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Querbezug auf verwandte Anmeldungen
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Diese
Anmeldung beansprucht die Wirkung der am 9. Juni 2006 eingereichten
vorläufigen US-Anmeldung Nr. 60/812,150.
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Hintergrund der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft Messfühlermesssysteme zum
Testen integrierter Schaltungen und anderer mikroelektronischer
Vorrichtungen und genauer gesagt, Messfühlermesssysteme,
welche differentielle Signale zum Testen von Schaltkreisen und Vorrichtungen
verwenden.
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Integrierte
Schaltkreise (ICs; engl.: Integrated circuits) und andere mikroelektronische
Vorrichtungen werden auf der Oberfläche einer Halbleiterscheibe
(engl.: wafer) oder einem Substrat hergestellt und verwenden üblicherweise
asymmetrische bzw. einpolig geerdete (engl.: single-ended) oder
auf Masse bezogene Signale, die auf eine Masseebene an der unteren
Oberfläche des Substrats bezogen sind, auf dem die aktiven
und passiven Vorrichtungen des Schaltkreises hergestellt sind. Als
ein Ergebnis des physikalischen Aufbaus der Vorrichtungen einer integrierten
Schaltung existieren zwischen vielen der Teile der einzelnen Vorrichtungen
und zwischen Teilen der Vorrichtungen und der Halbleiterscheibe,
auf welcher die Vorrichtungen hergestellt sind, parasitäre Verbindungen.
Diese Verbindungen sind üblicherweise von kapazitiver und/oder
induktiver Natur und weisen frequenzabhängige Impedanzen
auf. Zum Beispiel sind typischerweise die Anschlüsse von
auf halbleitenden Substraten oder Halbleiterscheiben hergestellten
Transistoren durch das Substrat kapazitiv zu der Masseebene verbunden
und bei höheren Frequenzen werden das Massepotential und
die wahre Natur von auf Masse bezogenen Signalen unsicher. Differentielle
Signale verwendende symmetrische Vorrichtungen sind schlechter Hochfrequenz (HF)-Masseverbindung
gegenüber toleranter als asymmetrische (engl: single-ended,
deutsch auch: einpolig geerdete) Vorrichtungen, was sie zunehmend
attraktiv macht, da ICs bei höheren und höheren
Frequenzen betrieben werden.
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Bezugnehmend
auf 1 ist eine differentielle Verstärkungszelle 20 eine
zwei nominell identische Schaltkreishälften 20A, 20B aufweisende
symmetrische Vorrichtung.
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Wenn
sie mit Gleichstrom vorgespannt ist, z. B. mit einem von einer Gleichstrom(DC;
engl.: direct current)-Quelle 22 stammenden Strom, und
mit einem Signal im differentiellen Modus angeregt wird, das Takt-
und Gegentaktmoduskomponenten (engl.: even and odd mode components)
gleicher Amplitude und entgegengesetzter Phase aufweist (Si +1 und Si –1), wird
an der symmetrischen Achse 26 der zwei Schaltkreishälften
eine virtuelle Masse eingerichtet. An der virtuellen Masse ändert
sich das Potential bei der Betriebsfrequenz unabhängig
von der Amplitude des anregenden Signals nicht über die
Zeit. Die Qualität der virtuellen Masse einer symmetrischen
Vorrichtung ist unabhängig von dem physikalischen Massepfad,
was symmetrische oder differentielle Schaltkreise in die Lage versetzt,
eine schlechte HF-Masseverbindung besser als Schaltkreise zu tolerieren, die
mit asymmetrischen Signalen betrieben werden. Darüber hinaus
stellen die zweikomponentigen Wellenformen des differentiellen Ausgabesignals
(SO +1 und SO –1) gegenseitige
Referenzen dar, was es digitalen Vorrichtungen ermöglicht,
schneller zu arbeiten, mit einer größeren Sicherheit
beim Übergehen von einem Binärwert zu dem anderen
und mit einer verringerten Spannungsschwankung für das
Signal. Darüber hinaus weisen symmetrische oder differentielle
Schaltkreise eine gute Immunität gegen Rauschen von externen
Quellen auf, wie benachbarten Leitern, da Rauschen dazu neigt, elektrisch
und elektromagnetisch an den Gleichtaktmodus zu koppeln und sich
in dem differentiellen Modus aufzuheben. Die verbesserte Immunität
gegenüber Rauschen erstreckt sich auf geradzahlharmonische
Frequenzen, da Signale, die gegenüberliegende Phasen bei
der Fundamentalfrequenz aufweisen, sich bei den geradzahligen Harmonischen
in Phase befinden.
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Auf
die Herstellung der ICs folgend werden die einzelnen Rohchips, auf
denen die ICs hergestellt sind, getrennt oder vereinzelt und in
eine Packung gehüllt, die elektrische Verbindungen zwischen
dem äußeren der Packung und der Schaltung auf
dem eingeschlossenen Rohchip bereitstellt. Das Trennen und Verpacken
eines Rohchips umfasst einen beträchtlichen Anteil der
Herstellungskosten einer Vorrichtung, die einen IC aufweist, und
Hersteller fügen üblicherweise elektrische Schaltungen
oder Teststrukturen auf die Halbleiterscheibe hinzu, um Testen oder
"Prüfen" (engl.: "probing") zu ermöglichen, um Eigenschaften
von Elementen der integrierten Schaltkreise zu überprüfen,
bevor die Rohchips vereinzelt werden, um den IC-Herstellungsprozess
zu überwachen und zu kontrollieren und die Kosten des Verpackens
von Rohchips mit Defekten zu vermeiden. Eine Teststruktur umfasst
typischerweise eine zu testende Vorrichtung(DUT; engl.: device-under-test) 30,
mehrere an der Oberfläche der Halbleiterscheibe abgelagerte
metallische Messfühler- oder Bondinganschlussflächen 32 und
mehrere leitende Durchgänge 34, welche die Bondinganschlussflächen
mit der DUT verbinden, die typischerweise unterhalb der Oberfläche
der Halbleiterscheibe mit dem gleichen Verfahren hergestellt ist,
das dazu verwendet wird, die entsprechenden Einrichtungen des vermarktbaren
IC herzustellen ist. Die DUT umfasst typischerweise einen einfachen
Schaltkreis, der eine Kopie eines oder mehrerer der Basiselemente
der vermarktbaren integrierten Schaltung umfasst, wie eine einzelne
Leitung leitenden Materials, einer Kette von Durchgängen
oder einen einzelnen Transistor. Da die Schaltkreiselemente der
DUT mit dem gleichen Verfahren hergestellt werden, wie die entsprechenden Elemente
der vermarktbaren integrierten Schaltungen, ist zu erwarten, dass
die elektrischen Eigenschaften der DUT für die elektrischen
Eigenschaften der entsprechenden Komponenten der vermarktbaren integrierten
Schaltung repräsentativ sind.
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Die
DUT der Teststruktur 40 umfasst die differentielle Verstärkungszelle 20,
eine herkömmliche elementare Vorrichtung symmetrischer
oder differentieller Schaltkreise. Eine differentielle Verstärkungszelle
hat fünf Anschlüsse; vier Signalanschlüsse
und einen Vorspannungsanschluss, durch welchen die Transistoren
der differentiellen Zelle vorgespannt sind. Die vier Signalanschlüsse
umfassen zwei Eingangsanschlüsse, um die Takt- und Gegentaktmoduskomponenten
des differentiellen Eingangssignals von einer Signalquelle zu empfangen
und zwei Ausgangsanschlüsse, um die Takt- und Gegentaktmoduskomponenten
des differentiellen Ausgangssignals von der differentiellen Verstärkungszelle
zu einer Signalsenke zu übertragen. Üblicherweise
werden beim Prüfen einer Teststruktur, die eine differentielle oder
symmetrische Vorrichtung umfasst, zwei Messfühler 42, 44 verwendet.
Ein Messfühler leitet typischerweise die Signale von der
Signalquelle zu den Messfühlerkontakten der Teststruktur
und der zweite Messfühler leitet die Signale von der Teststruktur
zu der Signalsenke. Typischerweise weist einer der zwei Messfühler
mindestens drei Messfühlerspitzen auf, in einer Signal-Masse-Signal-Anordnung,
um zwei der Komponenten eines differentiellen Signals zu leiten und
die Transistoren der differentiellen Zelle vorzuspannen.
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ICs
werden typischerweise auf der Halbleiterscheibe (engl.: "on-wafer")
durch Anwenden eines von einem Testinstrument erzeugten Signals
auf die Teststruktur und Messen der Antwort der Teststruktur auf
das Signal charakterisiert. Bezugnehmend auf 2 wird bei
höheren Frequenzen eine Charakterisierung auf der Halbleiterscheibe üblicherweise
mit einem Netzwerkanalysator 100 durchgeführt.
Ein Netzwerkanalysator umfasst eine Quelle 102 eines Wechselstrom(AC;
engl.: alternating current)-Signals, oft eines Hochfrequenz(HF)-Signals,
die dazu verwendet wird, die DUT 30 einer Teststruktur
anzuregen. Direktionale Koppler oder Brücken nehmen die sich
zu der Teststruktur oder von dieser weg bewegenden vorwärts
oder umgekehrt gerichteten Wellen auf und richten sie auf eine Signalsenke 104,
wo sie in Abschnitte mittlerer Frequenz (IF; engl.: intermediate
frequency) herunter konvertiert, gefiltert, verstärkt und
digitalisiert werden. Das Ergebnis des Signalbearbeitens in dem
Netzwerkanalysator sind mehrere s-Parameter (Streuparameter; engl.:
scattering parameters), das Verhältnis eines die Antwort der
DUT umfassenden normalisierten Wellengröße (engl.:
power wave) zu der normalisierten Wellengröße,
welche die durch die Signalquelle bereitgestellte Anregung umfasst,
welche die Antwort der DUT auf das anregende Signal registrieren.
Ein Vorwärts/Umkehrschalter (engl.: forwardreverse switch) 106 ermöglicht
das Umkehren der Verbindungen zwischen dem/den Messfühler/n
und dem Netzwerkanalysator, so dass die jeweiligen Paare von das
Eingangssignal empfangenden und das Ausgabesignal übertragenden
Messfühleranschlussflächen umgekehrt werden können.
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Beim
Testen von differentiellen Vorrichtungen ist ein Netzwerkanalysator
mit vier Anschlüssen (engl.: four-gort network analysator)
wünschenswert, da er differentielle Signale ausgeben und
empfangen kann, was eine Mischmodusanalyse der Vorrichtungen ermöglicht.
Netzwerkanalysatoren mit vier Anschlüssen sind jedoch verhältnismäßig
ungewöhnlich und teuer. Netzwerkanalysatoren mit zwei Anschlüssen
sind weiter verbreitet und werden oft beim Testen von differentiellen
Vorrichtungen verwendet. Netzwerkanalysatoren mit zwei Anschlüssen
geben jedoch asymmetrische bzw. einpolig geerdete Signale aus und
empfangen solche, die in differentielle Signale oder aus diesen
umgewandelt werden müssen, um die symmetrische Vorrichtung
anzuregen und ihre Ausgabe zu analysieren.
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Das
durch den Netzwerkanalysator ausgegebene asymmetrische Signal kann
einen Gleichspannungsversatz umfassen. Wenn dies der Fall ist, wird
das Ausgabesignal in üblicher Weise zu einer Vorspannungsverzweigung 108 geleitet,
welche einen Kondensator 110 in Serie mit dem Hochfrequenz(HF)-Anschluss 112 der
Vorspannungsverzweigung und eine Induktivität 114 in
Serie mit einem Gleichstromanschluss 116 umfasst. Der Kondensator
blockiert die Übertragung der Gleichstromkomponente des
Signals von dem Hochfrequenzanschluss und die Induktivität
blockiert die Übertragung des modulierten Signals von dem
Gleichstromanschluss, erlaubt aber die Übertragung des
Gleichstromanteils des Signals. Der Gleichstromanschluss der Vorspannungsverzweigung 108 ist
durch die Vorspannungsmessfühlerspitze 140 mit
der Vorspannungsmessfühleranschlussfläche 150 der
Teststruktur verbunden, was es ermöglicht, die Transistoren
der differentiellen Zelle mit der Gleichstromkomponente des Ausgangssignals
des Netzwerkanalysators vorzuspannen.
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Das
modulierte Signal von dem HF-Anschluss der Vorspannungsverzweigung 108 wird
zu einer Symmetrieschaltung (engl.: balun) 120 geleitet, welche
das asymmetrische Signal in ein symmetrisches oder differentielles
Signal mit zwei differentiellen Signalkomponenten (Si +1 und Si –1) mit im Wesentlichen der gleichen
Amplitude aber entgegengesetzter Phase umwandelt. Typischerweise
werden die zwei Komponenten des differentiellen Signals über ein
Koaxialkabel von der Symmetrieschaltung zu zugehörigen
Signalmessfühlerspitzen 146, 148 eines Messfühlers 42 übertragen,
welcher einen Übergang von dem Signalpfad des Koaxialkabels
zu dem Signalpfad der Messfühleranschlussflächen
der Teststruktur bietet. Der Messfühler ist relativ zu
der Teststruktur beweglich, so dass jede der Messfühlerspitzen
bei zugehörigen Messfühlerkontakten angeordnet
sein kann, die mit der DUT verbunden sind.
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Die
DUT dient als Senke für die differentiellen Eingabesignale
und gibt die differentiellen Ausgabesignalkomponenten (So +1 und So –1) aus,
welche zu zugehörigen Messfühleranschlussflächen 152, 154 der
differentiellen Verstärkungszelle geleitet werden. Die
Komponenten der Ausgabesignale werden zu einer Symmetrieschaltung 122 übertragen,
welche die differentiellen Signalkomponenten in ein asymmetrisches
Signal umwandelt, das zu der Signalsenke 104 des Netzwerkanalysators
zum Verarbeiten, Analysieren und Anzeigen übertragen wird.
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Eine
zum Umwandeln von asymmetrischen Signalen in differentielle Signale
und umgekehrt verwendete Symmetrieschaltung ist üblicherweise
ein Transformator mit einer mit einer der Wicklungen hergestellten
asymmetrischen Verbindung und einer mit der anderen Wicklung hergestellten
symmetrischen Verbindung, und typischerweise eine teure Vorrichtung.
Ferner sind Symmetrieschaltungen typischerweise im Verhältnis
zu dem Messfühler groß und sind üblicherweise
entfernt angeordnet und mit dem Messfühler mit einem Koaxialkabel
verbunden, was das Anordnen der Testinstrumentierung verkompliziert.
Daher ist ein Messfühler gewünscht, der eine Symmetrieschaltung
umfasst, und das Verwenden eines Netzwerkanalysators mit zwei Anschlüssen
ermöglicht, wenn differentielle Schaltkreise geprüft werden,
um die Kosten zu verringern und das Einrichten der Messinstrumentierung
zu vereinfachen.
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Kurzbeschreibung der Zeichnungen
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1 ist
eine perspektivische Ansicht eines Teils eines Substrats mit einer
differentiellen Teststruktur.
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2 ist
eine schematische Darstellung eines Systems zum Prüfen
einer differentiellen Teststruktur.
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3 ist
eine perspektivische Ansicht eines Messfühlers mit einer
integrierten Symmetrieschaltung.
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4 ist
eine entlang der Linie A-A genommene Schnittansicht des Messfühlers
aus 3.
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5 ist
eine perspektivische Ansicht eines Messfühlerkopfs und
eines freien Endes eines Koaxialkabels des Messfühlers
aus 3.
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6 ist
eine entlang der Linie B-B genommene Schnittansicht des Messfühlerkopfes
und des freien Endes des Koaxialkabels aus 5.
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7 ist
eine schematische Ansicht von Stromflüssen in einem Koaxialkabel.
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8 ist
eine graphische Darstellung der Induktivität über
die Frequenz für mehrere magnetisch permeable Materialien.
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9 ist
eine perspektivische Ansicht eines Messfühlers mit einer
integrierten Symmetrieschaltung, der eine Vorspannungsverbindung
umfasst.
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10 ist
eine perspektivische Ansicht eines Messfühlerkopfes und
Leiters des Messfühlers aus 9.
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Detaillierte Beschreibung
bevorzugter Ausführungsformen
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Die
Integrität eines Herstellungsprozesses für integrierte
Schaltkreise (IC) wird üblicherweise durch Herstellen mehrerer
Teststrukturen auf einer Halbleiterscheibe getestet, die eine oder
mehrere vermarktbare ICs umfasst. Die Teststrukturen werden die
gleichen Verfahren verwendend hergestellt, die zum Herstellen der
vermarktbaren ICs verwendet werden. Durch Anregen der Teststruktur
mit einem durch ein Testinstrument erzeugten Signal und Aufnehmen
der Antwort der Teststruktur wird auf Eigenschaften der vermarktbaren
ICs geschlossen. Während Teststrukturen typischerweise
einfache Schaltkreise sind, wird erwartet, dass die Antwort in den komplexeren
vermarktbaren ICs eingebauter ähnlicher Vorrichtungen ähnlich
der Antwort der Teststruktur ist, da die Vorrichtungen in den vermarktbaren
ICs und ähnliche Vorrichtungen in den Teststrukturen mit dem
gleichen Verfahren hergestellt sind.
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Im
Detail Bezug nehmend auf die Zeichnungen, in denen ähnliche
Teile durch gleiche Bezugszeichen identifiziert sind, und genauer
auf 1, umfasst eine Teststruktur 40 üblicherweise
mehrere leitende Bonding- oder Messfühleranschlussflächen 32,
die auf der Oberfläche einer Halbleiterscheibe oder einem
Substrat 50 abgelagert sind; eine zu testende Vorrichtung
oder DUT 30, typischerweise einen einfachen Schaltkreis,
der Schaltkreiselemente umfasst, die durch das gleiche Verfahren
und in den gleichen Schichten der Halbleiterscheibe erzeugt worden
sind, wie entsprechende Komponenten der vermarktbaren ICs; und mehrere
leitende Durchgänge 34, welche die Messfühleranschlussflächen
und die Elemente der DUT verbinden. Die beispielhafte Teststruktur 40 umfasst
eine DUT, welche eine differentielle Verstärkungszelle 20 umfasst,
ein herkömmliches Schaltungselement, welches differentielle
Signale verwendet. Differentielles Signalisieren verwendende Schaltkreise
werden zunehmend häufig insbesondere für Anwendungen
höherer Frequenz verwendet. Verglichen mit Vorrichtungen,
welche asymmetrische Signale verwenden, arbeiten differentielles Signalisieren
verwendende oder symmetrische Vorrichtungen üblicherweise
bei niedrigeren Leistungsniveaus, bieten für Binärvorrichtungen
einen schnelleren Zustandsübergang, weisen eine größere
Immunität gegenüber Rauschen und verringerte Anfälligkeit
für elektromagnetisches Koppeln auf, und sind toleranter
gegenüber schlechten Masseverbindungsbedingungen, welche üblicherweise
angetroffen werden, wenn integrierte Schaltkreise bei höheren
Frequenzen betrieben werden.
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Die
beispielhafte differentielle Verstärkungszelle 20 umfasst
zwei im Wesentlichen identische Feldeffekt-(JFET; engl.: junction
field effect transistor)-Transistoren 52A und 52B.
Eine DUT umfasst typischerweise jedoch den in den auf der Halbleiterscheibe
hergestellten vermarktbaren integrierten Schaltkreisen entsprechende
Komponenten und es können andere Arten von Transistoren,
wie Bipolartransistoren (BJT ; engl.: bipolar junction transistor) oder
MOSFET (engl.: metal oxide semiconductor field-effect transistor;
deutsch: Metall-Oxid-Halbleiter-Feldeffecttransistor)-Transistoren
bei der Herstellung einer differentiellen Verstärkungszelle
einer Teststruktur verwendet werden. Außerdem können zusätzliche
aktive oder passive Schaltkreiselemente in der Teststruktur vorgesehen
sein. Die Teststruktur umfasst fünf Messfühleranschlussflächen 150, 152, 154, 156 und 158,
durch welche die Transistoren der DUT vorgespannt sind und durch
welche die zwei Komponenten der differentiellen Eingangs- und Ausgangssignale
zu und von der Teststruktur übertra gen werden. Die Quellenanschlüsse
(engl.: source terminals) der Transistoren der differentiellen Verstärkungszelle
werden als ein Transistorvorspannungsanschluss verbunden, welcher
mit einer Vorspannungsmessfühleranschlussfläche 150 verbunden
ist. Die Gateanschlüsse der Transistoren sind jeweils mit Messfühleranschlussflächen 156, 158 eines
ersten Paares von Signalmessfühleranschlussflächen
verbunden und die Drainanschlüsse der Transistoren sind
jeweils mit den Messfühleranschlussflächen 152, 154 des
zweiten Paars von Signalmessfühleranschlussflächen
verbunden. Ein Eingangssignal im differentiellen Modus, welches
eine Taktmoduskomponente (Si +1)
und eine Gegentaktmoduskomponente (Si –1) mit im Wesentlichen der gleichen
Amplitude aber der entgegengesetzten Phase der Taktmoduskomponente
wird an ein Paar von Signalmessfühleranschlussflächen
angelegt, z. B. die Messfühleranschlussflächen 156 und 158,
was die differentielle Verstärkungszelle dazu bringt, von
den Messfühleranschlussflächen 152 und 154 des
anderen Paares von Signalmessfühleranschlussflächen
ein Ausgabesignal im differentiellen Modus mit einer Taktmoduskomponente
(So +1) und einer
Gegentaktmoduskomponente (So +1)
auszugeben. Umgekehrt kann die DUT durch Einspeisen der Eingangssignalkomponenten in
die Messfühleranschlussflächen 152 und 154 und Beziehen
der Ausgabesignale von den Messfühleranschlussflächen 156 und 158 getestet
werden.
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Während
das Verwenden von differentiellen Signalen eine Anzahl von Vorteilen
mit sich bringt, kann das Testen von Schaltkreisen unter Verwendung
differentieller Signale komplizierter sein als Schaltkreise unter
Verwendung von asymmetrischen Signalen zu testen, da die beim Testen
auf einer Halbleiterscheibe verwendete Testinstrumentierung üblicherweise
nur asymmetrische Signale überträgt und empfängt.
Ein Netzwerkanalysator mit vier Anschlüssen kann differentielle
Signale ausgeben, was direkt eine Mischmodusanalyse von differentiellen Teststrukturen
erlaubt, Netzwerkanalysatoren mit vier Anschlüssen sind
jedoch verhältnismäßig selten und teuer.
Netzwerkanalysatoren mit zwei Anschlüssen sind weiter verbreitet
und günstiger und werden üblicherweise zum Testen
von differentiellen Vorrichtungen verwendet, aber die durch den
Netzwerkanalysator ausgegebenen asymmetrischen Signale müssen
in differentielle Signale für eine Eingabe in eine differentielle
Teststruktur umgewandelt werden, und die differentiellen Ausgabesignale
der Teststruktur müssen in asymmetrische Signale zur Eingabe
in die Signalsenke des Netzwerkanalysators umgewandelt werden.
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Bezug
nehmend auf 2 umfasst ein Netzwerkanalysator 100 mit
zwei Anschlüssen eine Signalquelle 102, welche
ein asymmetrisches Signal ausgibt und eine Signalsenke 104,
welche ein von der DUT 30 einer Teststruktur übertragenes
asymmetrisches Signal empfängt. Der Netzwerkanalysator
umfasst außerdem einen Vorwärts/Umkehr-Schalter 106,
der es ermöglicht, die Verbindungen zu der Quelle und der
Senke umzukehren, so dass die Eingangssignale empfangenden und Ausgangssignale übertragenden
Anschlüsse der DUT umgekehrt werden können. Zum
Beispiel nehmen die Messfühleranschlussflächen 156, 158 die
differentiellen Eingabesignalkomponenten (Si +1 und Si –1) auf und die Ausgabesignalkomponenten
(So +1 und So –1) werden
von dem Messfühleranschlussflächen 152 und 154 übertragen,
wenn der Vorwärts/Umkehr-Schalter sich in der dargestellten
Stellung befindet. Wenn der Vorwärts/Umkehr-Schalter in
die zweite Stellung gebracht wird, wird das Eingabesignal an die
Messfühleranschlussflächen 152 und 154 angelegt,
und das Ausgabesignal wird von den Messfühleranschlussflächen 156 und 158 übertragen.
Das asymmetrische Ausgabesignal von der Quelle des Netzwerkanalysators
wird typischerweise durch eine Symmetrieschaltung in ein symmetrisches
oder differentielles Signal umgewandelt, welches differentielle Komponenten
mit im Wesentlichen der gleichen Amplitude aber entgegengesetzter
Phase aufweist. Ähnlich wandelt eine Symmetrieschaltung
das differentielle Ausgabesignal der differentiellen DUT in ein asymmetrisches
Signal zum Bearbeiten und Anzeigen durch die Signalsenke des Netzwerkanalysators mit
zwei Anschlüssen um.
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Das
asymmetrische Ausgabesignal des Netzwerkanalysators kann einen Gleichspannungsversatz
aufweisen. Wenn die der Fall ist und der Vorwärts/Umkehr-Schalter
sich in der dargestellten Stellung befindet, wird das Ausgabesignal
in herkömmlicher Weise zu einer Vorspannungsverzweigung 108 geleitet,
welche einen Kondensator 110 in Reihe mit einem Hochfrequenz-(HF)-Anschluss 112 und
eine Induktivität 114 in Reihe mit einem Gleichstromanschluss 116 umfasst.
Der Kondensator blockiert die Übertragung der Gleichstromkomponente
des Netzwerkanalysatorsignals von dem HF-Anschluss, aber erlaubt
die Übertragung der modulierten Signalkomponente von dem
HF-Anschluss. Andererseits blockiert die Induktion die Übertragung
der modulierten Signalkomponente von dem Gleichstromanschluss, aber
erlaubt die Übertragung des Gleichstromanteils des Signals.
Der Gleichstromanschluss der Vorspannungsverzweigung 108 ist durch
die Vorspannungsmessfühlerspitze 140 mit der Vorspannungsmessfühleranschlussfläche 150 einer Teststruktur
verbunden, was das Vorspannen der Transistoren einer differentiellen
Zelle mit der Gleichstromkomponente eines durch den Netzwerkanalysator übertragenen
Signals ermöglicht. Eine dritte Vorspannungsverzweigung 124 und
eine vierte Vorspannungsverzweigung 126 verhindern die
Leitung des Gleichstromvorspannungssignals zu der Signalsenke des
Netzwerkanalysators.
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Die
modulierte Komponente der Netzwerkanalysatorausgabe wird von dem
HF-Anschluss der Vorspannungsverzweigung zu einer Symmetrieschaltung 120 geleitet,
welche das asymmetrische Signal in ein differentielles Signal mit
zwei Komponenten mit im Wesentlichen gleicher Amplitude und entgegengesetzter
Phase umwandelt. Die differentiellen Eingabesignalkomponenten, Si +1 und Si –1, werden
zugehörigen Messfühlerspitzen 146, 148 zugeführt,
typischerweise über Koaxialkabel, welche die Symmetrieschaltung
und die Messfühlerspitzen verbinden. Die Messfühlerspitzen 146, 148 des
bewegbaren Messfühlers 42 sind derart angeordnet,
dass sie sich bei den zugehörigen Signalmessfühleranschlussflächen 156, 158 befinden
können, welche mit der DUT 30 einer Teststruktur
verbunden sind.
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In
Antwort auf das differentielle Eingabesignal gibt die differentielle
Verstärkungszelle der DUT zwei differentielle Ausgabesignalkomponenten
(So +1 und So –1) aus.
Die differentiellen Ausgabesignalkomponenten werden von zugehörigen
Messfühleranschlussflächen 152, 154 der
Teststruktur zu zugehörigen Messfühlerspitzen 142, 144 geleitet.
Die Messfühlerspitzen sind typischerweise durch ein Koaxialkabel
mit einer zweiten Symmetrieschaltung 122 verbunden, welche
die differentiellen Signale in ein asymmetrisches Signal umwandelt.
Das modulierte asymmetrische Signal wird zu der Signalsenke 104 des
Netzwerkanalysators übertragen.
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Wenn
der Vorwärts/Umkehr-Schalter in die zweite Stellung bewegt
wird, wird die asymmetrische Ausgabe des Netzwerkanalysators durch
eine zweite Vorspannungsverzweigung 128, welche die Gleichstromkomponente
von dem modulierten Teil des Signals separiert, zu der zweiten Symmetrieschaltung 122 geleitet,
was Vorspannen der DUT ermöglicht. Die zweite Symmetrieschaltung 122 wandelt
den modulierten Teil der asymmetrischen Ausgabe des Netzwerkanalysators
in die differentiellen Eingabesignalkomponenten um, welche durch
die Messfühlerspitzen 142, 144 und Messfühleranschlussflächen 152 und 154 zu
der DUT geleitet werden. Die Ausgabe der DUT wird zu den Messfühleranschlussflächen 156 und 158 und
nachfolgend zu den Messfühlerspitzen 146 und 148 geleitet.
Die differentiellen Ausgabesignalkomponenten werden in der ersten
Symmetrieschaltung 120 in ein asymmetrisches Signal umgewandelt,
und das asymmetrische Signal wird durch die erste 108 und
vierte 124 Vorspannungsverzweigung zu der Signalsenke des
Netzwerkanalysators übertragen.
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Symmetrieschaltungen
werden üblicherweise dazu verwendet, die durch Netzwerkanalysatoren mit
zwei Anschlüssen übertragenen asymmetrischen Signale
in differentielle Signale umzuwandeln und umgekehrt. Symmetrieschaltungen
sind typischerweise teuer, da sie einen Transformator mit einer asymmetrischen
(engl: unbalanced) Verbindung zu einer der Wicklungen und einer
symmetrischen Verbindung zu der anderen Wicklung aufweisen. Die Symmetrieschaltungen
sind typischerweise von dem Messfühler getrennt und mit
dem Messfühler mit einem Koaxialkabel verbunden, da die
Symmetrieschaltung verglichen zu einem Messfühler verhältnismäßig
groß ist. Der vorliegende Erfinder realisierte dass dann,
wenn eine Symmetrieschaltung, und vorzugsweise eine günstige
Symmetrieschaltung, in den Messfühler eingebaut werden
könnte, das Einrichten der Instrumentierung wesentlich
vereinfacht werden könnte, was die Zeitdauer und Kosten
des Testens von Halbleiterscheiben verringert.
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Bezug
nehmend auf 3 und 4 umfasst
der Messfühler 200 mit integraler Symmetrieschaltung
einen Lagerblock 202, der für eine Verbindung
zu einem bewegbaren Messfühlerlagerelement 204 einer
Messfühlerstation geeignet konstruiert ist. Zum Beispiel
umfasst der Lagerblock eine Öffnung 206 für
ein Eingreifen durch einen eng sitzenden Ausrichtungsstift 208,
der vertikal von dem Messfühlerlagerelement vorsteht. Darüber
hinaus umfasst der Lagerblock ein Paar von entgegengesetzt versenkten Öffnungen 210,
um ein Paar von Befestigungsschrauben 212 aufzunehmen,
welche dazu angeordnet sind, mit Gewindelöchern in dem Messfühlerlagerelement
einzugreifen und den Messfühler an dem Messfühlerlagerelement
zu befestigen.
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Der
Messfühler umfasst einen Eingangsanschluss 214,
welcher in der dargestellten Ausführungsform einen K-Verbinder
vom Zündkerzentyp umfasst. Dieser Verbinder ermöglicht
das externe Verbinden eines gewöhnlichen Koaxialkabels,
was es erlaubt, einen gut abgeschirmten Hochfrequenzübertragungskanal
zwischen dem Messfühler und dem Netzwerkanalysator oder
anderer Testinstrumentierung einzurichten. Wenn gewünscht,
können andere Arten von Verbindern verwendet werden, wie ein
2,4 mm Verbinder, ein 1,85 mm Verbinder oder ein 1 mm Verbinder.
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In
der dargestellten Ausführungsform ist ein halbsteifes Koaxialkabel 216 an
seinem hinteren Ende mit dem K-Verbinder verbunden, welches den Anschluss
des Messfühlers darstellt. Auch bezugnehmend auf 5 und 6 umfasst
das Koaxialkabel 216 vorzugsweise einen länglichen,
röhrenartigen äußeren Leiter 218 mit
einer äußeren Oberfläche 220 und
einer inneren Oberfläche 222, einen innerhalb
und koaxial mit der inneren Oberfläche des äußeren
Leiters angeordneten inneren Leiter und ein inneres Dielektrikum 226,
welches den inneren Leiter von der inneren Oberfläche des äußeren
Leiters über eine Länge des inneren Leiters trennt.
Vorzugsweise ist das Koaxialkabel ein Kabel eines phasenstabilen Typs
mit niedrigem Verlust. Das Koaxial kabel kann auf ähnliche
Art andere Schichten von Materialien umfassen, wie gewünscht,
und umfasst in üblicher Weise ein die äußere
Oberfläche des äußeren Leiters umgebendes äußeres
Dielektrikum 228. Um das hintere Ende des Koaxialkabels
für eine Verbindung mit dem K-Verbinder vorzubereiten,
wird das hintere Ende abgestreift, um den inneren Leiter freizulegen und
dieser innere Leiter wird zeitweise innerhalb eines Hilfsverbinders
gehalten, während der benachbarte äußere
Leiter innerhalb einer in dem Hauptlagerblock ausgebildeten Bohrung 230 gelötet
wird. Eine Vertiefung 232 in dem Lagerblock unterhalb dieser
Bohrung bietet einen Zugang, um den Lötvorgang zu erleichtern.
Der Hilfsverbinder wird dann entfernt und der K-Verbinder wird in
eine in dem Block oberhalb der Bohrung gebildete Gewindeöffnung
geschraubt, um eine elektrische Verbindung zwischen dem Verbinder
und dem Koaxialkabel hervorzurufen. Um eine sichere physikalische
Verbindung sicherzustellen, kann auf die Gewinde des K-Verbinders
vor dessen Einbau eine Gewindeverriegelungsverbindung angewendet
werden.
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Das
vordere Ende des Koaxialkabels verbleibt frei aufgehängt
und in diesem Zustand dient es als eine bewegliche Lagerung für
einen Messfühlerkopf 240 des Messfühlers.
Bevor sie mit dem K-Verbinder verbunden werden, werden die Kabel
auf die gezeigte Art entlang erster und zweiter Mittelabschnitte
gebogen, so dass in dem Kabel eine allgemein nach oben gekrümmte
90 Grad-Biegung und eine nach unten gekrümmte Biegung geformt
sind.
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Der
Messfühlerkopf
240 kann von einem der vielen Arten
von Messfühlerköpfen sein, die zum Testen integrierter
Schaltungen und anderer mikroelektronischer Vorrichtungen entwickelt
wurden. Godshalk et al.,
U.S.
Patent Nr. 5,506,515 ; Burr et al.,
U.S. Patent Nr. 5,565,788 ; und Gleason
et al.,
U.S. Patent Nr. 6,815,963 ;
angemeldet auf Cascade Microtech Inc. und hierin durch Bezugnahme
eingeschlossen, offenbaren eine Anzahl von Messfühlerköpfen,
die mit dem Messfühler mit integrierter Symmetrieschaltung
verwendet werden können. In einer bevorzugten Ausführungsform
umfasst der Messfühler
200 einen Messfühlerkopf
im Mikrostreifenstil, welcher ein dielektrisches Blatt
242 mit
allgemein ebenen oberen und unteren Oberflächen umfasst,
das an dem vorderen Ende des Koaxialkabels befestigt ist. Die Unterseite
des Kabels ist weggeschnitten, um eine Ablagefläche
244 zu
bilden, und das dielektrische Blatt ist an der Ablagefläche
befestigt. Alternativ kann das dielektrische Blatt durch eine nach
oben gerichtete Ablagefläche gelagert sein, die von dem
Kabel weggeschnitten ist, oder durch das Ende des Kabels ohne eine
Ablagefläche. Das dielektrische Blatt kann eine flexible
Membran oder eine Platte aus einem steiferen dielektrischen Material
umfassen.
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Ein
Paar von leitenden Signalspuren sind durch die obere Oberfläche
des dielektrischen Blattes gelagert. Die leitenden Spuren können
auf der oberen Oberfläche des dielektrischen Blattes irgendeine
Technik verwendend abgelagert sein, oder anderweitig daran befestigt
sein. Eine erste leitende Signalspur 246 ist elektrisch
mit dem inneren Leiter 224 des Koaxialkabels verbunden,
und eine zweite leitende Signalspur 248 ist elektrisch
mit dem äußeren Leiter 218 des Koaxialkabels
verbunden. Die jeweiligen Leitungsspuren 246, 248 leiten
normalerweise die Komponenten der differentiellen Eingabe- oder
Ausgabesignale zu oder von der DUT. Andere Schichten über,
unter und/oder zwischen der leitenden Spur bzw. den leitenden Spuren
und dem dielektrischen Blatt können umfasst sein, falls
dies gewünscht ist.
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Durch
das dielektrische Blatt hindurchgehende leitende Durchgänge 250 ermöglichen
die Übertragung von dem Signalpfad von den leitenden Spuren
an der oberen Fläche des Blattes zu der unteren Oberfläche
des Blattes. Der leitende Durchgang bietet einen Pfad von einer
Seite des Blattes zu der anderen Seite, der für zumindest
ein Großteil der Dicke des Blattes frei von einer Luftlücke
zwischen dem Durchgang und dem Dielektrikum ist und die Kapazität
des Signalpfades verglichen mit einem sich über das Ende
des dielektrischen Blattes erstreckenden leitenden Finger beträchtlich
verringert.
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Die
untere Oberfläche des dielektrischen Blattes umfasst mehrere
Kontakthöcker oder Messfühlerspitzen 252, 254,
die jeweils elektrisch mit den sich von den zugehörigen
leitenden Spuren an der oberen Oberfläche des dielektrischen
Blattes erstreckenden Durchgängen verbunden sind. Die Messfühlerspitzen
sind vorzugsweise derart angeordnet, dass die Schwerpunkte ihrer
unteren Enden im Wesentlichen ausgerichtet sind und im Allgemeinen
zu der vorderen Kante des Messfühlerkopfs parallel sind.
Die Messfühlerspitzen sind räumlich derart zueinander
benachbart angeordnet, dass sie bei zugehörigen Messfühleranschlussflächen
angeordnet werden können, welche Signale für die
zu prüfende Teststruktur leiten. Es ist zu verstehen, dass
die Messfühlerspitzen jede geeignete Form annehmen können,
wie einen Höcker, eine Struktur mit Muster, oder einen
länglichen Leiter.
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Eine
integrale Symmetrieschaltung 260, die eine Hülle
aus magnetisch permeablem Material umfasst, umgibt im Wesentlichen
eine Länge der äußeren Oberfläche
des äußeren Leiters 218 des die Messfühlerspitzen 250 und
den Anschluss 214 des Messfühlers verbindenden
Koaxialkabels 216. Bezug nehmend auf 7 umfasst
ein Koaxialkabel typischerweise zwei Leiter, einen länglichen,
röhrenförmigen äußeren Leiter 312 mit
einer inneren Oberfläche und einer äußeren
Oberfläche und einen inneren Leiter 310, der innerhalb
der durch die innere Oberfläche des äußeren
Leiters definierten Öffnung angeordnet ist und durch ein
Dielektrikum von dem äußeren Leiter getrennt ist.
Als ein Ergebnis der Stromverdrängung (engl.: skin effect),
umfassen die zwei Leiter des Koaxialkabels drei leitende Pfade:
den inneren Leiter, die innere Oberfläche des äußeren
Leiters und die äußere Oberfläche des äußeren
Leiters. Wenn ein asymmetrisches Signal zu oder von einer Quelle 304 über
ein Koaxialkabel übertragen wird, ist einer der Leiter,
typischerweise der äußere Leiter, mit Masse 302 verbunden,
und das Signal 306 wird über den zweiten Leiter übertragen,
typischerweise den inneren Leiter. Da die durch das in dem inneren
Leiter fließende Signal erzeugten elektrischen und magnetischen
Felder auf den die inneren und äußeren Leiter
trennenden Raum beschränkt sind, wird an der inneren Oberfläche
des äußeren Leiters ein Strom 308 fließen,
der in der Größe dem Signal gleich ist, aber in
der entgegengesetzten Richtung fließt. An dem zweiten Ende
des äußeren Leiters wird ein erster Teil 318 dieses
an der inneren Oberfläche des äußeren Leiters
fließenden Stromes auf die Last 316 übertragen,
und abhängig von den Impedanzverhältnissen, wird
ein zweiter Teil des Stroms, ein Ungleichgewichtsstrom (engl.: unbalance
current) 320, an der äußeren Oberfläche
des äußeren Leiters zurück zu Masse fließen
oder von dem äußeren Leiter abgestrahlt werden.
Die Symmetrieschaltung, die magnetisch permeable Hülle 260,
wirkt als eine Induktivität 322 in dem leitenden
Pfad, welcher die äußere Oberfläche des äußeren
Leiters umfasst, um den Strom des Ungleichgewichtsstrom auf der äußeren
Oberfläche des äußeren Leiters zu beeinträchtigen
und im Wesentlichen zu blockieren. Als ein Ergebnis werden zwischen
den inneren und äußeren Leitern des Koaxialkabels
und den Anschlüssen 324, 326 der Last 316,
welche die Senken für die Komponenten des differentiellen
Signals darstellen, gleiche und entgegengesetzte differentielle
Signale geleitet, welche das Signal 306 und den Strom 308/318 umfassen.
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Ähnlich
blockiert dann, wenn gleiche und entgegengesetzte differentielle
Signale von dem Paar Anschlüsse 324, 326 der
Last zu den inneren und äußeren Leitern des Koaxialkabels
gespeist werden, die in den leitenden Pfad an der äußeren
Oberfläche des äußeren Leiters durch
die magnetisch permeable Hülle eingeführte Impedanz
im Wesentlichen einen Stromfluss über die äußere
Oberfläche des äußeren Leiters, wodurch
die Signale auf den inneren Leiter und die innere Oberfläche
des äußeren Leiters beschränkt werden,
sogar obwohl der äußere Leiter an dem entgegengesetzten
Ende des Kabels geerdet 302 ist, und ein asymmetrisches
Signal zu der Senke 304 geleitet wird.
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Die
magnetisch permeable Hüllen-Symmetrieschaltung 260 umfasst
mehrere magnetisch permeable Schläuche oder Leisten 262,
die Ende an Ende entlang einer Länge des Koaxialkabels 216 angeordnet
ist. Die Leisten umfassen typischerweise Ferrit-Toroide, die im
Wesentlichen die äußere Oberfläche des
Koaxialkabels umfassen, aber die Leisten können eine oder
mehrere nicht-kontinuierliche Abschnitte aufweisen, die entlang
des Umfangs des Kabels angeordnet sind. Ferrite sind typischerweise
keramische ferromagnetische Materialien. Die Zutaten werden gemischt,
gebrannt, zerstossen oder zerkleinert und unter Druck gesetzt oder
extrudiert und gebrannt, um ihre Endform auszubilden. Ferrite können Seltene
Erden wie Kobalt umfassen, aber die herkömmlichsten Ferrite
umfassen etwa 50% Eisenoxid. Die Balance der Materialien bestimmt
den Gütegrad des fertigen Ferrits und umfasst üblicherweise
eine Mixtur von Mangan oder Nickel und Zink oder Zinkoxid. Die magnetische
Permeabilität von Ferriten ist durch Variieren der Zusammensetzung
und des Verfahrens zum Herstellen des Ferrits variierbar. Bezug nehmend
auf 8 hängt die durch eine Ferritleiste produzierte
Induktivität mit der magnetischen Permeabilität
des Ferrits zusammen und variiert mit der Frequenz. Um einen über
einen weiten Frequenzbereich nützlichen Messfühler
bereitzustellen, umfasst eine bevorzugte Ausführungsform
der magnetisch permeablen Hüllen-Symmetrieschaltung mehrere
Leisten, welche mehrere unterschiedliche Ferritmaterialien 352, 354, 354 umfassen,
die derart angeordnet sind, dass die magnetische Permeabilität
der Leisten zunehmend höher ist, wenn der Abstand von der
Messfühlerspitze sich erhöht. Darüber
hinaus ist die Induktivität der magnetischen Hüllen-Symmetrieschaltung bei
Intervallen von einem Viertel der Wellenlänge des abgeschwächten
Signals maximiert. In einer bevorzugten Ausführungsform
ist der Abstand L, 272, zwischen den Messfühlerspitzen 254 und
dem den Messfühlerspitzen am nächsten liegenden
Ende der magnetischen Hülle geringer als die Hälfte
der Wellenlänge der höchsten durch den Messfühler
zu messenden Frequenz und ist vorzugsweise geringer als 35% und
größer als 15% der Wellenlänge der höchsten
Frequenz, und ist sogar noch bevorzugter etwa ein Viertel der Wellenlänge
der höchsten zu messenden Frequenz. Ähnlich ist
es vorzuziehen, dass der Abstand von den Messfühlerspitzen
zu einem Teil der Symmetrieschaltung, welche ein Ferrit aufweist,
das eine maximale Induktivität bei einer bestimmten Frequenz
aufweist, etwa ein Viertel der Wellenlänge der Frequenz
beträgt, bei welcher die Induktivität für
das Ferrit maximiert ist.
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Obwohl
die Symmetrieschaltung im Wesentlichen den Ungleichgewichtsstrom
blockiert, der auf der äußeren Fläche
des äußeren Leiters fließen könnte,
kann in dem äußeren Leiter als ein Ergebnis des
Vorhandenseins des Leiters in den Strahlungsfeldern der Messfühleranschlussflächen
Strom induziert werden. Um das Induzieren von Strom durch das Strahlungsfeld
zu verringern, kann das vorstehende Ende des Koaxialkabels verschiebbar
in eine Röhre 270 eingefügt sein, welche
ein halbflexibles Mikrowellen absorbierendes Material umfasst. Ein Material,
das zum Bilden der Röhre verwendet wird, umfasst Eisen
und Urethan. Die halbflexible Röhre aus Mikrowellen absorbierendem
Material dient dazu, im Wesentlichen die Niveaus induzierter Mikrowellenenergie
zu verringern, die sich entlang des äußeren Leiters
des Kabels bewegen kann.
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Bezug
nehmend auf 9 und 10 umfasst
eine zusätzliche Ausführungsform des Messfühlers 400 mit
integrierter Symmetrieschaltung eine zum Vorspannen der DUT verbindbare
dritte Messfühlerspitze 402. Der Lagerblock 402 umfasst
einen zusätzlichen Eingangsanschluss 404, welcher
in der dargestellten Ausführungsform einen K-Verbinder vom
Zündkerzentyp umfasst, was eine Verbindung der Gleichstromvorspannung
von dem Netzwerkanalysator erlaubt. In der dargestellten Ausführungsform ist
ein Kabel 406 an seinem hinteren Ende mit dem zweiten Anschluss
des Messfühlers verbunden und erstreckt sich von dem Lagerblock
zu dem Messfühlerkopf 408.
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Der
Messfühler 408 umfasst ein dielektrisches Blatt 410 und
weist im Allgemeinen ebene obere und untere Oberflächen
auf und ist an dem vorderen Ende des Koaxialkabels 216 befestigt.
Eine erste leitende Signalspur 246 ist elektrisch mit dem
inneren Leiter 224 des Koaxialkabels verbunden und eine zweite
leitende Signalspur 248 ist elektrisch mit dem äußeren
Leiter 218 des Koaxialkabels verbunden. Die zugehörigen
leitenden Spuren leiten die Komponenten der differentiellen Eingabe-
oder -Ausgabesignale zu oder von der DUT. Leitende Durchgänge
erstrecken sich durch das dielektrische Blatt, was Übertragung
des Signalpfads von den leitenden Spuren an der oberen Oberfläche
des Blatts zu der unteren Oberfläche des Blatts zu den
Kontakthöckern oder Messfühlerspitzen 252, 254 ermöglicht.
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Der
Leiter 414 des Kabels 406 ist leitend an einem
Durchgang 416 befestigt, der sich von dem Boden des dielektrischen
Blattes zu dessen oberer Oberfläche erstreckt. Eine an
der unteren Oberfläche des dielektrischen Blattes befestigte
leitende Spur 412 verbindet den Durchgang mit einer zentral
angeordneten Messfühlerspitze 420. Die leitende
Schicht kann, falls gewünscht, im Wesentlichen die gesamte untere
Oberfläche des dielektrischen Blattes mit Ausnahme von
Abstandsflächen um die Signalmessfühlerspitzen 252 und 254 herum
abdecken.
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Der
Messfühler mit integrierter Symmetrieschaltung ermöglicht
es, dass ein Netzwerkanalysator mit zwei Anschlüssen ohne
teure externe Symmetrieschaltungen beim Testen integrierter Schaltungen
und anderer mikroelektronischer Vorrichtung mit differentiellen
Signalen verwendet wird.
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Die
obige detaillierte Beschreibung stellt zahlreiche spezifische Details
dar, um ein vollständiges Verstehen der vorliegenden Erfindung
zu bieten. Fachleute werden jedoch erkennen, dass die vorliegende
Erfindung ohne diese spezifischen Details ausgeführt werden
kann. In anderen Fällen wurden gut bekannte Verfahren,
Prozeduren, Komponenten und Schaltungen nicht detailliert beschrieben,
um ein Verschleiern der vorliegenden Erfindung zu vermeiden.
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Die
obige detaillierte Beschreibung stellt zahlreiche spezifische Details
dar, um ein vollständiges Verstehen der vorliegenden Erfindung
zu bieten. Fachleute werden jedoch erkennen, dass die vorliegende
Erfindung ohne diese spezifischen Details ausgeführt werden
kann. In anderen Fällen wurden gut bekannte Verfahren,
Prozeduren, Komponenten und Schaltungen nicht detailliert beschrieben,
um ein Verschleiern der vorliegenden Erfindung zu vermeiden.
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Alle
hierin zitierten Referenzen werden durch Bezugnahme mit eingeschlossen.
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Die
in der voranstehenden Beschreibung verwendeten Begriffe und Ausdrücke
sind als Begriffe zur Beschreibung und nicht zur Beschränkung
verwendet, und es besteht beim Verwenden derartiger Begriffe und
Ausdrücke keinerlei Absicht, Äquivalente der gezeigten
und beschriebenen Merkmale oder Teile davon auszuschließen,
da anerkannt wird, dass der Rahmen der Erfindung für durch
die folgenden Ansprüche definiert und beschränkt
ist.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
-
Zitierte Patentliteratur
-
- - US 5506515 [0038]
- - US 5565788 [0038]
- - US 6815963 [0038]