DE3611387A1 - Installation and method for producing integrated circuits or the like from silicon or from gallium arsenide wafers or the like - Google Patents

Installation and method for producing integrated circuits or the like from silicon or from gallium arsenide wafers or the like

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    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67023Apparatus for fluid treatment for general liquid treatment, e.g. etching followed by cleaning

Abstract

An installation and method for producing integrated circuits from silicon or gallium arsenide wafers, consisting of supply containers for a plurality of handling media such as various acids and solvents or cleaning agents with measurement, filling, pumping and extraction devices, as well as a process unit for carrying out the handling steps on the silicon or gallium arsenide wafers which, for transportation and processing purposes, are arranged one above the other in a packeted manner in holders which are designated as hurdles, and the disc-like rotary plates, which are arranged in the process container and are provided with vertical retaining bolts for accommodating and fixing the hurdle holder which can be inserted by means of grippers, being provided with programmable rotary drives for a high rotation speed for drying, a low rotation speed for spraying and for intermittent pivoting for moving into the loading and unloading position, as well as with the spray rod which projects from the bottom into the process container, is central, can be rotated by means of a suitable drive and has a plurality of nozzle sets which are arranged thereon, and with separate supply lines, which run through the central bearing of the rotary plate and the spray rod, for the handling media from the media units which are in each case autonomous for each handling medium, can be moved and can be fed in.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen aus SI oder auch GaAS-Scheiben, und zwar erstreckt sich die Erfin­ dung in erster Linie auf die naß-chemische Behandlung der Horden von übereinander angeordneten Scheiben, aus denen die Micro-chips durch Heraussägen gewonnen werden.The invention relates to a method and a device for the production of integrated circuits from SI or also GaAS disks, namely the Erfin extends primarily on the wet chemical treatment of Hordes of disks, one on top of the other, from which the microchips are obtained by sawing them out.

Bei der Herstellung dieser elektronischen Bauelemente be­ steht die naß-chemische Behandlung dieser Scheiben bzw. Scheibenhorden in einzelnen Arbeitsschritten. Typische Arbeitsschritte dieser Art sind:In the manufacture of these electronic components is the wet chemical treatment of these disks or Disk trays in individual work steps. Typical Work steps of this type are:

Oxydätzen, Deglaze, Lift-off, Aluätzen, Silizidätzen, Nitridätzen sowie viele Spül- und Reinigungsprozesse.Oxide etching, deglaze, lift-off, aluminum etching, silicide etching, Nitride etching and many rinsing and cleaning processes.

Diese Arbeitsvorgänge werden derzeit in aller Regel im Tauchverfahren in Säure-, Lösungsmittel- und HSO-DI- Bädern durchgeführt.These operations are usually currently in the Immersion processes in acid, solvent and HSO-DI Baths performed.

Es ist bekannt, daß bei der Herstellung derartiger elektro­ nischer Bauelemente höchste Anforderungen an Kontamina­ tionsfreiheit gestellt sind. Den manuellen Tauchvorgängen haften, neben der Verunreinigungsverschleppung der Träger und Scheiben oder aber Temperaturschwankungen sowie Konzentrations- und Mischungsverhältnisänderungen, sehr große Fehlerquellen durch den manuellen Eingriff der die Tauchprozesse durchführenden Personen an. Beim Umsetzen der Scheibenhorden von einem Prozeßbad zum nächsten er­ greift der Operator die Horde am Hordenträger, d. h. die Hand des Operators bewegt sich über der Horde und den Scheiben. Dadurch entstehen unvermeidlich Turbulenzen im laminaren Reinstluftstrom über den Scheiben. Diese Luft­ turbulenzen sowie die Handbewegung (auch mit Reinraumhand­ schuhen) generieren Partikel, welche die Scheiben, die Horden und auch das Bad als solches kontaminieren. Außer­ dem erzeugen Personenbewegungen vor den Prozeßtischen Crosskontaminationen im Laminarstrombereich der Prozesse.It is known that in the manufacture of such electro components, highest demands on Contamina freedom of movement. The manual dives adhere to the carryover of contaminants and discs or temperature fluctuations as well Changes in concentration and mixture ratio, very much large sources of error due to the manual intervention of the Persons performing diving processes. When moving the disk trays from one process bath to the next the operator grabs the horde on the horde carrier, d. H. the The operator's hand moves over the horde and the Slices. This inevitably creates turbulence in the laminar pure air flow over the panes. That air turbulence as well as the hand movement (also with clean room hand shoes) generate particles which are the disks that Hordes and also contaminate the bathroom as such. Except this creates movements of people in front of the process tables  Cross-contamination in the laminar flow area of the processes.

Der Mensch als Prozeßoperator ist die größte Partikelquel­ le in laminaren Reinräumen, bedingt durch Kleidung, Be­ wegungsabläufe, ungeschützte Körperteile und vor allem auch die Atmung. Aus diesen Gründen werden beispielsweise in der Regel als Prozeß-Operatoren keine Raucher einge­ stellt, weil Untersuchungen ergeben haben, daß die mensch­ liche Lunge noch lange Zeit nach dem Inhalieren von Ziga­ retten oder Zigarrenrauch diese Partikel über den Atem wie­ der abgibt.The human being as a process operator is the largest particle source le in laminar clean rooms, due to clothing, be motion sequences, unprotected body parts and above all also breathing. For these reasons, for example usually no smokers entered as process operators because research has shown that humans lungs long after inhaling Ziga rescue or cigar smoke like these particles over the breath who surrenders.

Andere Fehlerquellen bestehen darin, daß die mit der Prozeß-Manipulation beschäftigten Operatoren die Prozeß­ abläufe nicht immer mit der erforderlichen höchsten Prä­ zision durchführen. Wenn die Scheibenhorden in ein Bad ein­ gesetzt werden, dann wird gleichzeitig manuell eine Zeit­ schaltuhr in Tätigkeit gesetzt, oder über eine N2-Micro- Schaltwippe oder ein optisches bzw. kapazitives Signal im Bad durch die Horde gestartet. Nach Ablauf der eingegebe­ nen Prozeßzeitdauer wird durch ein akustisches oder/und optisches Signal das Prozeßende angezeigt. Wenn nun der Operator nicht sofort danach die Horde umsetzt, so können die Scheiben überätzt werden, was Flankenprofilveränderun­ gen, z. B. isotopische Profile, oder Unterätzungen, z. B. bei Oxyden, zur Folge hat.Other sources of error are that with the Process manipulation employed operators the process processes do not always have the highest precedence required perform precision. When the disk trays in a bath be set, then a time is manually set at the same time timer activated, or via an N2 micro Rocker switch or an optical or capacitive signal in the Bad started by the horde. After the entered NEN process time is indicated by an acoustic or / and optical signal indicates the end of the process. If the Operator does not immediately implement the horde, so can the disks are overetched, which changes the flank profile gene, e.g. B. isotopic profiles, or undercuts, e.g. B. with oxides.

In der Praxis sind die Operatorinnen oder Operatoren keine Prozeßingenieure. Daher fehlt es ihnen häufig am nötigen Verständnis für die Wichtigkeit des sauberen und exakten Arbeitsablaufes. Die durch ungenaues Arbei­ ten entstandenen Ätzfehler sind praktisch nicht zu er­ kennen. Wie sich erwiesen hat, sind auch firmeninterne Personalschulungen mit dem Ziel, ein den gestellten ho­ hen Anforderungen entsprechendes exaktes Arbeiten die­ ser Operatoren einzuüben, ohne durchgreifenden Erfolg, weil viele Personen das Eingeübte und Gelernte nicht absolut zuverlässig und gleichmäßig in die Praxis umsetzen können. Aus diesen Gründen ist die Herstellung derartiger elektro­ nischer Bauelemente von einer verhältnismäßig hohen Aus­ schußquote begleitet. Die derzeitige Ausbeute bei hochin­ tegrierten Schaltkreisen (256 k-Speicher, ein Mbit-Spei­ cher) liegt im Durchschnitt bei ca. 60%. Die hohe Aus­ schußquote von durchschnittlich 40% ist sehr unbefriedi­ gend. Dieses Problem wird sich künftig noch verschärfen, weil der Preis der immer kompakter werdenden Geometrieen von bis zu 1 µm sowie immer größer werdender SI-Scheiben (Stand 1985: 150 mm Durchmesser, in einigen Jahren durch­ schnittlich 200 mm Durchmesser) einer fertigprozessierten SI-Scheibe vor dem Sägen in Chips je nach Bauelement zwi­ schen 5000,-- und 20000,-- DM liegt; somit stellt eine Horde mit 25 Scheiben einen Wert von ca. 125000,-- bis 500 000,-- DM dar. Wenn durch eine verbesserte, insbeson­ dere präzisere Manipulation die Ausbeute der brauchbaren Chips nur um 1% gesteigert werden könnte, so würde dies pro Horde eine Ersparnis von 1000,-- bis 5000,-- DM be­ deuten.In practice, the operators are no process engineers. Therefore, they often lack the necessary understanding of the importance of clean and exact workflow. The due to inaccurate work The etching errors that have arisen are practically impossible know. As has been shown, are also internal Personnel training with the aim of providing the ho according to the requirements of exact work practicing these operators without thorough success,  because many people do not absolutely practice and learn what they have learned can put it into practice reliably and evenly. For these reasons, the manufacture of such is electro African components from a relatively high level shot rate accompanied. The current yield at hochin integrated circuits (256 k memory, one Mbit memory cher) averages around 60%. The high end average shooting rate of 40% is very unsatisfied enough. This problem will worsen in the future, because the price of the increasingly compact geometries of up to 1 µm as well as ever larger SI disks (As of 1985: 150 mm diameter, in a few years through 200 mm diameter on average) of a fully processed SI disc before sawing in chips depending on the component between between 5,000 and 20,000 DM; thus represents one Horde with 25 disks a value of approx. 125000, - bis 500 000, - DM represents. If through an improved, in particular the more precise manipulation the yield of the usable Chips could only be increased by 1%, so this would per horde savings of 1000 to 5000 DM interpret.

Es besteht daher die Aufgabe, die vorgenannten Fehlerquel­ len soweit als möglich zu eliminieren. Der Erfindung liegt daher der Gedanke zugrunde, die eingangs genannten Prozeß­ schritte, insbesondere das Oxydätzen, Aluätzen, Silizid­ ätzen, Nitridätzen, Deglaze, Lift-off sowie die zahl­ reichen Spül- und Reinigungsvorgänge ohne Beeinflußung durch die unsichere Handhabung von Operatoren exakt kon­ trolliert ablaufen zu lassen und darüber hinaus insbeson­ dere eine kontinuierliche Kontrolle der Zusammensetzung der Behandlungsmedien zu gewährleisten.There is therefore the task of the aforementioned error sources as far as possible. The invention lies hence the thought underlying the process mentioned above steps, especially oxide etching, aluminum etching, silicide etching, nitride etching, deglaze, lift-off and the number sufficient rinsing and cleaning processes without interference due to the uncertain handling of operators exactly kon to run trolled and in particular continuous control of the composition to ensure the treatment media.

Bei den Scheibenreinigungsschritten in Säureprozeßbädern werden die Reinigungsprozesse außer bei der Entfernung von Oxydfilmen (20 bis 30 A) in Flußsäure-H2O-DI-Bädern (BOE), durch Beimengung von H2O2 betrieben. Dies ist um­ ständlich und teuer. Zuerst wird DI-Wasser auf ca. 90% C erhitzt, dann Säure (z. B. NH4OH, (H2SO4), HCL) und H2O2 in unterschiedlichen Mischungsverhältnissen zugegeben. Bei einer Temperatur von ca. 70 bis 80°C ist die Lösung nur 40 Minuten zu gebrauchen, weil sich H2O2 nach dieser Zeit zersetzt und dadurch die Wirksamkeit verliert. Nach dieser Zeit ätzt z. B. NH4OH bei fehlendem H2O2 das Silizium 10-20 nm/min. Um dies zu vermeiden wird stets H2O2 nachdosiert, wodurch jedoch im Ergebnis eine exakte Erfassung des je­ weiligen Mischverhältnisses nicht mehr möglich ist.In the window cleaning steps in acid process baths the cleaning processes except for the removal of oxide films (20 to 30 A) in hydrofluoric acid-H2O-DI baths  (BOE), operated by admixing H2O2. This is over of course and expensive. First, DI water is heated to approx. 90% C. heated, then acid (e.g. NH4OH, (H2SO4), HCL) and H2O2 added in different mixing ratios. At a temperature of about 70 to 80 ° C is the solution only 40 minutes to use, because after this time H2O2 decomposes and loses its effectiveness. After this Time etches e.g. B. NH4OH in the absence of H2O2 the silicon 10-20 nm / min. In order to avoid this, H2O2 is always added, however, as a result, an exact recording of each mixing ratio is no longer possible.

Um diese Nachteile zu vermeiden, wurde auch als wirkungs­ voller Hauptreinigungsschritt zur Entfernung organischer Verunreinigungen vorgeschlagen, mit CARO′scher Säure H2SO4 und H2O2 im Verhältnis 4:1 zu arbeiten. Dieses Säurebad ist jedoch gefährlich und deshalb nicht zu empfehlen, weil exothermische Reaktionen ausgelöst werden können. Außerdem müßten die Säuren permanent filtriert werden, um Badverun­ reinigungen zu entfernen.To avoid these disadvantages, it has also been shown to be effective full main cleaning step to remove organic Impurities suggested with CARO's acid H2SO4 and H2O2 in a 4: 1 ratio. This acid bath is dangerous and therefore not recommended because exothermic reactions can be triggered. Furthermore the acids would have to be filtered permanently to bad verun to remove cleanings.

Daraus ergibt sich, daß die Verfahrensweisen zur Scheiben­ reinigung wegen der steigenden kritischen Anforderungen bei VLSI-Prozessen, aber auch vermehrt bei unkritischen Power-Elemente-Devices-Herstellern, die Schlüsselbedeutung für die Qualität und die Ausbeute der Halbleiterprodukte haben und somit ausschlaggebend für die Wirtschaftlichkeit der Herstellungsverfahren sind. Die organischen und an­ organischen Scheibenreinigungsverfahren vor den Diffusions­ prozessen werden immer kritischeren Prüfungen unterzogen, weil die N, P und Oxydationsprozesse keinesfalls Kontami­ nationen durch Verunreingungen (z.B. Schwermetalle) zu lassen.It follows that the procedures for slices cleaning due to the increasing critical requirements with VLSI processes, but also increasingly with non-critical ones Power elements devices manufacturers, the key meaning for the quality and yield of semiconductor products have and therefore decisive for the economy the manufacturing process are. The organic and at organic window cleaning process before diffusions processes are subjected to increasingly critical tests, because the N, P and oxidation processes by no means contaminate nations due to impurities (e.g. heavy metals) to let.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anlage und ein Verfahren zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen aus Si- oder GaAS-Scheiben zu schaffen, wodurch die geschilderten Nachteile der bekannten Anla­ gen und Verfahrensweisen vermieden werden, und zwar ins­ besondere dadurch, daß sämtliche naßchemischen Opera­ tionen vollautomatisiert durchgeführt werden, so daß jegliches manuelle Eingreifen eines Operators entfällt.The invention has for its object a system and a method of manufacturing integrated Creating circuits from Si or GaAS wafers, whereby the disadvantages of the known Anla conditions and procedures are avoided special in that all wet chemical Opera tions are carried out fully automatically, so that no manual intervention by an operator is required.

Die weiteren Aufgaben der Erfindung bestehen noch darin, die Voraussetzungen für eine zuverlässigere Einhaltung aller Verfahrensparameter zu schaffen, also insbesondere die Konzentrations- und Mischungsverhältnisse der Medien laufend zu kontrollieren und zu korrigieren, durch Thermostatisierung der Behälter und der zugeführten Me­ dien Temperaturschwankungen weitgehendst auszuschalten. Durch Vergrößerung des Fassungsvermögens des Prozeßbe­ hälters soll weiterhin eine rationellere Ausnutzung der Behandlungsmedien erzielt werden, so daß der spezifi­ sche Säureverbrauch pro Scheibe bzw. Scheibenfläche we­ sentlich gesenkt werden kann. Die Ausbildungsweise der Anlage und des Verfahrens sollen es ferner ermöglichen, sämtliche Operationsabläufe unterbrechungsfrei, also rascher aufeinanderfolgen zu lassen, und zusätzlich die Möglichkeit zu schaffen, im Rahmen der Automatisie­ rung durch eine Programmsteuerung aller Operationen deren Ablauf einschließlich der Operationsparameter auf Pro­ zeßmonitoren darstellen zu können.The other objects of the invention are the prerequisites for more reliable compliance to create all process parameters, in particular the concentration and mixing ratios of the media to continuously check and correct through Thermostatization of the containers and the supplied me to largely switch off temperature fluctuations. By increasing the capacity of the process shall continue to use the Treatment media can be achieved so that the specifi cal acid consumption per pane or pane surface can be significantly reduced. The way of training the Plant and the process should also allow all operations are uninterrupted let them follow each other more quickly, and in addition the opportunity to create within the framework of automation program control of all operations Procedure including the operating parameters on Pro be able to display time monitors.

Die Erfindung geht von einer bekannten Anlage der ge­ nannten Art aus, die aus Vorratsbehältern für mehrere Behandlungsmedien, wie verschiedene Säuren und Lösungs­ mittel mit Meß-, Befüll-, Pump- und Entnahmevorrich­ tungen sowie lösbare Leitungsverbindungen zum Zuführen der Behandlungsmedien zu einer Prozeß-Einheit zur Durchführung der naß-chemischen Behandlungsschritte an den in diese einzubringenden Si- oder GaAS-Scheiben, in der zu Transport- und Bearbeitungszwecken die Schei­ ben in Horden-Haltern paketweise übereinander auf einer drehbaren Vorrichtung angeordnet sind, die mit Mitteln zur Aufnahme von wenigstens zwei Horden-Haltern für Si­ oder GaAS-Scheiben versehen ist, und die ferner mehrere Düsenanordnungen zum Versprühen von flüssigen oder gas­ förmigen Behandlungsmedien enthält, von denen einige an einem zentral angeordneten Sprühstab angebracht sind.The invention relates to a known system of ge called out from storage containers for several Treatment media, such as various acids and solutions  medium with measuring, filling, pumping and dispensing device lines and detachable line connections for feeding the treatment media to a process unit for Implementation of the wet chemical treatment steps the Si or GaAS disks to be inserted into these, in the Schei for transport and processing purposes ben in horde holders stacked one on top of the other rotatable device are arranged by means for holding at least two tray holders for Si or GaAS disks, and the further several Nozzle arrangements for spraying liquid or gas containing treatment media, some of which are available a centrally located spray stick are attached.

Zur Lösung der erfindungsgemäß zugrundeliegenden Aufgabe wird vorgeschlagen, daß der im Prozeßbehälter angeordne­ te, mit vertikalen Haltebolzen zur Aufnahme und Fixie­ rung der mittels eines Greifers einsetz- und entnehmba­ ren Horden-Halter versehene scheibenartige Drehteller mit programmsteuerbaren Antrieben für eine hohe Drehzahl zum Trocknen, eine kleine Drehzahl zum Sprühen und für ein absatzweises Schwenken zum Einfahren in die Be- und Entladeposition sowie mit dem in den Prozeßbehälter von unten hineinragenden zentralen und mittels eines eigenen Antriebes drehbaren Sprühstab mit mehreren daran ange­ ordneten Düsensätzen zum getrennten Versprühen von N2, H2O-Di und verschiedenen Säuren und mit getrennten, durch das zentrale Lager des Drehtellers und des Sprühstabes verlaufenden Zuführungsleitungen für diese Behandlungs­ medien aus Vorratsbehältern, die in jeweils für jedes Behandlungsmedium selbständigen, verfahrbaren und bei­ stellbaren Medien-Einheiten untergebracht sind. To solve the problem underlying the invention it is proposed that the arranged in the process container te, with vertical holding bolts for mounting and fixie tion of the insertable and removable with a gripper disk-like turntable provided with a tray holder with programmable drives for high speed for drying, a low speed for spraying and for a batch swivel to drive into the loading and Unloading position as well as with in the process container of central projecting below and by means of its own Drive rotating spray wand with several attached to it arranged nozzle sets for separate spraying of N2, H2O-Di and various acids and with separated, by the central bearing of the turntable and spray bar trending feed lines for this treatment media from storage containers, each in each Treatment medium independent, movable and at adjustable media units are housed.  

Weitere Ausbildungsmerkmale des Prozeßbehälters bestehen darin, daß an seiner Innenwandung wenigstens zwei Kon­ solen angeordnet sind, an denen mittels eines Flansches eine Lagerhülse für den Drehteller befestigt ist, in welcher mittels Wälzlagern die Hohl-Lagerwelle des Dreh­ tellers gelagert ist, und daß an deren unterem Ende eine Rastscheibe mit in dieser angebrachten, den Be- und Entladepositionen entsprechenden Bohrungen oder Nuten befestigt ist, und daß ein druckmittelbetriebener, pro­ grammsteuerbarer Raststift durch Eingriff in eine der Bohrungen oder Nuten den Drehteller in der angesteuerten Be- und Entladeposition fixiert. Nach einem weiteren Merkmal ist im unteren Bereich der Hohlwelle ein An­ triebsritzel für einen Zahnriemen befestigt, der von einem im Drehzahlverhältnis von etwa 1:75 bis 1:150 um­ schaltbaren Getriebemotor angetrieben ist und den Dreh­ teller mit einer Drehzahl von wahlweise etwa 7,5 bis 15 oder von 750 bis 1500 U/min. antreibt.Further training features of the process container exist in that at least two con sols are arranged on which by means of a flange a bearing sleeve for the turntable is attached in which by means of rolling bearings, the hollow bearing shaft of the rotation plates is stored, and that at the lower end a locking disc with attached in this, the loading and Bores or grooves corresponding to unloading positions is attached, and that a pressure medium operated, pro Gram-controllable locking pin by engaging one of the Bores or grooves in the turntable in the controlled Fixed loading and unloading position. After another Characteristic is an on in the lower area of the hollow shaft Drive pinion for a toothed belt attached by one in the speed ratio of about 1:75 to 1: 150 µm switchable gear motor is driven and the rotation plate with a speed of about 7.5 to 15 or from 750 to 1500 rpm. drives.

Gemäß einem wesentlichen Erfindungsmerkmal ist in der Hohlwelle des Drehtellers der untere Schaft des Sprüh­ stabes drehbar gelagert und an seinem unteren Ende mit einem Dichtungs-Abschlußring sowie einem an diesen ange­ formten Exzenter-Auge versehen, an dem mittels eines Bolzens die Kolbenstange eines an der Wandung des Pro­ zeßbehälters angelenkten, programmgesteuert beaufschlag­ baren Pneumatikzylinders zur alternierenden Hin- und Her-Drehung des Sprühstab-Schaftes mit dem Sprühstab um einen Winkel zwischen 40 und 90° angreift. According to an essential feature of the invention Hollow shaft of the turntable the lower shaft of the spray Stabes rotatably and with at its lower end a sealing end ring and one attached to this shaped eccentric eye provided on which by means of a Bolt the piston rod one to the wall of the Pro pressurized container, program-controlled loading Pneumatic cylinders for alternating back and forth Rotate the spray rod shaft with the spray rod attacks at an angle between 40 and 90 °.  

Außerdem ist nach der weiteren Erfindung mit dem unte­ ren Ende des Sprühstab-Schaftes ein Zuführungskopf ver­ bunden, der wenigstens drei Leitungsanschlüsse für die Zuführung von Säuren, H2O-Di und N2 aufweist und der zugleich als unteres Spurlager für den Sprühstab- Schaft ausgebildet ist.In addition, according to the further invention with the bottom a feed head at the end of the spray rod shaft tied, the at least three line connections for the Has addition of acids, H2O-Di and N2 and the at the same time as the lower thrust bearing for the spray stick Shaft is formed.

Der Prozeßbehälter ist nach weiteren Merkmalen mit wenigstens einem programmsteuer- und fernbetätigbaren Ein­ und Auslaßventil einer entsprechenden Zuleitung zu einem programmierbar fernbetätigbaren Mehrwegeventil versehen, mittels welchem Lösungs- und/oder Reinigungsmittel, wie H2O-Di oder dergl. Medien zu- und abführbar sind. Fer­ ner ist der Prozeßbehälter mit einem ebenfalls fernaus­ lösbaren Schnellabschaltventil mit einem Schlauchan­ schluß und einer zu einem Neutralisationstank geführten Abführungsleitung ausgerüstet.The process container is with other features at least one programmable and remotely operable one and outlet valve of a corresponding supply line to one programmable remote-controlled multi-way valve, by means of which solvent and / or cleaning agent, such as H2O-Di or similar media can be added and removed. Fer ner is the process container with a remote too detachable quick shut-off valve with a hose connection conclusion and one led to a neutralization tank Discharge pipe equipped.

Bedeutsame Ausbildungsmerkmale des Drehtellers bestehen darin, daß er mit Gruppen von wenigstens drei vertikalen Haltebolzen unterschiedlicher Höhe zur Aufnahme und zum Fixieren von Horden-Haltern versehen ist, deren Bundan­ sätze zur Auflage der Horden-Halter dienen. Dabei ist wesentlich, daß erfindungsgemäß die Dimensionierung und Anordnung so getroffen sein kann, daß Gruppen von ver­ tikalen Haltebolzen für wenigstens sechs Horden-Halter für 100 mm ⌀ Scheiben, oder für wenigstens vier Horden- Halter für 125 mm ⌀ Scheiben, oder für wenigstens drei Horden-Halter für 150 mm ⌀ Scheiben, oder für wenigstens zwei Horden-Halter für 200 mm ⌀ Scheiben auf dem Dreh­ teller angebracht sein können. Es können auf dem Dreh­ teller entsprechende Bohrungen oder sonstige Aufnahmen für verschiedene Anordnungen von vertikalen Haltebol­ zen für die verschiedenen Größen von Horden-Haltern vorhanden sein, oder aber es können auch verschiedene Drehteller für die verschiedenen Scheibengrößen vorhan­ den und auswechselbar sein.Significant training features of the turntable exist in being with groups of at least three vertical Retaining bolts of different heights for mounting and Fixing horde holders is provided, their bundan sets serve to support the tray holder. It is essential that the dimensioning and Arrangement can be made so that groups of ver tical retaining bolts for at least six tray holders for 100 mm ⌀ discs, or for at least four tray Holder for 125 mm ⌀ disks, or for at least three Tray holder for 150 mm ⌀ discs, or at least two tray holders for 200 mm ⌀ discs on the turn plates can be attached. It can on the shoot corresponding holes or other receptacles  for different arrangements of vertical retaining bolts zen for the different sizes of tray holders be present, or it can also be different Turntable for the different disc sizes available and be interchangeable.

Von erfindungswesentlicher Bedeutung sind ferner die Ausbildungsmerkmale des Sprühstabes. Diese bestehen da­ rin, daß die Leitungsanschlüsse des Zuführungskopfes im unteren Bereich des Sprühstab-Schaftes mit wenig­ stens drei Axialbohrungen im Sprühstab verbunden sind, die zu den Düsenanordnungen des Sprühstabes führen.Of essential importance to the invention are also the Training characteristics of the spray wand. These exist there rin that the line connections of the feed head in the lower area of the spray wand shaft with little at least three axial bores are connected in the spray rod, that lead to the nozzle arrangements of the spray wand.

Der Sprühstab ist erfindungsgemäß mit wenigstens drei umfangsverteilten, übereinander angeordneten Reihen von wenigstens vier Sprühdüsen für H2O-Di ausgerüstet, die über Kanäle mit der zugehörigen Zuführungs-Axial­ bohrung im Sprühstab verbunden sind. Weiterhin ist zwischen jeder der Reihen von übereinander angeordneten Sprühdüsen jeweils eine weitere vertikale Reihe von übereinander in engem Abstand aufeinanderfolgenden Säu­ re-Atomiser-Düsen im Sprühstab angebracht. Ferner ist von Bedeutung, daß jede der Säure-Atomiser-Düsen aus wenigstens zwei in einem spitzen Winkel zueinander ge­ richteten Düsen besteht. Nach einem weiteren Merkmal sind diese Säure-Atomiser-Düsenanordnungen im inneren Grund von zwei einen stumpfen Winkel zueinander bilden­ den, in den Umfang des Sprühstabes eingeschnittenen Vertiefungsflächen angebracht. Dabei ist vorzugsweise vorgesehen, daß der Sprühstab wenigstens 25 vertikal übereinander angebrachte Säure-Atomiser-Düsenanordnungen aufweist. Diese sind nach einem weiteren Merkmal mittels Kanälen und Bohrungen mit der zugehörigen Zuführungs- Axialbohrung im Sprühstab verbunden. The spray stick is according to the invention with at least three circumferentially distributed, one above the other rows equipped with at least four spray nozzles for H2O-Di, the via channels with the associated feed axial hole in the spray rod are connected. Furthermore is between each of the rows of one above the other Spray nozzles each another vertical row of on top of each other in close succession re-atomiser nozzles installed in the spray wand. Furthermore is meaning that each of the acid atomizer nozzles consists of at least two ge at an acute angle to each other directed nozzles. According to another characteristic these acid atomizer nozzle arrangements are inside Reason of two form an obtuse angle to each other the one cut into the circumference of the spray stick Recessed areas attached. It is preferred provided that the spray wand at least 25 vertically superimposed acid atomizer nozzle arrangements having. According to another characteristic, these are Channels and holes with the associated feed Axial bore connected in the spray rod.  

Außerdem ist der Sprühstab mit einem oberen Sprühkopf versehen, der mit einer weiteren Düsenanordnung ausge­ rüstet ist, die aus nach oben gerichteten Düsen und um­ fangsverteilten Düsen besteht, welche zur Sprühstab­ achse einen spitzen Winkel bilden, und die mittels Ka­ nälen und Bohrungen mit der zugehörigen Zuführungs- Axialbohrung im Sprühstab verbunden sind.The spray wand also has an upper spray head provided that out with another nozzle arrangement is equipped with the upward directed nozzles and around there are nozzles distributed to the spray rod axis form an acute angle, and which by means of Ka channels and holes with the associated feed Axial bore in the spray rod are connected.

Außerdem ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß der Pro­ zeßbehälter an seinem oberen Rand von einem Kragen ein­ gefaßt ist, der in einer Ringnut eine Ringdichtung aufweist, an welcher der aufklappbare Deckel mit seinem Außenrand dichtend anliegt. Der aufklappbare Deckel ist in einem Gelenk beweglich gelagert und mittels einer fernsteuer- und programmierbar beaufschlagbaren Kolben- Zylinder-Einheit öffen- und schließbar.In addition, the invention provides that the Pro a container at its upper edge by a collar is summarized, the ring seal in an annular groove has, on which the hinged lid with its The outer edge is sealed. The hinged lid is movably supported in a joint and by means of a remote-controlled and programmable piston Cylinder unit can be opened and closed.

Ferner ist erfindungsgemäß der Prozeßbehälter an seinem Außenmantel mit einer elektrischen Widerstandsheizung versehen.Furthermore, according to the invention, the process container is on its Outer jacket with an electrical resistance heater Mistake.

Nach weiteren bedeutsamen Merkmalen der Erfindung ist der Prozeß-Einheit eine Transport-Manipulator-Einheit zugeordnet, die mit einem wenigstens zweidimensional verfahrbaren programmsteuerbaren Greifer ausgerüstet ist, mittels welchem ein Horden-Halter erfaßbar und in die Beladeposition auf dem Drehteller des Prozeßbehäl­ ters in seine Funktionsstellung zwischen die Haltebolzen absetzbar und nach der Arbeitsoperation aus dieser Stellung wieder entnehmbar und einem nächsten Opera­ tionsschritt zuführbar ist. According to other important features of the invention the process unit is a transport manipulator unit associated with an at least two-dimensional movable programmable gripper is, by means of which a tray holder can be detected and in the loading position on the turntable of the process container ters in its functional position between the retaining bolts deductible and after the work operation from this Removable position and a next Opera tion step can be fed.  

Weitere Merkmale dieser Einheit bestehen noch darin, daß zur Öffnungs- und Schließbewegung des Greifers zum Erfassen des Horden-Halters die Greiferzangen mittels einer galgenartigen Gestellverbindung an zwei gegenläufig verdrehbaren Steuerstäben befestigt sind, die an einem Doppelexzenter unter Federkraft anliegende Spreizhebel aufweisen, und daß der Doppelexzenter von einem pro­ grammierbar-fernsteuerbaren Schrittschaltmotor in seine um 90° versetzten Endstellungen verstellbar ist.Other features of this unit are that to open and close the gripper to Use the gripper tongs to grasp the tray holder a gallows-like frame connection on two in opposite directions rotatable control rods are attached to one Double eccentric spring-loaded spreading levers have, and that the double eccentric of one per programmable stepper motor in its remote control is adjustable by 90 ° offset end positions.

Weiterhin kann die Ausbildung so getroffen sein, daß die Greiferanordnung mit ihrem Antrieb am höhenverstell­ baren Support einer Vertikalschlittenführung und diese am Support einer Horizontalschlittenführung angeordnet ist, und daß beide Schlittenführungen mittels pro­ grammierbar-fernsteuerbarer Stellmotoren in vorgegebene Positionen verfahrbar sind.Furthermore, the training can be made such that the gripper assembly with its drive on the height adjustment support of a vertical slide guide and this arranged on the support of a horizontal slide guide is, and that both slide guides by means of pro programmable, remotely controllable actuators in predefined Positions are movable.

Eine weitere vorteilhafte Besonderheit der Erfindung besteht ferner darin, daß für jedes Behandlungsmedium, außer N2 und H2O-Di, insbesondere jede Säure eine selb­ ständige, verfahrbare und an die Prozeßeinheit beistell­ sowie an diese anschließbare Medien-Einheit vorgesehen ist, die einen Tank zur Aufnahme des Mediums mit einer Einfüllanordnung sowie einer Förderpumpe mit Antriebs­ motor und ferner Anschlüsse für Schlauchverbindungen mit Schnellkupplungen zur Verbindung mit den entsprechen­ den Zuführungsanschlüssen der Prozeß-Einheit sowie zur Verbindung mit Zu- und Abführungsleitungen für ein Spül­ oder Reinigungsmittel aufweist. Another advantageous special feature of the invention further consists in the fact that for each treatment medium, except N2 and H2O-Di, especially each acid is the same permanent, movable and provided to the process unit and provided for this connectable media unit which is a tank for holding the medium with a Filling arrangement and a feed pump with drive motor and also connections for hose connections with quick connectors for connection to the corresponding the supply connections of the process unit and Connection to supply and discharge lines for a rinse or detergent.  

Ein zusätzliches vorteilhaftes Merkmal ist noch darin zu sehen, daß die Zuführungsleitungen für die Behand­ lungsmedien, insbesondere Säuren, der Medien-Einheiten an eine oder mehrere Mischkammern mit programmierbar fernsteuerbaren Einlaßventilen für eine Mehrzahl ver­ schiedener Behandlungsmedien, insbesondere Säuren, an­ schließbar sind, deren programmsteuerbare Auslaß-Do­ sierventile durch Zuführungsleitungen mit den entspre­ chenden Anschlüssen der Prozeßeinheit verbindbar sind.An additional advantageous feature is still in it to see that the supply lines for the treatment media, especially acids, of the media units programmable to one or more mixing chambers remotely controllable inlet valves for a plurality of ver various treatment media, especially acids are closable, their programmable outlet Do Sierventile through supply lines with the corresponding corresponding connections of the process unit are connectable.

Ein weiteres vorteilhaftes Ausbildungsmerkmal der Me­ dien-Einheiten nach der Erfindung besteht noch darin, daß deren Tank mit einer an seinem Außenmantel ange­ ordneten elektrischen Widerstandsheizung ausgestattet ist, die eine Meß- und Regelvorrichtung zur Temperatur­ konstanthaltung aufweist.Another advantageous training feature of the Me dien units according to the invention still consists in that their tank with one on its outer jacket arranged electrical resistance heating is a measuring and regulating device for temperature maintains constant.

Die Lösung der Aufgabe, die sich die Erfindung zum Ziel gesetzt hat, wird durch eine Verfahrensweise ermöglicht, die mit der erfindungsgemäßen Anlage durchführbar ist. Die vollständige Programmsteuerung und Prozeßkontrolle ermöglicht einen völlig bedienungs­ losen Ablauf aller Prozeßschritte der chemischen Naß­ behandlung dieser Si-oder GaAs-Scheiben. Durch diese Ausgestaltung des Verfahrensablaufes nach der Erfindung wird eine nahezu vollständige, wirksame Kontaminations­ freiheit gewährleistet mit dem Ergebnis, daß die Ausschußquote von ca. 40% bei der bekannten Verfahrens­ weise nach dem Stand der Technik außerordentlich, d.h. in der Praxis bis zu 10% verringert werden kann. The solution to the problem, which the invention for Has set a goal by proceeding enables with the system according to the invention is feasible. Complete program control and process control enables a fully operational loose sequence of all process steps of chemical wet treatment of these Si or GaAs wafers. Through this Design of the process flow according to the invention becomes an almost complete, effective contamination freedom guarantees with the result that the Reject rate of approximately 40% in the known method wise according to the state of the art, i.e. can be reduced in practice by up to 10%.  

Darüber hinaus werden wegen der zuverlässigen Ein­ haltung aller vorgegebenen Verfahrensparameter wie Temperaturen, Mischungsverhältnisse, Säurekonzentrationen usw. Unterbrechungen der Aufeinanderfolge von Prozeß­ abläufen vollständig vermieden, weil einzelne Meß­ und Kontrollvorgänge und Nachdosierungen nicht mehr erforderlich sind. Dadurch wird ein ganz deutlich verbesserter Ausnutzungsgrad der Anlage und auch der verwendeten Medien erzielt. Eine weitere Verbesserung ergibt sich aus der Vergrößerung des Fassungsvermögens des Prozeßbehälters. Diese Vergrößerung des Fassungs­ vermögens erfordert nach der Erfindung nicht eine größere Dimensionierung der Behältermaße, sondern ergibt sich aus dem Wegfall des Raumbedarfes für den nach dem Stand der Technik am Verschlußdeckel der Prozeß­ einheit angeordneten Sprühstab. Beim Öffnen des Deckels schwenkt der Sprühstab mit nach oben heraus und beschreibt einen ziemlich großen Schwenkradius. Für diesen Schwenkradius muß in der Belade- und Ent­ nahmeposition ein entsprechender Raum freigehalten werden. Dadurch ergibt sich die Notwendigkeit, einen großen Teil des zentralen Kreisbereiches des Dreh­ tellers von der Besetzung mit Horden-Haltern frei­ zulassen. Aus diesem Grunde kann bei der Ausbildungs­ weise nach der Erfindung mit dem zentral gelagerten Sprühstab der Drehteller bis nahe an den Bereich des Sprühstabes heran mit Horden-Haltern besetzt werden, so daß dessen Aufnahmekapazität erheblich besser aus­ genutzt werden kann. In addition, because of the reliable one maintenance of all specified process parameters such as Temperatures, mixing ratios, acid concentrations etc. interruption of the sequence of processes processes completely avoided because individual measuring and control processes and subsequent doses no longer required are. This makes one very clear improved utilization of the plant and also the used media achieved. Another improvement results from the increase in capacity of the process container. This enlargement of the version assets does not require one according to the invention larger dimensions of the container dimensions, but results from the elimination of the space requirement for the the state of the art on the cover of the process unit arranged spray rod. When opening the The spray wand swings the lid up and out and describes a fairly large swivel radius. For this swivel radius in the loading and Ent take a corresponding space will. This creates the need for one large part of the central circular area of the shoot plates free from occupation with horde holders allow. For this reason, when training way according to the invention with the centrally stored Spray the turntable close to the area of the Spray stick are loaded with tray holders, so that its absorption capacity looks much better can be used.  

Dadurch ergibt sich eine weitere Verbesserung der Nutzungskapazität der Anlage, vor allem aber auch der Nutzung der verwendeten Säuremengen, weil eine wesentlich größere Zahl von Scheiben gleichzeitig behandelt werden kann.This results in a further improvement in Usage capacity of the system, but above all the use of the amounts of acid used because a much larger number of disks at the same time can be treated.

Insgesamt wird durch die Anlage nach der Erfindung und durch die damit ermöglichte Verfahrensweise die Ausschußquote verringert, der Verfahrensablauf wesent­ lich beschleunigt und die Nutzungskapazität der Anlage deutlich vergrößert.Overall, the system according to the invention and through the procedure thus made possible Waste rate reduced, the procedural essential accelerated and the utilization capacity of the system significantly enlarged.

Die Erfindung ermöglicht beispielsweise eine Verfahrens­ weise für einen Vollreinigungsprozeß, der mit dem selbst­ tätigen Öffnen des Deckels des Prozeßbehälters und dem ebenfalls selbsttätigen Beladen des Drehtellers mit den vorbereiteten, mit Scheiben gefüllten Horden-Haltern durch den Transportmanipulator, dem die Horden-Halter taktweise zugeführt werden, beginnt, wobei der Dreh­ teller nach jedem Beladevorgang in die nächste Be- und Entladeposition P selbsttätig eingefahren wird, und wo­ nach nach Abschluß des Beladevorganges der Deckel der Prozeßeinheit selbsttätig geschlossen und die Behandlungs­ folge gestartet wird, die zuerst aus einem langsamen Drehen des Drehtisches mit einer Umdrehungsgeschwindig­ keit von etwa 10 U/min und dem Erwärmen der Scheiben durch Besprühen mit heißem H2O-Di und dem Erwärmen des Prozeßbehälters durch die Wandheizung besteht, bevor die erste Säuresprühsequenz bei dauernd kontrollierter Prozeßtemperatur mittels H2SO4 und H2O2 eine kontinuier­ liche Säure-Flow-Kontrolle erfolgt, und wonach sich die erste Spülsequenz mit einer H2O-Di-Besprühung, dem Scheibenspülen, sowie dem Spülen aller Leitungen, Ventile, des Prozeßbehälters zur Entfernung von Säureresten sowie eine Abkühlung und eine nach­ folgende Zwischentrocknung mit N2 sowie Erhöhung der Tischdrehzahl auf 1000 U/min und ein Durchblasen aller Leitungen und Ventile mit N2 anschließt, und wonach darauf eine langsame Zurückführung der Tischdreh­ zahl von etwa 1000 U/min auf 10 U/min erfolgt, worauf sich die zweite Säuresprühsequenz bei langsamer Tisch­ drehzahl als Oxydätzung mittels verdünnter HF mit Hoch­ druckzerstäubung anschließt, und zwar unter prozeßgesteuerter Zeitkontrolle in Abhängigkeit von der Oxyddicke ein­ schließlich genauer Überwachung der Scheibentemperatur in Verbindung mit einer Säure-Flow-Kontrolle, und an­ schließender zweiter Spülsequenz mit H2O-Di-Besprühung und gleichzeitiger Wiederholung der Spülung der Scheiben, aller Leitungen und Ventile sowie des Prozeßbehälters zur Befreiung von Säureresten, und darauf nachfolgend wiederum erfolgender Erwärmung der Scheiben und des Prozeßbehälters und darauf erfolgender zweiter Säure­ sprühfrequenz als organische Reinigung mittels NH 4 OH, H2O2 und H2O-Di mit erhöhter Temperatur unter genauer Konzentrationsüberwachung und ferner unter Überwachung der Scheibentemperatur und einer Medien-Flow-Kontrolle, sowie einer weiterhin darauf folgender Vorspülsequenz mit kurzem Besprühen mittels H2O2 und H2O-Di sowie einer erneuten vollen Spülsequenz mit H2O-Di-Besprühung der Scheiben und Durchspülung aller Leitungen, Ventile und des Prozeßbehälters zur Befreiung von Säureresten sowie einer gleichzeitigen Abkühlung, und darauf folgender Scheiben- und Behältererwärmung mittels der Mantelheizung und darauf anschließend er dritter Säuresprühsequenz als anorganische Reinigung durch heißes Besprühen mit HCL-H2O2 und H2O-Di unter genauer Überwachung der Scheiben­ temperatur und wiederum einer Medien-Flow-Kontrolle und darauf anschließender dritter Spülsequenz, die wiederum eine H2O-Di-Besprühung, eine Spülung der Scheiben sowie aller Leitungen, Ventile und des Prozeßbehälters zur Befreiung von Säureresten sowie eine Abkühlung be­ inhaltet, und darauf eine Finalspül-Sequenz erfolgt, die aus einer Sprühspülung mit H2O-Di unter Prozeß­ behälterüberdruck, eine Flutung des Prozeßbehälter­ bodens mit H2O-Di bis unterhalb der Horden unter mehr­ facher Wiederholung dieser Schnellflutungen und einem darauf folgenden Spülen auf den Leitwert als Abschluß­ spülprozeß unter Kontrolle der Leitwertqualitätsvorgabe, sowie darauf anschließender letzter Trocknungssequenz unter Erhöhung der Drehzahl des Drehtisches auf ca. 1000 U/min und Trocknen bei dieser hohen Drehzahl sowie darauf folgendem langsamen Abbremsen bei N2 Überdruck besteht, wonach bei gestopptem Dreh­ tisch und Identifikation der Positionierung des ersten Horden-Halters nach selbsttätigem Öffnen des Behälter­ deckels die ebenfalls selbsttätige Entnahme der einzel­ nen Horden-Halter mittels des programmgesteuerten Transportmanipulators in Aufeinanderfolge durch ent­ sprechende Positionierung des Drehtisches in den Be­ und Entladepositionen P erfolgt.The invention allows, for example, a method for a full cleaning process, which involves the automatic opening of the lid of the process container and the automatic loading of the turntable with the prepared, disk-filled tray holder by the transport manipulator, to which the tray holder is fed in cycles , begins, with the turntable being retracted automatically into the next loading and unloading position P after each loading operation, and where after the loading operation has been completed, the lid of the process unit is automatically closed and the treatment sequence started, which first results from slowly rotating the turntable with a speed of rotation of about 10 U / min and the heating of the disks by spraying with hot H2O-Di and the heating of the process container through the wall heating, before the first acid spray sequence with continuously controlled process temperature using H2SO4 and H2O2 a continuous acidic float w-control takes place, and then the first rinsing sequence with a H2O-Di spray, the window rinsing, as well as the rinsing of all lines, valves, the process container for removing acid residues as well as a cooling and a subsequent intermediate drying with N2 and increasing the table speed to 1000 rpm and a blowing through of all lines and valves with N2, and then there is a slow return of the table speed from about 1000 rpm to 10 rpm, whereupon the second acid spray sequence at slow table speed as an oxide etch diluted HF with high pressure atomization, and that under process-controlled time control depending on the oxide thickness, including a precise monitoring of the pane temperature in conjunction with an acid flow control, and then a second rinsing sequence with H2O-Di spraying and simultaneous repetition of the rinsing of the Disks, all lines and valves as well as the process container r Removal of acid residues, followed by subsequent heating of the panes and the process container and subsequent second acid spray frequency as organic cleaning using NH 4 OH, H2O2 and H2O-Di at elevated temperature with precise concentration monitoring and also under monitoring of the pane temperature and media -Flow control, as well as a subsequent pre-rinsing sequence with short spraying with H2O2 and H2O-Di as well as a full rinsing sequence with H2O-Di spraying of the panes and flushing through all lines, valves and the process container to remove acid residues and cooling at the same time , and then the disk and container heating by means of the jacket heating and then the third acid spray sequence as an inorganic cleaning by hot spraying with HCL-H2O2 and H2O-Di with precise monitoring of the disk temperature and again a media flow control and then The third rinsing sequence, which in turn includes an H2O-Di spray, a rinsing of the disks and all lines, valves and the process container to remove acid residues, as well as a cooling, followed by a final rinsing sequence that consists of a spray rinsing with H2O- Di under process container overpressure, a flooding of the process container bottom with H2O-Di to below the hordes with repeated repetition of these rapid flooding and a subsequent rinsing on the conductance as a final rinsing process under control of the conductance quality specification, and then the final drying sequence with increasing the speed of the Turntable to approx. 1000 rpm and drying at this high speed, followed by slow braking at N2 overpressure, after which, with the rotary table stopped and identification of the positioning of the first tray holder after the container lid was opened automatically, the individual parts were also removed automatically a hord en holder by means of the program-controlled transport manipulator in succession by accordingly positioning the turntable in the loading and unloading positions P.

Weitere Merkmale und vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den in der Zeichnung darge­ stellten Ausführungsbeispielen. Es zeigtOther features and advantageous embodiments of the Invention result from the Darge in the drawing presented embodiments. It shows

Fig. 1 eine Frontansicht einer Anlage mit einer teilweise geschnitten darge­ stellten Prozeß-Einheit und zwei beigestellten Medieneinheiten; Figure 1 is a front view of a system with a partially sectioned Darge presented process unit and two media units provided.

Fig. 2 die gegenüber Fig. 1 um 90°gedrehte Prozeß-Einheit im Vertikalschnitt mit einem skizziert angedeuteten Transport- Manipulator; FIG. 2 shows the process unit rotated by 90 ° in relation to FIG. 1 in vertical section with a transport manipulator outlined;

Fig. 3 eine Draufsicht auf die Anlage nach Fig. 1; Fig. 3 is a plan view of the system of Fig. 1;

Fig. 4 einen gegenüber Fig. 1, 2 vergrößerten Teilquerschnitt durch die Prozeß-Ein­ heit; Fig. 4 is a partial cross-section enlarged by the process unit compared to Fig. 1;

Fig. 5 einen Querschnitt durch Fig. 6 nach deren Linie V-V Fig. 5 shows a cross section through Fig. 6 along the line VV

Fig. 6 eine teilweise geschnittene Seitenansicht eines Sprühstabes der Prozeß-Einheit; Fig. 6 is a partially sectioned side view of a spray bar of the process unit;

Fig. 7 den Kopf des Sprühstabes der Fig. 6 im Längsschnitt; FIG. 7 shows the head of the spray rod of FIG. 6 in longitudinal section;

Fig. 8 den Querschnitt nach Linie VIII-VIII der Fig. 6; Fig. 8 shows the cross section along line VIII-VIII of Fig. 6;

Fig. 9 eine Seitenansicht mit Teilschnitt des Transport-Manipulators; Fig. 9 is a side view with a partial section of the transport-effector;

Fig. 10 eine Frontansicht des Transport-Manipu­ lators bei entfernter Abdeckung; Fig. 10 is a front view of the transport manipulator with the cover removed;

Fig. 11 eine verkleinerte Draufsicht auf einen Teil der Fig. 10; Fig . 11 is a reduced plan view of part of FIG. 10;

Fig. 12 eine teilweise geschnittene Seiten­ ansicht einer Medien-Einheit; Fig. 12 is a partially sectioned side view of a media unit;

Fig. 13 eine Frontansicht der Medien-Einheit nach Fig. 12; FIG. 13 is a front view of the media unit of Fig. 12;

Fig. 14 die Draufsicht auf Fig. 13. Fig. 14 shows the top view of Fig. 13.

Die in Fig. 1 bis 4 dargestellte Prozeßeinheit PE be­ steht im wesentlichen aus dem Gehäusemantel 1 und dem darin angebrachten Prozeßbehälter 2, der mittels seines Flansches 4 an den Konsolen 3 des Gehäusemantels 1 be­ festigt ist. Mit dem Flansch 4 verbunden ist eine Lager­ hülse 5, in welcher der Drehteller 10 mit seiner Hohl- Lagerwelle 8, 9 mittels der Wälzlager 6, 7 gelagert ist.The process unit PE shown in FIGS . 1 to 4 essentially consists of the housing jacket 1 and the process container 2 mounted therein, which is fastened by means of its flange 4 to the brackets 3 of the housing jacket 1 . Connected to the flange 4 is a bearing sleeve 5 , in which the turntable 10 with its hollow bearing shaft 8 , 9 is mounted by means of the roller bearings 6 , 7 .

Am unteren Ende der Hohl-Lagerwelle 8 ist eine Rast­ scheibe 12 befestigt, die mit Bohrungen 13 versehen ist, welche den Be- und Entladepositionen P des Drehtellers 10 entsprechen und in welche in der jeweiligen Be- und Entladeposition P ein programmsteuerbarer, druckmittel­ getriebener Raststift 14 eingreift. Über der Rastscheibe 12 ist ein Antriebsritzel 11 für einen aus Fig. 3 er­ sichtlichen Zahnriemen 31 eines ebenfalls in Fig. 3 dargestellten fernsteuer- und programmierbar im Drehzahl­ verhältnis 1:100 umschaltbaren Getriebemotors 32 an der Hohl-Lagerwelle 8 des Drehtellers 10 befestigt. Dadurch ist der Drehteller 10 wahlweise mit 10 oder 1000 U/min. antreibbar.At the lower end of the hollow bearing shaft 8 , a locking disc 12 is attached, which is provided with holes 13 which correspond to the loading and unloading positions P of the turntable 10 and in which in the respective loading and unloading position P a program-controllable, pressure-driven locking pin 14 engages. Above the locking disc 12 , a drive pinion 11 for a visible from FIG. 3, he toothed belt 31 of a remote control and programmable in the speed ratio 1: 100 switchable gear motor 32 also shown in Fig. 3 fixed to the hollow bearing shaft 8 of the turntable 10 . As a result, the turntable 10 is optionally at 10 or 1000 rpm. drivable.

In der Hohl-Lagerwelle 8 des Drehtellers 10 ist der un­ tere Schaft 15 des Sprühstabes 16 drehbar gelagert und an seinem unteren Ende mit einem Dichtungs-Anschlußring 17 sowie einem an diesem angeformten Exzenter-Auge 18 versehen. An diesem greift mittels eines Bolzens 19 ge­ lagert die Kolbenstange 20 eines an der Wandung des Prozeßbehälters 2 schwenkbar angelenkten Pneumatik-Zy­ linders 21 an, dessen programmsteuerbare Hubbewegung zur alternierenden Drehung des Sprühstab-Schaftes 15 mit Sprühstab 16 dient. Außerdem ist mit dem unteren Ende des Sprühstab-Schaftes 15 ein Zuführungskopf 22 verbunden, der mit wenigstens drei Leitungsanschlüssen 23, 24, 25 für die Zuführung von Säuren, H2O Di und N2 versehen ist. Der Zuführungskopf 22 des Sprühstab- Schaftes 15 ist zugleich als unteres Spurlager 26 für den Sprühstab 16 mit seinem Schaft 15 ausgebildet.In the hollow bearing shaft 8 of the turntable 10 , the lower shaft 15 of the spray rod 16 is rotatably supported and provided at its lower end with a sealing connecting ring 17 and an eccentric eye 18 molded onto it. This engages by means of a bolt 19 ge supports the piston rod 20 of a pivotally articulated on the wall of the process container 2 Pneumatic-Zy cylinder 21 , whose program-controlled stroke movement serves for alternating rotation of the spray rod shaft 15 with spray rod 16 . In addition, a supply head 22 is connected to the lower end of the spray rod shaft 15 and is provided with at least three line connections 23 , 24 , 25 for the supply of acids, H2O Di and N2. The feed head 22 of the spray rod shaft 15 is also designed as a lower track bearing 26 for the spray rod 16 with its shaft 15 .

Der Prozeßbehälter 2 ist ferner mit wenigstens einem Einlaßventil 33 und einer entsprechenden Zuleitung 34 für ein Reinigungsmittel zum Spülen des Behälterinnen­ raumes und mit wenigstens einem Schnellauslaßventil 35 mit einem Schlauchanschluß 36 und einer Abführungslei­ tung 37 zum Ablassen des Reinigungsmittels oder eines sonstigen Mediums aus dem Prozeßbehälter 2 versehen. Diese Ventile sind ebenfalls fernbetätigbar und prozeß­ steuerbar ausgebildet.The process container 2 is also provided with at least one inlet valve 33 and a corresponding supply line 34 for a cleaning agent for rinsing the interior of the container and with at least one quick-release valve 35 with a hose connection 36 and a discharge line 37 for discharging the cleaning agent or other medium from the process container 2 Mistake. These valves are also remotely operable and process controllable.

Auf dem Drehteller 10 sind Gruppen von jeweils wenig­ stens vier vertikalen Haltebolzen 27 und 28 befestigt, die zur Aufnahme und zum Fixieren der Hordenhalter H dienen, welche mit ihren Unterkanten auf den Bundan­ sätzen 29 und 30 der Haltebolzen 27, 28 aufliegen.On the turntable 10 groups of at least four vertical retaining bolts 27 and 28 are fastened, which serve to receive and fix the tray holder H , which sets with their lower edges on the Bundan sets 29 and 30 of the retaining bolts 27 , 28 .

Die Leitungsanschlüsse 23, 24 und 25 des Zuführungskopfes 22 des Sprühstab-Schaftes 15 sind mit drei Axialbohrungen 38, 39 und 40 verbunden, die zu den Düsenanordnungen des Sprühstabes 16 führen.The line connections 23 , 24 and 25 of the feed head 22 of the spray rod shaft 15 are connected to three axial bores 38 , 39 and 40 , which lead to the nozzle arrangements of the spray rod 16 .

Der Sprühstab 16 ist in den Fig. 5 bis 8 dargestellt. Er ist mit dem Schaft 15 mittels einer Verschraubung ver­ bunden. Die Bohrungen 38, 39 und 40 zur getrennten Zuführung der Behandlungsmedien verzweigen sich inner­ halb des Sprühstabes 16 zu den einzelnen Düsen, von denen um 120° versetzt jeweils vier Düsen 41 übereinander für Di-Wasser vorgesehen sind, während ebenfalls um 120° versetzt übereinander in engem Abstand jeweils 25 Säu­ re-Atomiser-Düsen 42, 43 angeordnet sind. Diese münden paarweise - 42, 43 - im inneren Grund von zwei einen stumpfen Winkel zueinander bildenden, in den Umfang des Sprühstabes 16 eingeschnittenen Vertiefungsflächen 44 und 45.The spray bar 16 is shown in FIGS . 5 to 8. It is connected to the shaft 15 by means of a screw connection. The holes 38 , 39 and 40 for separate supply of the treatment media branch inside the spray rod 16 to the individual nozzles, of which four nozzles 41 are provided one above the other for di-water at 120 °, while also offset by 120 ° one above the other 25 acid re-atomizer nozzles 42 , 43 are arranged close to each other. These open in pairs - 42, 43 - in the inner bottom of two indented surfaces 44 and 45, which form an obtuse angle to one another and are cut into the circumference of the spray rod 16 .

Der Sprühstab 15 ist mit einem oberen Sprühkopf 46 ver­ sehen, der ebenfalls weitere Düsen aufweist, die mit den vorgesehenen Zuführungsbohrungen verbunden sind, und zwar mit einer axial nach oben gerichteten Düse 47 und drei um 120° versetzte Düsen 48, die zur Axialdüse 47 einen Winkel von 30° bilden.The spray bar 15 is seen ver with an upper spray head 46, which likewise has more nozzles which are connected to the intended delivery bores, with an axially offset by 120 ° upwardly directed nozzle 47 and three nozzles 48, the one to the axial nozzle 47 Form an angle of 30 °.

Der Prozeßbehälter 2 ist nach oben mittels eines Deckels verschließbar. Wie aus den Fig. 1, 2 und 3 ersichtlich ist, kann der Deckel 51 um ein Gelenk 52 aus seiner waagerechten Verschlußstellung in eine senkrechte Öff­ nungsstellung geschwenkt werden. Die Öffnungs- und Schließbewegung des Deckels 51 erfolgt durch die beiden hydraulischen Zylinder-Kolbeneinheiten 53, deren Zylin­ der bei 54 am Gehäusemantel angelenkt sind und die fern­ steuerbar und programmierbar angetrieben sind.The process container 2 can be closed at the top by means of a lid. As is apparent from FIGS. 1, 2 and 3, the lid 51 can be pivoted around a joint 52 from its horizontal closed position into a vertical drying posture Publ. The opening and closing movement of the cover 51 is carried out by the two hydraulic cylinder-piston units 53 , the cylinders of which are articulated at 54 on the housing jacket and which are remotely controllable and programmable.

Der Deckel 51 übt auch eine Abdichtungsfunktion aus, und zwar ist am Gehäusemantel 1 ein den Prozeßbehälter 2 umfassender Kragen 55 angeordnet, der in einer Ringnut eine Ringdichtung 56 aufweist, an welcher der Deckel 51 mit seinem Außenrand dichtend anliegt, damit der Sprüh­ nebel nicht nach außen dringen kann.The lid 51 also performs a sealing function, namely a collar 55 comprising the process container 2 is arranged on the housing jacket 1 , which has an annular seal 56 in an annular groove, on which the lid 51 lies sealingly with its outer edge, so that the spray does not after can penetrate outside.

Aus Fig. 2 ist ferner zu ersehen, daß in der Be- und Entladeposition P der Hordenhalter H mittels der Greifer­ vorrichtung 61 eines Transport-Manipulators M erfaßbar und vertikal aus seiner Lage in der Be- und Entladepo­ sition zwischen den Haltebolzen 27, 28 aushebbar und liftbar ist. Der Transport-Manipulator ist in den Fig. 9 bis 11 dargestellt.From Fig. 2 it can also be seen that in the loading and unloading position P of the tray holder H by means of the gripper device 61 of a transport manipulator M can be detected and lifted vertically from its position in the loading and unloading position between the retaining bolts 27 , 28 and is liftable. The transport manipulator is shown in FIGS. 9 to 11.

Die beiden Greifer 61 des Transport-Manipulators M sind über zwei Gestellverbindungen 62, 63 mit je einem ver­ tikalen Steuerstab 64 verbunden. Die beiden Steuerstäbe 64 sind in Lagergehäusen 65 drehbar gelagert, so daß die Greifer 61 bei Drehbewegungen der Steuerstäbe 64 nach außen eine Öffnungsbewegung ausführen, während sie in der Normalstellung der Steuerstäbe 64 in Greifstellung ver­ harren. Die Greifstellung wird durch die Schließkraft einer nicht dargestellten Feder hervorgerufen, die an den beiden an den Steuerstäben 64 befestigten Hebeln 66 an­ greift und diese an einen um 90° drehbaren Doppelexzenter 67 von beiden Seiten anpreßt. Wird der Exzenter um 90° gedreht, so werden die Hebel 66 entgegen der Federkraft auseinandergespreizt und die an den Steuerstäben 64 an­ geordneten Greifer 61 öffnen sich. Der Drehantrieb des Exzenters 67 erfolgt über den Zahnriemen 68 und ein Ritzel 69 durch den Verstell-Motor 70.The two grippers 61 of the transport manipulator M are connected via two frame connections 62 , 63 , each with a vertical control rod 64 . The two control rods 64 are rotatably supported in bearing housings 65 so that the grippers 61 perform rotary movements of the control rods 64 to the outside an opening motion while ver in gripping position waiting in the normal position of the control rods 64th The gripping position is caused by the closing force of a spring, not shown, which engages on the two levers 66 attached to the control rods 64 and presses them against a double eccentric 67 rotatable by 90 ° from both sides. If the eccentric is rotated by 90 °, the levers 66 are spread apart against the spring force and the grippers 61 on the control rods 64 open. The eccentric 67 is driven in rotation via the toothed belt 68 and a pinion 69 by the adjusting motor 70 .

Die oben beschriebene Anordnung ist auf einer Konsole 71 aufgebaut, welche vertikal und horizontal verfahrbar ausgebildet ist. Die Konsole 71 ist an zwei vertikalen Rundführungen 75 verschiebbar und mittels der Spindel 76 verstellbar, die an ihrem unteren Ende mit einem Ritzel 77 zum Antrieb über den Zahnriemen eines nicht darge­ stellten Verstellmotors versehen ist. Die vertikalen Rundführungen 75 sind an je einem oberen und unteren Querhaupt 73 befestigt und bilden zusammen mit der Platte 74 das Führungsgestell der Vertikalführung, welches an dem waagerecht verfahrbaren Support 80 angeordnet ist. Dieser ist an den beiden Waagerecht-Rundführungen S 1 verschiebbar und mittels der Spindel 82 verstellbar, wel­ che mit einem nicht näher dargestellten Verstellantrieb versehen ist. Die Waagerecht-Rundführungen 81 sind an ihren Enden an dem ortsfest zur Prozeß-Einheit PE ange­ ordneten Grundgestell 83 des Transport-Manipulators M befestigt, der mit einer Abdeckung 84 versehen ist.The arrangement described above is built on a console 71 which is designed to be movable vertically and horizontally. The console 71 is displaceable on two vertical circular guides 75 and adjustable by means of the spindle 76 , which is provided at its lower end with a pinion 77 for driving via the toothed belt of a servomotor not shown. The vertical circular guides 75 are fastened to an upper and lower crosshead 73 and together with the plate 74 form the guide frame of the vertical guide, which is arranged on the horizontally movable support 80 . This is displaceable on the two horizontal circular guides S 1 and adjustable by means of the spindle 82 , which surface is provided with an adjustment drive, not shown. The horizontal circular guides 81 are attached at their ends to the base frame 83 of the transport manipulator M which is fixed to the process unit PE and is provided with a cover 84 .

Von wesentlicher Bedeutung für die Vorteile der erfin­ dungsgemäßen Verfahrens- und Ausbildungsweise der Anlage ist der Vorteil, daß die Vorratsbehälter für die ver­ schiedenen Behandlungsmedien nicht in einer geschlossenen Einheit zusammengefaßt, sondern in einzelnen Medien-Ein­ heiten ME 1, ME 2 usw. untergebracht sind. Diese können in beliebiger Zusammenstellung der Prozeß-Einheit PE beigestellt und an diese angeschlossen werden. Das Aus­ wechseln der Vorratsflaschen oder Behälter kann deshalb problemlos unabhängig von dem laufenden Betrieb erfolgen, weil stets zumindest eine Reserve-Medien-Einheit be­ triebs- und anschlußfertig bereitstehen soll. Auf diese Weise ist ein ununterbrochener Einsatz der Prozeß-Ein­ heit möglich, so daß stets für alle vorgesehenen Be­ handlungsoperationen bereit ist. Essential for the advantages of the method and design of the system according to the invention is the advantage that the storage containers for the various treatment media are not combined in a closed unit, but are accommodated in individual media units ME 1 , ME 2 etc. . These can be provided in any combination of the process unit PE and connected to it. The change of the storage bottles or containers can therefore be done regardless of the current operation, because at least one reserve media unit should always be ready for operation and ready for connection. In this way, an uninterrupted use of the process unit is possible, so that is always ready for all intended treatment operations.

Die Medien-Einheit besteht aus dem Gehäuse 85, welches mittels der Rollenanordnung 91 verfahrbar ist. Im Ge­ häuse 85 ist der Tank 86 untergebracht, der mit der Einfüllanordnung 87 ausgerüstet ist. Der Befüllstutzen 92 ist von einem Kasten 93 umschlossen, der nach Auf­ klappen des Befülldeckels 94 zugänglich ist.The media unit consists of the housing 85 , which can be moved by means of the roller arrangement 91 . In the Ge housing 85 , the tank 86 is housed, which is equipped with the filling arrangement 87 . The filler neck 92 is enclosed by a box 93 , which is accessible after folding the filler cap 94 .

Im Tank 86 ist die Tauchpumpe 88 und auf dem Tank der Pumpenmotor 89 angeordnet. Mit 95 ist das Filtrations­ gehäuse und mit 96 die Tankboden-Ablaßgarnitur bezeich­ net.The submersible pump 88 is arranged in the tank 86 and the pump motor 89 is arranged on the tank. With 95 the filtration housing and with 96 the tank bottom drain set is called net.

Von der Tauchpumpe führt die Förderleitung 97 für die Säure über das Filtrationsgehäuse 95 zu dem Schlauch­ anschluß 100 für die Zuleitung zur Prozeß-Einheit PE.From the submersible pump, the feed line 97 for the acid leads via the filtration housing 95 to the hose connection 100 for the feed line to the process unit PE .

Über den Schlauchanschluß 101 wird über die Leitung 98 ein Reinigungsmittel, vorzugsweise H2O-Di zum Spülen des Tankes 86 zugeführt und mittels der Düsen 99 im Tank versprüht. Über die Tankboden-Ablaßgarnitur 96 wird durch die Leitung 96 a der Rest-Tankinhalt mit dem Reinigungsmittel zum Schlauchanschluß 102 geführt, der an einen Neutralisationstank angeschlossen ist.A cleaning agent, preferably H2O-Di, for flushing the tank 86 is supplied via the hose connection 101 via the line 98 and sprayed in the tank by means of the nozzles 99 . About the tank bottom drain assembly 96 , the remaining tank content with the cleaning agent is passed through line 96 a to the hose connection 102 , which is connected to a neutralization tank.

Claims (44)

1. Anlage zur Herstellung von integrierten Schalt­ kreisen aus Si- oder GaAS-Scheiben, bestehend aus Vorratsbehältern für mehrere Behandlungsmedien wie verschiedene Säuren und Lösungs-bzw. Reinigungs­ mittel mit Meß-, Füll-, Pump- und Entnahmevorrichtungen so­ wie lösbaren Leitungsverbindungen zum Zuführen der Behand­ lungsmedien zu einer Prozeß-Einheit zur Durchführung der Behandlungsschritte an den in diese einzubringen­ den Si- oder GaAS-Scheiben, die zu Transport- und Be­ arbeitungszwecken in als Horden bezeichneten Halte­ rungen paketweise übereinander angeordnet sind, be­ stehend aus einem Gehäusemantel und darin befindlicher Prozeßbehälter, dieser enthaltend eine drehbare Vor­ richtung mit Mitteln zur Aufnahme von wenigstens zwei Horden für Si- oder GaAS-Scheiben, mehrere Düsenanord­ nungen zum Versprühen von flüssigen oder gasförmigen Behandlungsmedien, von denen einige an einem zentral angeordneten Sprühstab angeordnet sind, und der mittels eines aufklappbaren Deckels verschließbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß der im Prozeßbehälter (2) angeordnete, mit verti­ kalen Haltebolzen (27, 28) zur Aufnahme und Fixierung der mittels Greifern (61) einsetzbaren Horden-Halter (H) versehene scheibenartige Drehteller (10) mit pro­ grammsteuerbaren Drehantrieben für eine hohe Drehzahl zum Trocknen, eine kleine Drehzahl zum Sprühen und für ein absatzweises Schwenken zum Einfahren in die Be­ und Entladeposition (P) sowie mit dem in den Prozeßbe­ hälter (2) von unten hineinragenden zentralen und mittels eines eigenen Antriebs drehbaren Sprühstab (16) mit meh­ reren daran angeordneten Düsensätzen zum getrennten Versprühen von N2, H2O-Di und verschiedenen Säuren und mit getrennten, durch das zentrale Lager (5) des Dreh­ tellers (10) und des Sprühstabes (16) verlaufenden Zu­ führungsleitungen für diese Behandlungsmedien aus Vor­ ratsbehältern (85), die in jeweils für jedes Behand­ lungsmedium selbständigen verfahrbaren und beistellbaren Medien-Einheiten (ME) untergebracht sind, versehen ist. 1. Plant for the production of integrated circuits from Si or GaAS disks, consisting of storage containers for several treatment media such as various acids and solvents or. Cleaning agent with measuring, filling, pumping and dispensing devices, as well as detachable line connections for supplying the treatment media to a process unit for carrying out the treatment steps on the Si or GaAS disks to be introduced into them, which are used for transport and loading Working purposes in hordes called stanchions are arranged in packs one above the other, consisting of a housing jacket and the process container located therein, containing a rotatable device with means for receiving at least two hordes for Si or GaAS disks, several nozzle arrangements for spraying liquid or gaseous treatment media, some of which are arranged on a centrally arranged spray bar, and which can be closed by means of a hinged lid, characterized in that the arranged in the process container ( 2 ), with verti cal retaining bolts ( 27 , 28 ) for receiving and fixing the horde hal which can be used by means of grippers ( 61 ) ter ( H ) provided disc-like turntable ( 10 ) with programmable rotary drives for a high speed for drying, a low speed for spraying and for a batch swiveling for moving into the loading and unloading position ( P ) and with the in the process container ( 2nd ) protruding from below central spray rod ( 16 ) rotatable by its own drive with several nozzle sets arranged thereon for separate spraying of N2, H2O-Di and various acids and with separate through the central bearing ( 5 ) of the turntable ( 10 ) and the spray rod ( 16 ) to guide lines for these treatment media from storage containers ( 85 ), which are accommodated in each treatment medium independent movable and provided media units (ME) , is provided. 2. Anlage mit Prozeßbehälter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an der Innenwandung des Prozeßbehälters (2) wenigstens zwei Konsolen (3) angeordnet sind, an denen mittels eines Flansches (4) eine Lagerhülse (5) für den Drehteller (10) befestigt ist, in welcher mittels Wälzlagern (6, 7) die Hohl-Lagerwelle (8, 9) des Drehtellers (10) gelagert ist.2. Plant with process container according to claim 1, characterized in that on the inner wall of the process container ( 2 ) at least two brackets ( 3 ) are arranged, on which by means of a flange ( 4 ) a bearing sleeve ( 5 ) for the turntable ( 10 ) attached in which the hollow bearing shaft ( 8 , 9 ) of the turntable ( 10 ) is mounted by means of roller bearings ( 6 , 7 ). 3. Anlage nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß am unteren Ende der Hohlwelle (8, 9) eine Rast­ scheibe (12) mit in dieser angebrachten, den Be- und Entladepositionen (P) entsprechenden Bohrungen (13) befestigt ist, und daß ein druckmittelbetriebener programmsteuerbarer Raststift (14) durch Eingriff in einer der Bohrungen (13) den Drehteller (10) in der an­ gesteuerten Be- und Entladeposition fixiert.3. Plant according to claim 2, characterized in that at the lower end of the hollow shaft ( 8 , 9 ) has a locking disc ( 12 ) with in this, the loading and unloading positions ( P ) corresponding holes ( 13 ) is fixed, and that a pressure-medium-controlled, programmable locking pin ( 14 ) fixes the turntable ( 10 ) in the controlled loading and unloading position by engaging in one of the bores ( 13 ). 4. Anlage nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß im unteren Bereich der Hohlwelle (8, 9) ein An­ triebsritzel (11) für einen Zahnriemen (31) befestigt ist, der von einem im Drehzahlverhältnis von etwa 1:75 bis 1:150 umschaltbaren Getriebemotor 32 angetrieben ist und den Drehteller (10) mit einer Drehzahl von wahlweise etwa 7,5 bis 15 oder 750 bis 1500 U/min. an­ treibt. 4. Plant according to claim 2, characterized in that in the lower region of the hollow shaft ( 8 , 9 ) to a drive pinion ( 11 ) for a toothed belt ( 31 ) is fastened by a speed ratio of about 1:75 to 1: 150 switchable gear motor 32 is driven and the turntable ( 10 ) at a speed of about 7.5 to 15 or 750 to 1500 rpm. drives on. 5. Anlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in der Hohlwelle (8) des Drehtellers (10) der untere Schaft (15) des Sprühstabes (16) drehbar gela­ gert und an seinem unteren Ende mit einem Dichtungs- Abschlußring (17) sowie einem an diesen angeformten Exzenter-Auge (18) versehen ist, an dem mittels eines Bolzens (19) die Kolbenstange (2) eines an der Wan­ dung das Prozeßbehälters (2) angelenkten, programmge­ steuert beaufschlagbaren Pneumatikzylinders (21) zur alternierenden Hin- und Her-Drehung des Sprühstab- Schaftes (15) mit dem Sprühstab (16) um einen Winkel zwischen 25 und 50° angreift.5. Plant according to claim 1, characterized in that in the hollow shaft ( 8 ) of the turntable ( 10 ) of the lower shaft ( 15 ) of the spray bar ( 16 ) rotatably gela and at its lower end with a sealing end ring ( 17 ) and one on this molded eccentric eye ( 18 ) is provided, on which by means of a bolt ( 19 ) the piston rod ( 2 ) of the process container ( 2 ) articulated on the wall, programmable pneumatic cylinder ( 21 ) for alternating back and forth Rotation of the spray rod shaft ( 15 ) engages with the spray rod ( 16 ) at an angle between 25 and 50 °. 6. Anlage nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem unteren Ende des Sprühstab-Schaftes (15) ferner ein Zuführungskopf (22) verbunden ist, der wenigstens drei Leitungsanschlüsse (23, 24, 25) für die Zuführung von Säuren, H2O-Di und N2 aufweist und der zugleich als unteres Spurlager 26 für den Sprühstab-Schaft (15) ausgebildet ist.6. Plant according to claim 5, characterized in that with the lower end of the spray rod shaft ( 15 ) further a feed head ( 22 ) is connected, the at least three line connections ( 23 , 24 , 25 ) for the supply of acids, H2O- Di and N2 and which is also designed as a lower thrust bearing 26 for the spray rod shaft ( 15 ). 7. Anlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Prozeßbehälter mit wenigstens einem Einlaß­ ventil (33) und einer entsprechenden Zuleitung (34) zu einem programmierbar fernbetätigbaren Mehrwegeven­ til (49) versehen ist, mittels welchem Reinigungsmittel wie H2O-Di oder dergl. Medien zu- und abführbar sind. 7. Plant according to claim 1, characterized in that the process container is provided with at least one inlet valve ( 33 ) and a corresponding feed line ( 34 ) to a programmable remotely operable Mehrwegeven valve ( 49 ), by means of which cleaning agents such as H2O-Di or the like. Media can be added and removed. 8. Anlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Prozeßbehälter (2) mit einem Schnellablaß­ ventil (35) mit einem Schlauchanschluß (36) und einer zu einem Neutralisationstank geführten Abführungslei­ tung (37) versehen ist.8. Plant according to claim 1, characterized in that the process container ( 2 ) with a quick release valve ( 35 ) with a hose connection ( 36 ) and a guided to a neutralization tank discharge line ( 37 ) is provided. 9. Anlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Drehteller (10) Gruppen von wenigstens drei vertikalen Haltebolzen unterschiedlicher Höhe (27, 28) zur Aufnahme und zum Fixieren von Horden-Hal­ tern (H) befestigt sind, deren Bundansätze (29, 30) zur Auflage der Horden-Halter (H) dienen.9. Plant according to claim 1, characterized in that on the turntable ( 10 ) groups of at least three vertical retaining bolts of different heights ( 27 , 28 ) for receiving and fixing hordes-Hal tern ( H ) are attached, the collar approaches ( 29th , 30 ) serve to support the tray holder ( H ). 10. Anlage nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Drehteller (10) Gruppen von vertikalen Haltebolzen (27, 28) für wenigstens sechs Horden-Hal­ ter (H) für 100 mm ⌀ Scheiben angeordnet sind.10. Plant according to claim 9, characterized in that on the turntable ( 10 ) groups of vertical retaining bolts ( 27 , 28 ) for at least six Horde-Hal ter ( H ) for 100 mm ⌀ disks are arranged. 11. Anlage nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Drehteller (10) Gruppen von vertikalen Hal­ tebolzen (27, 28) für wenigstens vier Horden-Halter (H) für 125 mm ⌀ Scheiben angeordnet sind.11. Plant according to claim 9, characterized in that on the turntable ( 10 ) groups of vertical Hal tebolzen ( 27 , 28 ) for at least four tray holders ( H ) for 125 mm ⌀ disks are arranged. 12. Anlage nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Drehteller (10) Gruppen von vertikalen Haltebolzen (27, 28) für wenigstens drei Horden-Halter (H) für 150 mm ⌀ Scheiben angeordnet sind. 12. Plant according to claim 9, characterized in that on the turntable ( 10 ) groups of vertical retaining bolts ( 27 , 28 ) for at least three tray holders ( H ) for 150 mm ⌀ disks are arranged. 13. Anlage nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Drehteller (10) Gruppen von vertikalen Haltebolzen (27, 28) für wenigstens zwei Horden-Halter (H) für 200 mm ⌀ Scheiben angeordnet sind.13. Plant according to claim 9, characterized in that on the turntable ( 10 ) groups of vertical retaining bolts ( 27 , 28 ) for at least two tray holders ( H ) for 200 mm ⌀ disks are arranged. 14. Anlage nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Leitungsanschlüsse (23, 24, 25) des Zuführungs­ kopfes (22) im unteren Bereich des Sprühstab-Schaftes (15) mit wenigstens drei Axialbohrungen (38, 39, 40) im Sprühstab (16) verbunden sind, die zu den Düsenanordnungen des Sprühstabes führen.14. Plant according to claim 6, characterized in that the line connections ( 23 , 24 , 25 ) of the feed head ( 22 ) in the lower region of the spray rod shaft ( 15 ) with at least three axial bores ( 38 , 39 , 40 ) in the spray rod ( 16 ) are connected, which lead to the nozzle arrangements of the spray rod. 15. Anlage nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Sprühstab (16) mit seinem Schaft (15) mittels einer Verschraubung verbunden ist.15. Plant according to claim 5, characterized in that the spray rod ( 16 ) with its shaft ( 15 ) is connected by means of a screw connection. 16. Anlage nach einem oder mehreren der Ansprüche 5, 6, 14 und 15 dadurch bekennzeichnet, daß der Sprühstab (16) mit wenigstens drei umfangsver­ teilten, übereinander angeordneten Reihen von wenig­ stens vier Sprühdüsen (41) für H2O-Di ausgerüstet ist, die über Kanäle mit der zugehörigen Zuführungs-Axial­ bohrung (38) im Sprühstab (16) verbunden sind. 16. System according to one or more of claims 5, 6, 14 and 15 characterized in that the spray rod ( 16 ) is equipped with at least three peripherally distributed, one above the other rows of at least four spray nozzles ( 41 ) for H2O-Di, the are connected via channels to the associated feed axial bore ( 38 ) in the spray rod ( 16 ). 17. Anlage nach einem oder mehreren der Ansprüche 5, 6, 14, 15 und 16 dadurch gekennzeichnet, daß zwischen jeder der Reihen von übereinander ange­ ordneten Sprühdüsen (41) für H2O-Di jeweils eine wei­ tere vertikale Reihe von übereinander in engem Ab­ stand aufeinanderfolgenden Säure-Atomiser-Düsen im Sprühstab (16) angebracht sind.17. Plant according to one or more of claims 5, 6, 14, 15 and 16, characterized in that between each of the rows of spray nozzles arranged one above the other ( 41 ) for H2O-Di each had a further vertical row of one another in close proximity successive acid atomizer nozzles in the spray rod ( 16 ) are attached. 18. Anlage nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß jede der Säure-Atomiser-Düsenanordnungen aus wenigstens zwei in einem spitzen Winkel zueinander gerichteten Düsen (42, 43) besteht.18. Plant according to claim 17, characterized in that each of the acid atomizer nozzle arrangements consists of at least two nozzles ( 42 , 43 ) directed at an acute angle to one another. 19. Anlage nach den Ansprüchen 17 und 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Säure-Atomiser-Düsenanordnungen (42, 43) im inneren Grund von zwei einen stumpfen Winkel zueinan­ der bildenden, in den Umfang des Sprühstabes (16) ein­ geschnittenen Vertiefungsflächen (44, 45) angebracht sind.19. Plant according to claims 17 and 18, characterized in that the acid atomizer nozzle arrangements ( 42 , 43 ) in the inner bottom of two at an obtuse angle to one another, in the circumference of the spray rod ( 16 ) a cut recess surfaces ( 44 , 45 ) are attached. 20. Anlage nach einem oder mehreren der Ansprüche 17 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Sprühstab (16) wenigstens 25 vertikal überein­ anderstehend angebrachte Säure-Atomiser-Düsenanord­ nungen aufweist. 20. Plant according to one or more of claims 17 to 19, characterized in that the spray rod ( 16 ) has at least 25 vertically superimposed acid atomizer nozzle arrangements. 21. Anlage nach den Ansprüchen 17 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Säure-Atomiser-Düsenanordnungen (42, 43) mit­ tels Kanälen und Bohrungen mit der zugehörigen Zufüh­ rungs-Axialbohrung (39) im Sprühstab (16) verbunden sind.21. Plant according to claims 17 to 20, characterized in that the acid atomizer nozzle arrangements ( 42 , 43 ) with means channels and bores with the associated feed axial bore ( 39 ) in the spray rod ( 16 ) are connected. 22. Anlage nach Anspruch 5 und einem oder mehreren der folgenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Sprühstab (16) mit einem oberen Sprühkopf (46) versehen ist, der mit einer weiteren Düsenanordnung versehen ist, die aus nach oben gerichteten Düsen (47) und umfangsverteilte Düsen (48) besteht, welche zur Sprühstabachse einen spitzen Winkel bilden, und die mittels Kanälen und Bohrungen mit der zugehörigen Zuführungs-Axialbohrung (40) verbunden ist.22. Plant according to claim 5 and one or more of the following claims, characterized in that the spray rod ( 16 ) is provided with an upper spray head ( 46 ) which is provided with a further nozzle arrangement which consists of upwardly directed nozzles ( 47 ) and circumferentially distributed nozzles ( 48 ) which form an acute angle to the spray rod axis and which are connected to the associated feed axial bore ( 40 ) by means of channels and bores. 23. Anlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Prozeßbehälter an seinem oberen Rand von einem Kragen (55) eingefaßt ist, der in einer Ringnut eine Ringdichtung (56) aufweist, an welcher der auf­ klappbare Deckel (51) mit seinem Außenrand (57) in der Schließstellung dichtend anliegt.23. Plant according to claim 1, characterized in that the process container is bordered at its upper edge by a collar ( 55 ) having an annular seal ( 56 ) in an annular groove, on which the hinged lid ( 51 ) with its outer edge ( 57 ) sealingly rests in the closed position. 24. Anlage nach den Ansprüchen 1 und 23, dadurch gekennzeichnet, daß der aufklappbare Deckel (51) in einem Gelenk (52) beweglich gelagert und mittels einer fernsteuer- und programmierbar beaufschlagbaren Kolben-Zylinder- Einheit (53) öffen- und schließbar ist. 24. Plant according to claims 1 and 23, characterized in that the hinged cover ( 51 ) is movably mounted in a joint ( 52 ) and can be opened and closed by means of a piston-cylinder unit ( 53 ) which can be operated remotely and programmably. 25. Anlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Prozeßbehälter (2) mit einer an seinem Außen­ mantel angeordneten elektrischen Widerstandsheizung versehen ist.25. Plant according to claim 1, characterized in that the process container ( 2 ) is provided with an electrical resistance heater arranged on its outer jacket. 26. Anlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an der Prozeß-Einheit (PE) eine Transport-Mani­ pulator-Einheit (ME) angeordnet ist, die mit einem wenigstens zweidimensional verfahrbaren, programm­ steuerbaren Greifer (61) ausgerüstet ist, mittels wel­ chem ein Horden-Halter (H) erfaßbar und in die Be­ ladeposition (P) auf dem Drehteller (10) des Prozeß­ behälters (2) in seine Funktionsstellung zwischen die Haltebolzen (27, 28) absetzbar und nach der Arbeits­ operation aus dieser Stellung wieder entnehmbar und einem nächsten Operationsabschnitt zuführbar ist.26. Plant according to claim 1, characterized in that on the process unit ( PE ) a transport manipulator unit ( ME ) is arranged, which is equipped with an at least two-dimensionally movable, program-controlled gripper ( 61 ), by means of wel chem a tray holder ( H ) detectable and in the loading position ( P ) on the turntable ( 10 ) of the process container ( 2 ) in its functional position between the retaining bolts ( 27 , 28 ) removable and after the operation from this position again can be removed and fed to a next operating section. 27. Anlage nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß zur Öffnungs- und Schließbewegung des Greifers (61) zum Erfassen des Horden-Halters (H) die Greifer­ zangen (61 a, 61 b) mittels einer galgenartigen Gestell­ verbindung (62, 63) an zwei gegenläufig verdrehbaren Steuerstäben (64) befestigt sind, die an einem Doppel­ exzenter (67) unter Federkraft anliegende Spreizhebel (66) aufweisen, und daß der Doppelexzenter (67) von einem programmierbar-fernsteuerbaren Schrittschalt­ motor (70) in seine um 90° versetzten Endstellungen verstellbar ist. 27. Plant according to claim 26, characterized in that for the opening and closing movement of the gripper ( 61 ) for grasping the tray holder ( H ) the grippers ( 61 a , 61 b ) by means of a gallows-like frame connection ( 62 , 63 ) are attached to two counter-rotating control rods ( 64 ), which have spring-loaded spreading levers ( 66 ) on a double eccentric ( 67 ) and that the double eccentric ( 67 ) is controlled by a programmable, remote-controlled stepper motor ( 70 ) in its 90 ° position offset end positions is adjustable. 28. Anlage nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß die Greiferanordnung (61, 62, 63) mit ihrem An­ trieb (66 bis 70) am höhenverstellbaren Support (72) einer Vertikalschlittenführung (73 bis 76) und diese am Support (80) einer Horizontalschlittenführung (81, 82) angeordnet ist, und daß beide Schlittenführungen (72, 80) mittels programmierbar-fernsteuerbarer Stell­ motoren in vorgegebene Positionen verfahrbar sind.28. Plant according to claim 26, characterized in that the gripper arrangement ( 61 , 62 , 63 ) with their drive ( 66 to 70 ) on the height-adjustable support ( 72 ) of a vertical slide guide ( 73 to 76 ) and this on the support ( 80 ) one Horizontal slide guide ( 81 , 82 ) is arranged, and that both slide guides ( 72 , 80 ) by means of programmable remote-controlled actuating motors can be moved into predetermined positions. 29. Anlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für jedes Behandlungsmedium außer N2 und H2O-Di, insbesondere jede Säure eine selbständige, verfahrbare und an die Prozeß-Einheit (PE) beistell- sowie an diese anschließbare Medien-Einheit (ME) vorgesehen ist, die einen Tank (86) zur Aufnahme des Mediums mit einer Einfüllanordnung (87) sowie eine Förderpumpe (88) mit Antriebsmotor (89) und ferner Anschlüsse (90) für Schlauchverbindungen mit Schnellkupplungen zur Verbin­ dung mit den entsprechenden Zuführungsanschlüssen der Prozeß-Einheit (PE) sowie zur Verbindung mit Zu- und Abführungsleitungen (91, 92) für ein Spül- oder Reini­ gungsmittel aufweist.29. Plant according to claim 1, characterized in that for each treatment medium except N2 and H2O-Di, in particular each acid, an independent, movable and provided to the process unit ( PE ) and connectable to this media unit ( ME ) is provided is a tank ( 86 ) for receiving the medium with a filling arrangement ( 87 ) and a feed pump ( 88 ) with a drive motor ( 89 ) and further connections ( 90 ) for hose connections with quick couplings for connection to the corresponding feed connections of the process unit ( PE ) and for connection to supply and discharge lines ( 91 , 92 ) for a detergent or cleaning agent. 30. Anlage nach den Ansprüchen 1 und/oder einem oder mehreren der folgenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Zuführungsleitungen für die Behandlungsmedien, insbesondere Säuren, der Medien-Einheiten an eine oder mehrere Mischkammern mit programmierbar fernsteuer­ baren Einlaßventilen für eine Mehrzahl verschiedener Behandlungsmedien, insbesondere Säuren, anschließbar sind, deren programmsteuerbare Auslaß-Dosierventile durch Zuführungsleitungen mit den entsprechenden An­ schlüssen der Prozeßeinheit (PE) verbindbar sind.30. System according to claims 1 and / or one or more of the following claims, characterized in that the supply lines for the treatment media, in particular acids, the media units to one or more mixing chambers with programmable remotely controllable inlet valves for a plurality of different treatment media, especially acids, can be connected, whose program-controlled outlet metering valves can be connected to the corresponding connections of the process unit ( PE ) by supply lines. 31. Anlage nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, daß der Tank (86) der Medien-Einheit (ME) mit an seinem Außenmantel mit einer elektrischen Widerstands­ heizung versehen ist.31. Plant according to claim 29, characterized in that the tank ( 86 ) of the media unit ( ME ) is provided with an electrical resistance heater on its outer jacket. 32. Verfahren zur Herstellung von integrierten aus Si oder GaAS-Scheiben, die zu Transport­ und Bearbeitungszwecken in als Horden bezeich­ neten Halterungen paketweise übereinander ange­ ordnet sind und die in einen Prozeßbehälter mit einer drehbaren Vorrichtung zur Aufnahme dieser Horden eingesetzt werden, um sie durch Versprühen und Naßbehandeln mittels flüssiger oder gasförmi­ ger Behandlungsmedien zu bearbeiten, dadurch gekennzeichnet, daß das Reinigungsverfahren mit dem selbsttätigen Öffnen des Deckels des Prozeßbehälters und dem eben­ falls selbsttätigen Beladen des Drehtellers mit den vorbereiteten, mit Scheiben gefüllten Horden-Haltern durch einen Transportmanipulator beginnt, dem die Hor­ den-Halter taktweise zugeführt werden, wobei der Dreh­ teller nach jedem Beladungsvorgang in die nächst Be­ und Entladeposition selbsttätig eingefahren wird, und wonach nach Abschluß des Beladevorganges der Deckel des Prozeßbehälters selbsttätig geschlossen und die Behandlungsfolge gestartet wird, die aus einer programmgesteuerten Aufeinanderfolge von mehreren Be­ handlungs-Funktionsabläufen besteht, und zwar minde­ stens jeweils einem organischen und einem anorgani­ schen Reinigungsvorgang, mindestens zwei Säuresprüh­ sequenzen und jeweils daran anschließenden Spülsequen­ zen sowie mindestens einem Zwischentrocknungs- und einem Enttrocknungsvorgang, und das daran anschließend der Drehtisch selbsttätig in die jeweilige Entlade­ position für jede auf dem Drehteller befindliche Horde eingesteuert wird, so daß nach dem selbsttätigen Öffnen des Verschlußdeckels des Transportmanipulators die Hor­ den-Halter aufeinanderfolgend entnommen und den nach­ folgenden Behandlungsabläufen zugeführt werden.32. Process for manufacturing integrated made of Si or GaAS wafers for transport and processing purposes referred to as hordes Neten brackets are stacked on top of each other are arranged and in a process container a rotatable device for receiving this Hordes are used to spray them and wet treatment with liquid or gaseous edit treatment media, characterized, that the cleaning process with the automatic Open the lid of the process container and just that if automatic loading of the turntable with the prepared tray holders filled with slices begins by a transport manipulator to which the Hor the holder are fed cyclically, the rotation plate into the next load after each loading process and unloading position is retracted automatically, and after which, after the loading process, the lid of the process container closed automatically and the Treatment sequence is started, which consists of a  program-controlled sequence of several Be operational functional sequences exist, namely at least at least one organic and one inorganic cleaning process, at least two acid spray sequences and subsequent rinsing sequences zen and at least one intermediate drying and a drying process, and that afterwards the turntable automatically into the respective unloading position for each horde on the turntable is controlled so that after the automatic opening the cover of the transport manipulator the Hor removed the holder in succession and the after following treatment procedures are supplied. 33. Verfahren nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Prozeßstart zunächst bei langsamen Drehen des Drehtisches mit einer Drehzahl von etwa 10 U/min und Erwärmen der Scheiben ein Besprühen derselben mit heißem H2O-Di bei gleichzeitiger Erwärmung des Prozeß­ behälters mittels der Mantelheizung erfolgt.33. The method according to claim 32, characterized, that after the start of the process at first with slow turning of the turntable at a speed of about 10 rpm and heating the disks by spraying them hot H2O-Di while heating the process container by means of the jacket heating. 34. Verfahren nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, daß die erste organische Reinigung bei konstant ge­ haltener Scheibentemperatur und Säure-Flow-Kontrolle unter exothermischer Reaktion mittels H2SO4 und H2O2 erfolgt.34. The method according to claim 32, characterized, that the first organic cleaning at constant ge maintaining the pane temperature and acid flow control with exothermic reaction using H2SO4 and H2O2 he follows. 35. Verfahren nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Spülsequenz unter Abkühlung durch Be­ sprühen der Scheiben mit H2-Di erfolgt und gleich­ zeitig alle Leitungen, Ventile und Prozeßbehälter zur Entfernung von Säureresten durchgespült werden. 35. The method according to claim 31, characterized, that the first rinsing sequence while cooling by Be spray the slices with H2-Di and immediately timely all lines, valves and process vessels for Removal of acid residues can be flushed out.   36. Verfahren nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, daß ein Zwischentrocknen mit N2 unter gleichzeitiger Tischdrehzahlerhöhung bis 1000 U/min und ein Durch­ blasen aller Leitungen und Ventile mit N2 erfolgt.36. The method according to claim 32, characterized, that an intermediate drying with N2 under simultaneous Table speed increase up to 1000 rpm and one pass blow all lines and valves with N2. 37. Verfahren nach Anspruch 32, dadurch gekennzeichnet, daß nach einer langsamen Drehzahlreduzierung des Dreh­ tisches auf etwa 10 U/min eine weitere Säuresprühsequenz als Oxydätzung einschließt, bei welcher mittels verdünnter HF durch Hochdruckzerstäubung innerhalb einer von der Oxyddicke abhängigen Prozeßdauer unter genauer Einhal­ tung der vorgegebenen Scheibentemperatur und Säure- Fluor-Kontrolle erfolgt.37. The method according to claim 32, characterized, that after a slow speed reduction of the rotation another acid spray sequence at about 10 rpm as an oxide etch, using diluted HF by high pressure atomization within one of the Oxide thickness-dependent process duration with exact compliance the specified pane temperature and acid Fluorine control is carried out. 38. Verfahren nach Anspruch 32 und wenigstens einem der folgenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine weitere Spülsequenz, jedoch ohne Abkühlung der Prozeßtemperatur, mittels Besprühen durch H2-Di und Spülen der Scheiben sowie Durchspülen aller Leitungen und Ventile sowie auch des Prozeßbehälters zur Ent­ fernung von Säureresten erfolgt.38. The method of claim 32 and at least one the following claims, characterized, that a further rinsing sequence, but without cooling the Process temperature, by spraying with H2-Di and Rinsing the panes and flushing out all lines and valves as well as the process container for ent Removal of acid residues takes place. 39. Verfahren nach Anspruch 32 und wenigstens einem der folgenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß bei langsamer Umdrehung des Drehtisches mit etwa 10 U/min und allmählicher Erwärmung des Prozeßbehälters und der Scheiben eine weitere Säuresprühsequenz er­ folgt, die eine organische Reinigung darstellt und mit­ tels Heißbehandlung durch NH4OH, H2O2 und H2O-Di unter genauer Einhaltung der Scheibentemperatur und Medien- Flow-Kontrolle erfolgt. 39. The method of claim 32 and at least one the following claims, characterized, that with slow rotation of the turntable with about 10 rpm and gradual heating of the process container and the disks another acid spray sequence follows, which represents an organic cleaning and with hot treatment with NH4OH, H2O2 and H2O-Di under exact adherence to the pane temperature and media Flow control is done.   40. Verfahren nach Anspruch 32 und einem oder mehreren der folgenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine weitere Vorspülsequenz mittels kurzem Besprühen der Scheiben durch H2O2 und H2-Di.40. The method of claim 32 and one or more the following claims, marked by another pre-rinse sequence by spraying briefly the slices by H2O2 and H2-Di. 41. Verfahren nach Anspruch 32 und einem oder mehreren der folgenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine weitere Säuresprühfrequenz als anorganische Reinigung durch Heißbesprühen der Scheiben mit HCL, H2O2 und H2O- Di unter genauer Einhaltung der Scheibentemperatur und Medien-Flow-Kontrolle.41. The method according to claim 32 and one or more the following claims, marked by another acid spray frequency than inorganic cleaning by hot spraying the panes with HCL, H2O2 and H2O- Di in strict compliance with the pane temperature and Media flow control. 42. Verfahren nach Anspruch 32 und einem oder mehreren der folgenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine weitere Spülsequenz mit Besprühung der Scheiben durch H2O-Di und Spülen der Scheiben sowie Durchspülen aller Leitungen, Ventile und des Prozeßbehälters zur Entfernung von Säureresten und gleichzeitiger Abkühlung sowie gleichzeitiger Beheizung der Absaugkammerspülung.42. The method of claim 32 and one or more the following claims, marked by another rinsing sequence with spraying the windows by H2O-Di and rinsing the panes and rinsing all lines, valves and the process container for Removal of acid residues and simultaneous cooling and simultaneous heating of the suction chamber rinse. 43. Verfahren nach Anspruch 32 sowie einem oder mehreren der folgenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Finalspül-Sequenz, bestehend aus einer Sprühspü­ lung mit H2-Di unter Prozeßbehälterüberdruck, sowie Flutung des Prozeßbehälters mit H2-Di bis unterhalb der Hordenunterkante und mehrfacher Wiederholung dieser Spülungsvorgänge als Schnellflutungen sowie anschließen­ dem Spülen auf den Leitwert als Abschluß-Spülprozeß un­ ter Kontrolle der Leitwertqualitätsvorgabe. 43. The method of claim 32 and one or more the following claims, marked by a final rinse sequence consisting of a spray rinse development with H2-Di under process vessel overpressure, as well Flooding the process container with H2-Di to below the Bottom of the tray and repeated this several times Connect flushing processes as rapid flooding as well rinsing to the conductivity as a final rinsing process ter control of the guideline quality specification.   44. Verfahren nach Anspruch 32 und einem oder mehreren der folgenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Abschluß-Trocknungsequenz unter Tischdrehzahler­ höhung auf 1000 U/min und Trocknen der Scheiben bei dieser hohen Drehzahl unter N2-Überdruck während des gesamten Trocknungsprozesses im Prozeßbehälter und an­ schließendem Abbremsen bei allmählicher Drehzahlreduk­ tion und schließlichem Stop des Drehtisches.44. The method of claim 32 and one or more the following claims, marked by a final drying sequence under table speed increase to 1000 rpm and drying of the discs this high speed under N2 pressure during entire drying process in the process container and on closing braking with gradual speed reduction tion and finally stop the turntable.
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