DE19926084A1 - Suction cleaning device encloses object by rectangular tube ring with gas ports along inside and with tube section designed to vorticize exhaust air within tube as linked to controlable fans. - Google Patents

Suction cleaning device encloses object by rectangular tube ring with gas ports along inside and with tube section designed to vorticize exhaust air within tube as linked to controlable fans.

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Abstract

The section tube enclosing the entire surface to be cleaned has gas ports along its inside circumference and is of a section such that the exhausted air is vorticized within the tube all over its section. The tube comes in prefered kidney section with inward indents as gas ports, the indents in turn angled inwards to form a center bend (66) and a fan (61) connects via openings (64) with the tube to the side of the center bend (66). The fan can be controled in rev count. The surface of the object (1) e.g. workpiece is blown with CO2 snow within a cleaning chamber. When using a sample table (1) this is elecrically heated and has a flat metal plate to take the object etc. The snow is blown in via first and second nozzles which bundle the snow in parallel, using a feed capillary for the first nozzle ringed by the second preferably Laval nozzle.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Absaugvorrichtung sowie auf eine Vorrichtung zur Behandlung, insbesondere zur Abreinigung von Oberflächen mittels eines CO2-Schnee-Strahles. Derartige Absaugvorrichtungen und Vorrichtungen werden in der optischen Industrie, der Medizin­ technik, der pharmazeutischen Industrie, der Lackier­ technik, der Mikro- und Feinwerktechnik zur Behand­ lung von Oberflächen, u. a. zur Behandlung weicher Oberflächenbeschichtungen, Gele und dergleichen verwendet. Die Basis dieses Behandlungs- bzw. Reini­ gungsverfahrens ist die Reinigung mittels CO2-Eis­ kristallen. Das Verfahren wird auch zur trockenen lokalen Abreinigung teilchenförmiger und filmischer Verunreinigung von strukturierten sowie aus Elenxenten unterschiedlicher Materialien zusammengesetzten Oberflächen bis in den Submikrometerbereich eingesetzt.The present invention relates to a suction device and to a device for treatment, in particular for cleaning surfaces by means of a CO 2 snow jet. Such suction devices and devices are used in the optical industry, medical technology, the pharmaceutical industry, painting technology, micro and precision engineering for the treatment of surfaces, inter alia for the treatment of soft surface coatings, gels and the like. The basis of this treatment or cleaning process is cleaning using CO 2 ice crystals. The process is also used for the dry local cleaning of particulate and filmic contamination of structured surfaces and surfaces composed of elements of different materials down to the submicrometer range.

Die fortschreitendene Miniaturisierung bei gleich­ zeitiger Hybridisierung von Baugruppen verlangt nach einem Reinigungsverfahren, welches ein lokales Reinigen von Funktionsflächen erlaubt, ohne dabei angrenzende Bereiche durch Querkontamination zu verunreinigen. Der Einsatz herkömmlicher Reinigungs­ verfahren, wie z. B. Ultraschall oder der Einsatz agressiver Chemikalien ist aufgrund von Materialun­ verträglichkeiten nur noch selten möglich. Das Strahlen mit CO2-Partikeln stellt hier eine interessante Alternative dar.The advancing miniaturization with simultaneous hybridization of assemblies requires a cleaning process that allows local cleaning of functional surfaces without contaminating adjacent areas by cross-contamination. The use of conventional cleaning methods such. B. ultrasound or the use of aggressive chemicals is rarely possible due to Materialun incompatibilities. Blasting with CO 2 particles is an interesting alternative here.

Die CO2-Eisreinigung ist ein trockenes, tiefkaltes, rückstandsfreies Strahlverfahren mit breitem Anwen­ dungsgebiet. Prinzipiell läßt sich das Trockeneis­ strahlen in zwei verschiedene Verfahren einteilen - dem Reinigen mit luftgetragenen Trockeneispellets und der Reinigung mittels CO2-Schnee.CO 2 ice cleaning is a dry, cryogenic, residue-free blasting process with a wide range of applications. In principle, the dry ice blasting can be divided into two different processes - cleaning with airborne dry ice pellets and cleaning with CO 2 snow.

Das Strahlen mit Trockeneispellets wird seit 1987 zum Entlacken und Reinigen von Flugzeugkomponenten und Flugzeugen verwendet. Vor allem aufgrund der Eigen­ schaft von Trockeneis, während des Reinigungspro­ zesses zu sublimieren und somit kein kontaminiertes Reinigungsmittel zu hinterlassen, konnten Teile in eingebautem Zustand gereinigt und die Reinigungs­ kosten an Flugzeugen bis zu 50% gesenkt werden.Blasting with dry ice pellets has been used since 1987 Paint stripping and cleaning of aircraft components and Aircraft used. Mainly because of their own shaft of dry ice, during the cleaning pro to sublimate and therefore no contaminated Parts left in installed condition cleaned and the cleaning aircraft costs can be reduced by up to 50%.

Heute hat sich das Strahlen mit Trockeneispellets bereits in vielen Bereichen wie z. B. der Entlackung von Flugzeugen, der Fassadenreinigung oder dem Beseitigen grober Verschmutzungen an Maschinen durchgesetzt. Seine Stärke der rückstandsfreien Reinigung spielt es besonders in der Baugruppen­ reinigung bereits installierter Anlagen aus.Today blasting with dry ice pellets already in many areas such as B. the paint stripping of aircraft, facade cleaning or the Eliminate coarse dirt on machines enforced. Its strength of residue-free Cleaning is particularly important in the assemblies  cleaning of already installed systems.

Die Reinigungswirkung stützt sich dabei grundsätzlich auf drei Mechanismen. Zum einen werden beim Auftref­ fen der CO2-Kristalle auf die Oberfläche die Verun­ reinigung bzw. die Beschichtung auf der Oberfläche stark unterkühlt, wodurch diese schrumpfen und verspröden. Aufgrund der unterschiedlichen Wärme­ ausdehnung von Grundmaterial und Verschmutzung bzw. Beschichtung entstehen Spannungen so daß die Ver­ bindung zwischen der Verschmutzung und dem Grundma­ terial gelockert bzw. gelöst wird. Weiterhin wird durch den von den CO2-Pellets übertragenen Impuls die versprödeten Vetunreinigung weiter gelöst und mecha­ nisch abgetragen. Zuletzt wird das durch die Trocken­ eispellets abgelöste Material durch das sublimierte CO2 und ggf. weiteres Stützgas in der Schwebe gehal­ ten und von der Reinigungszone abtransportiert.The cleaning effect is based on three mechanisms. On the one hand, when the CO 2 crystals hit the surface, the contamination or the coating on the surface is strongly supercooled, causing them to shrink and become brittle. Due to the different thermal expansion of the base material and dirt or coating, tensions arise so that the connection between the dirt and the base material is loosened or released. Furthermore, the embrittled vet impurity is further dissolved and mechanically removed by the impulse transmitted by the CO 2 pellets. Finally, the material detached by the dry ice pellets is kept in suspension by the sublimed CO 2 and, if necessary, additional supporting gas and removed from the cleaning zone.

Das Strahlverfahren unter Verwendung von Trockeneis­ pellets ist beispielsweise in "Kantig oder rund, Metallsalze und Kohlendioxidpellets sind exotische Mittel in der Strahltechnik" von Reinhold Schäfer in Maschinenmarkt Würzburg 98 (1992) beschrieben.The blasting process using dry ice pellets is for example in "square or round, Metal salts and carbon dioxide pellets are exotic Blasting Technology "by Reinhold Schäfer in Maschinenmarkt Würzburg 98 (1992).

Nachteilig an der Strahltechnik unter Verwendung von Trockeneispellets ist, daß die Abkühlung während und nach der erfolgten Reinigung eine Rekontamination der Oberfläche durch Abscheidung vormals in der Luft ent­ haltener und während der Abtrocknung des CO2-Eis- Films zurückbleibender Stoffe bewirkt. Insbesondere schlägt sich auf der abgekühlten Oberfläche im Anschluß an die Abstrahlung die Umgebungsfeuchtigkeit nieder, so daß der zu reinigende Gegenstand feucht wird. A disadvantage of the blasting technique using dry ice pellets is that the cooling during and after the cleaning has brought about a recontamination of the surface by deposition of substances previously contained in the air and substances remaining during the drying of the CO 2 ice film. In particular, the ambient moisture condenses on the cooled surface after the radiation, so that the object to be cleaned becomes moist.

Alternativ können als Strahlmittel statt Trocken­ eispellets auch Trockeneiskristalle verwendet werden. In diesem Falle wird ein Strahl aus CO2-Schnee erzeugt, der unter hoher Geschwindigkeit auf die zu reinigende Oberfläche gestrahlt wird.Alternatively, dry ice crystals can be used as blasting media instead of dry ice pellets. In this case, a jet of CO 2 snow is generated, which is blasted onto the surface to be cleaned at high speed.

Zur Verhinderung der durch Resublimieren der Luft­ feuchtigkeit während der Reinigung stattfindenden Vereisung der Oberfläche, durch die ein weiteres reinigendes Einwirken der CO2-Schnee-Kristalle erschwert bis verhindert wird, sind nach dem Stand der Technik zwei Methoden bekannt. Zum einen wird eine beheizte Platte als Unterlage des Reinigungs­ gutes verwendet, um das Reinigungsgut möglichst rasch nach dem Überstreichen des Trockeneisstrahles wieder zu erwärmen. Die Wirksamkeit dieses Verfahrens als Einzelmaßnahme ist durch das Material, die Geometrie und die Baugröße des Reinigungsgutes teilweise stark beeinträchtigt oder gar nicht gegeben. Alternativ kann der CO2-Schnee-Strahl von einem Hüllstrahl umgeben werden, der beheizt wird. Damit wird beim Überstreichen einer Oberfläche durch den CO2-Strahl unmittelbar anschließend die Oberfläche wieder durch den Stützstrahl aufgewärmt, so daß die Kondensation der Luftfeuchtigkeit verringert bzw. verhindert wird. Dieses Verfahren bewirkt jedoch eine unerwünschte Aufheizung des CO2-Eis-Strahles durch den warmen Stützstrahl, so daß die Wirksamkeit des Strahlver­ fahrens beeinträchtigt wird. Ein derartiges Verfahren ist in der US 5,725,154 beschrieben.Two methods are known according to the prior art for preventing the surface from icing due to resublimation of the air during cleaning, which makes a further cleaning action of the CO 2 snow crystals more difficult or even prevents it. On the one hand, a heated plate is used as a base for the items to be cleaned, in order to reheat the items to be cleaned as quickly as possible after painting over the dry ice jet. The effectiveness of this process as an individual measure is sometimes severely impaired or not at all by the material, the geometry and the size of the items to be cleaned. Alternatively, the CO 2 snow jet can be surrounded by an enveloping jet that is heated. Thus, when a surface is swept by the CO 2 jet, the surface is immediately warmed up again by the supporting jet, so that the condensation of the atmospheric humidity is reduced or prevented. However, this method causes an undesirable heating of the CO 2 ice jet by the warm supporting jet, so that the effectiveness of the jet process is impaired. Such a method is described in US 5,725,154.

Nachteilig am Strahlverfahren unter Verwendung von CO2-Schneekristallen ist, daß diese einen erheblich geringeren Impuls als die Trockeneispellets mit einem Durchmesser von mehreren Millimetern besitzen, so daß die Reinigungswirkung verglichen mit Trockeneis­ pellets erheblich geringer ist.A disadvantage of the blasting process using CO 2 snow crystals is that they have a significantly lower pulse than the dry ice pellets with a diameter of several millimeters, so that the cleaning effect compared to dry ice pellets is considerably less.

In der US 5 725 154 wird vorgeschlagen, ein induk­ tives Magnetfeld zu erzeugen, um die Aufladung des heranfließenden flüssigen CO2 zu kompensieren. Die durch Ladungstrennung bei der Expansion des CO2 und der Auskristallisierung des CO2-Schnees erfolgende Ionisierung wird nicht kompensiert.In US 5 725 154 it is proposed to generate an inductive magnetic field in order to compensate for the charging of the incoming liquid CO 2 . The ionization caused by charge separation during the expansion of the CO 2 and the crystallization of the CO 2 snow is not compensated for.

Problematisch bei all diesen Verfahren nach dem Stand der Technik ist die Querkontamination von Oberflä­ chenbereichen durch den Abtrag, der an anderer Stelle durch den CO2-Eisstrahl erzeugt wird.The problem with all these prior art methods is the cross-contamination of surface areas by the removal that is generated elsewhere by the CO 2 ice jet.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Absaugvorrichtung und eine diese enthaltende Strahl­ vorrichtung zur Verfügung zu stellen, mit der Ober­ flächen einfach und zuverlässig ohne Rekondensation von Wasser oder Querkontamination behandelt, insbesondere abgestrahlt werden können.The object of the present invention is a Suction device and a jet containing it device to provide with the waiter surfaces easily and reliably without recondensation treated by water or cross-contamination, in particular can be emitted.

Diese Aufgabe wird durch die Absaugvorrichtung nach Anspruch 1 und die Vorrichtung nach Anspruch 14 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen des erfindungs­ gemäßen Strahlwerkzeuges und der erfindungsgemäßen Vorrichtung werden in den abhängigen Ansprüchen gegeben. Erfindungsgemäß können die erfindungsgemäße Absaugvorrichtung und die erfindungsgemäße Vorrich­ tung wie in den Ansprüchen 35 bis 38 angegeben, ver­ wendet werden.This task is performed by the suction device Claim 1 and the device according to claim 14 solved. Advantageous further developments of the invention according blasting tool and the invention Device are in the dependent claims given. According to the invention Suction device and the Vorrich invention tion as specified in claims 35 to 38, ver be applied.

Durch die erfindungsgemäße Absaugvorrichtung wird vorteilhafterweise das aufgestrahlte, sublimierte CO2 und der volumenstarke Stütz- bzw. Druckstrahl, der ohne weitere Umlenkung vom Probentisch abströmt, aufgefangen und anschließend von dort abgesaugt, wo­ durch eine Querkontamination anderer Oberflächen­ bereiche zuverlässig minimiert wird. Die erfindungs­ gemäße Absaugvorrichtung erzeugt auch keinerlei Wirbel oder dergleichen außerhalb der Absaugvorrich­ tung selbst, so daß die Laminarströmung der anflie­ ßenden Luft nicht gestört wird und deren Reinheit zuverlässig erhalten bleibt.By means of the suction device according to the invention, the blasted, sublimed CO 2 and the high-volume supporting or pressure jet, which flows out of the sample table without further deflection, are advantageously collected and then sucked off from there, where areas are reliably minimized by cross-contamination of other surfaces. The suction device according to the invention also does not produce any vortices or the like outside the suction device itself, so that the laminar flow of the inflowing air is not disturbed and its purity is reliably maintained.

Insgesamt ergibt sich ein sehr hoher Wirkungsgrad bei kurzer Behandlungsdauer unter Verwendung der erfin­ dungsgemäßen Vorrichtung und der erfindungsgemäßen Absaugvorrichtung. Weitere vorteilhafte Eigenschaften sind ein einfacher, kompakter Geräteaufbau, eine hohe Gerätesicherheit, geringe Anlagen-, Betriebs- und Wartungskosten, ein hoher Automatisierungsgrad, gute Reproduzierbarkeit des Reinigungsergebnisses sowie eine einfache Handhabung der Vorrichtung und der Absaugvorrichtung.Overall, the efficiency is very high short duration of treatment using the invented device according to the invention and the invention Suction device. Other advantageous properties are a simple, compact device structure, a high one Device security, low system, operating and Maintenance costs, a high degree of automation, good ones Reproducibility of the cleaning result as well easy handling of the device and Suction device.

Durch die erfindungsgemäße Weiterbildung der Strahl­ vorrichtung mit dem erfindungsgemäßen Strahlwerkzeug werden folgende Verbesserungen erzielt:
Zum einen wird eine sehr hohe Strahlgeschwindigkeit durch Verwendung einer Lavaldüse erzielt, so daß die sehr kleinen Eiskristalle durch das sich auf der zu reinigenden Oberfläche bildende Gaspolster geschossen werden können. Weiterhin wird die statische Aufladung des festen Kohlendioxid-Schnees, die ein Problem bei der Reinigung elektronischer Bauteile darstellt, mit­ tels der Ionisierungsvorrichtung aufgehoben. Weiter­ hin wird durch die Düse und durch die erfindungsge­ mäße Einrichtung der Reinigungsvorrichtung eine Lami­ narströmung in der Reinigungskammer erzeugt, so daß keine Schmutznester innerhalb der Reinigungsanlage gebildet werden. Insbesondere ist der Strahldurch­ messer äußerst gering, so daß er sich für Anwendung in der Mikrosystem- bzw. Feinwerktechnik eignet und die Anlage flexibel in der Produktion von Mikrosyste­ men eingesetzt werden kann. Das Strahlwerkzeug ist voll beweglich und der Reinigungsablauf ist ohne weiteres automatisierbar. Insgesamt ergibt sich ein hoher Wirkungsgrad bei einer kurzen Reinigungszeit.The following improvements are achieved by the inventive development of the blasting device with the blasting tool according to the invention:
On the one hand, a very high jet speed is achieved by using a Laval nozzle, so that the very small ice crystals can be shot through the gas cushion that forms on the surface to be cleaned. Furthermore, the static charge of the solid carbon dioxide snow, which is a problem when cleaning electronic components, is removed by means of the ionization device. Furthermore, a Lami nar flow is generated in the cleaning chamber by the nozzle and by the device according to the invention, so that no dirt nests are formed within the cleaning system. In particular, the beam diameter is extremely small, so that it is suitable for use in microsystem or precision engineering and the system can be used flexibly in the production of microsystems. The blasting tool is fully movable and the cleaning process can be automated easily. Overall, the efficiency is high with a short cleaning time.

Insgesamt ist durch die erfindungsgemäße Vorrichtung eine schnelle und vereisungsfreie Reinigung von Bau­ teilen während der Produktion möglich unter Wegfall komplizierter und aufwendiger Reinigungsvorbereitun­ gen. Mit dem erfindungsgemäßen Trockeneisstrahlver­ fahren kann eine Vielzahl von Materialien gereinigt werden, sofern sie dem kurzzeitig auftretenden Temperaturschock widerstehen. Bei den auftretenden Strukturen gibt es nur geringfügige Einschränkungen, da es sich beim Trockeneisstrahlen wie bei allen Strahlverfahren um ein Sichtlinienverfahren handelt. Daher können nur Oberflächen abgereinigt werden, die in Strahlrichtung liegen. Das Reinigen von uneinseh­ baren Hinterschneidungen ist somit nicht oder nur sehr eingeschränkt möglich. Gleiches gilt für Vertie­ fungen mit relativ großem Aspektverhältnis, die sich relativ rasch mit sublimiertem CO2 füllen und so das weitere Eindringen der Eiskristalle behindern oder gar verhindern.Overall, the device according to the invention enables fast and icing-free cleaning of construction parts during production, eliminating the need for complicated and time-consuming cleaning preparations. With the dry ice blasting method according to the invention, a large number of materials can be cleaned provided they withstand the brief temperature shock. There are only minor restrictions in the structures that occur, since dry ice blasting, like all blasting methods, is a line-of-sight method. Therefore, only surfaces that lie in the direction of the jet can be cleaned. The cleaning of concealed undercuts is therefore not possible or only possible to a very limited extent. The same applies to depressions with a relatively large aspect ratio, which fill relatively quickly with sublimed CO 2 and thus hinder or even prevent the further penetration of the ice crystals.

Im folgenden wird ein Beispiel einer erfindungs­ gemäßen Absaugvorrichtung und einer erfindungsgemäßen Vorrichtung beschrieben. Dabei werden in sämtlichen Figuren gleiche Teile mit denselben Bezugszeichen bezeichnet.The following is an example of an invention contemporary suction device and an inventive Device described. In all Figures same parts with the same reference numerals designated.

Es zeigen Show it  

Fig. 1 das erfindungsgemäße Strahlverfahren; Fig. 1-jet method according to the invention;

Fig. 2 eine erfindungsgemäße Vorrichtung; Fig. 2 shows a device according to the invention;

Fig. 3 eine erfindungsgemäße Absaugvorrichtung; Fig. 3 is a suction device according to the invention;

Fig. 4 einen Schnitt durch die erfindungsgemäße Absaugvorrichtung nach Fig. 3; Fig. 4 is a section through the suction device of FIG. 3;

Fig. 5 ein erfindungsgemäßes Strahlwerkzeug; Fig. 5 shows an inventive beam tool;

Fig. 6 ein Reinigungsergebnis nach dem erfindungs­ gemäßen Verfahren; und Fig. 6 a cleaning result after the fiction, modern methods; and

Fig. 7 ein weiteres Reinigungsergebnis nach dem erfindungsgemäßen Verfahren. Fig. 7 shows a further cleaning result by the inventive process.

Fig. 1 zeigt schematisch das erfindungsgemäße Ver­ fahren. Eine Oberfläche eines Objektes 1, beispiels­ weise eines Probentisches wird mit CO2-Eiskristallen (CO2-Schnee) 3 aus einer Sprühdüse 2 bestrahlt. Der CO2-Schnee bildet dabei einen CO2-Strahl 5, der eine Verunreinigung 4 von der Oberfläche des Objektes 1 abstrahlt. Dabei treten zwei Wirkmechanismen auf. Mit a ist ein Wirkmechanismus beschrieben, bei dem ein CO2-Kristall 3 auf die Oberfläche des Objektes 1 auftrifft und dabei die Verunreinigung 4 absprengt. Mit b ist ein anderer Mechanismus beschrieben, bei dem der CO2-Schneekristall auf die Oberfläche des Objektes 1 auftrifft und dort sublimiert. Bei dieser Sublimation wird durch den Gasdruck die Verun­ reinigung 4 von der Oberfläche des Objektes 1 gelöst und wird von dem abfließenden CO2 mitgenommen. Fig. 1 shows schematically the Ver drive according to the invention. A surface of an object 1 , for example a sample table, is irradiated with CO 2 ice crystals (CO 2 snow) 3 from a spray nozzle 2 . The CO 2 snow forms a CO 2 jet 5 which emits an impurity 4 from the surface of the object 1 . There are two mechanisms of action. With a an action mechanism is described, in which a CO 2 crystal 3 strikes the surface of the object 1 and thereby blows off the contamination 4 . With b another mechanism is described, in which the CO 2 snow crystal strikes the surface of the object 1 and sublimes there. In this sublimation, the cleaning process 4 is released from the surface of the object 1 by the gas pressure and is carried along by the flowing CO 2 .

Fig. 2 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung zum Behandeln, insbesondere zum Abstrahlen von Ober­ flächen. Fig. 2 shows an inventive device for treatment, in particular for blasting surfaces.

Diese erfindungsgemäße Vorrichtung weist eine Reini­ gungskammer 36 auf, in der ein Probentisch 1 und ein Strahlwerkzeug 2 zur Erzeugung eines CO2-Schnee- Strahles 5 angeordnet sind und von laminar anfließen­ der Luft umströmt sind. Der gewöhnlich senkrecht zum Probenträger 1 ausgerichtete Gasstrahl 5 aus dem Strahlwerkzeug 2 wird an den meist flachen Reini­ gungsobjekten bzw. am Probentisch 1 selbst um 90° umgelenkt und strömt radial vom Auftreffpunkt und parallel zum Probentisch 1 ab. Durch die hohe Strö­ mungsgeschwindigkeit und das entstehende Gasvolumen ist es nicht möglich, das abgelöste Material lokal an der Wirkungsstelle abzusaugen. Die Absaugung der Prozeßgase erfolgt daher außerhalb des Probentisches 1 mittels der Strömungsfalle 21, die seitlich zu dem Probentisch 1 in der Ebene seiner Oberfläche und den Probentisch vollständig umgebend angeordnet ist. Diese Strömungsfalle 21 fängt das als Oberflächen­ strömung 35 abströmende CO2, das von dem CO2-Schnee- Strahl 5 auf der Oberfläche des Probentisches 1 erzeugt wird, seitlich auf.This device according to the invention has a cleaning chamber 36 , in which a sample table 1 and a blasting tool 2 for generating a CO 2 snow jet 5 are arranged and are surrounded by laminar flow of air. The usually perpendicular to the sample carrier 1 directed gas jet 5 from the jet tool 2 will supply objects to the cleaning mostly flat or even deflected to the sample table 1 by 90 ° and flows radially from the point of incidence and parallel to the sample table from the first Due to the high flow rate and the resulting gas volume, it is not possible to extract the detached material locally at the point of action. The suction of the process gases therefore takes place outside the sample table 1 by means of the flow trap 21 , which is arranged laterally to the sample table 1 in the plane of its surface and completely surrounding the sample table. This flow trap 21 catches the surface flow 35 flowing CO 2 , which is generated by the CO 2 snow jet 5 on the surface of the sample table 1 , laterally.

Der Probentisch 1 ist in allen drei Dimensionen beweglich, über eine Heizung 22 beheizbar und ist von unterhalb über ein Ventil 24 und einen Vakuumanschluß 23 an einer Vakuumleitung angeschlossen. Der Proben­ tisch 1 besteht aus einer metallischen Lochplatte, so daß mittels dieses Unterdruckes abzustrahlende Objekte auf der Oberfläche des Probentisches 1 fixiert werden können. Weiterhin ist ein Regler 25 für die Heizung 22 des Probentisches 1 vorgesehen, um diesen auf eine konstante Temperatur zu bringen. The sample table 1 is movable in all three dimensions, heated by a heater 22 and is connected to a vacuum line from below via a valve 24 and a vacuum connection 23 . The sample table 1 consists of a perforated metal plate, so that objects to be blasted by means of this negative pressure can be fixed on the surface of the sample table 1 . Furthermore, a controller 25 is provided for the heating 22 of the sample table 1 in order to bring it to a constant temperature.

In der Probenkammer wird eine Laminarströmung 6 erzeugt, die längs der Wände 36 der Reinigungskammer und in Richtung des CO2-Schnee-Strahles 5 fließt.A laminar flow 6 is generated in the sample chamber and flows along the walls 36 of the cleaning chamber and in the direction of the CO 2 snow jet 5 .

Dem Strahlwerkzeug 2 wird über einen Kühler 26, einen Filter 27 und ein Hochdruckventil 28 flüssiges CO2 aus einem CO2-Behälter 34 zugeführt. In gleicher Weise wird der Strahlvorrichtung 2 über eine Armatur mit Druckminderer 32, ein Hochdruckventil 30 und ein weiteres Ventil 31 gasförmiges N2 aus einem N2-Behäl­ ter 33 zugeführt. Die beiden Hochdruckventile 28 und 30 sind an eine Steuerung 29 angeschlossen.The blasting tool 2 is supplied with liquid CO 2 from a CO 2 container 34 via a cooler 26 , a filter 27 and a high-pressure valve 28 . Similarly, the blasting apparatus 2 via a valve with pressure reducer 32, a high pressure valve 30 and another valve 31 gaseous N 2 from a N 2 is supplied -Behäl ter 33rd The two high pressure valves 28 and 30 are connected to a controller 29 .

Damit besteht die beschriebene erfindungsgemäße Vorrichtung im Kern aus folgenden Komponenten:
The described device according to the invention thus essentially consists of the following components:

  • 1. Eine mit Reinstluft durchströmte Reinigungs­ kammer 36 (z. B. Reinheitsklasse 1 gemäß VDI 2083 Blatt 1, Strömungsgeschwindigkeit 0,4 m/s),1. A cleaning chamber 36 through which pure air flows (eg purity class 1 according to VDI 2083 sheet 1, flow speed 0.4 m / s),
  • 2. ein Strahlwerkzeug 2 mit einer Beschleunigungs- und Mischdüse sowie einer Ionisierungseinheit (nicht gezeigt),2. a blasting tool 2 with an acceleration and mixing nozzle and an ionization unit (not shown),
  • 3. der Absaugvorrichtung 21,3. the suction device 21 ,
  • 4. einer Aufbereitungsanlage (nicht gezeigt) für das von der Absaugvorrichtung 21 abgesogene Gas, und4. a treatment plant (not shown) for the gas drawn off by the suction device 21 , and
  • 5. einem beheizten Probentisch 1.5. a heated sample table 1 .

Diese erfindungsgemäße Vorrichtung erzeugt eine turbulenzarme Reinstluftströmung in der Reinigungs­ kammer 36, die so gerichtet ist, daß das Strahl­ werkzeug 2 vor dem Probentisch 1 liegt und der Probentisch 1 senkrecht prallend angeströmt wird. In Kombination mit der Absaugvorrichtung 21 wird daher eine durch die Injektionswirkung des Reinigungs­ strahles erfolgende unkontrollierbare Verunreinigung aus der Luft vermieden. Zugleich wird verhindert, daß sich mit der Zeit Schmutznester im Bereich der gesamten Anlage bilden.This device according to the invention generates a low-turbulence pure air flow in the cleaning chamber 36 , which is directed so that the jet tool 2 is in front of the sample table 1 and the sample table 1 is bombarded vertically. In combination with the suction device 21 , therefore, an uncontrollable contamination from the air caused by the injection effect of the cleaning jet is avoided. At the same time, dirt nests are prevented from forming in the area of the entire system over time.

Das Strahlwerkzeug 2 setzt sich im wesentlichen aus zwei ineinander integrierten Düsen zusammen: Zum einen als erste Düse eine Kapillare, durch die das unter hohem Druck verflüssigte Kohlendioxid geleitet wird. Am konisch erweiterten Ende der Kapillare tritt das flüssige Kohlendioxid aus, wobei etwa 55% der Masse durch Expansion verdampft und etwa 45% sich durch Resublimation zu kleinen Kristallen, zu dem CO2-Eisschnee, verfestigt. Die Menge des ausströ­ menden CO2 kann durch Variation und des Kapillar­ durchmessers eingestellt werden.The blasting tool 2 is essentially composed of two nozzles integrated into one another: firstly, a capillary as the first nozzle through which the carbon dioxide liquefied under high pressure is passed. The liquid carbon dioxide emerges at the flared end of the capillary, about 55% of the mass evaporating by expansion and about 45% solidifying by resublimation to form small crystals, the CO 2 ice snow. The amount of CO 2 emitted can be adjusted by varying the capillary diameter.

Zum anderen weist das Strahlwerkzeug 2 eine zweite Düse auf, die konzentrisch die erste Düse und die Kapillare umschließt. Diese zweite Düse ist eine Lavaldüse, die bei Raumtemperatur überschall­ schnelles, trockenes Druckgas (N2) ausstößt. Durch dieses Druckgas wird zum einen der Trockeneisschnee- Strahl gestützt und weiterhin zu einem parallelen Strahl gebündelt und beschleunigt.On the other hand, the blasting tool 2 has a second nozzle which concentrically surrounds the first nozzle and the capillary. This second nozzle is a Laval nozzle that emits fast, dry compressed gas (N 2 ) at room temperature. This compressed gas firstly supports the dry ice snow jet and also bundles and accelerates it into a parallel jet.

Dieser Druck- bzw. Stützstrahl kann zeitversetzt zu dem CO2-Schnee-Strahl gestartet bzw. beendet werden, so daß bei einem Zuschalten des CO2-Schnee-Strahls nach dem Start des Druckgasstrahles die Umgebungsluft vom Reinigungspunkt ferngehalten wird. Damit wird die Kondensation von Luftfeuchtigkeit an dem durch den Reinigungsstrahl gekühlten Reinigungspunkt erfolg­ reich unterbunden. Zum selben Zweck kann der Stütz­ strahl erst nach dem CO2-Schnee-Strahl abgeschaltet werden.This pressure or support jet can be started or stopped at a time offset from the CO 2 snow jet, so that when the CO 2 snow jet is switched on after the start of the compressed gas jet, the ambient air is kept away from the cleaning point. This successfully prevents the condensation of air humidity at the cleaning point cooled by the cleaning jet. For the same purpose, the support jet can only be switched off after the CO 2 snow jet.

Der Stützstrahl aus trockenem Druckgas führt weiter­ hin dazu, daß die Substratoberfläche nach erfolgter Reinigung am Reinigungspunkt rasch wieder erwärmt wird.The support jet from dry compressed gas continues towards that the substrate surface after Cleaning quickly reheated at the cleaning point becomes.

Die Absaugung des vom Trockeneisstrahl abgelösten Materials direkt an der Wirkungsstelle, ist aufgrund der hohen Strömungsgeschwindigkeit und des entste­ henden Gasvolumens mit einer herkömmlichen Absaugvor­ richtung nicht möglich. Daher wurde eine erfindungs­ gemäße Absaugvorrichtung 21 eingesetzt.The extraction of the material detached from the dry ice jet directly at the point of action is not possible with a conventional suction device due to the high flow velocity and the resulting gas volume. A suction device 21 according to the invention was therefore used.

Fig. 3 zeigt einen Querschnitt durch die Ebene des Probentisches 1. Der Probentisch 1 ist vollständig von einem Absaugrohr 65 der Absaugvorrichtung 21 in der Ebene des Probentisches 1 umgeben. Der gewöhnlich senkrecht zum Probenträger ausgerichtete Gasstrahl 5 wird an den meist flachen Reinigungsobjekten bzw. am Probentisch selbst um 90° umgelenkt und strömt radial vom Auftreffpunkt auf der Oberfläche des Objektes oder des Probentisches als laminare Strömung 35 ab. Die Absaugung der Prozeßgase erfolgt bei der erfindungsgemäßen Absaugvorrichtung 21 daher nur außerhalb des Probentisches. Wie in Fig. 4 zu erkennen ist, weist das Absaugrohr 65 einen nieren­ förmigen Querschnitt mit Einbuchtungen in der Ebene des Probentisches 1 auf. Auf der Seite des Proben­ tisches 1 ist diese Einbuchtung als Gaseinlaßöffnung geöffnet. Das vom Probentisch 1 abströmende Gas 35 trifft folglich auf die Innenwand des Absaugringes 65 und wird, unterstützt durch den Mittenknick 66 auf­ grund der nierenförmigen Einschnürung in der Ebene des Probentisches 1, nach oben bzw. nach unten umge­ lenkt. Durch die Geometrie dieser Strömungsfalle 21 wird das mit hoher Geschwindigkeit vom Probentisch 1 abströmende Prozeßgas 35 (Druckgas, CO2-Gas, abge­ tragene Partikel 4) in eine zu den Ecken des Absaug­ ringes 65 fließende Drallströmung 63 überführt. In den Ecken des Absaugringes 65 befinden sich Ventila­ toren 61, die mit dem Absaugring 65 über Absaugöff­ nungen 64 in Verbindung stehen. Diese Ventilatoren erzeugen einen Absaugvolumenstrom über einen Absaug­ kanal 60, der den Fluß dieser Strahlströmung unter­ stützt und ein Rückfließen zum Probenträger verhin­ dert. Fig. 3 shows a cross section through the plane of the sample table 1. The sample table 1 is completely surrounded by a suction pipe 65 of the suction device 21 in the plane of the sample table 1 . The gas jet 5 , which is usually oriented perpendicular to the sample carrier, is deflected by 90 ° on the mostly flat cleaning objects or on the sample table itself and flows radially from the point of impact on the surface of the object or the sample table as a laminar flow 35 . In the suction device 21 according to the invention, the process gases are therefore only extracted outside the sample table. As can be seen in FIG. 4, the suction tube 65 has a kidney-shaped cross section with indentations in the plane of the sample table 1 . On the side of the sample table 1 , this indentation is opened as a gas inlet opening. The gas 35 flowing out of the sample table 1 consequently strikes the inner wall of the suction ring 65 and, supported by the central bend 66 due to the kidney-shaped constriction in the plane of the sample table 1 , is deflected upwards or downwards. Due to the geometry of this flow trap 21 , the process gas 35 flowing out of the sample table 1 at high speed (compressed gas, CO 2 gas, particles 4 carried abge) is transferred to a swirling flow 63 flowing to the corners of the suction ring 65 . In the corners of the suction ring 65 there are ventilators 61 which are connected to the suction ring 65 via suction openings 64 . These fans generate a suction volume flow through a suction channel 60 , which supports the flow of this jet flow and prevents a backflow to the sample holder.

Die Öffnungen 64 zwischen dem Absaugring 65 und dem Absaugkanal 60 befinden sich dabei ober- und unter­ halb des Mittenknicks 66, so daß die gebildeten Wirbel 63 abgesaugt werden.The openings 64 between the suction ring 65 and the suction channel 60 are located above and below half of the central bend 66 , so that the vortices 63 formed are suctioned off.

Das Absaugvolumen der Ventilatoren 61 wird über eine Drehzahlsteuerung ständig der Summe von laminarem Zuluft-Gasstrom 6 (siehe Fig. 2) und Reinigungsgas­ strom 5 angepaßt. Der Zuluftstrom ermittelt sich über die freie Querschnittsfläche des Absaugringes 65 und die Zuluftgeschwindigkeit (Geschwindigkeit des Reinstgasstromes 6). Die Berechnung des Reinigungs­ gasstromes 5 erfolgt im wesentlichen anhand des Durchmesseres der Kapillare 42 der CO2-Zuführung, der Geometrie der Lavaldüse 51 sowie des Vordruckes des Druck/Stützgases in herkömmlicher Weise.The suction volume of the fans 61 is constantly adjusted to the sum of laminar supply air gas flow 6 (see FIG. 2) and cleaning gas flow 5 via a speed control. The supply air flow is determined via the free cross-sectional area of the suction ring 65 and the supply air speed (speed of the ultrapure gas flow 6 ). The calculation of the cleaning gas flow 5 is essentially based on the diameter of the capillary 42 of the CO 2 supply, the geometry of the Laval nozzle 51 and the admission pressure of the pressure / support gas in a conventional manner.

Das abgesaugte Gas wird anschließend von den Ventila­ toren 61 zu einer Prozeßabluftanlage 62 geblasen, wo die abgesaugte Luft gereinigt, aufbereitet und/oder weiterverwertet werden kann. The extracted gas is then blown from the ventilators 61 to a process exhaust system 62 , where the extracted air can be cleaned, processed and / or used.

Fig. 5 zeigt einen Querschnitt durch ein erfindungs­ gemäßes Strahlwerkzeug, das nunmehr genauer beschrie­ ben werden soll. Fig. 5 shows a cross section through an inventive blasting tool, which will now be described in more detail ben.

Das Strahlwerkzeug setzt sich im wesentlichen aus zwei ineinander integrierte Düsen zusammen: Eine Kapillare 42, durch die das unter hohem Druck ver­ flüssigte CO2 geleitet wird und an deren konisch erweitertem Ende 49 das CO2 expandiert. Hierbei entsteht ein Gemisch aus Gas- und Trockeneisschnee. Der Schneeanteil beträgt ungefähr 45% der ausströ­ menden Gesamtmasse. Die Menge des ausströmenden CO2 kann durch Variation des Durchmessers der Kapillare 42 eingestellt werden.The blasting tool is essentially composed of two nozzles integrated into one another: a capillary 42 , through which the CO 2 liquefied under high pressure is passed and the conically expanded end 49 of which the CO 2 expands. This creates a mixture of gas and dry ice snow. The proportion of snow is approximately 45% of the total mass emitted. The amount of CO 2 flowing out can be adjusted by varying the diameter of the capillary 42 .

Weiterhin wird die Kapillare 42 konzentrisch von einer speziellen Lavaldüse 51 umschlossen, aus der über eine Leitung 56 zugeführtes trockenes Druckgas (Reinstluft oder Reinststickstoff) überschallschnell ausströmt. Dieser Druckgasstrahl bündelt den Stahl aus Trockeneisschnee zu einem Parallelstrahl und beschleunigt diesen. Zusätzlich wird durch diesen Druckgas-Stützstrahl die Umgebungsluft vom Reini­ gungspunkt ferngehalten und die Substratoberfläche nach erfolgter Reinigung recht schnell wieder erwärmt. Die Kondensation von Luftfeuchtigkeit wird somit erfolgreich unterbunden.Furthermore, the capillary 42 is concentrically enclosed by a special Laval nozzle 51 , from which dry compressed gas (ultra-pure air or ultra-pure nitrogen) supplied via a line 56 flows out at supersonic speed. This compressed gas jet bundles the steel from dry ice snow into a parallel jet and accelerates it. In addition, the ambient air is kept away from the cleaning point by this compressed gas support jet and the substrate surface is heated up again very quickly after cleaning. The condensation of air humidity is thus successfully prevented.

Die Lavaldüse 51 wird durch die Außenkontur einer Düsennadel 45, die die Kapillare 42 enthält und durch die Innenkontur eines Düsenkopfes 46 gebildet. Die Lavaldüse 51 kann durch Veränderung des minimalen Querschnitts mittels Verschiebens der Düsennadel 45 relativ zum Düsenkopf 46 feinjustiert und optimal eingestellt werden. Die Fixierung erfolgt dann durch Unterlegen von geeigneten Distanzscheiben zwischen einem an der Düsennadel 45 angeordneten Flansch 43 und dem Düsenkopf 46.The Laval nozzle 51 is formed by the outer contour of a nozzle needle 45 , which contains the capillary 42 , and by the inner contour of a nozzle head 46 . The Laval nozzle 51 can be finely adjusted and optimally adjusted by changing the minimum cross-section by moving the nozzle needle 45 relative to the nozzle head 46 . The fixation is then carried out by placing suitable spacers between a flange 43 arranged on the nozzle needle 45 and the nozzle head 46 .

Sowohl das flüssige CO2 als auch das Druckgas wird über die Düsennadel 45 zugeführt. Das Druckgas strömt dann zur Beruhigung über vier einlaßseitig an der Lavaldüse 51 angeordnete sternförmigen Bohrungen in die Vorkammer der Lavaldüse 51. Aus der Lavaldüse strömt das Druckgas mit Überschall, drallfrei und symmetrisch aus.Both the liquid CO 2 and the pressurized gas are supplied via the nozzle needle 45 . The pressurized gas then flows into the prechamber of the Laval nozzle 51 via four star-shaped bores arranged on the inlet side on the Laval nozzle 51 for calming purposes. The compressed gas flows out of the Laval nozzle with supersonic, swirl-free and symmetrical.

Das CO2 wird über die Kapillare 42 zugeführt, die im Kanal der Düsennadel 45 geführt wird. Ein Stopfen 48 am unteren Ende der Düsennadel 45 zentriert die Kapillare 42 und dichtet zugleich den Druckgaskanal nach unten ab. Am oberen Ende wird der Druckgaskanal durch die CO2-Leitung 40 und deren Verschraubung 41 verschlossen.The CO 2 is supplied via the capillary 42 , which is guided in the channel of the nozzle needle 45 . A plug 48 at the lower end of the nozzle needle 45 centers the capillary 42 and at the same time seals the compressed gas channel downward. At the upper end, the compressed gas channel is closed by the CO 2 line 40 and its screw connection 41 .

Da das CO2 aufgrund von Druckänderung innerhalb der Geometrie der Lavaldüse 51 den Aggregatzustand wechseln würde, sind die beiden Düsen, die Lavaldüse 41 und die am Ende der Kapillare 42 ausgebildete Schnee-Düse 49 so angeordnet, daß das Stützgas erst dem fertigen Trockeneisschnee-Strahl zugemischt wird. Ansonsten wäre die Funktion des Strahlwerkzeugs nicht gewährleistet.Since the CO 2 would change the physical state due to pressure change within the geometry of the Laval nozzle 51 , the two nozzles, the Laval nozzle 41 and the snow nozzle 49 formed at the end of the capillary 42 are arranged in such a way that the supporting gas only reaches the finished dry ice snow jet is added. Otherwise the function of the blasting tool would not be guaranteed.

Abgedichtet wird das ganze System durch zwei Dich­ tungen, nämlich einer Packung 44 mit Flansch 43 sowie einer dünnen Metallfolie zwischen Düsenkopf 46 und einer Anschlußplatte 55.The entire system is sealed by two lines, namely a packing 44 with a flange 43 and a thin metal foil between the nozzle head 46 and a connecting plate 55 .

Am Düsenende ist ein Metallring 50 mit drei Ionisa­ tionsspitzen durch einen Isolator 47 isoliert ange­ bracht, der über ein Hochspannungkabel 53 mit einem regelbaren Ionisator verbunden ist. Über die Ionisa­ tionsspitzen des Metallrings 50 wird die stark negative Aufladung des CO2-Strahles beim Kristal­ lisieren des CO2 am Ausgang der Kapillare 42 durch kontinuierliches Deionisieren kompensiert.At the end of the nozzle, a metal ring 50 with three ionization tips is insulated by an insulator 47 , which is connected via a high-voltage cable 53 to a controllable ionizer. About the ionization peaks of the metal ring 50 , the highly negative charge of the CO 2 beam is compensated for during crystallization of the CO 2 at the outlet of the capillary 42 by continuous deionization.

Weiterhin ist die Kapillare 42 mittels eines Masse­ kabels geerdet, so daß die Ladungstrennung in der Randschicht des durch die Kapillare strömenden flüs­ sigen CO2 hinreichend aufgehoben wird.Furthermore, the capillary 42 is grounded by means of a ground cable, so that the charge separation in the boundary layer of the liquid CO 2 flowing through the capillary is sufficiently eliminated.

Mit diesem System wurden bereits verschiedene Teile aus der Mikrosystem- bzw. Feinwerktechnik erfolgreich gereinigt. Dazu gehören beispielsweise Kontaktflächen von Mikroschaltern, Düsenelemente aus der Druck­ technik, auf einem Keramikträger aufgebaute Mikro­ chips und Stanzteile für den Bau von Schaltelementen. Dabei wurden sowohl partikuläre Ablagerungen als auch biotische und/oder abiotische Beschichtung wie bei­ spielsweise Fingerabdrücke oder dünne Lackschichten entfernt.Various parts have already been made with this system from microsystems and precision engineering successfully cleaned. These include, for example, contact areas of microswitches, nozzle elements from the pressure technology, micro built on a ceramic carrier chips and stamped parts for the construction of switching elements. Both particulate deposits and biotic and / or abiotic coating as with for example fingerprints or thin layers of lacquer away.

Als weitere vorteilhafte Ausgestaltung, ist die CO2- Zuführung so ausgebildet, daß kurze CO2-Strahlstöße erzeugt werden können. Diese sind verglichen mit einem kontinuierlichen CO2-Strahl wesentlich effek­ tiver, da hier im Vergleich zu der längeren Einwirk­ zeit des Trockeneisstrahles höhere Thermospannungen erzeugt werden.As a further advantageous embodiment, the CO 2 supply is designed such that short CO 2 jets can be generated. These are much more effective compared to a continuous CO 2 jet, since higher thermal voltages are generated here compared to the longer exposure time of the dry ice jet.

Fig. 6 zeigt ein Beispiel für eine Reinigung mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung. Oben sind verkrustetet Düsen eines Tintenstrahldruckkopfes dargestellt, die erfindungsgemäß gereinigt wurden. Im unteren Teil der Abbildung ist ein Mikrochip auf einem Keramikträger dargestellt, dessen Verzunderung auf der rechten Seite zu sehen ist. Linksseitig ist in diesem Bild der gereinigte Bereich zu erkennen. Fig. 6 shows an example of a cleaning with the inventive device. Encrusted nozzles of an ink jet print head are shown above, which were cleaned according to the invention. In the lower part of the picture a microchip is shown on a ceramic carrier, the scaling of which can be seen on the right side. The cleaned area can be seen on the left in this image.

Fig. 7 zeigt eine Lacksohicht, die mit der erfin­ dungsgemäßen Vorrichtung behandelt wurde. Die Dar­ stellung in Fig. 7 ist 50fach vergrößert. Wie zu erkennen ist, ist die Lackschicht teilweise mit dem erfindungsgemäßen Verfahren abgetragen worden. Deut­ lich ist die Rißbildung und die Absprengung vom Grundmaterial zu erkennen. Fig. 7 shows a varnish that has been treated with the device according to the invention. The Dar position in Fig. 7 is enlarged 50 times. As can be seen, the lacquer layer was partially removed using the method according to the invention. The formation of cracks and the detachment from the base material can be clearly seen.

Claims (45)

1. Absaugvorrichtung zum Absaugen von Luft von der Oberfläche eines Objektes (1), beispielsweise eines zu reinigenden Werkstückes oder eines Probentisches, gekennzeichnet durch ein Absaugrohr (65), das das Objekt (1) in der Ebene der Oberfläche vollständig umgibt und längs seines Innenumfangs Gasdurchtrittsöffnungen aufweist.1. Suction device for extracting air from the surface of an object ( 1 ), for example a workpiece to be cleaned or a sample table, characterized by a suction pipe ( 65 ) which completely surrounds the object ( 1 ) in the plane of the surface and along its inner circumference Has gas passage openings. 2. Absaugvorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß der Querschnitt des Absaugrohres (65) derart ausgebildet ist, daß die abgesaugte Luft innerhalb des Rohres längs seines Querschnitts Wirbel (63) bildet.2. Suction device according to the preceding claim, characterized in that the cross section of the suction tube ( 65 ) is designed such that the extracted air forms vortices ( 63 ) within the tube along its cross section. 3. Absaugvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Absaugrohr (65) einen nierenförmigen Querschnitt mit einer Einbuchtung längs seines Außenumfangs aufweist.3. Suction device according to one of the preceding claims, characterized in that the suction pipe ( 65 ) has a kidney-shaped cross section with an indentation along its outer circumference. 4. Absaugvorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß das Absaugrohr (65) längs der Einbuchtung längs seines Innenumfangs als Gasdurchtrittsöffnung geöffnet ist.4. Suction device according to the preceding claim, characterized in that the suction pipe ( 65 ) is opened along the indentation along its inner circumference as a gas passage opening. 5. Absaugvorrichtung nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die längs des Außenumfangs des Absaugrohres (65) vorhandene Einbuchtung einen als spitz zusammenlaufende, nach innen weisende Kante ausgebildeten Mittenknick (66) aufweist. 5. Suction device according to one of the two preceding claims, characterized in that the indentation along the outer circumference of the suction tube ( 65 ) has a center bend ( 66 ) formed as a tapering, inwardly pointing edge. 6. Absaugvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Absaugrohr (65) mit mindestens einem Ventilator (61) zur Absaugung der Luft aus dem Absaugrohr (65) verbunden ist.6. Suction device according to one of the preceding claims, characterized in that the suction pipe ( 65 ) is connected to at least one fan ( 61 ) for extracting the air from the suction pipe ( 65 ). 7. Absaugvorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß der mindestens eine Ventilator (61) in seiner Drehzahl regelbar ist.7. Suction device according to the preceding claim, characterized in that the at least one fan ( 61 ) is adjustable in its speed. 8. Absaugvorrichtung nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der mindestens eine Ventilator (61) über Öffnungen (64) mit dem Absaugrohr (65) verbunden ist, die an der Ober- und/oder Unterseite des Absaugrohres (65) angeordnet sind.8. Suction device according to one of the two preceding claims, characterized in that the at least one fan ( 61 ) is connected via openings ( 64 ) to the suction pipe ( 65 ), which are arranged on the top and / or underside of the suction pipe ( 65 ) are. 9. Absaugvorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der mindestens eine Ventilator (61) über Öffnungen (64) mit dem Absaugrohr (65) verbunden ist, die seitlich des Mittenknicks (66) angeordnet sind.9. Suction device according to one of claims 6 to 8, characterized in that the at least one fan ( 61 ) is connected via openings ( 64 ) to the suction pipe ( 65 ) which are arranged on the side of the central bend ( 66 ). 10. Absaugvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Absaugrohr (65) ringförmig ausgebildet ist.10. Suction device according to one of the preceding claims, characterized in that the suction pipe ( 65 ) is annular. 11. Absaugvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Absaugrohr (65) als Vieleck ausgebildet ist.11. Suction device according to one of claims 1 to 9, characterized in that the suction pipe ( 65 ) is designed as a polygon. 12. Absaugvorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß das Absaugrohr (65) zwischen je zwei benachbarten Ecken bogenförmig in Richtung des Objektes (1) gekrümmt ist.12. Suction device according to the preceding claim, characterized in that the suction pipe ( 65 ) between two adjacent corners is curved in an arc in the direction of the object ( 1 ). 13. Absaugvorrichtung nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in jeder Ecke des Vielecks ein, vorzugsweise regelbarer, Ventilator (61) gemäß einem der Ansprüche 6 bis 9 angeordnet ist.13. Suction device according to one of the two preceding claims, characterized in that a, preferably adjustable, fan ( 61 ) according to one of claims 6 to 9 is arranged in each corner of the polygon. 14. Vorrichtung zur Behandlung, beispielsweise zur Abreinigung, einer Oberfläche eines Objektes (1), beispielsweise eines Werkstückes oder eines Probentisches, durch Anstrahlen der Oberfläche mit CO2-Schnee, gekennzeichnet durch eine Absaugvorrichtung zum Absaugen des von der Oberfläche abströmenden Gases und von der Oberfläche abgetragenen Materials nach einem der vorhergehenden Ansprüche.14. A device for treatment, for example for cleaning, a surface of an object ( 1 ), for example a workpiece or a sample table, by illuminating the surface with CO 2 snow, characterized by a suction device for suctioning off the gas flowing off the surface and from the Surface removed material according to one of the preceding claims. 15. Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß die Absaugvorrichtung und das Objekt (1) in einer Reinigungskammer (36) angeordnet sind.15. The device according to the preceding claim, characterized in that the suction device and the object ( 1 ) are arranged in a cleaning chamber ( 36 ). 16. Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß die Reinigungskammer (36) von Reinstluft (6) durchströmt ist.16. The device according to the preceding claim, characterized in that the cleaning chamber ( 36 ) is flowed through by pure air ( 6 ). 17. Vorrichtung nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Reinigungskammer (36) von der Reinstluft (6) turbulenzarm, quasilaminar durchströmt ist.17. Device according to one of the two preceding claims, characterized in that the cleaning chamber ( 36 ) is flowed through by the ultra-pure air ( 6 ) with low turbulence, quasilaminar. 18. Vorrichtung nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Objekt (1) derart in der Reinigungskammer (36) angeordnet ist, daß seine Oberfläche von der Reinstluft (6) senkrecht prallend angeströmt ist.18. Device according to one of the two preceding claims, characterized in that the object ( 1 ) is arranged in the cleaning chamber ( 36 ) in such a way that its surface is flowed against by the ultrapure air ( 6 ). 19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Reinigungskammer (36) einen Probentisch (1) zur Montage eines zu behandelnden oder abzureinigenden Werkstückes aufweist.19. Device according to one of claims 15 to 18, characterized in that the cleaning chamber ( 36 ) has a sample table ( 1 ) for mounting a workpiece to be treated or cleaned. 20. Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß der Probentisch (1) beheizbar ist.20. The device according to the preceding claim, characterized in that the sample table ( 1 ) is heatable. 21. Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß der Probentisch (1) elektrisch beheizbar ist.21. The device according to the preceding claim, characterized in that the sample table ( 1 ) is electrically heated. 22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß der Probentisch (1) eine flache Metallplatte zur Befestigung des zu behandelnden oder abzureinigenden Werkstücks aufweist.22. Device according to one of claims 19 to 21, characterized in that the sample table ( 1 ) has a flat metal plate for fastening the workpiece to be treated or cleaned. 23. Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallplatte mehrere Bohrungen aufweist und eine Vakuumpumpe (23) zum Anlegen eines Vakuums an die Bohrungen vorgesehen ist.23. The device according to the preceding claim, characterized in that the metal plate has a plurality of holes and a vacuum pump ( 23 ) is provided for applying a vacuum to the holes. 24. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß eine Aufbereitungsanlage für abgesaugte und darin gegebenenfalls enthaltene Partikel vorgesehen ist. 24. The device according to one of claims 14 to 23, characterized in that a processing plant for suction and any contained therein Particle is provided.   25. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 24, gekennzeichnet durch eine Strahlvorrichtung (2) zum Erzeugen eines Strahles aus CO2-Schnee mit einer ersten Düse (49) zur Erzeugung eines CO2-Schnee- Strahles und einer zweiten Düse (51) zur Erzeugung eines Stütz- bzw. Druckstrahles, wobei die zweite Düse (51) die erste Düse (49) umgibt, und wobei die zweite Düse (51) eine Düse zur Erzeugung eines Überschall-Strahles ist.25. Device according to one of claims 14 to 24, characterized by a blasting device ( 2 ) for generating a jet of CO 2 snow with a first nozzle ( 49 ) for generating a CO 2 snow jet and a second nozzle ( 51 ) for generating a support or pressure jet, the second nozzle ( 51 ) surrounding the first nozzle ( 49 ), and the second nozzle ( 51 ) being a nozzle for generating a supersonic jet. 26. Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Düse (51) eine Laval-Düse ist.26. The device according to the preceding claim, characterized in that the second nozzle ( 51 ) is a Laval nozzle. 27. Vorrichtung nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Düse (51) so ausgebildet ist, daß sie den Strahl der ersten Düse (49) bündelt, vorzugsweise parallel bündelt, und/oder beschleunigt.27. Device according to one of the two preceding claims, characterized in that the second nozzle ( 51 ) is designed such that it bundles the beam of the first nozzle ( 49 ), preferably bundles in parallel, and / or accelerates. 28. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 25 bis 27, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Düse (49) mit einer Kapillare (42) als Zuleitung verbunden ist.28. Device according to one of claims 25 to 27, characterized in that the first nozzle ( 49 ) is connected to a capillary ( 42 ) as a feed line. 29. Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapillare (42) elektrisch geerdet ist.29. The device according to the preceding claim, characterized in that the capillary ( 42 ) is electrically grounded. 30. Vorrichtung nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Düse (49) als konische Erweiterung der Kapillare (42) ausgebildet ist.30. Device according to one of the two preceding claims, characterized in that the first nozzle ( 49 ) is designed as a conical extension of the capillary ( 42 ). 31. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 25 bis 30, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Düse (51) die erste Düse (49) konzentrisch umschließt. 31. The device according to one of claims 25 to 30, characterized in that the second nozzle ( 51 ) concentrically surrounds the first nozzle ( 49 ). 32. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 25 bis 31, dadurch gekennzeichnet, daß das Strahlwerkzeug (2) eine Düsennadel (45) und einen diese umgebenden Düsenkopf (46) aufweist, wobei die erste Düse in der Düsennadel (45) angeordnet ist.32. Device according to one of claims 25 to 31, characterized in that the blasting tool ( 2 ) has a nozzle needle ( 45 ) and a nozzle head surrounding this ( 46 ), the first nozzle being arranged in the nozzle needle ( 45 ). 33. Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Düse (51) als Zwischenraum zwischen Düsennadel (45) und Düsenkopf (46) ausgebildet ist.33. Device according to the preceding claim, characterized in that the second nozzle ( 51 ) is designed as an intermediate space between the nozzle needle ( 45 ) and nozzle head ( 46 ). 34. Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontur der zweiten Düse (51) durch die Außenkontur der Düsennadel (45) und/oder durch die Innenkontur des Düsenkopfes (46) ausgebildet ist.34. Device according to the preceding claim, characterized in that the contour of the second nozzle ( 51 ) is formed by the outer contour of the nozzle needle ( 45 ) and / or by the inner contour of the nozzle head ( 46 ). 35. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 32 bis 34, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsennadel (45) längs des Düsenkopfes (46) verschiebbar ist.35. Device according to one of claims 32 to 34, characterized in that the nozzle needle ( 45 ) along the nozzle head ( 46 ) is displaceable. 36. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 32 bis 35, dadurch gekennzeichnet, daß am unteren Ende der Düsennadel (45) ein Vorrichtung zur Lagerung und Zentrierung der Düsennadel in dem Düsenkopf (46) angeordnet ist.36. Device according to one of claims 32 to 35, characterized in that a device for supporting and centering the nozzle needle in the nozzle head ( 46 ) is arranged at the lower end of the nozzle needle ( 45 ). 37. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 25 bis 36, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Düse (51) an ihrem Einlaß mehrere sternförmige Bohrung zur Gaszufuhr aufweist. 37. Device according to one of claims 25 to 36, characterized in that the second nozzle ( 51 ) has a plurality of star-shaped bore at its inlet for gas supply. 38. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 25 bis 37, dadurch gekennzeichnet, daß in Strahlrichtung hinter der ersten Düse (49) eine Vorrichtung (50) zur Deionisation des CO2-Schnee-Strahles angeordnet ist.38. Device according to one of claims 25 to 37, characterized in that a device ( 50 ) for deionizing the CO 2 snow jet is arranged in the jet direction behind the first nozzle ( 49 ). 39. Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (50) zur Deionisation einen zur ersten Düse (49) konzentri­ schen Metallring aufweist.39. Device according to the preceding claim, characterized in that the device ( 50 ) for deionization has a metal ring concentric to the first nozzle ( 49 ). 40. Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß der Metallring mindestens eine in den Strahlbereich ragende Ionisationsspitze aufweist.40. Device according to the preceding claim, characterized in that the metal ring at least one protruding into the beam area Has ionization tip. 41. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 38 bis 40, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (50) zur Deionisation über ein Hochspannungskabel (53) mit einem Ionisator verbunden ist.41. Device according to one of claims 38 to 40, characterized in that the device ( 50 ) for deionization via a high-voltage cable ( 53 ) is connected to an ionizer. 42. Vorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, daß der Ionisator regelbar ist.42. Device according to the preceding claim, characterized in that the ionizer is adjustable is. 43. Verwendung einer Absaugvorrichtung und/oder einer Vorrichtung zur Behandlung, beispielsweise Abreinigung, von Oberflächen nach einem der vorhergehenden Ansprüche zum Reinigen von Oberflächen und/oder der Entfernung von Beschichtung im Bereich der optischen Industrie, der Medizintechnik, der pharmazeutischen Industrie, der Lackiertechnik, der Mikrotechnik und/oder der Feinwerktechnik und anderen. 43. Use of a suction device and / or Treatment device, for example Cleaning, from surfaces to one of the previous claims for cleaning Surfaces and / or removal of coating in the field of the optical industry, the Medical technology, the pharmaceutical industry, the Painting technology, microtechnology and / or Precision engineering and others.   44. Verwendung nach dem vorhergehenden Anspruch zur Behandlung weicher Oberflächen, zur Entfernung partikulärer, biotischer und/oder abiotischer Beschichtungen und/oder Ablagerungen und/oder zur Entfernung von Lackschichten.44. Use according to the preceding claim Treatment of soft surfaces, for removal particulate, biotic and / or abiotic Coatings and / or deposits and / or for Removal of layers of paint. 45. Verwendung nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche zur Behandlung von Oberflächen im sub-µm- Bereich.45. Use according to one of the two previous Requirements for the treatment of surfaces in the sub-µm Area.
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