahl elektrischer Schaltungsteile dar und haben nicht die Aufgabe zu erfüllen, aus dem Innern eines Gehäuses Wärme abzuführen. Schließlich kommt es bei der Thermoelementkühlung nur darauf an, die Temperatur der warmen Lötstellen so niedrig wie möglich zu halten und nicht darauf, einen bestimmten Temperaturbereich oberhalb Raumtemperatur einzuhalten, wie es z. B. bei Halbleiter-Leistungsgleichrichtern zweckmäßig ist.It is also already known, the warm solder joints of thermocouple batteries to cool in refrigerators with the help of duct plates, in the ducts of which evaporate and condensable liquid is located. Here, too, the ducts are against the outside air locked. The channel plates only fulfill the task of cooling fins, namely to dissipate heat from a single flat surface and transfer it to the ambient air transferred to. So they do not represent a load-bearing component for a large number of people at the same time electrical circuit parts and do not have the task of performing from the Dissipate heat inside a housing. Finally, it comes with thermocouple cooling just try to keep the temperature of the warm solder joints as low as possible and not on maintaining a certain temperature range above room temperature, how it z. B. is useful in semiconductor power rectifiers.

Wenn sich unter den elektrischen Schaltungsteilen, die auf dem Trägerblech nach der Erfindung befestigt sind; nur solche temperaturempfindlichen Teile befinden, die im gleichen Temperaturbereich besonders vorteilhaft arbeiten, so genügt es, alle Kanäle im Trägerblech zu einem Kanalsystem zu vereinigen. Sollen hingegen örtlich unterschiedliche Temperaturen herrschen, so bilden die Kanäle zweckmäßig mehrere in sich geschlossene Kanalsysteme. Da nun einerseits die Sättigungsdrucke siedender Flüssigkeiten sehr von der Temperatur abhängen und andererseits die Kanalwände aus Gewichtsgründen möglichst dünn sein sollen, ist es vorteilhaft, wenn sich in den einzelnen Kanalsystemen desselben Trägerbleches unterschiedliche Flüssigkeiten mit bei gleichen Temperaturen voneinander abweichenden Sättigungsdrucken befinden.If under the electrical circuit parts that are on the carrier plate are attached according to the invention; only those temperature-sensitive parts are located, which work particularly advantageously in the same temperature range, it is sufficient to to combine all channels in the carrier plate to form a channel system. Should, however, be local If there are different temperatures, the channels expediently form several self-contained sewer systems. Since, on the one hand, the saturation pressures are boiling Liquids depend very much on the temperature and on the other hand the channel walls Should be as thin as possible for reasons of weight, it is advantageous if in the individual channel systems of the same carrier plate with different liquids saturation pressures that differ from one another are at the same temperatures.

Um den Rücklauf kondensierenden Dampfes im Trägerblech zu erleichtern, sollte zumindest ein Teil davon gegen die Waagrechte geneigt sein. Die Kanäle brauchen dann keine derart große lichte Weite aufzuweisen, wie wenn das Trägerblech eben ist und waagrecht liegt. Offensichtlich bietet eine senkrechte Anordnung des ganzen Bleches besondere Vorteile, sofern die temperaturempfindlichen Schaltungsteile nur auf dem unteren Teil befestigt werden, in den das Kondensat zurückläuft, während im oberen Teil der Dampf kondensiert. Nicht immer läßt sich aber eine solche Anordnung wählen. Um Temperaturunterschiede zwischen einzelnen Teilen des Trägerbleches insbesondere dann aufrechterhalten zu können, wenn mehrere voneinander unabhängige Kanalsysteme vorhanden sind, kann die Wärmeleitung im Blech stellenweise durch Schlitze unterbrochen sein.To facilitate the return of condensing steam in the carrier plate, at least part of it should be inclined to the horizontal. The channels need then do not have such a large clear width as if the carrier plate was flat is and lies horizontally. Obviously, a vertical arrangement of the whole offers Sheet metal special advantages, provided the temperature-sensitive circuit parts only be attached to the lower part, into which the condensate runs back, while in the upper part of the steam condenses. However, such an arrangement cannot always be found Select. About temperature differences between individual parts of the carrier plate in particular then to be able to maintain if several independent sewer systems are present, the heat conduction in the sheet metal can be interrupted in places by slots be.

Der Wärmedurchgang von den wärmeabgebenden temperaturempfindlichen elektrischen Schaltungsteilen an die in den Kanälen siedende Flüssigkeit ist sehr gut. Hingegen ist der Wärmedurchgang vom kondensierenden Dampf an die Außenluft insbesondere dann schlecht, wenn die Außenluft nicht durch ein Gebläse künstlich bewegt wird. Dieser Nachteil kann dadurch vermindert werden, daß Teile der äußeren Oberfläche des Trägerbleches durch Blechrippen vergrößert werden. Solche Blechrippen können in an sich bekannter Weise aufgeklemmt, aufgelötet, aufgeschweißt, aufgeklebt oder auch aus den kanalfreien Teilen des Trägerbleches herausgepreßt werden. Besonders wirksam ist die Kondensationswärme dann abführbar, wenn eine Kühlflüssigkeit, z. B. Wasser, verfügbar ist. Es muß dann ein besonderes Kanalsystem für diese Kühlflüssigkeit im Trägerblech enthalten sein. Da der Wärmeübergang von der Kanalinnenwand an siedende Flüssigkeit erheblich besser ist als an strömende Flüssigkeit, kann ein solches Trägerblech in Sonderfällen, bei denen die elektrischen Schaltungsteile sehr dicht beieinander angeordnet werden sollen, Vorteile gegenüber einer Anordnung bieten, bei der das ganze Trägerblech ausschließlich von Kühlwasser durchflossen wird, was an sich bekannt ist. Denn die Kanäle brauchen im Trägerblech dort nicht so dicht beieinander zu liegen, wo die Schaltungsteile befestigt werden, wenn Flüssigkeit in ihnen verdampft, wie wenn nur Flüssigkeit in ihnen strömt. Es sind somit in ersterem Fall mehr kanalfreie Blechteile zur Befestigung verfügbar. als in letzterem.The heat transfer from the heat-emitting temperature-sensitive electrical circuit parts to the liquid boiling in the channels is very Well. On the other hand, there is heat transfer from the condensing steam to the outside air especially bad if the outside air is not artificially blown by a fan is moved. This disadvantage can be reduced by the fact that Parts of the outer surface of the carrier plate are enlarged by sheet metal ribs. Such sheet metal ribs can be clamped, soldered, welded on in a manner known per se, glued on or pressed out of the channel-free parts of the carrier plate will. The heat of condensation can be dissipated particularly effectively when a cooling liquid, z. B. water is available. There must then be a special channel system for this coolant be included in the carrier plate. Because the heat transfer from the inner duct wall to boiling Liquid is considerably better than flowing liquid, such can Carrier sheet in special cases where the electrical circuit parts are very tight are to be arranged next to each other, offer advantages over an arrangement, in which the entire carrier plate is flowed through exclusively by cooling water, what is known per se. Because the channels do not need to be so tight there in the carrier plate to lie together where the circuit parts are attached when liquid evaporates in them as if only liquid flows in them. There are thus in the former If more duct-free sheet metal parts are available for fastening. than in the latter.

Bildet das Trägerblech ganz oder zum Teil eine oder mehrere Gehäusewände, so können die elektrischen, vom Gehäuse umschlossenen Bauteile nicht nur äußerst wirksam gekühlt, sondern zugleich auch vor Verstaubung geschützt werden. Bei einer solchen Gestalt des Trägerbleches werden seine Vorzüge besonders deutlich. Schließlich kann es vorteilhaft sein, wenn das Trägerblech ein- oder beidseitig mit einer Schicht elektrisch besser als es selbst leitenden Metalles überzogen ist. Beispielsweise sei angeführt, daß sich Aluminium-Kanalbleche, die einseitig mit einer dünnen Silberschicht plattiert sind, besonders dazu eignen, starke Hochfrequenz-Ströme weitgehend verlustfrei zu leiten und zugleich die Verlustwärme abzuführen. An sich ist es bekannt, kanalfreie Aluminiumbleche für hochfrequenztechnische Zwecke mit Silber zu plattieren. Jedoch sind mit Silber plattierte Kanalbleche neu.If the carrier plate completely or partially forms one or more housing walls, so the electrical components enclosed by the housing can not only be extreme effectively cooled, but also protected from dust at the same time. At a such a shape of the carrier plate its advantages are particularly clear. In the end it can be advantageous if the carrier sheet has a layer on one or both sides electrically better than it is coated with conductive metal. For example it should be noted that there are aluminum duct sheets, which are covered on one side with a thin layer of silver are plated, particularly suitable for strong high-frequency currents, largely without losses to conduct and at the same time dissipate the heat loss. In itself it is known to be channel-free Plating aluminum sheets with silver for high-frequency technical purposes. However are new with silver plated duct plates.

An Hand der Figuren sei die Erfindung erläutert. Gleiche Teile sind jeweils mit gleichen Ziffern bezeichnet.The invention is explained with the aid of the figures. Same parts are each designated with the same numbers.

F i g. 1 zeigt in perspektivischer Darstellung ein abgewinkeltes Trägerblech mit einem waagrechten Teil, auf dem temperaturempfindliche elektrische Schaltungsteile befestigt sind, und einem senkrechten Teil, der eine Gehäusewand bilden oder ihr benachbart sein kann; F i g. 2 ist ein Schnitt gemäß A-A und in F i g. 3 ein Schnitt gemäß B-B in F i g. 1 dargestellt; F i g. 4 gibt einen Schnitt durch ein senkrecht stehendes Trägerblech wieder, auf dem sich eine Vielzahl gleicher elektrischer Schaltungsteile befindet; in F i g. 5 und 6 sind in perspektivischer Darstellung Beispiele von Rippenformen gezeigt, wie sie zusätzlich an den Trägerblechen angebracht sein können um den Wärmeübergang vom Trägerblech an frei oder erzwungen strömende Kühlluft zu verbessern.F i g. 1 shows a perspective view of an angled carrier plate with a horizontal part on which temperature-sensitive electrical circuit parts are attached, and a vertical part that form a housing wall or her can be adjacent; F i g. 2 is a section according to A-A and in FIG. 3 a section according to B-B in FIG. 1 shown; F i g. 4 gives a section through a perpendicular standing carrier plate again, on which there are a large number of identical electrical circuit parts is located; in Fig. 5 and 6 are perspective views showing examples of rib shapes shown how they can also be attached to the carrier plates for heat transfer from the carrier plate to improve free or forced flowing cooling air.

Das abgewinkelte Trägerblech nach F i g. 1 enthält zwei in sich geschlossene Kanalsysteme mit den Kanälen 1 bzw. 2, die durch die vor der Füllung offenen und danach verschlossenen, z. B. zugeschweißten Kanalenden 3 bzw. 4 mit je einer verdampf- und kondensierbaren Flüssigkeit teilweise gefüllt sind. Als Flüssigkeiten können beispielsweise CFCI3 (»R 11«) bzw. C2F"C4 (»R 113«) gewählt werden, die bei Raumtemperatur voneinander abweichende Sättigungsdrucke aufweisen. Je nach der Höhe der Wärmeabgabe der Schaltungsteile und der Größe der beiden Kanäle 1 bzw. 2 enthaltenden Trägerblechteile herrschen zwar in jedem der beiden zugehörigen Trägerblechteile nahezu gleiche Temperaturen, jedoch zwischen beiden eine Temperaturdifferenz. Die Wahl zweier unterschiedlicher Flüssigkeiten erlaubt, den Druck in beiden Trägerblechteilen unter einer oberen Grenze zu halten, die durch die mechanische Festigkeit der Kanalwände festgelegt ist. Der Schlitz 5 im Trägerblech unterbricht die Wärmeleitung im Blech selbst und behindert den Temperaturausgleich zwischen den beiden auf verschiedenen Temperaturen befindlichen Trägerblechteilen. Die Elektronenröhre 6 und der Leistungstransistor 7 stellen nur andeutungsweise Beispiele für temperaturempfindliche elektrische Schaltungsteile dar. Der Schlitz 8 isoliert thermisch einen Kanal, in dem Kondensat leichter zurücklaufen kann als in den übrigen Kanälen, in denen der Rücklauf durch aufsteigenden Dampf behindert wird. Bei der in F i g. 1 dargestellten Trägerplatte ist die obere Fläche des waagrechten Teiles eben, die Kanäle sind nur auf einer Blechseite, nämlich der unteren, ausgeprägt. Eine solche Gestalt kann günstig für die Befestigung der Schaltungsteile sein. Die Kanäle im senkrechten Teil hingegen sind beidseitig ausgeprägt, wie aus den F i g. 2 und 3 hervorgeht. Jedes der beiden Kanalsysteme mit den Kanälen 1 bzw. 2 ist nun nur teilweise mit Flüssigkeit gefüllt, die sich im Ruhezustand im waagrechten Teil der Trägerplatte sammelt. Liefern die elektrischen Schaltungsteile Wärme, so verdampft Flüssigkeit. Der Dampf wird im senkrechten Teil kondensiert und rinnt in den waagrechten zurück. Die Wärme wird also aus dem waagrechten Teil in den senkrechten transportiert. Natürlich kann die Trägerplatte auch anders gestaltet, z. B. - abgesehen von den Kanalwänden - eben sein und senkrecht stehen. Die wärmeempfindlichen Schaltungsteile müssen dann unten auf der Trägerplatte befestigt werden, damit sie verdampfende Flüssigkeit kühlen kann. Es liegt im Rahmen fachmännischer Überlegungen, die jeweils günstigste äußere Gestalt des Trägerbleches und die dafür geeignetste Kanalführung zu wählen.The angled support plate according to FIG. 1 contains two self-contained channel systems with channels 1 and 2, respectively, which are opened by the open before filling and then closed, e.g. B. welded channel ends 3 and 4 are partially filled with a vaporizable and condensable liquid. CFCI3 ("R 11") or C2F "C4 (" R 113 "), for example, can be selected as liquids, which have saturation pressures that differ from one another at room temperature. 2 containing sheet metal support parts exist in each of the two associated metal support parts, but there is a temperature difference between the two.The choice of two different fluids allows the pressure in both support sheet parts to be kept below an upper limit, which is determined by the mechanical strength of the duct walls. the slot 5 in the support plate interrupts the thermal conduction in the plate itself and hinder the temperature balance between the two at different temperatures situated support sheet metal parts. the electron tube 6 and the power transistor 7 represent only suggested examples of temperature-sensitive electrical circuit elements. the slot 8 isolier t thermally a channel in which condensate can flow back more easily than in the other channels, in which the return flow is hindered by rising steam. In the case of the in FIG. 1, the upper surface of the horizontal part is flat, the channels are only pronounced on one sheet metal side, namely the lower one. Such a shape can be beneficial for securing the circuit parts. The channels in the vertical part, on the other hand, are pronounced on both sides, as shown in FIGS. 2 and 3. Each of the two channel systems with channels 1 and 2 is now only partially filled with liquid, which collects in the horizontal part of the carrier plate when at rest. If the electrical circuit components supply heat, the liquid evaporates. The steam is condensed in the vertical part and flows back into the horizontal part. The heat is transported from the horizontal part to the vertical one. Of course, the carrier plate can also be designed differently, for. B. - apart from the channel walls - be level and stand vertically. The heat-sensitive circuit parts must then be attached to the bottom of the carrier plate so that they can cool evaporating liquid. It is within the scope of professional considerations to choose the most favorable external shape of the carrier plate and the most suitable channel routing.

Bei dem in F i g. 4 dargestellten Beispiel befinden sich gleich dimensionierte elektrische Schaltungsteile, nämlich Halbleiter-Gleichrichter 9, auf einem Trägerblech nach der Erfindung. Das Trägerblech bildet zugleich einen elektrischen Leiter. Die Befestigungsschrauben 10 sind elektrisch gegen das Trägerblech isoliert, was nicht dargestellt ist. Durch Pfeile sei angedeutet, daß die Anordnung durch künstlich bewegte Luft gekühlt werden kann.In the case of the one shown in FIG. 4, there are identically dimensioned electrical circuit parts, namely semiconductor rectifiers 9, on a carrier plate according to the invention. The carrier plate also forms an electrical conductor. The fastening screws 10 are electrically insulated from the carrier plate, which is not shown. It is indicated by arrows that the arrangement can be cooled by artificially moved air.

Nach F i g. 5 sind Rippen 11 aus den kanalfreien Teilen des Trägerblechs z. B. durch Profilwalzen herausgepreßt, die sich insbesondere dort befinden sollen, wo der Flüssigkeitsdampf kondensiert. Gemäß F i g. 6 sind U-förmige Blechrippen 12 auf kanalfreie Teile des Trägerbleches geschweißt. Natürlich können statt dessen auch Blechrippen gestanzt oder gezogen werden.According to FIG. 5 are ribs 11 from the channel-free parts of the support plate z. B. pressed out by profile rollers, which should be located in particular where the liquid vapor condenses. According to FIG. 6, U-shaped sheet metal ribs 12 are welded onto channel-free parts of the carrier plate. Of course, sheet metal ribs can also be punched or drawn instead.

Claims

Claims: 1. Carrier sheet for temperature-sensitive electrical Circuit parts, in particular for semiconductor elements, d u r c h e k e n n n notices that it contains ducts which are closed to the outside air and in which there is an evaporable and condensable liquid.

2. Carrier sheet according to claim 1, characterized in that the channels are combined into only one channel system.

3. Carrier sheet according to claim 1, characterized in that the channels have several in closed canal systems are formed.

4. carrier sheet according to claim 3, characterized in that that there are different liquids in the channel systems at the same temperatures saturation pressures that differ from one another.

5. Carrier sheet according to the claims 1 to 4, characterized in that at least part of it against the horizontal is inclined.

6. Carrier sheet according to claims 1 to 5, characterized in that that the heat conduction in the sheet metal is interrupted in places by slots.

7. Carrier sheet according to claims 1 to 6, characterized in that parts of its outer surface are enlarged by sheet metal ribs. B. carrier plate according to claims 1 to 7, characterized characterized in that there is a special channel system for a cooling liquid, e.g. B. Contains water. 9. carrier hole according to claims 1 to 8, characterized in that that it forms one or more housing walls in whole or in part. 10. Carrier sheet according to claims 1 to 9, characterized in that it is one or both sides with a layer electrically better than it is itself conductive metal, z. B. silver, is covered.