DE2103371C2 - Anordnung zum Transportieren von Halbleiterplättchen oder von sonstigen Kleinartikeln in einer Luftkissengleitbahn - Google Patents

Description

3. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß dem Ventiimagneten (52) ein Verzögerungsglied oder ein Zeitgeber (62) vorgeschaltet ist, um die Einstellbewegung des Steuerventils (30) aus der Sperrlage in den Zustand der Kopplung des Halteorgans (26) mit der Unterdruckquelle zu verzögern.

4. Anordnung nach Anspruch 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Unterdruckschalter (36) durch einen membrangekoppelten Schaltstift (46) im Falle eines Differenzdruckf; normalerweise offene Kontakte schließt, an welche mit einer Stromquelle auch der Ventilmagnet (52) des Steuerventils (30) angeschlossen ist.

5. Anordnung nach Anspruch 3 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Zeitgeber (62) derart eingestellt ist, daß das Steuerventil (30) so lange in seiner Sperrstellung bleibt, bis das Halbleiterplättchen (22) auf der Luftbssengleitbahn (10) die Haltestelle vollständig nach der Freigabe der Artikelarretierung verlassen hat.

6. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Transportpfad zusätzlich ein säulenartiges Drehgestell (74) eingefügt ist, welches eine Fluidkammer (80) sowie einen axialen Zuführungskanal (84) und ein poröses, planes Abschlußteil (02) enthält, das mit der äußeren Oberfläche (20) der porösen Oberfläche (16) der Luftkissengleitbahn (10) fluchtet, daß die Achse des Drehgestells (74) parallel zur Achse des Halteorgans (2) liegt, und daß der Arbeitsraum des Drehgestells (74) über ein Schaltmagnetventil (88), dessen Magnetspule (98) vom Unterdruckschalter (36) schaltbar ist, an eine Luftleitung (94) oder an eine Unterdruckquelle (76) anschließbar ist.

7. Anordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnetspule (98) des dem Drehgestell (74) zugeordneten Schaltmagnetventils (88) ein Zeitgeber (106) vorgeschaltet ist

8. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß in Abständen verteilt, mehrere Halteorgane (26„ 26', 26", 26"') in die poröse Oberfläche (16) der Luftkissengleitbahn (10) eingebaut sind.

10 Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zum Transportieren von Halbleiterplättchen oder von sonstigen Kleinartikeln in einer mit mindestens einer Stoppstelle besetzten Luftkissengleitbahn, die an der Stoppstelle ein Halteorgan zum Abbremsen mittels Saugzuges quer zur Transportrichtung des vom Luftkissen getragenen Halbleiterplättchens oder sonstigen Kleinartikels enthält, wobei der Saugzug jedesmal in der Offenstellung eines Steuerventils vorhanden ist.

Anordnungen nach diesem Gattungsbegriff sind bereits bekanntgeworden. Hierzu sei auf die amerikanischen Patentschriften 34 08 113 und 28 05 898 hingewiesen. Eine Anordnung zum Transportieren und Positionieren von Halbleiterplättchen in einer Luftkissengleit-

bahn betrifft auch das ältere, aber nicht vorveröffentlichte deutsche Patent 20 36 337. Diese Anordnung besieht aus einer in Längsrichtung verlaufenden Führungsbahn mit seitlichen Einfassungen, in die durch im Boden angeordnete Öffnungen ein flüssiges oder ein

gasförmiges Medium zum Tragen und Transportieren der Werkstücke gepreßt wird. Entlang der Luftkissengleitbahn ist mindestens ein Unterdruckhaiteorgan vorgesehen. Öffnet man daher ein Steuerventil, so entsteht in Bremskanälen ein Saugzug, der eine weitere

Fortbewegung des jeweiligen Halbleiterplättchens verhindert

Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe besteht in Maßnahmen zum momentanen Halten und zum rutomatischen Freigeben des Halbleiterplättchens

bzw. Kleinartikel, wenn sich dieses längs der Luftkissengleitbahn unter der Eigensteuerung des Halbleiterplättchens bzw. Kleinartikels bewegt, um bei mehreren Halbleiterplättchen bzw. Kleinartikeln einen genauen gegenseitigen Abstand dieser Halbleiterplättchen bzw.

Kleinartikel längs der Bewegungsbahn aufrechtzuerhalten, wenn die Bewegung unter dem Einfluß der Schwerkraft erfolgt.

Bei einer Anordnung zum Transportieren von Halbleiterplättchen oder von sonstigen Kleinartikeln

der eingangs angegebenen Art wird die Aufgabe erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Luftkissengleitbahn eine poröse Oberfläche und ein Gefälle zur Ausnutzung der Schwerkraft für die Fortbewegung aufweist, und daß das Steuerventil zur Einschaltung des

Saugzuges durch einen an die Saugöffnung angeschlossenen Unterdruckschalter automatisch betätigt werden kann.

Wenn der sich bewegende Artikel über dem Halteorgan liegt, gibt es eine Zunahme des Unterdrucks

im Halteorgan. Die Erfindung ermöglicht ein automatisches Ansprechen auf die Zunahme des Unterdrucks zwecks Reduzierung des angewendeten Saugzuges, womit der Artikel freigegeben wird, so daß die Bewegung des Artikels nach der Reduktion des

Saugzuges weiterlaufen kann.

Der Transportpfad enthält eine schräg verlaufende poröse Oberfläche, welcher ein Überdruck zur Erstellung eines Luftkissens aufgeprägt wird, so daß diese Luftkissen eine Reihe von nacheinander sich längs bewegender Halbleiterplättchen tragen kann.

Die Halteorgane bestehen aus endseitig offenen Saugzugröhren, die auf dem Transportpfad der Halbleiterplättchen benachbart positioniert sind. Jede Saugzugröhre ist mit einer Unterdruckquelle über ein

solenoidbetätigtes Steuerventil verbunden, das auf einen Unterdruckschalter ansprechempfindlich ist

Der Unterdruckschalter steuert das Steuerventil, wenn ein Halbleiterplättchen über der Saugzugröhre

liegt. Die plötzliche Druckerhöhung in der Saugzugröhre wirkt sich auf das Steuerventil derart aus, daß die Saugzugröhre von der Unterdruckquelle abgeschaltet und die Saugzugröhre zur Atmosphäre geöffnet wird. Unter Verwendung eines Zeitgebers oder eines anderen Verzögerungsorgans kann das Steuerventil in seinen Ursprungszustand zurückkehren, in webhem die Saugzugröhre mit der Unterdruckquelle zum Halbleiterplättchen gekoppelt wird, wobei dieses von der Saugzugröhre freikommt und seinen Lauf längs des Transportp'ades unter dem Einfluß der Schwere fortsetzen kann.

Bei einer alternativen Ausführungsform der Erfindung bildet ein säulenartiges Drehgestell einen Teil der porösen Luftkissengleitbahn-Oberfläche. Dieses säulenartige Drehgestell wird dem Überdruck ausgesetzt Das säulenartige Drehgestell ist vorzugsweise neben einer Saugzugröhre angeordnet

Der Unterdruckschalter betätigt ein Schahmagnetventil, um den Oberdruck in Unterdruck zu ändern, womit das Halbleiterplättchen am säulenartigen Drehgestell für eine Zeitdauer angehalten wird und womit gleichzeitig der Unterdruck in der Unterdruckröhre freigegeben wird.

Danach ändern sich der Unterdruck im säulenartigen Drehgestell wieder zu einem Überdruck. Das Halbleiterplättchen setzt seinen Lauf längs des Transportpfades auf der Luftkissengleitbahn unter der Wirkung der Gravitation fort. Zum Schluß wird der Unterdruck wieder auf die Saugzugröhre gegeben.

Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung sind längs der porösen Oberfläche der Luftkissengleitbahn an getrennten Stellen längs des Transportpfad^s des Halbleiterplättchens mehrere Saugzugröhren bzw. Unterdruckröhren vorgesehen. Beim Überstreichen des offenen Endes der Saugzugröhre wird ein Halbleiterplättchen durch die Zunahme des Unterdrucks innerhalb der Saugzugröhre gestoppt.

Beim Erreichen der zweiten Saugzugröhre wird das Halbleiterplättchen in dieser Position gehalten, bis ein nachfolgendes Halbleiterplättchen auftritt, worauf das zweite Halbleiterplättchen eine Zunahme im Unterdruck in der ersten Saugzugröhre herbeiführt. Dies führt wieder zum sofortigen Abtrennen des Unterdrucks bei allen Saugzugröhren, so daß sich das erste und das zweite Halbleiterplättchen zur nächstfolgenden Stoppstelle weiter bewegen können.

Diese nächsten Stoppstellen sind durch das zweite und durch das dritte Saugzugrohr in Richtung stromabwärts definiert.

Die Erfindung sei nachstehend anhand der schematisehen Zeichnungen für einige beispielsweise und bevorzugte Ausführungsformen näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer HaIbleiterplättchen-Luftkissengleitbahn, die eine stlbstgesteuerte Halbleiterplättchenbewegung liefert,

F i g. 2 eine schematische Darstellung einer HaIbleiterplättchen-Luftkissengleitbahn mit einem säulenartigen Unterdruck-Drehgestell,

Fig.3 eine schematische Darstellung einer Halb-Ieiterplättchen-Luftkissengleitbahn mit mehreren selbsttätig arbeitenden Unterdruck-Bremsvorrichtungen zum Steuern der Folgebewegung mehrerer Halbleiterplättchen.

in F i g. 1 wird eine Anordnung zum Transportieren von Halbleiterplättchen oder sonstiger Kleinartikel auf einer Luftkissengleitbahn mit Stoppstelle und automatischer Freigabe für die Halbleiterplättchen dargestellt.

Die Anordnung besteht aus einer Luftkissengleitbahn 10, dem Leitungssystem 12 in Form eines dichten Gehäuses 14 und einer porösen OJjerläche 16, deren Durchlässigkeit derart ist daß ein Überdruck aus einer in der Zeichnung nicht besonders dargestellten Luftquelle entstehen kann.

Wie durch einen Pfeil in der Fig. 1 angedeutet, tritt die Luft in das Leitungssystem 12 über die Rohrleitung 18 ein und bildet ein Luftkissen auf der äußeren Oberfläche 20 der porösen Gberfläciie 16. Dieses Luftkissen trägt reibungslos Kleinartikel, wie Halbleiterplättchen 22. Das Halbleiterplättchen 22 bewegt sich auf dem Luftkissen in Richtung des Pfeiles 24.

In F i g. 1 ist eine Saugzugröhre bzw. Unterdruckröhre, die als Halteorgan 26 wirkt, in die poröse Oberfläche 16 der Luftkissengleitbahn eingelassen, so daß das offene Ende 28 des Halteorgans 26 gerade unterhalb der äußeren Oberfläche 20 oder fluchtend mit dieser äußeren Oberfläche 20 liegt Das Halteorgan 26 ist mit einer in der F i g. 1 nicht besonders dargestellten Unterdruckquelle verbunden. Die Verbindung zur Unterdruckqüelle verläuft über eine Unterdruckleitung 27 und über ein magnetisch betätigtes Steuerventil 30 in Richtung des eingetragenen Pfeiles.

Ferner zweigt eine Abfühlleitung oder Rohrabzweigung 34 von der Unterdruckleitung 27 an der Stelle 32 ab, um das Halteorgan 26 an einen Unterdruckschalter 36 anzuschließen.

Der Unterdruckschalter 36 enthält eine flexible Membran 38, welche das Gehäuse 40 in eine linke Kammer 42 und in eine rechte Kammer 43 aufteilt. Die rechte Kammer 43 tastet den Pegel des Unterdruckes innerhalb des Halteorgans 26 ab. Ein verschiebbarer Schaltstift 46 ist an seinem Ende mit der flexiblen Membran 38, an seinem anderen Ende mit einem beweglichen Schaltkontakt 48 verbunden. Die natürliche Elastizität der flexiblen Membran 38 hält den beweglichen Schaltkontakt 48 weg vom stationären Kontakt 50. Bei Zunahme des Unterdrucks im Halteorgan 26 und in der rechten Kammer 43 schlägt die flexible Membran 38 aus ihrer zentralen Lage nach rechts aus, womit der bewegliche Schaltkontakt 48 den stationären Kontakt 50 berührt.

Der normalerweise offene Unterdruckschalter 36 ist mit seinem Ventilmagnet 52 und über die Klemmen 54 mit einer in der Zeichnung nicht dargestellten Stromquelle verbunden, so daß beim Schließen der Kontakte 48 und 50 der Ventilmagnet 52 erregt wird, um das Steuerventil 30 um einen Winkel von 90 Grad im Gegenuhrzeigersinn aus der dargestellten Position zu drehen.

Zu diesem Zweck ist das Steuerventil 30 mit einem Gehäuse 55 versehen, das einen kreisförmigen Ausschnitt 56 und ein Durchgangsloch 58 besitzt. Das Durchgangsloch 58 bildet einen Teil der Unterdruckleitung 27. Ferner ist im Rechten Winkel ein Durchgang 60 vorgesehen, der zur Atmosphäre offen ist.

Das Steuerventil 30 enthält eine Ventilscheibe 64, welche ein Durchgangsloch 66 und einen SO⁰-Durchgang enthält, der dasselbe schneidet und sich von der Mitte aus bis zur Peripherie in nur einer Richtung erstreckt.

Bei der Erregung des Ventilmagnets 52 dreht sich die Ventilscheibe 64 um 90° gegen die Uhrzeigerrichtung in eine Position, in der das Halteorgan 26 nicht mehr mit der Unterdruckquelle über das Durchgangsloch 58 des Ventilkörpers verbunden ist. Vielmehr ist in dieser Position das Halteorgan 26 über das Durchgangsloch 66

und den 90°-Durchgang 68 in der Ventilscheibe 64 mit dem Durchgang 60 im Ventilkörper und damit mit der Atmosphäre verbunden. Ein variabler Begrenzer ist im Durchgangsloch 65 zwischen dem Steuerventil 30 und der Unterdruckquelle angeordnet.

Im Gebrauch der Anordnung zum Transportieren von Halbleiterplättche,n bewegt sich ein abgeworfenes Halbleiterplättchen 22 auf die Eingangsöffnung des Halteorgans 26 zu, bis das Halbleiterplättchen 22 das offene Ende 28 des Halteorgans 26 bedeckt und durch Saugwirkung eingefangen wird.

Wenn das Halbleiterplättchen 22 über dem offenen Ende 28 des Halteorgans 26 liegt, wird der Unterdruck in der Röhre aufgebaut, da der Eingang versperrt ist. Ein Unterdruck wird auch in der Abfühlleitung der oder in der Rohrabzweigung 34 gebildet. Sobald der Unterdruck einen ausreichenden Wert erreicht hat, schlägt die Membran 38 infolge des Differenzdruckes zwischen den beiden Kammern 42 und 43 nach rechts aus, womit die Schaltkontakte 48 und 50 geschlossen werden.

Mit der Betätigung des Unterdruckschalters 36 erhält der Ventilmagnet 52 des Steuerventils 30 Strom. Dies führt zu einer Drehung der Ventilscheibe 64 gegen den Uhrzeigersinn, womit das Halteorgan 26 von der Unterdruckquelle abgeschnitten wird. Wenn der 90°-Durchgang 68 der Ventilscheibe 64 sich selbst mit dem Durchgangsloch 58 des Ventilgehäuses ausrichtet, dann nimmt der im Halteorgan 26 und in der Rohrabzweigung 34 bestehende, relativ hohe Unterdruck ab. weil jetzt das Durchgangsioch 66 zur Atmosphäre offen ist.

Das Halbleiterplättchen 22 wird durch seinen eigenen Einfluß automatisch freigegeben und startet zur Bewegung.

Während sich das Halbleiterplättchen 22 über das Halteorgan 26 bewegt und während sich die flexible Membran 38 des Unterdruckschalters 36 infolge fehlenden Unterdruckes in der Rohrabzweigung 34 sich in ihrem Ausgangszustand befindet, bleibt das Steuerventil 30 erregt

Dies wird durch den Gebrauch des Zeitgebers 62, einem Zeitverzögcrungsrelais. erreicht. Es hält das Halteorgan 26 vom Unterdruck frei, während sich das Ha'bleiterplättchen 22 über das offene Ende 28 bewegt Wenn das Halbleiterplättchen 22 das offene Ende 28 vollständig frei macht, dann wird das Steuerventil 30 über den Zeitgeber 62 erregt und es stellt sich der in F i g. 1 dargestellte Zustand ein. Dies kann durch eine Feder oder durch andere vorspannende Organe erreicht werden, die normalerweise die Ventilscheibe 64 in die für den Fall fehlender Erregung des Ventilmagnets 52 dargestellte Position zurückführen.

Die Anordnung nach F i g. 1 ist jetzt wieder fertig für die Annahme des nächsten Halbieiterplättchens, das aus einem in der Zeichnung nicht dargestellten Magazin kommt und welches sich zum Halteorgan 26 aus derselben Richtung bewegt wie das Halbleiterplättchen 2Z Die Anordnung vermindert die Geschwindigkeit des vorherigen Halbieiterplättchens 22 so, daß es von einem Speicher oder von einer nachgeschalteten Einrichtung angenommen werden kann.

Eine zweite Ausführungsform zeigt die Fig.2. Hler sind gleiche Bezugszahlen für gleiche Elemente der Ausführungsform nach F i g. 1 übernommen. Die Luftkissengleitbahn 10' enthält wiederum ein Leitungssystem 12, welches durch das dichte Gehäuse 14 festgelegt ist Im vorliegenden Falle gibt es zwei Abschnitte, ■welche die Leitungskammern 70 und 72 bestimmen.

Jede Leitungskammer ist mit einer porösen Oberfläche 16 versehen. Die äußere Oberfläche 20 der porösen Oberfläche 16 bildet das Luftkissen für das Halbleiterplättchen 22. Halbleiterplättchen bewegen sich der Reihe nach über die schräge Oberfläche unter dem Einfluß der Schwerkraft.

Der Luftüberdruck wird aus einer in der Zeichnung nicht dargestellten Quelle über die Rohrleitung 18 den Leitungskammern 70 und 72 in der gleichen Weise wie bei der Ausführungsform nach Fig. 1 zugeführt Auch hier ist ein Halteorgan 26 in die poröse Oberfläche 16 der Luftkissengleitbahn 10' eingelassen. Im vorliegenden Falle ist hinter einem säulenartigen Drehgestell 74 die mit einer nicht dargestellten Unterdruckquelle über

ts die Unterdruckleitungen 27 und 76 sowie dem Begrenzer im Durchgangsloch 65 zu verbindende Leitung angeordnet.

Das Steuerventil 30 enthält einen Ventilmagneten 52, welcher mechanisch mit einer Ventilscheibe 64 gekoppelt ist. Diese füllt einen kreisförmigen Ausschnitt 56 im Gehäuse 55. Die Ventilscheibe 64 besitzt ein Durchgangsloch 66 und einen dazu rechtwinkeligen 90°-Durchgang 68, der nur auf einer Seite vom Schnittpunkt zur Peripherie führt. Das Gehäuse 55 besitzt ein Durchgangsloch 58, das einen Teil der Unterdruckleitung 27 und der Unterdruckquelle 76 bildet, welche mit dem Halteorgan 26 gekoppelt sind. Das Gehäuse 55 enthält einen rechtwinkeligen Durchgang 60, welcher sich zur Atmosphäre öffnet

Die Rohrabzweigung 34 ist wiederum an der Stelle 32 mit der Unterdruckleitung 27 verbunden, so daß der Unterdruck in der Unterdruckleitung 27 zu allen Zeitpunkten durch den Unterdruckschalter 36 erfaßt wird. Der Schaltstift 46 ist wiederum mit dem beweglichen Schaltkontakt 48 des normalerweise offenen Schalters gekoppelt Im Falle einer Erhöhung des Unterdrucks im Halteorgan 26 und in der Rohrabzweigung 34 schließen sich die Schalterkontakte 48 und 50, womit der Ventilmagnet 52 des Steuerventils 30 Strom erhält

Das säulenartige Drehgestell 74 ist auf einer Seite des Halteorgans 26 im Transportpfad des Halbieiterplättchens 22 stromaufwärts zum Halteorgan 26 angeordnet Wenn die Vorderkante des Halbieiterplättchens 22 auf das offene Ende 28 des Halteorgans 26 trifft dann stoppt der Unterdruck in derselben das Halbleiterplättchen 22 in einer solchen Position, daß es nicht nur über dem offenen Ende des Halteorgans 26. sondern auch über dem säulenartigen Drehgestell 74 Hegt

Das säulenartige Drehgestell 74 wird zum Zwecke der Drehbarkeit vom Lager 75 getragen und enthält als Unterdruckquelle 76 ein ungelochtes Gehäuse, das eine Fluidkammer So in Verbindung mit einen? plsnen, porösen Abschlußteil 82, ähnlich der porösen Oberfläehe 16 der Luftkissengleitbahn 10', enthält Ein axialer Zuführungskanal 84 verbindet die Fluidkammer 80 über eine Rohrleitung 86 und dem Schaltmagnetventil 88 mit einem Halteorgan 26 oder der Luftüberdruckquelle.

Ein Getriebe 90 ist am Umfang des Drehgestells 74, befestigt und steht im Eingriff mit einem Ritzel 92. Dieses wird vom Motor 95 getrieben. Bei einer Erregung des Motors 95 wird das säulenartige Drehgestell 74 laufend um eine schräge Achse gedreht die rechtwinklig zum Transportpfad des Halbleiterplättchens steht

Das Schaltmagnetventil 88 ist auch mit einer Magnetspule 98 ausgerüstet die mechanisch mit der Ventildrehscheibe 100 für eine Drehung derselben

zwischen den beiden 90°-Positionen gekoppelt ist.

Bei stromloser Magnetspule 98 nimmt die Ventildrehscheibe 100 die in Fig.2 dargestellte Position ein. In diesem Falle führt ein Fluiddurchgang 102 in der Ventildrehscheibe 100 einen Überdruck in der Luftleitung 94 zur Rohrleitung 86 des säulenartigen Drehgestells 74. Bei erregter Magnetspule 98 dreht sich jedoch die Ventildrehscheibe 100 um 90° gegen den Uhrzeigersinn, womit ein zweiter gebogener Durchgang 104 in der Ventildrehscheibe 100 die Unterdruckzweigleitung 96 mit der Rohrleitung 86 des Drehgestells 74 verbindet, so daß dann der entsprechende Unterdruck in der Fluidkammer 80 besteht.

Es sei bemerkt, daß die Magnetspule 98 des Schaltmagnetventils 88 auch an den Netzklemmen 54 liegt, wie der Ventilmagnet 52 des Steuerventils 30 für das Halteorgan 2b. Dort ist aucn ein Zeitgeber iöö (Zeitverzögerungsrelais) vorgesehen, der unter der Kontrolle des Unterdruckschalters 36 steht. Das elektrische Versorgungssystem und Verteilungssystem enthält Anschlußklemmen 54 und die Verbindungsleitungen 108,110 und 112.

Im Gebrauch der in Fig. 2 gezeigten Ausführungsform kann das säulenartige Drehgestell 74 ein Teil einer Inspektionsstation für das augenblickliche Stoppen jedes Halbleiterplättchens bei dessen Transport unter Einfluß der Schwerkraft sein. Das Halbleiterplättchen 22 bewegt sich auf das Drehgestell 74 zu und stoppt dann über dem Halteorgan 26.

Wenn das Halbleiterplättchen 22 über dem offenen Ende 28 des Halteorgans 26 liegt, bedeckt es die Eingangsöffnung des Halteorgans 26 und stellt zusätzlich einen Unterdruck in der Rohrabzweigung 34 in gleicher Weise wie bei der Ausführungsform nach F i g. 1 her. Dieser Unterdruck steuert den unterdruckschalter 36 und schließt die Stromkreise für die Magnetspule 98 und den Ventilmagneten 52.

Bei der Erregung der Magnetspule 98 dreht sich die Ventildrehscheibe 100 aus der dargestellten Position, so daß der Luftüberdruck in der Fluidkammer 80 durch einen Unterdruck ersetzt wird, wodurch das Halbleiterplättchen in Kontakt mit der porösen Oberfläche gehalten wird.

Bei der Erregung des Ventilmagnets 52 dreht sich die Ventilscheibe 64, so daß der Unterdruck im Halteorgan 26 über den Durchgang 60 ausgeglichen wird. Während der Drehung wird eine Überwachung am Halbleiterplättchen 22 durchgeführt Eine solche Überwachung kann visuell oder optisch sein. Danach kommen Ventilmagnei 52 und die Magnetspule 98 wieder in ihren Ausgangszustand zurück.

Beim Schließen der Schaltkontakte 48 und 50 des Unierdruckscnüiters 3S «erden ds€ Stromkreise zur Magnetspule 98 und zum Ventilmagneten 52 über die Leitungen 108 und 112 der Netzanschlußklemmen 54 zum Zeitgeber 106 verbunden.

Bei Erregung des Ventilmagnets 52 wird durch die Drehung der Ventilscheibe 64 die Unterdruckleitung 27 des Halteorgans 26 mit der freien Atmosphäre über den Durchgang 60 verbunden.

Dies führt zu einer Herabsetzung des Unterdrucks in der Unterdruckleitung 27 im Halteorgan 26 und in der Rohrabzweigung 34, womit die Schaltkontakte 48 und 50 geöffnet werden, was normalerweise zur Abschaltung des Ventilrnagneten 52 und der Magnetspule SS bei fehlendem Zeitgeber 106 führen würde.

In dieser Zeit bewirken jedoch Vorrichtungen des Zeitgebers 106. die in der Zeichnung nicht dargestellt sind, daß die Magnetspulen 98 und 52 über die Netzleitungen 108 und 110 erregt bleiben.

Auf den Empfang des das Ende der Überprüfung des Halbleiterplättchens anzeigenden Signals betätigt der Zeitgeber 106 dann nacheinander zuerst die Magnetspule 98 und damit das Schaltmagnetventil 88 für einen Durchfluß zur Fluidkammer 80. Dies führt zur Freigabe des eingegangenen Haibleiterplättchens 22, das dann seine Bewegung längs des Transportpfades von links

ίο nach rechts und in der Luftkissengleitbahn 10 herab fortsetzen kann.

Das Halbleiterplättchen setzt seine Bewegung stromabwärts vom Halteorgan 26 zur Abwerfstelle oder zu dem in der Zeichnung nicht dargestellten Annahmespeieher fort.

Danach macht der elektrische Zeitgeber 106 den Ventiimagnet 52 stromlos, und zwar gerade nachdem das Halbleiterplättchen 22 die Eingangsöffnung des Halteorgans 26 frei macht. Damit wird die Unterdruckleitung 27 wieder mit der Unterdruckquelle über die Leitung 76 verbunden, und das nächste Halbleiterplättchen ist für einen Vorschub zum Drehgestell und zur Überprüfung bereitgestellt.
In F i g. 3 ist eine dritte Ausführungsform schematisch dargestellt.

Gleiche Teile haben hier wiederum die gleichen Bezugszeichen wie in den vorigen Ausführungsformen. Ein Leitungssystem 12 ist durch ein dichtes Gehäuse 14 und durch eine darüberliegende poröse Oberfläche 16 bestimmt.

Eine Rohrleitung 18, die an das dichte Gehäuse 14 angeschlossen ist, ermöglicht den Lufteintritt im Sinne des in der Zeichnung eingetragenen Pfeiles 15 in die Verteilungskammer. Der Luftüberdruck bildet beim Durchdringen der porösen Oberfläche 16 ein Luftkissen für die Halbleiterplättchen.

Bei der Ausführungsform nach F i g. 3 wird sowohl eine leichte als auch eine einfache Führung der Halbleiterplättchen während ihrer Herstellung längs

eines gegebenen Transportpfades erreicht Die Geschwindigkeit ist flexibel und hängt gänzlich vom Halbleiterplättchenzugang ab. Der Vorschub ist schnell und hängt nicht von seiner Länge ab, da die für ein Halbleiterplättchen erforderliche Zeit zur Wanderung von einem Halteorgan zu einem anderen Halteorgan die Einsatzzeit des Gesamtvorschubs festsetzt

Anders als die vorherigen Ausführungsformen hat die Ausführungsform nach F i g. 3 eine schräge Luftkissengleitbahn 10" mit mehreren Halteorganen. Zusätzlich zum Halteorgan 26 gibt es hier stromabwärts noch die Halteorgane 26', 26" und 26'", die in Abständen von mehr als einer Halbleiterplättchenlänge getrennt sind. Das Haltcorgar, 26 ist wiederum über die Unterdruckleitung 27 und über das durch einen Ventilmagneten 52 betätigte Steuerventil 30 mit einer nicht dargestellten Unterdruckquelle über eine gemeinsame Unterdruckspeiseleitung 118 gekoppelt Ein Unterdruckschalter 36 ist mit der Unterdruckleitung 27 durch die Rohrabzweigung 34 in der gleichen Weise wie bei den vorigen Ausführungsformen verbunden.

Außerdem ist der Unterdruckschalter 36 mit dem Zeitgeber 106' verbunden. Der Zeitgeber 106' ist über die Anschlußklemmen 54 und über die Leitungen 122 an eine Stromquelle angeschlossen. Hinzu kommt noch, daß stromabwärts die Halteorgane 26', 26" und 25'" durch ein Steuerventil 30'. das durch einen zweiten Ventilmagneten 52' betätigt wird, mit derselben Unterdruckspeiseleitung 118 verbunden sind.

Die Halteorgane 26', 26" und 26'" sind über die Unterdruckleitungen 27', 27" und 27'" mit der Leitung 29 und dem Steuerventil 30' verbunden. Das von einem Ventil-Magneten 52 betätigte Steuerventil 30 enthält natürlich ein Durchgangsloch 66 und einen 90°-Durchgang 68, der sich auf nur einer Seilte vom Schnittpunkt bis zur Peripherie, wie in den vorigen Ausführungsbeispielen erstreckt. Das vom Ventilmiagneten 52' betätigte Steuerventil 30' ist in gleicher Weise ausgestattet und enthält ein Durchgangsloch 66' und einen 90°-Durchgang 68'.

Der Zeitgeber 106' ist elektrisch mit den Magnetspulen der Steuerventile 30 und 30' über die elektrischen Leitungen 124 bzw. 126 verbunden. Die verschiedenen Halteorgane 26, 26', 26" und 26'" bestimmen die Haltestationen A, ß, Cund D.

Das in der Haitestation A angeordnete Halteorgan steuert die Bewegung aller Halbleiterplättchen. Die Halbleiterplättchen werden schrittweise von einer Haltestation zur anderen Haltestation transportiert.

Unter der Annahme, daß das Halbleiterplättchen 22 von der Halbleiterplättcheri-Eingabestation 128 auf die Luftkissengleitbahn 10" an der oberen Kante abgeworfen wird, gleitet das Halbleiterplättchen durch die Wirkung der Schwerkraft im Richtung des Pfeiles 130, bis die Führungskante des Halbleiterplättchens das Halteorgan 26 erreicht.

Es wird momentan durch den aufgeprägten Unterdruck abgefangen und in dieser Position gehalten.

Der gebildete Unterdruck wird in derselben Weise wie bei den vorhergehenden Au:;führungsformen über die Rohrabzweigung 34 durch den Unterdruckschalter 36 abgefühlt. Mit dem Schließen der Schaltkontakte 48 und 50 kommt es zur Erregung der Ventilmagnete 52 und 52' der beiden Steuerventile 30 und 30'.

Die Steuerventile sperren den Unterdruck aus der Unterdruckspeiseleitung 1)8 zu allen Halteorganen 26, 26', 26" und 26'" im Bruchteil einer Sekunde (gesteuert von Zeitgeber 106'). Da sich die Steuerventile in eine Position drehen, wo der Unterdruck in den Leitungen 27 und 29 durch die Durchgänge 60 und 60' entsteht, verläßt das Halbleiterplättchen den Punkt A und bewegt sich zur Station an der Stelle B hin.

Unterdessen hat der Zeitgeber 106' die Steuerventile 30 und 30' in die in Fig.3 dargestellte Position zurückgeführt, und der Unterdruck wird wieder allen Halteorganen gleichzeitig aufgeprägt.

Das Haibleiterplättchen 22' trifft beim Vorschub auf die Stelle B mit seiner Vorderflanke wieder auf das Halteorgan 26'. Wenn es über diesem liegt, dann hält der hergestellte Unterdruck das Halbleiterplättchen 22' in dieser Position, wie in Fig.3 durch gestrichelte Linien angedeutet ist.

Das Halbleiterplättchen 22' bleibt an dieser Stelle, bis ein anderes, in der F i g. 3 nicht dargestelltes Halbleiterplättchen auf der Luftkissengleitbahn von der HaIbleiterplättchen-Eingabestation 128 abgeworfen wird und den Punkt B erreicht. Die Anwesenheit des zwejten Halbleiterplättchens sperrt wiederum den Unterdruck an alle Haltestellen durch die Tätigkeit des Unterdruckschalters und des Zeitgebers 106'.

Das erste Halbleiterplättchen rückt jetzt von der Haltestation B zur Haltestation Cvor, während sich das abgeworfene Halbleiterplättchen von A nach B bewegt und in dieser Haltestation stoppt.

Die folgenden Halbleiterplättchen wiederholen die Reihenfolge, und alle Halbleiterplättclien wandern zur entsprechenden nächsten Haltestation. Auf diese Weise wird ein gesteuerter Halbleiterplättchenvorschub erstellt. Der Durchzug hängt von der gestellten Forderung ab und wird durch die Halbleiterplättchen kontrolliert, die auf die Luftkissengleitbahn 10" abgeworfen werden. Wenn ein Halbleiterplättchen von der Haltestation D freigegeben wird, dann bewegt es sich auf das Ende der Luftkissengleitbahn zu, welches die Station Ebildet.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (2)

Patentansprücne:

1. Anordnung zum Transportieren von Halbleiterplättchen oder von sonstigen Kleinartikeln in einer mit mindestens einer Stoppstelle besetzten Luftkissengleitbahn, die an der Stoppstelle ein Halteorgan zum Abbremsen mittels Saugzuges quer zur Transportrichtung des vom Luftkissen getragenen Halbleiterplättchens oder sonstigen Kleinartikeln enthält, wobei der Saug2ug jedesmal in der Offenstellung eines Steuerventils vorhanden ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Luftkissengleitbahn (10) eine poröse Oberfläche (16) und ein Gefälle zur Ausnutzung der Schwerkraft für die Fortbewegung aufweist und daß das Steuerventil (30) zur Einschaltung des Saugzuges durch einen an die Saugöffnung angeschlossenen Unterdruckschalter (36) automatisch betätigt werden kann.

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für die Umschaltung des Steuerventils (30) ein Ventilmagnet (52) beim Ansprechen des Unterdruckschalters (36) einschaltbar ist.