DE2447789B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE2447789B2 DE2447789B2 DE2447789A DE2447789A DE2447789B2 DE 2447789 B2 DE2447789 B2 DE 2447789B2 DE 2447789 A DE2447789 A DE 2447789A DE 2447789 A DE2447789 A DE 2447789A DE 2447789 B2 DE2447789 B2 DE 2447789B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- signal
- surface point
- recordings
- mask
- segments
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B35/00—Stereoscopic photography
- G03B35/18—Stereoscopic photography by simultaneous viewing
- G03B35/24—Stereoscopic photography by simultaneous viewing using apertured or refractive resolving means on screens or between screen and eye
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C11/00—Photogrammetry or videogrammetry, e.g. stereogrammetry; Photographic surveying
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
- G02B27/46—Systems using spatial filters
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B15/00—Special procedures for taking photographs; Apparatus therefor
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B35/00—Stereoscopic photography
- G03B35/18—Stereoscopic photography by simultaneous viewing
- G03B35/20—Stereoscopic photography by simultaneous viewing using two or more projectors
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Bestimmen der räumlichen Lage eines Oberflächenpunktes
auf der Oberfläche eines Gegenstandes nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. Anspruch: 2.
•o Bei einem bekannten derartigen Verfahren (US-PS
33 38 766) werden auf den Gegenstand gerade Linien projiziert und diese aus einer in bestimmtem Winkel zur
Projektionsrichtung verlaufenden Richtung fotografiert, so daß auf der fotografischen Aufnahme dem
Verlauf der Oberfläche des Gegenstandes entsprechende Konturlinien erhalten werden, die als Schablone für
die Steuerung einer Werkzeugmaschine dienen können. Demgegenüber ist es Aufgabe der Erfindung, durch
ein Verfahren der im Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. 2 angegebenen Art numerische Daten über die
räumliche Lage des Oberflächenpunktes bereitzustellen. Dadurch ist beispielsweise eine numerisch gesteuerte
Bearbeitung eines Werkstückes zur Rekonstruktion des Gegenstandes ermöglicht
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch die kennzeichnenden Merkmale im Anspruch 1 bzw. 2
gelöst
Durch das erste Signal wird ein den Oberflächenpunkt enthaltendes bestimmtes Segment der in ihrer
Anordnung vorbestimmten Segmente des Projektionsfeldes festgelegt Da für alle Aufnahmen die Relativlage
des Aufnahmeortes, des Projektionsortes und des Gegenstandes zueinander unverändert bleibt, können in
Kenntnis des gegebenen Abstandes der Aufnahmeebe-
^5 ne von dem Knotenpunkt der Aufnahmelinse sowie der
vom zweiten Signal erhaltenen Ortskoordinaten des Oberflächenpunktes in der Aufnahmeebene der Schnittpunkt
der durch den Oberflächenpunkt in der Aufnahmeebene und den Knotenpunkt der Aufnahmelinse
gehenden Blicklinie mit dem vom ersten Signal gelieferten Segment des Projektionsstrahles, und somit
die Raumkoordinaten des Oberflächenpunktes auf der Oberfläche des Gegenstandes berechnet werden. Je
feiner das Projektionsfeld in Segmente aufgeteilt ist,
desto genauer werden diese Raumkoordinaten bestimmt.
Durch die Erfindung ist somit die Ableitung der dreidimensionalen Koordinaten des Oberflächenpunktes
unmittelbar durch von zweidimensionalen Aufzeichnungen
erhaltenen Abtastsignalen erzielt.
Bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand jeweils der Ansprüche 3 bis 5.
Die Erfindung wird nachstehend unter Bezug auf die Zeichnung erläutert. In der Zeichnung zeigt
F i g. 1 einen Gegenstand, dessen Oberflächenpunkte mit Hilfe eines Projektions- und Aufzeichnungsgerätes
nach ihrer räumlichen Lage numerisch bestimmt werden sollen,
Fig.2 eine im Zusammenhang mit dem Projektor nach F i g. 1 verwendbare Maskenreihe,
F ig< 3 eine Folge fotografischer Aufnahmen unter
Verwendung der Masken nach F i g. 2,
Fig.4 eine Ausführungsform einer Abtastvorrichtung
zur Untersuchung der fotografischen Aufnahmen nach F i g. 3,
F i g. 5 eine einzelne Maske aus F i g. 2 im Schnitt vor der Oberfläche des Gegenstandes,
Fig.6 in einer bevorzugten Ausführungsform der
Fig.6 in einer bevorzugten Ausführungsform der
Erfindung durch die Abtastung der fotografischen Aufnahmen erzeugte Signale, und
F i g. 7 eine Einrichtung zur Erzeugung bestimmter Signale aus F i g. 6.
Gemäß F i g. 1 ist ein Gegenstand 10, dessen Oberfläche dreidimensional wiedergegeben werden soll,
im Projektionsfeld eines Projektors 12 und außerdem im Blickfeld der Aufnahmelinse 14 eines fotografischen
Aufnahmeapparates angeordnet. Der Gegenstand ist beispielsweise aut einem Sockel 16 abgestützt Projektor 12 und Aufnahmelinse 14 sind in ortsfester
vorbestimmter Lage zu dem Sockel gehalten. Eine Filmbühne 18 hält einzelne Felder des fotografischen
Aufzeichnungsmaterials 20 in der Fokussierebene der Aufnahmelinse 14. Der Filmbühne 18 zugeordnete
Transportspulen 22 für da·; Aufzeichnungsmaterial nehmen die belichteten Bilder auf bzw. bringen noch
nicht belichtete Einzelfelder in die Filmbühne 18.
Ein Maskenstreifen 24 ist im Projektionsfeld des Projektors 12 mit Hilfe von Maskentransportspulen 26
verschiebbar, um das Projektionsfeld des Projektors 12 in vorbestimmte Segmente zur selektiven Anstrahlung
der Oberfläche des Gegenstandes in diesen Segmenten zu unterteilen, wie besonders F i g. 2 zeigt, in der ein für
diesen Zweck geeigneter Maskenstreifen 24a dargestellt ist
Der Maskenstreifen 24a enthält eine Anzahl von Masken 28a—d mit für die Strahlung des Projektors
durchlässigen Segmenten und kreuzweise schraffierten, nicht durchlässigen Segmenten. Die Masken sind
vorzugsweise auf einem Filmstreifen 30 ausgebildet der für die Strahlung nur in den Bereichen durchlässig ist, in
denen Masken 28a— d angeordnet sind. Der Transport des Maskenstreifens und damit der Maskenwechsel
werden durch Perforierungen 32 erleichtert die mit komplementären Dornen auf den Spulen 26 in Eingriff
stehen. Wenn angenommen wird, daß das mögliche Projektionsfeld, welches die gesamte Vorderseite des
Gegenstandes überdeckt, aus aneinandergrenzenden oberen, mittleren und unteren Segmenten besteht wird *o
durch die Maske 28a das wirksame Projektionsfeld auf das obere und mittlere Segment begrenzt. Die Maske
28i> begrenzt das wirksame Projektionsfeld auf das
obere Segment. Die Maske 28c grenzt das wirksame Projektionsfeld auf die obere Hälfte sämtlicher
Segmente. Die Maske 28c/ begrenz* das wirksame Projektionsfeld auf die unteren Hälften sämtlicher
Segmente.
Zur Erläuterung wird die Erzeugung von Signalen betrachtet, die zur Definition der räumlichen Lage der
Oberflächenpunkte PX und P2 auf der Vorderseite des Gegenstandes 10 gemäß F i g. 3 dienen, in der eine Folge
entwickelter Einzelaufnahmen 34a—d des Filmes dargestellt ist, die mit Hilfe des in F i g. 2 besonders
dargestellten Maskenstreifens 24a erhalten wurden. Der Maskenstreifen 24a wird hierbei schrittweise transportiert, so daß seine Masken einzeln und aufeinanderfolgend zur Wirkung kommen. Jede entwickelte Aufnahme
des Filmes zeigt vorzugsweise ein Positiv der negativen Abbildung desjenigen Teils der Oberfläche des Gegen-Standes, der bei Belichtung des Bildes durch eine Maske
28a—t/hindurch angestrahlt wurde.
In der entwickelten Aufnahme 34a, hergestellt unter
Verwendung der Maske 28a, haben die in dem oberen und mittleren Bildsegment liegenden Oberflächenpunkte Pi bzw. P2die Ortskoordinaten xi,y2 bzw. x2,y2
gegenüber dem Bildursprung O. Die einzeln aufgenommenen Bilder zeigen lediglich diese zweidimensionalen
Ortskoordinaten. Da die relative Lage zwischen Gegenstand, Projektor, Aufnahmelinse und Filmbühne
für alle Aufnahmen dieselbe ist, hat der Oberflächenpunkt PX (bzw. P2) in jedem entwickelten Einzelbild,
das ihn enthält, die gleichen Ortskoordianten χ und y. Im
Bild Mb ist derjenige Teil der Oberfläche des Gegenstandes abgebildet, der durch die Maske 2Hb
definiert ist und der den Oberflächenpunkt P2, aber nicht den Oberflächenpunkt Pi enthält Das Bild 34c
zeigt denjenigen Teil der Oberfläche, der durch die Maske 28c definiert ist und der den Oberflächenpunkt
Pl, aber nicht den Oberflächenpunkt P2 enthält Das Bild 34d stellt die Oberflächenteile dar, die durch die
Maske 28c/ hindurch angestrahlt wurden und in denen der Oberflächenpunkt P2, aber nicht der Oberflächenpunkt P1 liegt
Praktisch wird zunächst ein Projektionsfeld definiert das die beiden betrachteten Oberflächenpunkte enthält
und von einem durch den Projektor Ϊ2 vorbestimmten Ort ausgeht Die Oberfläche des Gegenstandes innerhalb dieses bestimmten Projektionskides kann nach
Wunsch bestrahlt oder nicht bestrahlt werden, je nach
dem Ausmaß der wiederzugebenden Oberfläche. Ausgehend von dieser Definition des Projektionsieides
wird die Oberfläche des Gegenstandes nacheinander in vorbestimmten Segmenten dieses Projektionsfeldes
angestrahlt Mindestens eines dieser Segmente schließt einen der beiden interessierenden Oberflächenpunkte
aus, während jeder Oberflächenpunkt in mindestens einem Segment enthalten ist Die Aufnahmen der
bestrahlten Oberfläche werden in einer Folge entsprechend der Bestrahlungsfolge hergestellt
Danach werden die Aufnahmen der Folge zur Ermittlung bestimmter die interessierenden Oberflächenpunkte betreffender Informationen untersucht
Dieser Verfahrensschritt wird vorzugsweise gleichzeitig bei sämtlichen Aufnahmen durch die Vorrichtung
gemäß F i g. 4 ausgeführt
Gemäß F i g. 4 ist in einer Abtastvorrichtung 40 jede von einen Nadelstrahl liefernden Strahlungsquellen
36a—d fest ausgerichtet auf einen von Abtastfühiern 38a—d, so daß Abtastpaare entstehen. Die entwickelten
fotografischen Aufnahmen 34a—d liegen gemeinsam zwischen den Strahlungsquellen 36a—d und den
Abtastfühlern 38a—d, so daß sämtliche Abtastpaare gleichzeitig auf den Ursprung O oder einem anderen
gemeinsamen Bezugspunkt der jeweiligen Aufnahme ausgerichtet sind. Nach dieser Ausrichtung werden die
Aufnahmen festgelegt und die Abtastvorrichtung wird demgegenüber bewegt. Hierzu kann die Abtastvorrichtung eine x-Verschiebungszahnstange 42 und eine
/-Verschiebungszahnstange 44 umfassen, jede mit einem motorgetriebenen Ritzel oder dergleichen, um
die Ablusipaare gemeinsam auf einander entsprechende
Punkte der Aufnahmen ausrichten zu können. Die Signale, welche für jeden Bildpunkt die x- und
y-Ortskoordinaten angeben, können für jeden Bildpunkt, auf dem die Abtastpaare ausgerichtet sind, durch
konventionelle, digital arbeitende und motorgetriebene Vorrichtungen erzeugt werden.
Die Signale für die x- und y-Ortskoordinaten geben
die zweidimensionale Information an hinsichtlicn der
Position eines Punktes, der in einer Aufnahme 34a-d betrachtet wird. Zur Ermittlung der räumlichen Lage
des zugehörigen Oberflächenpunktes auf der Oberfläche des Gegenstandes ist eine weitere Information
erforderlich, die aus der gegebenen Zuordnung zwischen dem Gegenstand, dem Projektor 12, der
Filmbuhne 20 und der Aufnahmelinse 14 gewonnen wird Da nämlich durch die x- und y-Ortskoordinaten des den
Oberflächenpunkt abbildenden Bildpunktes auf der FilmbUhrte 20 und den Knotenpunkt der Aufnahmelinse
14 eine bestimmte Blicklinie definiert ist, kann z. B. durch Triangulation der Schnittpunkt dieser Blicklinie
mit demjenigen Segment des Projektionsstrahles rechnerisch bestimmt werden, in welchem der Oberflächenpunkt
liegt. Dieses den Oberflächenpunkt enthaltende Segment des Projektionsstrahles wird wie folgt
bestimmt:
Wenn die Abtastpaare gemäß F' i g. 4 mit bestimmten x-y-Ortskoordinaten entsprechend denen des betreffenden
Obc-rflächenpunktes PX fiuf die Aufnahmen
ausgerichtet sind, erhalten nur die Fühler 38a und 38c einen ''Abtastimpuls, so daß lediglich diese Abtastfühler
Ausgangssignale erzeugen, die eine vorgegebene Schwellenamplitude überschreiten. Schalter für zwei
Schaltzustände sprechen auf die Fühlerausgangssignale bei Überschreitung der Schwellenamplitude an und
erzeugen ein Signal EINS, beispielsweise von positiver
Spannung. Wenn die Amplitude eines Fühlerausgangssignales kleiner ist als diese Schwdlenampütude. liefert
die Schaltung ein Signal NULL. d.h. ein Signal von Massepotential oder negativer Spannung. Vor jeder
Erregung der Strahlungsquellen 36a—d werden sämtliche
dieser Schalter so zurückgestellt, daß sie NULL-Signale liefern.
Im Falle des Oberflächenpunktes PX wird, wenn die
Ausgangssignale sämtlicher Schalter in digitaler Form serienweise gesammelt werden, bei Erregung der
Strahlungsquellen 36a—d ein Signal geliefert, das die
Erzeugung des digitalen Impulsmusters 1010 angibt, üieses Signal liefert somit eine selektive Anzeige der
Ordnungszahl derjenigen Aufzeichnungen der Aufzeichnungsfolge,
die den Oberflächenpunkt P\ enthalten. Entsprechend erhält man bei Ausrichtung der
Abtastpaare auf die Koordinaten des Oberflächenpunktes P2 das resultierende digitale Impulsmuster 1101.
Im Falle der Auswahl der Oberflächenpunkte P 1 und
Pl im Ausführungsbeispiel wird somit ein brauchbares zusammengesetztes Signal, d. h. ein Signal, das Positions-
und andere Unterscheidungskoordinaten zwischen zwei Punkten liefert, die die Ermittlung ihrer
räumlichen Lage erleichtern, bereits durch Verwendung lediglich der Masken 28a und 286, der Aufnahmen 34a
und 346. der Strahlungsquellen 36a und 366. der Abtastfühler 38a und 386 und der zugehörigen
Schaltungsmittel zur Erzeugung der Signale EINS oder NULL erhalten. Die digitalen Impuismuster 10 und 11.
die durch diese MiUeI abgeleitet werden, zusammen mit der Anzeige von xi, yi bzw. x2, y2 liefern somit
diskriminatorisch ein Basismaß zur räumlichen Lage der Punkte Pi und P2. Andererseits müssen zur Basisdiskrimination
zwischen den Punkten Pi, P2 und Pi
(F i g. 1 und 3) die Masken 28a, 286 und 28c, die Aufnahmen 34a, 346 und 34c; die Strahlungsquellen 36a,
366 und 36c und die Abtastfühler 38a, 386 und 38c verwendet werden. In einem weiteren Beispiel, z. B. für
üie Punkte P3 und PA (F i g. 1 und 3) erkennt man, daß
die Maskenanordnung 24a über die Positionskoordinatenunterscheidung hinaus keine Diskrimination liefert.
Im Fall von />3 und />4 gilt somit das gleiche
Impulsmuster 1001. In diesem Beispiel wird die Maske 28e aus der Maskenanordnung 246 nach Fig.2
zusätzlich zu der Maskenanordnung 24a verwendet.
Gemäß Fig.2 umfaßt die Maske 28e ein oberes
undurchlässiges und daher kreuzweise schraffiertes Segment von der halben vertikalen Breite des
benachbarten transparenten Segmentes. Aufeinanderfolgende Segmente der Maske sind von gleicher
vertikaler Breite und jede zweite ist transparent, wobei das unterste undurchlässige Segment die gleiche Breite
hat wie das oberste undurchlässige Segment. Diese so gestaltete Maske liefert gemäß Bild 34e in F i g. 3 eine
unterschiedliche Permutation der fotografierten Oberflächenteile.
to Durch Verwendung der Maske 28e wird die
Auflösung um den Faktor 2 verbessert. Im diskutierten Beispiel liefert die Verwendung dieser Maske und die
Ergänzung der Vorrichtung nach F i g. 4 durch ein zusätzliches Abtastpaar zur Untersuchung des Bildes
34c des Filmes eine Diskrimination zwischen den Punkten P3 bzw. PA, die im Bild 34e vorhanden bzw.
nicht vorhanden sind. Die für die Punkte P3 und P4 entsprechend erzeugten Impulsmuster lauten 10011 und
10010. Die Genauigkeit der Ermittlung der räumlichen
Lage der Oberflächenpunkte erhöht sich offensichtlich proportional mit der Anzahl der Segmente, in die das
betrachtete Projektionsfeld unterteilt wird. Zur leichteren Berechnung der räumlichen Lage der Oberflächenpunkte
können die resultierenden digitalen Impulsmuster ohne weiteres in binär kodierte dezimale Impulsmuster
umgewandelt werden.
Wenngleich sich die obige Erörterung auf die Durchführung der Diskrimination mehrerer Oberflächenpunkte
bezieht, kann die Erzeugung eines zusam-
jn mengesetzten Informationssignales auch zur Definition
der räumlichen Lage eines einzelnen Oberflächenpunktes verwendet werden, d. h. eines Signales, das .v und y
und eine Kennung wie etwa 10101 (aus den Bildern 34a —34e^ oder irgendwelche mehr oder weniger
ausgedehnte digitale Impulsmuster angibt, die bei der Berechnung der räumlichen Lage von Pi brauchbar
sind.
F i g. 5 zeigt die Maske 28c im Schnitt und in der das Projektionsfeld bestimmenden Lage zu der Oberfläche
des Gegenstandes. Der Raum zwischen benachbarten ausgezogenen Pfeilen und zwischen der Oberfläche und
den durchlässigen Teilen der Maske ist das gewünschte Projektionsfeld der Maske 28c. Infolge verschiedener
Faktoren, etwa der Lichtstreuung, ist das tatsächliche Projektionsfeld, das man durch Verwendung der Maske
28c erhält, etwas erweitert, wie die gestrichelten Teile angeben. In bestimmten Fällen, in denen die Objektoberflächendefinition
besonders kritisch ist. kann dieses erweiterte Projektionsfeld zu unerwünschten Resultaten
führen. Die Maske 28c. ergänzt die Maske 28d
(Fig. 2). Ein Oberflächenpunkt am unteren Rand des obersten Projektionssegmentes der Maske 28c kann
sich auch an dem oberen Rand des obersten durchlässigen Projektionssegmentes der Maske 2Sd
abbilden. Zur Vermeidung einer solchen Verwechslung können die Masken 28c bis 28ein Verbindung mit einer
weiteren Maske 28/ gemäß der Maskenanordnung 246 in Fig.2 verwendet werden. Man erkennt, daß diese
Maske eine vollkommene Ergänzung zur Maske 28e darstellt, d. h. die undurchlässigen Maskensegmente der
einen Maske decken sich mit den durchlässigen Segmenten der anderen Maske.
Nach der Herstellung der fotografischen Aufnahmen der Oberfläche des Gegenstandes nacheinander mit
Hilfe der Masken 28c-/ dient die Vorrichtung nach F i g. 4 zur Untersuchung der Aufnahmen. Die Vorrichtung,
die wie i ben angegeben, ausgerichtet ist, wird auf eine gegebene Stellung χ gebracht und dann an dieser
Stelle in y verschoben. Die Ausgangssignale der Abtastfühler 28a, 286,28cund 28c/sind in F i g. 6 mit den
Bezugszahlen 46,48,50 bzw. 52 bezeichnet, wobei jedes
Signal den Verlauf der Ausgangsamplitude des zugehörigen Abtastfühlers über der Zeit (oder der y-Verschiebung)
angibt. Die Signale 46 und 48 zeigen eine Überlappung (OL) entsprechend der Geometrie der
Lichtstreuung, wie in Fig.5 angedeutet. Die Signale enthalten außerdem einen dem Hintergrund zuzuschreibenden
Gleichspannungspegel. Die Signale werden vorzugsweise gemäß F i g. 6 verarbeitet, etwa durch die
Einrichtung nach F i g. 7.
Die Differenzschaltungen 54 und 56 nach Fig. 7 erhalten selektive Abtastfühler-Ausgangssignale für die
Amplitudensubtraktion. Die Schaltung 54 bildet die Differenz der Signale 46 und 48 nach F i g. 6, die
entsprechend auf den Eingangsleitungen 58 und 60 zugeführt und von den fotografischen Aufnahmen
abgeleitet sind, die mit den Masken 28c und 2Sd gemacht wurden. Die Schaltung 56 bildet die Differenz
der Signale 50 und 52 nach F i g. 6, die auf den Leitungen 62 und 64 zugeführt werden und die von Aufnahmen
herrühren, die mit Hilfe der Masken 28e und 2Sf gemacht wurden. Die Ausgangssignale der Schaltungen
54 und 56 weisen keinen Gleichspannungspegel auf, gehen auf die Leitungen 66 und 68 und sind in F i g. 6 in
den Kurven (a) und (b) sichtbar gemacht. Die Absolutgrößenschaltung 70 und 72 machen diese
Signale unipolar. Die Ausgangssignale gemäß cund c/in
F i g. 6 erscheinen auf den Leitungen 74 und 76. Diese Leitungen sind mit den Eingangsanschlüssen der
Komparatorschaltung 78 verbunden, die auf der Leitung 80 eine Ausgangsanzeige liefert, wenn die Amplitude
des Signales auf der Leitung 74 größer ist als diejenige auf der Leitung 76, und die eine Ausgangsanzeige auf
der Leitung 82 liefert, wenn die Amplitude des Signales auf der Leitung 76 größer ist als auf der Leitung 74. Die
Leitung 80 ist mit der Leitung 84 verbunden und liefert ein erstes Ausgangssignal der Einrichtung nach Fig. 7.
Das Signal ist bei (e) in F i g. 6 angegeben und umfaßt eine Impulsfolge, deren Impulse abwechselnd die
Ausmaße der Signale 76 und 48 angeben, die den Informationsinhalt entsprechend den durch Verwendung
der Masken 28c und 2Sd gewünschten Projektionsfeldern besitzen. Wenn somit das Signal 46 auf
seinen Inhalt ausschließlich während M bis i2 untersucht wird, kann eine die Oberfläche des
Gegenstandes betreffende Information entsprechend dem obersten Projektionssegment abgeleitet werden,
das durch die Maske 28c definiert ist Wenn dagegen das Signal während r 3 bis f 4 untersucht wird, kann eine die
Oberfläche des Gegenstandes betreffende Information gemäß dem obersten Projektionssegment abgeleitet
werden, das durch die Maske 28</ definiert ist Der
Impulsabstand zwischen den Impulsen gibt ebenso alternativ den brauchbaren Informationsinhalt der
Signale 50 und 52 an. Das Signal (e) liefert einen passenden Takt zur Untersuchung der Ausgangssignale
der Abtastfühler.
Ein zweites mit dem Taktsignal (e) verwendbares so Ausgangssignal liefern die Vorzeichendetektoren 86
und 88, die UND-Gatter 90 und 92 und das ODER-Gatter 94 in F i g. 7. Das ODER-Gatter 94 liefert
das zweite Ausgangssignal auf der Leitung 96, das in Fig.6 bei (Q dargestellt ist Während des Betriebes
dieser Schaltung ist in dem oben zuerst genannten Schaltzustand, A h. wenn das Signal auf der Leitung 74
das auf der Leitung 74 das auf der Leitung 76 überschreitet, eine EINS vorhanden. Wenn in diesem
Zustand das Signal auf der Leitung 58 positiver ist als das auf der Leitung 60, liefert der Vorzeichendetektor
86 eine EINS und das Gatter 90 wird aktiviert, so daß das Gatter 94 einen Ausgang EINS liefert. Gemäß dem
Signal (f) herrscht dieser Zustand während des Zeitabschnittes ί 1 bis 12 vor. Bei 12 überschreitet das
Signal auf der Leitung 76 das auf der Leitung 74, so daß auf der Leitung 82 eine EINS auftritt Da das Signal 62
nun positiver ist als das auf der Leitung 64, liefert gleichzeitig der Vorzeichendetektor 88 eine EINS und
das Gatter 92 wird aktiviert. Das Gatter 94 setzt den Ausgang EINS bis zu dem Zeitpunkt /3 fort, zu dem
weder das Gatter 90 noch 92 aktiviert ist.
Das Signal ^umfaßt eine Impulsfolge von der halben
Frequenz des Signales (e). Jeder z. B. zwischen / 1 und /3 auftretende Impuls erstreckt sich soweit wie der
Impuls bzw. der Impulsabstand der Signale 46 bzw. 50 reicht. Jeder Impulsabstand des Signales (Q, das von r3
bis 15 auftritt, erstreckt sich soweit wie der Impuls bzw.
Impulsabstand der Signale 48 und 52 reicht. Die Signale (e) und (f) liefern somit zusammen eine schnelle
Verarbeitung der Ausgangssignale der Abtastfühler, ohne daß diese mit einer Ursprungsmarkierung
versehen werden müssen.
In der zuletzt besprochenen Ausführungsform wird das digitale Impulsmuster, welches diejenigen Aufzeichnungen
definiert, welche einen interessierenden Oberflächenpunkt enthalten, durch vorherige Erzeugung der
Signale 46 bis 52 und mindestens des Signales (e) erreicht. Die Signale 46 bis 52 geben jeweils die
bestrahlten Oberflächenabschnitte des Gegenstandes gemäß den Aufzeichnungen an. Das Signal (g) gibt
diejenigen Größen der Signale 46 bis 52 an, welche einen Informationsinhalt haben, der durch Bestrahlen
durch eine ausschließliche (bestimmte) Maske abgeleitet ist Nur wenn ein Oberflächenpunkt in einem so
definierten Größenbereich liegt, beispielsweise zwischen rl und ti im Signal 46, enthält das zuletzt
erzeugte digitale Impulsmuster hierfür einen Impuls. Ei
wird darauf hingewiesen, daß die erreichte Auflösung enger ist als die zeitliche Ausdehnung jeweils eines der
Signale, welches von irgend einer der Masken erzeugt wird.
Bei der bisherigen Erläuterung des Verfahrens ist auf die Verwendung einer Strahlung einheitlicher Frequenz
beidseitig nacheinander erfolgender Projektion durch Masken Bezug genommen, deren durchscheinenden und
nicht durchscheinenden Segmente unterschiedlich angeordnet sind. Diese Masken werden nacheinander
durch den Projektor transportiert, um die Oberfläche des Gegenstandes in erkennbarer Folge in mehreren
vorbestimmten Segmenten anzustrahlen und entsprechend viele Einzelaufnahmen zu erhalten. Diese
erkennbare Folge kann jedoch auch aus einer einzigen fotografischen Aufnahme erhalten werden, indem die
Oberfläche des Gegenstandes in mehreren Segmenten gleichzeitig mit Strahlungen unterschiedlichen, entsprechend
eindeutigen Frequenzinhalts oder anderen singulären Identifikationskennzeichen angestrahlt wird.
Wenn beispielsweise die durchscheinenden und nicht durchscheinenden Segmente der Maske 28c nach F i g. 2
entsprechend durch strahlungsdurchlässige Filter ersetzt werden, beispielsweise durch unterschiedliche
Farbfilter, führt die Projektion einer Strahlung üblicher Frequenzen auf die Maske zu einer Anstrahlung des
Gegenstandes mit Strahlungen unterschiedlicher Frequenz m jedem der Projektionsfeldsegmente und in
jedem entsprechenden Oberflächensegment des Gegenstandes. Ein einziges Farbbild dieser Belichtung
kann durch Abtastpaare mit entsprechend unterschiedlicher, auf der Frequenz basierender Empfindlichkeit zur
Erzeugung der identischen Impulsmuster für die ausgewählten, oben diskutierten Oberflächenpunkte
untersucht werden, insbesondere zur Angabe sowohl der Anzahl der Projektionsfeldsegmente im Bild als
auch derjenigen Projektionsfeldsegmente in dem Bild, welche die Oberflächenpunkte enthalten.
Bei Verwendung mehrerer Masken, insbesondere in der zuerst diskutierten Ausführungsform, kommen für
den Fachmann alternative Maskenanordnungen in
10
Betracht. Beispielsweise kann man mehrere Masken relativ zueinander um relativ kleine Schritte bewegen,
wobei die Masken durchlässige, kettenförmig kodierte Bereiche enthalten. Die Masken 28c bis 28/"in Fig.2
können durch die Maske 28c ersetzt werden, die schrittweise vertikal bewegt wird und dadurch auch die
Masken 28e bis 28/" definiert. Die Projektor-Maskenkombination kann man auch durch Projektionskathodenstrahlröhren erreichen, die auf geeignete Weise so
erregt werden, daß sie das wirksame Projektionsfeld definieren. Ebenso können die durchlässigen Maskensegmente
auch anders denn als Ebenen gestaltet sein.
Hierzu 4 Blatt Zeichnungen
Claims (5)
1. Verfahren zum Bestimmen der räumlichen Lage eines Oberflächenpunktes auf der Oberfläche eines
Gegenstandes, bei welchem der Gegenstand innerhalb eines bestimmten Projektionsfeldes, das von
einem in seiner Lage zu dem Gegenstand vorbestimmten Ort ausgeht, angestrahlt und wenigstens
eine fotografische Aufnahme von dem angestrahlten Teil des Gegenstandes hergestellt wird, dadurch
gekennzeichnet, daß der Gegenstand von dem vorgegebenen Ort aus nacheinander in mehreren vorbestimmten Segmenten angestrahlt
wird, so daß auf den fotografischen Aufnahmen entsprechende vorbestimmte Bildsegmente erhalten
werden, die zur Erzeugung eines die Lage des Oberflächenpunktes zu dem vorbestimmten Ort
darstellenden ersten Signals, welches die Anzahl der Aufnahmen wie auch die Ordnungszahl der den
Oberflächeopunkt enthaltenden Aufnahmen angibt,
und zur Erzeugung eines zweiten Signals abgetastet werden, welches die Ortskoordinaten (x, }) des
Oberflächenpunktes (P) in den Aufnahmen angibt
2. Verfahren zum Bestimmen der räumlichen Lage eines Oberflächenpunktes auf der Oberfläche eines
Gegenstandes, bei welchem der Gegenstand innerhalb eines bestimmten Projektionsfeldes, das von
einem in seiner Lage zu dem Gegenstand vorbestimmten Ort ausgeht, angestrahlt und eine fotografische
Aufnahme von dem angestrahlten Teil des Gegenstandes hergestellt werden, dadurch gekennzeichnet,
daß der Gegenstand von dem vorgegebenen Ort aus in mehreren vorbestimmten Segmenten
mit unterschiedlicher Strahlangsc·' aracteristik angestrahlt
wird, so daß auf der fotografischen Aufnahme entsprechend unterschiedliche Bildsegmente erhalten
werden, die zur Erzeugung eines die Lage des Oberflächenpunktes zu dem vorbestimmten Ort
darstellenden ersten Signals, welches die Anzahl der Bildsegmente und die Ordnungszahl des den
Oberflächenpunkt enthaltenden Bildsegmentes angibt, und unter Erzeugung eines zweiten Signals,
abgetastet werden, welches die Ortskoordinate (x,y) des Oberflächenpunktes (P)m der Aufnahme angibt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufnahmen bzw. die
Aufnahme entlang einer bestimmten Linie ^y-Koordinate)
kontinuierlich fortschreitend abgetastet wird und daß in der Zeitdauer des während dieser
Abtastung erhaltenen ersten Signals jeweils einer bestimmten Aufnahme bzw. einem Segment zugeordnete
Zeitintervalle definiert sind, wobei das erste Signal eine erste Spannungsamplitude in
denjenigen Zeitintervallen, in denen der Oberflächenpunkt abgetastet wird, und eine andere zweite
Spannungsamplitude in den restlichen Zeitintervallen erzeugt.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Gegenstand durch
aufeinanderfolgend in das Projektionsfeld eingebrachte Masken hindurch angestrahlt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Signal abgeleitet wird von
ersten Teilsignalen, von denen jedes einem bestrahlten Bildsegment zugeordnet ist, und einem für jedes
dieser ersten Teilsignale erzeugten zweiten Teilsignal, welches die Größe desjenigen ersten Teilsignals
angibt, welches von der Bestrahlung durch eine bestimmte Maske abgeleitet ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US412162A US3866052A (en) | 1973-11-02 | 1973-11-02 | Methods for generating signals defining three-dimensional object surfaces |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2447789A1 DE2447789A1 (de) | 1975-09-25 |
DE2447789B2 true DE2447789B2 (de) | 1979-10-25 |
DE2447789C3 DE2447789C3 (de) | 1980-07-17 |
Family
ID=23631850
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19742447789 Granted DE2447789A1 (de) | 1973-11-02 | 1974-10-07 | Verfahren zur dreidimensionalen wiedergabe von gegenstaenden |
Country Status (13)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3866052A (de) |
JP (1) | JPS5623088B2 (de) |
BE (1) | BE821620A (de) |
CA (1) | CA1013989A (de) |
CH (1) | CH588684A5 (de) |
DE (1) | DE2447789A1 (de) |
DK (1) | DK569874A (de) |
ES (1) | ES430871A1 (de) |
FR (1) | FR2250129B1 (de) |
GB (1) | GB1482706A (de) |
IT (1) | IT1023145B (de) |
NL (1) | NL180142C (de) |
SE (1) | SE394322B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4335121A1 (de) * | 1993-10-17 | 1995-05-04 | Robert Prof Dr Ing Massen | Automatische Flächenrückführung bei optischen 3D Digitalisierer |
Families Citing this family (49)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4269513A (en) * | 1975-08-27 | 1981-05-26 | Solid Photography Inc. | Arrangement for sensing the surface of an object independent of the reflectance characteristics of the surface |
US4511252A (en) * | 1975-08-27 | 1985-04-16 | Robotic Vision Systems, Inc. | Arrangement for sensing the geometric characteristics of an object |
US4187011A (en) * | 1975-08-27 | 1980-02-05 | Solid Photography Inc. | Arrangement for applying coded illuminated patterns to an object |
US4185918A (en) * | 1975-08-27 | 1980-01-29 | Solid Photography Inc. | Arrangement for sensing the characteristics of a surface and determining the position of points thereon |
US4175862A (en) * | 1975-08-27 | 1979-11-27 | Solid Photography Inc. | Arrangement for sensing the geometric characteristics of an object |
US4508452A (en) * | 1975-08-27 | 1985-04-02 | Robotic Vision Systems, Inc. | Arrangement for sensing the characteristics of a surface and determining the position of points thereon |
SE436663B (sv) * | 1976-06-29 | 1985-01-14 | Dynell Elec | Forfarande och anordning for bestemning av legesinformation avseende stralningsreflekterande foremal |
US4092655A (en) * | 1976-06-29 | 1978-05-30 | Ross Joseph A | Radiant energy recording apparatus |
FR2363779A1 (fr) * | 1976-09-02 | 1978-03-31 | Iria | Procede et appareil optiques pour la determination tridimensionnelle de la forme d'objets a l'aide d'un calculateur |
US4051483A (en) * | 1976-09-03 | 1977-09-27 | Fuji Photo Optical Co., Ltd. | System for measuring and recording three dimensional configuration of object |
US4202612A (en) * | 1976-12-28 | 1980-05-13 | Solid Photography Inc. | Arrangement for sensing the geometric characteristics of an object |
US4126395A (en) * | 1977-05-25 | 1978-11-21 | Solid Photography, Inc. | Method for determining the spatial location of points on a specular surface |
US4259017A (en) * | 1977-10-03 | 1981-03-31 | Dynell Electronics Corporation | Methods for use in definition of object surfaces |
US4199253A (en) * | 1978-04-19 | 1980-04-22 | Solid Photography Inc. | Methods and systems for three-dimensional measurement |
US4212073A (en) * | 1978-12-13 | 1980-07-08 | Balasubramanian N | Method and system for surface contouring |
US4259589A (en) * | 1979-07-20 | 1981-03-31 | Solid Photography, Inc. | Generation of contiguous data files of three-dimensional information |
US4357108A (en) * | 1980-06-06 | 1982-11-02 | Robotic Vision Systems, Inc. | Method for reproducton of object surfaces |
US4393450A (en) * | 1980-08-11 | 1983-07-12 | Trustees Of Dartmouth College | Three-dimensional model-making system |
US4488172A (en) * | 1982-08-18 | 1984-12-11 | Novon, Inc. | Method and apparatus for range imaging |
US4499492A (en) * | 1982-08-18 | 1985-02-12 | Novon, Inc. | Method and apparatus for three frame range imaging |
GB8300512D0 (en) * | 1983-01-10 | 1983-02-09 | Cruickshank J S | Profile imaging techniques |
DE3404396A1 (de) * | 1984-02-08 | 1985-08-14 | Dornier Gmbh, 7990 Friedrichshafen | Vorrichtung und verfahren zur aufnahme von entfernungsbildern |
US5236637A (en) * | 1984-08-08 | 1993-08-17 | 3D Systems, Inc. | Method of and apparatus for production of three dimensional objects by stereolithography |
US5344298A (en) * | 1984-08-08 | 1994-09-06 | 3D Systems, Inc. | Apparatus for making three-dimensional objects by stereolithography |
US5174943A (en) * | 1984-08-08 | 1992-12-29 | 3D Systems, Inc. | Method for production of three-dimensional objects by stereolithography |
US5554336A (en) * | 1984-08-08 | 1996-09-10 | 3D Systems, Inc. | Method and apparatus for production of three-dimensional objects by stereolithography |
US4929402A (en) * | 1984-08-08 | 1990-05-29 | 3D Systems, Inc. | Method for production of three-dimensional objects by stereolithography |
US4653104A (en) * | 1984-09-24 | 1987-03-24 | Westinghouse Electric Corp. | Optical three-dimensional digital data acquisition system |
DE3642051A1 (de) * | 1985-12-10 | 1987-06-11 | Canon Kk | Verfahren zur dreidimensionalen informationsverarbeitung und vorrichtung zum erhalten einer dreidimensionalen information ueber ein objekt |
US4757379A (en) * | 1986-04-14 | 1988-07-12 | Contour Dynamics | Apparatus and method for acquisition of 3D images |
EP0342251A1 (de) * | 1988-05-17 | 1989-11-23 | Contour Dynamics | Apparat und Verfahren zur Erfassung von 3D-Bildern |
JPH0726828B2 (ja) * | 1986-04-18 | 1995-03-29 | 株式会社トプコン | 形状測定装置 |
US4871256A (en) * | 1987-04-29 | 1989-10-03 | Lbp Partnership | Means for projecting patterns of light |
US4846577A (en) * | 1987-04-30 | 1989-07-11 | Lbp Partnership | Optical means for making measurements of surface contours |
GB8724527D0 (en) * | 1987-10-20 | 1987-11-25 | Cruickshank J S | Projection apparatus |
US4935616A (en) * | 1989-08-14 | 1990-06-19 | The United States Of America As Represented By The Department Of Energy | Range imaging laser radar |
FR2664377A1 (fr) * | 1990-07-03 | 1992-01-10 | Bertin & Cie | Appareil pour la determination de la forme tridimensionnelle d'un objet par voie optique sans contact. |
US5879489A (en) | 1993-11-24 | 1999-03-09 | Burns; Marshall | Method and apparatus for automatic fabrication of three-dimensional objects |
US5514232A (en) * | 1993-11-24 | 1996-05-07 | Burns; Marshall | Method and apparatus for automatic fabrication of three-dimensional objects |
DE4415834C2 (de) * | 1994-05-05 | 2000-12-21 | Breuckmann Gmbh | Vorrichtung zur Vermessung von Entfernungen und räumlichen Koordinaten |
FR2724738A1 (fr) * | 1994-09-16 | 1996-03-22 | Pascal Eric Pierre Gauchet | Procede pour la reproduction en volume d'objets a trois dimensions dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede et objets ainsi obtenus |
US5615003A (en) * | 1994-11-29 | 1997-03-25 | Hermary; Alexander T. | Electromagnetic profile scanner |
US5608514A (en) * | 1995-04-19 | 1997-03-04 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | High range resolution ladar |
DE19730184C2 (de) * | 1997-07-15 | 2000-04-27 | Holzmann Philipp Ag | Stahlbeton-Bauverfahren für ausschließlich dreidimensional bestimmbare Baukörper |
US7261542B2 (en) * | 2004-03-18 | 2007-08-28 | Desktop Factory, Inc. | Apparatus for three dimensional printing using image layers |
DE102005018656B4 (de) * | 2005-04-21 | 2007-04-12 | GOM - Gesellschaft für Optische Meßtechnik mbH | Projektor für eine Anordnung zum dreidimensionalen optischen Vermessen von Objekten |
US8090194B2 (en) | 2006-11-21 | 2012-01-03 | Mantis Vision Ltd. | 3D geometric modeling and motion capture using both single and dual imaging |
CA2670214A1 (en) * | 2006-11-21 | 2008-05-29 | Mantisvision Ltd. | 3d geometric modeling and 3d video content creation |
EP2459960B1 (de) * | 2009-07-29 | 2019-11-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Messvorrichtung, messverfahren und computerprogramm |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3566139A (en) * | 1967-12-18 | 1971-02-23 | Itek Corp | System for comparing detail in a pair of similar objects |
US3597083A (en) * | 1969-04-16 | 1971-08-03 | Itek Corp | Method and apparatus for detecting registration between multiple images |
US3749493A (en) * | 1972-01-05 | 1973-07-31 | Stanford Research Inst | Method and apparatus for producing a contour map of a surface area |
US3777055A (en) * | 1972-03-03 | 1973-12-04 | Hobrough Ltd | Hexagonal patch printing for orthophoto printers |
-
1973
- 1973-11-02 US US412162A patent/US3866052A/en not_active Expired - Lifetime
-
1974
- 1974-10-07 DE DE19742447789 patent/DE2447789A1/de active Granted
- 1974-10-10 ES ES430871A patent/ES430871A1/es not_active Expired
- 1974-10-16 CA CA211,534A patent/CA1013989A/en not_active Expired
- 1974-10-21 GB GB45472/74A patent/GB1482706A/en not_active Expired
- 1974-10-24 CH CH1425874A patent/CH588684A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1974-10-24 JP JP12295974A patent/JPS5623088B2/ja not_active Expired
- 1974-10-25 NL NLAANVRAGE7414004,A patent/NL180142C/xx not_active IP Right Cessation
- 1974-10-29 FR FR7436174A patent/FR2250129B1/fr not_active Expired
- 1974-10-29 BE BE150001A patent/BE821620A/xx not_active IP Right Cessation
- 1974-10-30 SE SE7413687A patent/SE394322B/xx not_active IP Right Cessation
- 1974-10-31 IT IT53845/74A patent/IT1023145B/it active
- 1974-11-01 DK DK569874A patent/DK569874A/da not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4335121A1 (de) * | 1993-10-17 | 1995-05-04 | Robert Prof Dr Ing Massen | Automatische Flächenrückführung bei optischen 3D Digitalisierer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2250129A1 (de) | 1975-05-30 |
NL7414004A (nl) | 1975-05-07 |
DE2447789A1 (de) | 1975-09-25 |
GB1482706A (en) | 1977-08-10 |
SE394322B (sv) | 1977-06-20 |
FR2250129B1 (de) | 1976-12-31 |
IT1023145B (it) | 1978-05-10 |
CA1013989A (en) | 1977-07-19 |
JPS5075433A (de) | 1975-06-20 |
DK569874A (de) | 1975-06-30 |
DE2447789C3 (de) | 1980-07-17 |
SE7413687L (de) | 1975-05-05 |
NL180142C (nl) | 1987-01-02 |
ES430871A1 (es) | 1976-10-01 |
NL180142B (nl) | 1986-08-01 |
US3866052A (en) | 1975-02-11 |
JPS5623088B2 (de) | 1981-05-29 |
BE821620A (fr) | 1975-02-17 |
CH588684A5 (de) | 1977-06-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2447789C3 (de) | ||
DE2651430C3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Ausrichten eines Maskenmusters in bezug auf ein Substrat | |
DE2620765C2 (de) | ||
DE2637905A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum bestimmen der raeumlichen lage eines punktes auf der oberflaeche eines gegenstandes | |
DE94027T1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur registerregelung von uebereinander gedruckten bildern. | |
DE2943749C2 (de) | ||
DE2330415A1 (de) | Verfahren zum beruehrungslosen messen eines bewegten gegenstandes und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens | |
DE10026201A1 (de) | Vorrichtung für die Bestimmung der Position eines Gegenstandes in einem OXZ-Bezugssystem | |
DE3735154A1 (de) | Verfahren und einrichtung zum ermitteln der lage eines objektes | |
DE4116054A1 (de) | Vorrichtung zum unterscheiden von teilchenaggregationsmustern | |
DE10212364A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Absolut-Koordinaten eines Objekts | |
DE3116671C2 (de) | ||
DE2046332C3 (de) | Fotoelektrische Vorrichtung zum gegenseitigen Ausrichten zweier Gegenstände | |
AT404638B (de) | Verfahren und vorrichtung zur dreidimensionalen vermessung der oberfläche von gegenständen | |
DE19626889A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von Geometriedaten aus unterschiedlichen Beobachtungspositionen | |
DE2401672C3 (de) | Vorrichtung zur Kontrolle der Bildqualität eines in einem Reproduktions- und Druckverfahren zu verarbeitenden Bildes und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung | |
DE102014104903A1 (de) | Verfahren und Sensor zum Erzeugen und Erfassen von Mustern auf einer Oberfläche | |
DE3843396C1 (en) | Method and device for observing moiré patterns of surfaces under investigation in conjunction with the application of the projection moiré method with phase shifts | |
DE3433024C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Fehlerprüfen von Photomasken | |
DE2731142C3 (de) | Verfahren zur Feststellung der Lage eines Elektronenstrahls in bezug auf auf einem Objekt angeordnete Ausrichtmarkierungen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
DE1099223B (de) | Schnellwirkende Informationsspeicherungsvorrichtung und Informationsspeicherverfahren | |
DE3312203A1 (de) | Kantendetektor in einem optischen messinstrument | |
DE102005043753A1 (de) | Verfahren zur Bestimmung der Raumkoordinaten von Oberflächenpunkten eines Prüflings und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
DE3707300A1 (de) | Verfahren zur positionierung eines bildfeldes in einer mikrofichesucheinrichtung | |
DE3010559C2 (de) | Einrichtungen zur Feststellung von Fehlern in regelmäßigen Mustern |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |