DE1589728A1

DE1589728A1 - Verfahren zur Herstellung von Kondensatoren

Info

Publication number: DE1589728A1
Application number: DE1967E0033919
Authority: DE
Inventors: Vierow William Frederick; Baier Frederick John
Original assignee: ERO TANTAL KONDENSATOREN GmbH
Current assignee: ERO TANTAL KONDENSATOREN GmbH
Priority date: 1966-05-02
Filing date: 1967-05-02
Publication date: 1970-06-11
Also published as: DE1589728C3; NL6706141A; SE371324B; JPS5125579B1; BE697904A; GB1174492A; US3465426A; DE1589728B2

Description

Dipl.-Ing. F.Weickmann, Dr. Ing. A.Weickmann, DiPL.-lNa H. Weickmann D1PL.-PHYS. Dr. K. Fincke Patentanwälte

8 MÜNCHEN 27, mdhlstrasse 22, rufnummer «3921/22 I v Ö yJ ι £, Q

ERO-TANTAL-Kondensatoren G.m.b.H. 8300 Landshut/Bayern,

Ludmillastr. 23/25

Verfahren zur Herstellung von Kondensatoren

Die Erfindung bezieht sich auf Elektrolytkondensatoren und insbesondere auf neue Trockenelektrolytkondensatoren.

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Bekanntlich können Trockenelektrolytkondensatoren nach folgendem Verfahren hergestellt werden: Eine gesinterte poröse Masse aus einem Metall, wie Tantal, Zirkonium, Aluminium, Niob und Titan, wird in einen Elektrolyten eingebracht, wodurch die Oberfläche der betreffenden Masse anodisch oxydiert wird. Die sich dabei bildende Oxydschicht, die symmetrische Leiteigenschaften besitzt, dient als Dielektrikum für den Kondensator. Über die Oxydschicht wird ein halbleitender überzug aufgebracht und über diesen ein Überzug aus einem elektrisch leitenden Material, wie ein Lack aus Graphit und silber. Der halbleitende Überzug und der leitende Überzug dienen als Kathode, und die metallische Ausgangsmasse dient als Anode. Nach Anschluß von Zuführleitungen an die Ausgangsmasse (Anode) und an den leitenden Überzug (Kathode) wird der Trockenelektrolytkondensator mit einem Metallgehäuse umgeben oder mit einem Kunstharz vergossen.

Als spezielles Beispiel für das oben angegebene allgemeine Verfahren sei angenommen, daß die Ausgangsmasse eine durGh Pressen und Sintern von Tantalpulver erhaltene poröse Tantalmasse, ist. Diese Tantalmasse wird dann in einem Elektrolyten, wie Phosphor-r säure, anodisch oxydiert, um eine (dielektrische) Oxydschicht auf ihrer Oberfläche zu erhalten. Unmittelbar über die Oxydschicht wird ein Film aus einem halbleitenden Material, wie Mangandioxyd, aufgebracht, und zwar dadurch, daß die anodisch oxydierte Masse in eine wässrige Lösung aus Mangannitrat getaucht wird, das<?ann durch Pyrolyse in Mangangdioxyd umgewandelt wird. Die so gebildete Mangandioxyd-Schicht wird dann mit einer Schicht eines elektrisch

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leitenden Materials, wie Graphit und Silber, überzogen.

Trockenelektrolytkondensatoren sind auch schon durch Ablagerung von Metallpulver zusammen mit einer Trägerflüssigkeit auf einer Metallfolie hergestellt worden, die mit Eindruckstellen oder Vertiefungen zur Aufnahme des Metallpulvers versehen ist. Das Metallpulver und die Folie müssen dabei aus dem gleichen Material besteheh, z.B. aus Tantal. Das Pulver wird mit der Folie gesintert und an dieser befestigt, wodurch sich in jeder Aufnahme ein festes Tröpfchen mit einer porösen Struktur bildet. Die Folie und das Tröpfchen werden dann anodisch oxydiert, um eine dielektrische Schicht zu bilden. Sodann werden, wie zuvor beschrieben, zur Bildung einer Kathode ein halbleitender überzug und ein leitender überzug aufgebracht. Die Folie und das Tröpfchen dienen dabei als Anode des Kondensators.

Mit dem Aufbringen des Pulvers auf der Folie war beabsichtigt, bei der Herstellung kleiner Trockenelektrolytkondensatoren vorhandene Bearbeitungsprobleme zu vermeiden. Die bei der Bearbeitung von Kondensatoren mit pulvertragenden Folien auftretenden Probleme sinü im Vergleich zu denen, die bei der Bearbeitung von einzelnen gesinterten Massen auftreten, erheblich vermindert worden. Die Ursache hierfür liegt darin, daß die eine Vielzahl einzelner Kondensatoren aufweisende Folie am Schluß der Bearbeitungsvorgänge zerteilt wird. Die pulvertragende Folie verhindert ferner in beträchtlichem Ausmaße eine Verunreinigung und eine Beschädigung während der Kondensatorherstellung, da ein Pressen einzelner,

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Massen entfällt und Klebemittel nicht verwendet zu werden brauchen. Die pulvertragende Folie führt zu einer Mechanisierung der Kondensatorherstellung.

Mit der Herstellung von pulvertragende Folien verwendenden Kondensatoren der zuvor beschriebenen Art sind jedoch gewisse Probleme verknüpft, auf die im folgenden näher eingegangen wird.

Es ist ziemlich schwierig, durch bisher angewandte Tropftechniken auf der Grundlage einer Fertigung eine Verteilung festgelegter Pulvermengen vorzunehmen, Um eine solche Verteilung vorzunehmen, ist eine ziemlich sorgfältige Steuerung der Tropfeinrichtungen erforderlich. Dabei ist eine entsprechende Regulierung der Umgebungstemperatur, der Viskosität der Trägerflüssigkeit und der Benetzbarkeit der Austrittsöffnung der Tropfeinrichtung erforderlich. Werden größere Tröpfchen gefordert, so ist normalerweise mehr als ein Tröpfchen erforderlich.

Die Folie muß, um die Pulvertröpfchen aufnehmen zu können, mit Vertiefungen versehen werden. Das hierzu erforderliche Eindrücken . der Folie führt zum Entstehen von unerwünschten Spannungen in der Folie, und außerdem erfordert es einen gesonderten Schritt bei der Herstellung.

Die vorliegende Erfindung zeigt nun einen Weg, wie die oben aufgeführten Probleme beseitigt und in großem Ausmaße Kondensatoren mit pulvertragenden Folien hergestellt werden können. Bei der

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praktischen Ausführung der vorliegenden Erfindung wird eine Folie auf einer Tragplatte angeordnet und mit einem Formteil auf der ' Tragplatte festgehalten. Das Formteil weist eine Vielzahl von Ausnehmungen gewünschter Form auf. Eine Pulvermasse mit einem Flüssiglceitsträger oder eine feuchte Pulvermasse wird ütoer das Formteil gesprüht, um die in diesem befindlichen Ausnehmungen auszufüllen und mit der Folie in Berührung zu gelangen. Mit Hilfe einer Rollenquetschvorrichtung oder einer Abstreifvorrichtung wird dann die überschüssige Pulvermasse beseitigt. In einigen Fällen hat sich gezeigt, daß sich eine trockene Metallpulvermasse ebensogut eignet wie ein bei der praktischen Ausführung der Erfindung angewandter Brei. Das trockene Pulver kann auf dem Formteil befeuchtet werden, um das Verfestigen in den darin befindlichen Ausnehmungen zu vereinfachen. Das Formteil kann dann entfernt werden, wodurch auf der Folie oder auf dem von der Tragplatte getragenen Gebilde eine Viel-

in
zahl von Pulverablagerungen /festgelegte:« Mengen zurückbleibt. Das Formteil und die Folie können dann in einen Ofen eingefülart werden, um das Pulver auf der Folie zu schmelzen und in porösen Tröpfchen aushärten zu lassen. Wird die letztere Technik angewandt, 10 müssen das Formteil und die Tragplatte aus einem Material hergestellt sein, das bei der Sintertemperatur des betreffenden Pulvers nicht schmilzt. Wenn das Pulver nicht gesintert und nicht auf der Folie geschmolzen wird, während das Formteil noch an der Folie anliegt und an der Tragplatte festgehalten wird, muß das betreffende Formteil sorgfältig abgezogen werden, um die auf der Folie abgelagerten Pulverkörper nicht zu zerstören. Dies ist von besonderer Bedeutung, wenn die Höhe der Pulverkörper oder die Dicke des Formteiles mehr als einige wenige Hundertstel eines Millimeters beträgt. Bs hat sich

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gezeigt, daß feuchtigkeitsabweisende Materialien, wie Teflon, geeignete Materialien für das Formteil sind und dessen Abziehen erleichtern. Materialien, wie Bornitrid und Molybdän, besitzen eine hohe Schmelztemperatur und sind als Materialien für das Formteil geeignet, wenn das Pulver geschmolzen oder gesintert wird, währenddessen das betreffende Formteil an der Folie noch anliegt und an der Tragplatte festgehalten wird.

Die Verwendung eines Formteiles zur Aufbringung festgelegter Ablagerungsmengen aus dem verwendeten Pulver auf einer Folie bringt den Vorteil mit sich, daß viele Ablagerungen in verschiedenen Größenformen auf der Folie gleichzeitig aufgebracht werden können. Die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren auf der Folie jeweils abgelagerten Pulvermengen sind einfach durch die Dicke des verwendeten Formteiles und durch die Flächengröße der in diesem Formteil befindlichen Ausnehmungen bestimmt.

Nachdem die Pulverkörper auf der Folie geschmolzen und gesintert sind, kann die die (ausgehärteten Pulverkörper-)Tröpfchen enthaltende Folie, wie zuvor beschrieben, anodisch oxydiert werden sowie mit einem halbleitenden überzug und mit einem leitenden Überzug überzogen werden.

Der Erfindung liegt dabei die Aufgabe zugrunde, ein neues Verfahren zur Herstellung von Trockenelektrolytkondensatoren, insbesondere von Trockenelektrolyt-Tantalkondensatoren^ anzugeben. Ferner ist ein Verfahren zur Herstellung von Anoden für solche Kondensatoren zu schaffen.

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Das anzugebende neue Verfahren zur Herstellung von Trockenelektrolytkondensatoren soll den Arbeitsaufwand während der Kondensatorenherstellung herabsetzen, sowie ohne ein Klebmittel und ohne einen Preßvorgang auskommen, so daß eine beträchtliche Verbesserung in der Qualität der Anoden auftritt und die Möglichkeit einer Beschädigung während der Verarbeitung herabgesetzt ist.

Weiterhin ist ein Verfahren zur Herstellung von Trockenelektrolytbzw. Trockentantalkondensatoren zu schaffen, bei dem durch in einem Formteil befindliche Ausnehmungen Ablagerungen aus Tantalpulver auf eine Tantalfolie aufgebracht und auf dieser Folie gesintert werden, die dann als Ganzes bearbeitet wird und aus der schließlich einzelne Kondensatoren herausgeschnitten und mit einer Ummantelung umgeben werden. Bei den betreffenden Trockentantalkondensatoren sind die Ablagerungen aus Tantalpulver auf die Tantalfolie durch in dem Formteil befindliche Ausnehmungen aufzubringen und auf dieser Folie zu sintern, währenddessen das betreffende Formteil auf der Folie festgehalten wird.

Ferner ist ein Kondensator unter Verwendung einer pulvertragenden Folie herzustellen, ohne dabei eine Vertiefung in der Folie zur Aufnahme des Pulvers vorsehen zu müssen.

Außerdem ist ein Verfahren zur Herstellung von pulvertragende Folien verwendenden Kondensatoren anzugeben, bei denen eine gleichmäßigere Verteilung von Pulverpartikeln erzielt wird, als die durch die bisner angewandten Techniken möglich war.

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Weiterhin ist ein Verfahren zur Herstellung von pulvertragende Folien verwendenden Kondensatoren zu schaffen, bei denen Trockenpulver, angefeuchtetes Pulver oder ein Pulverbrei auf einer Tantalfolie verteilt wird.

Die vorliegende Erfindung betrifft gemäß einem weiteren Merkmal die im folgenden zur Erläuterung der grundsätzlichen Merkmale der Erfindung und der dabei angewandten neuen Prinzipien beschriebenen Anordnungen.

Weitere Merkmale und Eigenschaften der Erfindung ergeben sich nachstehend aus der Beschreibung von den in den Zeichnungen dargestellten Einzelheiten.

Fig. 1 zeigt in einer Draufsicht ein typisches Formteil, das in Verbindung mit der vorliegenden Erfindung angewandt werden kann. Fig. 2 zeigt in einer Seitenansicht eine Tragplatte, eine Metallfolie, ein Formteil und Klemmeinrichtungen, die das Formteil und die Folie auf der Tragplatte festzuhalten erlauben; auf das Formteil ist gemäß Fig. 2 ein Brei oder eine feuchte Masse eines Metallpulvers aufgebracht.

Fig. 3 zeigt eine Seitenansicht eines Metallfolienbandes mit darauf abgelagerten Pulverteilchen.

Fig. 4 zeigt in einer Perspektivansicht einen nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Kondensator.

Fig. 5 zeigt in einar Perspektivansicht einen mit einer Ummantelung versehenen Kondensator, der nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt worden ist.

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Die vorliegende Erfindung betrifft, allgemein gesagt, ein neues" Verfahren zur Herstellung von pulvertragende Folien verwendenden Kondensatoren, bei denen festgelegte Mengen von Pulverablagerungen unter Verwendung eines Formteiles auf der betreffenden Folie abgelagert werden. Die Ablagerungen werden entweder vor dem Abziehen des Formteiles oder nach dessen Abziehen gesintert. Dies hängt von den Eigenschaften der Ablagerungen ab. Das vor dem Abziehen des Formteiles erfolgende Sintern kann ein Teilsintervorgang sein, der dazu dient, die Pulverablagerungen zu verfestigen, so daß das Abziehen des Formteiles ohne Beschädigung der Ablagerungen erfolgen kann. Das Pulver kann dabei auf das Formteil als Brei, als feuchte Masse, oder als Trockenpulver aufgebracht werden sein.

Nachstehend wird die Erfindung unter Bezugnahme auf Fig. 1 näher erläutert.

Das Formteil 10 stellt ein durchlöchertes Gebilde oder ein Mustergebilde dar, das die Form der auf einer Metallfolie abzulageSiden Metallpulverkörper bestimmt. Bei der in Fig. 1 dargestellten Ausführungsform ist das Formteil 10 mit einer Vielzahl von gleichmäßigversetzt angeordneten kreisförmigen Ausnehmungen 11 versehen. In der Praxis können diese Ausschnitte irgendeine gewünschte Form besitzen und an irgendwelchen Stellen in dem Formteil vorgesehen sein. Die Ausnehmungen können dabei rechteckförmig, sechseckförmig, sternförmig oder sonstwie ausgebildet sein.

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ist, und die Befestigung eines Anschlußdrahtes auf der neben dem jeweiligen Tröpfchen vorhandenen Tantalfolie, wodurch ein Anodenanschluß gebildet ist.

Die jeweils mit einem Anodenanschluß und einem Kathodenanschluß versehenen Kondensatoren werden dann von dem übrigen Teil der Folie getrennt. In Abhängigkeit von der Dicke der verwendeten Folie kann die Abtrennung einzelner Kondensatoren von der Folie durch entsprechende, vor Ablagerung des Pulvers auf der Folie um die Flächeti der jeweiligen Tröpfchen herum vorgenommene Einschnitte erleichtert werden. Diese Einschnitte können durch teilweises Ausstanzen der betreffenden Folie hervorgerufen werden.

Der letzte Verfahrensschritt umfaßt das Ummanteln der einzelnen Kondensatoren, wie dies in Verbindung mit Fig. 5 erläutert worden ist.

Abschließend sei noch bemerkt, daß die Erfindung auf die vorstehend beschriebene Ausführungsform nicht beschränkt ist, sondern ohne Abweichung vom Erfindungsgedanken noch in verschiedener Weise modifiziert werden kann.

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Patentansprüche

1. Verfahren zur Herstellung von Kondensatoren aus einer Metall- · schicht und einer feuchten Metallpulvermasse, unter Verwendung eines Formteiles mit einer Vielzahl von Ausnehmungen und einer im wesentlichen flachen Tragplatte, wobei die Kondensatoren einen dielektrischen Überzug, einen halbleitenden Überzug, einen elektrisch leitenden Überzug und elektrische Anschlüsse aufweisen, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschicht (12,17,25) zwischen dem Formteil (10) und der Tragplatte (13) angeordnet und auf der Tragplatte (13) festgehalten wird, daß die in dem Formteil (10) vorgesehenen Ausnehmungen (11) mit der feuchten Metallpulvermasse (15) gefüllt werden, die dabei mit der Metallschicht (12) in Berührung gebracht wird, daß überschüssige Metallpulvermasse (15) von dem Formteil (10) beseitigt und festgelegte Ablagerungsmengen (18) aus dem Metallpulver in den Ausnehmungen (11) zurückgelassen werden, daß das Formteil (10) ohne Beschädigung der Ablagerungen (18) von diesen abgezogen wird, die nach teilweiser Trocknung gesintert werden, daß die Metallschicht (12,17,25) und die gesinterten Ablagerungen zur Bildung des dielektrischen Oxydüberzuges anodisch oxydiert werden, daß auf die gesinterten und anodisch oxydierten Ablagerungen der halbleitende Überzug (22) aufgebracht wird, daß auf den halbleitenden überzug der elektrisch leitende Überzug (21) aufgebracht wird, daß auf den elektrisch leitenden überzug (21) als Kathodenschlüsse dienende elektrische Anschlüsse (23) befestigt werden, daß auf der Metallschicht (12, 17)25) an Stellen, die von den halbleitenden und den elektrisch leitenden Überzügen (22,21) entfernt sind, als Anodenanschlüsse . ■ dienende elektrische Anschlüsse (24) befestigt verden und dad aus der Metallschicht (12,17,25) die einzelnen Kondensatoren herausgetrennt verd#nP*O 9824/Ö280

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Das Formteil 10 kann aus mehreren verschiedenen Materialien hergestellt sein. Wenn das Formteil 10 abgezogen wird, bevor die Pulverablagerungen gesintert und/oder auf der Folie geschmolzen sind, wie dies zuvor erläutert worden ist, ist ein feuchtigkeitsabweisendes Formteilmaterial, wie Teflon, erforderlich. Die feuthtigkeitsabweisenden Eigenschaften erleichtern das Abziehen des Formteiles, ohne daß dabei die Pulverablagerungen beschädigt oder zerstört werden. Wenn das Formteil 10 während des Sintervorganges auf der Folie festgehalten wird, wie dies oben erläutert wurde, ist ein einen hohen Schmelzpunkt besitzendes Material, wie Bornitrid und Molybdän, erforderlich.

Nachstehend vird auf Fig. 2 näher eingegangen. In dieser Figur ist eine Anordnung dargestellt, die das Formteil 10, ein Teil einer Metallschicht 12, die hier auch als Folie bezeichnet wird, eine Tragplatte 13 und Klemmeinrichtungen 14 umfaßt, die zur Befestigung des Formteiles 10 und der Metallschicht 12 an der Tragplatte 13 dienen.

Die Metallschicht 12 wird auf der im wesentlichen flachen Oberfläche 13* der Tragplatte 13 festgehalten. Das Formteil 10 wird über der Metallschicht angeordnet und an der Tragplatt« 13 be festigt. Die dargestellte Klemmeinrichtung 14 ist eine einfache Klemmeinrichtung, die das Formteil 10 und die Metallschicht 12 an der Tragplatte 13 festhält. Ss dürfte einzusehen sein, daß viele andere Klemmeinrichtung«! .zur Durchführung dieser riemmfunktion ebenfalls verwendet warden können.

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Aus Pig. 2 geht hervor, daß ein Brei 15 oder eine feuchte Masse dieses Metallpulver auf das Formteil aufgebracht worden ist, und zwar derart, daß die Ausnehmungen 11 ausgefüllt sind und eine Verbindung zwischen Brei bzw. feuchter Masse und der Metallschicht 12 hergestellt ist. In einem nachfolgenden Bearbeitungsvorgang wird der auf der Deckfläche 16 des Formteiles 10 befindliche Teil des Breies 15 oder der feuchten Masse abgestreift oder weggequetscht. Damit hängt die Größe der auf der Metallschicht 12 gebildeten Pulverablagerungen von dem öffnungsbereich der Ausnehmungen 11 und von der Dicke des Formteiles 10 ab.

Nachstehend wird die Fig. 3 näher betrachtet, in der auf einen Teil einer Metallschicht 17 Pulverablagerungen 18 aufgebracht sind.

Wie oben erläutert, werden die Ablagerungen 18 durch in einem Formteil enthaltene Ausnehmungen auf der Metallschicht abgelagert und dann auf dieser geschmolzen oder gesintert. Das Sintern kann entweder vor oder nach dem Abnehmen oder Abziehen des Formteiles erfolgen; dies hängt davon ab, aus welchem Material das Formteil besteht und welche Dicke die Ablagerungen besitzen. Bezüglich des Formteiles besteht das Erfordernis, es ohne Beschädigung oder Zerstörung der Pulverablagerungen 18 von diesen abheben zu können. Wenn die Ablagerungen 18 dünn sind und sich in der Dicke zwischen ca. 0,75 mm und ca. 3,2 mm bewegen, kann das Formteil normalerweise abgehoben werden, ohne daß dabei die Ablagerungen 18 zerstört werden, wenn als Material für das Formteil ein feuchtigkeitsabweisendes Material verwendet wird, an dem die Ablagerungen nicht anhaften.

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Wenn die Ablagerungen 18 erheblich dicker sind, kann es erforder-

sie
lieh sein,/auf der Metallschicht 17 zu schmelzen oder teilweise zu sintern, während das Formteil noch auf der Metallschicht angeordnet ist. Eine Konfiguration, wie die in Pig. 2 dargestellte, führt zu einer zufriedenstellenden Sinterung, während der das Formteil auf der Metallschicht noch angeordnet ist.

Nachstehend wird Fig. 4 näher betrachtet, in der ein nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellter Kondensator gezeigt ist. Nachdem die zuvor erwähnten Ablagerungen auf der Metallschicht gesintert, sind und eine Vielzahl poröser gesinterter Tröpfchen bilden, die an der Metallschicht anhaften, werden die Tröpfchen und die Metallschicht entsprechend den normalen Verfahrenstechniken anodisch oxydiert, um eine dielektrische Oxydschicht zu bilden. Nach erfolgter anodischer Oxydation werden auf die Tröpfchen und die Metallschicht entsprechend den normalen, bei Trockenelektrolytkondensatoren angewandten Verfahrenstechniken ein halbleitender Überzug und ein leitender überzug aufgebracht.

Gemäß Fig. 4 stellt der leitende überzug den obersten Überzug oder den Decküberzug 21 und der halbleitende Überzug den zweiten überzug 22 dar. An dem Decküberzug 21 ist ein Anschlußdraht 23 angelötet oder sonstwie befestigt, und an dem aus der Metallschicht bestehenden Ansatzabschnitt 25, der von dem Kondensator wegsteht, ist ein Anschlußdraht 24 angeschweißt oder sonstwie befestigt. Der Anschlußdraht 24 ist mit dem anodisch oxydierten Ansatzabschnitt 25 an einer von dem halbleitenden Überzug 22 und dem

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leitenden Überzug 22 entfernten Stelle verbunden, um einen Kurzschluß zwischen den Anschlußdrähten 23 und 24 zu vermeiden. Bei ■ einer praktischen Ausführung der vorliegenden Erfindung wird eine Abdeckung verwendet, um die durch den halbleitenden Überzug 22 und den leitenden Überzug 21 überdeckte Fläche abzugrenzen. Geeignete Abdeckmaterialien sind Epoxyharz oder wärmefester Lack.

Nachstehend wird auf Fig. 5 Bezug genommen, in der ein mit einer Ummantelung versehener Kondensator gezeigt ist, der nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt ist. Der in Fig. 4 dargestellte, mit den Anschlußdrähten 23 und 24 versehene Kondensator ist dabei von Epoxyharz oder einer anderen geeigneten Zusammensetzung umgeben, um einen Körper 26 zu bilden, wie er in Fig. 5 dargestellt ist. Zum Schutz der nach dem erfindungsgemäßen Ver-

fahren hergestellten Kondensatoren können auch andere Ummantelungen, wie hermetisch abgedichtete Behälter,verwendet werden.

Unter Berücksichtigung der vorstehenden Ausführungen wird nachstehend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen :die Herstellung von Trockentantalkondensatoren erläutert. Die Erläuterung dieses Verfahrens dient dabei zur Verdeutlichung der Einzelheiten der vorliegenden Erfindung.

Eine geglühte hochreine Tantalfolie wird in für die Verarbeitung geeignete Formen geschnitten. Diese Folie vird dann auf eine Trag platte aufgebracht, die eine im wesentlichen glatte und flache Oberfläche besitzt. Ein Porateil mit bestimmter Dicke und eines* Vielzahl von Ausnehmungen vird auf die Folie aufgesetzt und an

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der Tragplatte durch geeignete Befestigungseinrichtungen befestigt. Die in Fig. 2 dargestellten Anordnungen eignen sich hierfür.

Ein Tantalpulver enthaltender Brei oder eine feuchte Masse, bestehend aus diesem Pulver und aus einer Flüssigkeit, wie Wasser, verschiedene Alkohole oder andere organische oder anorganische Materialien, die durch Trocknen leicht beseitigt werden können und die nicht mit dem Tantal reagieren und dieses auch nicht nach Verdampfung verschmutzen,wird, wie dies in Fig. 2 dargestellt ist, auf das Formteil aufgebracht. Die für den Brei verwendeten Flüssigkeiten werden auf der Grundlage der Tiskosität und der Oberflächenspannung sowie im Hinblick auf ein leichteres Beseitigen aus dem Pulver ausgewählt. Durch Mischen von Tantalpulver mit Flüssigkeiten, wie destilliertem Wasser, Isopropylalkohol, Benzol, Toluol, destilliertem Wasser mit Glykol, usw., hergestellte Breie haben sich bei der praktischen Anwendung der Erfindung als zufriedenstellend herausgestellt. Die Verwendung eines Breies oder einer feuchten Masse aus metallischem Pulver führt zu einer glatten Oberfläche der Tröpfchen, sowie zu Tröpfchen mit geeigneter Dichte. Das Pulver kann, nachdem das Formteil auf die Metallschicht aufgesetzt ist, angefeuchtet werden, um ein Verdichten der Pulvermasse in den Ausnehmungen des Formteiles zu erreichen.

Der Brei oder das feuchte Pulver wird über das Formteil gesprüht, um die in dem Formteil vorgesehenen Ausnehmungen vollständig ausaufüllen und eine Verbindung mit der Tantalfolie herzustellen. Der überschüssige Brei wird dann durch eine Abstreifvorrichtung von der Deckfläche des Formteiles beseitigt·

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Claims

Das Formteil wird dann ohne Zerstörung der Pulverablagerungen von der Folie abgenommen. Die Ablagerungen können sodann auf der Folie gesintert werden. Wie zuvor ausgeführt, kann es in einigen Fällen erforderlich sein, das Pulver zumindest teilweise zu sintern, während das Formteil noch auf der Folie aufliegt. Vor dem Sinternvorgang ist jedoch ein Trockenvorgang erforderlich, dessen Zweck darin besteht, die Pulverablagerungen in solchem Umfange zu trocknen, daß eine Explosion der Pulverablagerung verhindert ist, die durch Dampf auftreten würde, der sich aufgrund der sonst vorhandenen Feuchtigkeit in der Sinterumgebung entwickelt.

Nach Beendigung des Sintervorganges werden die Tantalfolie und die Vielzahl darauf befindlicher poröser, gesinterter Tröpfchen anodisch oxydiert, um einen dielektrischen Oxydüberzug zu bilden. Die anodische Oxydation erfolgt in üblicher Weise. Nach Beendigung der anodischen Oxydation wird über den somit auf den Tröpfchen und einen Teil der die Tröpfchen umgebenden Folie gebildeten dielektrischen Überzug ein halbleitender Überzug, wie aus Mangandioxyd, aufgebracht. Nach Aufbringen des halbleitenden Überzugs wird über diesen ein leitender Überzug, z.B. aus Graphit und Silber, aufgebracht. Dieser überzug ist auf die durch den halbleitenden überzug überzogene Fläche beschränkt♦

Der nächste Schritt umfaßt die Befestigung eines . Anschlußdrahtes an dem leitenden Überzug, wodurch ein Kathodenanschluß geschaffen

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2.. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die feuchte Metallpulvermasse in Form eines Breies, bestehend aus dem Metallpulver und einer Trägerflüssigkeit, verwendet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die festgelegten Ablagerungen vor Abziehen des Formteiles (10) teilweise getrocknet und gesintert werden.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die festgelegten Ablagerungen vor Abziehen des Formteiles (10) getrocknet und gesintert werden.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß überschüssiges Pulvermaterial von der Deckfläche des Formteiles (10) mit Hilfe einer Abstreifvorrichtung beseitigt wird.
6. Verfahren zur Herstellung von Anoden, enthaltend eine Metallschicht und eine aus dem Metall dieser Metallschicht bestehende pulverförmige Masse, insbesondere für Kondensatoren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschicht (12,17»25) zwischen dem Formteil (10) und der Tragplatte (13) gehalten wird, daß die pulverförmige Metallmasse (15) auf das Formteil (10) aufgebracht und die Ausnehmungen (11) unter Herstellung einer Verbindung mit der Metallschicht (12,17,25) ausgefüllt werden, daß überschüssiges Metallpulver von dem Formteil (10) beseitigt und festgelegte Ablagerungsm^»jngen (18) aus dem pulverförmig«! Metall in den Ausnehmungen (13) zurückgelassen verden,

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daß die betreffenden Ablagerungen (18) gesintert werden und daß das Formteil.(10) von den Ablagerungen (18) abgezogen wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Metallpulver (15) vor Aufbringen auf das Formteil (10) mit einer Flüssigkeit befeuchtet wird,
8. Verfahren nach Anspruch 6_# dadurch gekennzeichnet, daß das Metallpulver (15) nach Aufbringen auf das Formteil (10) zur Verdichtung in dessen Ausnehmungen (11) mit einer Flüssigkeit befeuchtet wird,
9. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablagerungen (18) vor Abziehen des Formteiles (10) teilweise gesintert werden.
10. Verfahren zur Herstellung von Trockenelektrolyt-Tantalkondensatoren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Metallschicht (12,17,25) eine Tantalfolie und als Metallpulver (15) Tantalpulver verwendet wird und daß die Kondensatoren mit einem Tantaloxydüberzug, einem Mangandioxydüberzug, einem elektrisch leitenden überzug und mit elektrischen Anschlüssen (23,24) versehen werden.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Tantaipulver zur Verdichtung in den Ausnehmungen des Formteiles (10) befeuchtet und vor dem sintern teilweise getrocknet

■ wird.

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12. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Tantalablagerungen (18) vor Abziehen des Pormteiles (10) zum Teil gesintert werden.
13. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß festgelegte Tantalablagerungen (18) vor Abziehen des Formteiles (10) gesintert werden.
14. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die festgelegten Ablagerungen (18) vor Abziehen des Formteiles (10) zum Teil getrocknet und gesintert werden.
15. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet» daß das Tantalpulver (15) in Form eines Breies auf das Formteil (10) aufgebracht wird.

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