DE3642780A1

DE3642780A1 - Detektormatte und verfahren zu ihrer herstellung

Info

Publication number: DE3642780A1
Application number: DE19863642780
Authority: DE
Inventors: Guenther Graebner; Dieter Dr Stephani
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1986-05-05
Filing date: 1986-12-15
Publication date: 1987-11-12
Also published as: EP0244698A1; US4731694A

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Detektormatte mit einer Matrix aus taktilen Sensoren, die einen Verbundwerkstoff mit druck- und richtungsabhängiger elektrischer Leitfähigkeit ent halten. Die Sensoren sind zur Auswertung der Matrix mit Zeilen- und Spaltenelektroden versehen.

Es sind hochohmige Verbundwerkstoffe mit druckabhängigem Durch gangswiderstand bekannt, deren elektrische Leitfähigkeit sich mit zunehmendem Druck erhöht. Sie enthalten einen elektrisch leitenden Kunststoff, vorzugsweise Silicon-Kautschuk, mit ein gelagerten, elektrisch leitenden Partikeln in feinverteilter Form und können für taktile Sensoren verwendet werden. Die Ausdehnung der Partikel beträgt im allgemeinen etwa 0,15 bis 0,2 mm und sie füllen etwa 15 bis 20 % des gesamten Volumens aus. Die druckabhängige elektrische Leitfähigkeit entsteht durch Bildung von Strompfaden durch Berührung und entsprechende Zunahme der metallischen Kontakte an den Druckstellen. Im unbe lasteten Zustand hat dieser Werkstoff einen verhältnismäßig hohen Widerstand und wirkt praktisch als Isolator. Die Sensoren bilden eine Matrix mit einem Mittelabstand der Sensoren von etwa 1 mm. Diese Matrix besteht im wesentlichen aus einer Lei terplatte mit Kontaktpunktpaaren und elektrischen Leitungen. Sie ist mit einer Kunststoffabdeckung versehen, die zusammen mit einer Lochplatte für jeden Sensor eine Bohrung enthält, in der jeweils ein Kontaktstift angeordnet ist. Der Aufbau dieser Detektormatte ist somit verhältnismäßig kompliziert. Außerdem benötigt diese Detektormatte mit rein resistiver Auswertung für die einzelnen Sensoren jeweils eine Entkopplungsdiode, die ein Übersprechen begrenzen soll (ETZ, Bd. 103 (1982), Heft 10, Seiten 514 bis 517).

In einer weiteren bekannten Ausführungsform eines Arrays aus taktilen Sensoren ist eine Folie aus elektrisch leitfähigem Gummi vorgesehen, deren elektrischer Widerstand mit steigen dem Druck abnimmt. Diese Gummi-Folie mit einer Dicke von etwa 25 µm ist auf einer Flachseite mit parallelen Zeilenelektroden und auf ihrer gegenüberliegenden Flachseite mit parallel zu einander angeordneten Spaltenelektroden versehen, zwischen denen streifenförmige Abstandshalter angeordnet sind. Die Kreu zungspunkte der Zeilen- und Spaltenelektroden bilden eine Ma trix von Sensoren. Die Zeilen- und Spaltenleiter sind zur Aus lese der Matrix vorgesehen. Die Druckabhängigkeit des Materials ist jedoch unterschiedlich über der gesamten Fläche. Die gemes senen Widerstandswerte sind somit für eine definierte Druckbe lastung nicht genau reproduzierbar und man erhält somit eine entsprechend große Streuung der Meßwerte. Zum Ausgleich dieser je nach der Wahl der belasteten Zeilen und Spalten unterschied lichen Signale ist deshalb eine verhältnismäßig aufwendige Elektronik vorgesehen (Sensor Review, Januar 1983, Seiten 27 bis 29).

Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, diese bekannte Sensormatrix zu vereinfachen und zu verbessern, insbesondere soll der Aufbau vereinfacht werden und das Meßsignal über der gesamten Fläche wenigstens annähernd unabhängig gemacht werden von einer Streuung der Widerstandswerte. Außerdem soll der Auf wand für die Steuerelektronik vermindert werden.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst mit den kennzeichnen den Merkmalen des Anspruchs 1. In der gesamten Matrix erhält man einen Ausgleich der Streuung der veränderbaren Widerstände durch die mit jedem Widerstand der einzelnen Sensoren in Reihe geschaltete Kapazität und das Meßsignal wird somit in weitem Bereich unabhängig vom Durchlaßwiderstand des Verbundmaterials. Die Kapazität des Dielektrikums bleibt bei Druckbelastung praktisch unverändert und der schwankende Widerstand hat auf das Meßergebnis nur einen geringen Einfluß. Die Dicke und das Material des Dielektrikums werden so gewählt, daß die Kapazität einen vorbestimmten Grenzwert von etwa 10 pF nicht wesentlich unterschreitet und vorzugsweise wesentlich mehr als 50 pF, insbesondere wenigstens 500 pF, beträgt.

Wird ein Dielektrikum mit einer hohen Dielektrizitätskonstante ε _r von wenigstens 1000 gewählt, so kann damit auf verhältnis mäßig engem Raum eine hohe Kapazität realisiert werden; diese Reaktanz wirkt sich wesentlich auf das Meßergebnis aus. Als Dielektrikum kann beispielsweise ein Keramikkörper vorgesehen sein, dessen den Zeilen- bzw. Spaltenelektroden zugewandten Oberflächen beispielsweise jeweils mit einer Metallisierung versehen sein können. Die zwischen den Kapazitäten und Wider ständen angeordneten Metallisierungen können vorzugsweise jeweils durch eine Nut aufgetrennt werden. Das Dielektrikum wird dann mit seiner Metallisierung in Streifen aufgetrennt und auf einem Träger befestigt. Diese Metallstreifen bilden dann die Spaltenelektroden.

In einem besonders vorteilhaften Verfahren zum Herstellen der Detektormatte wird der Träger mit den Zeilen- oder Spaltenelek troden sowie dem entsprechend streifenförmigen Dielektrikum als gemeinsame Baueinheit hergestellt. Das Material für die Elek troden und das Dielektrikum werden als Auflagen in Dünnfilm technik auf den Träger aufgebracht und anschließend werden die streifenförmigen Elektroden mit dem zugeordneten Dielektrikum durch Photolithographie aus den Auflagen herausgearbeitet. In dieser Ausführungsform kann ein Dielektrikum mit einer ver hältnismäßig geringen Dielektrizitätskonstante gewählt werden, da man mit der sehr geringen Dicke des Dielektrikums, die wenige µm nicht wesentlich überschreitet und insbesondere wesentlich weniger als 1 µm betragen kann, eine entsprechend hohe Kapazität erhält.

Die oberen Zeilenelektroden, die im allgemeinen rechtwinklig zu den unteren Spaltenelektroden angeordnet sind, können vorzugsweise an einer Abdeckung aus einem Kunststoff mit hoher mechanischer Festigkeit befestigt sein, die auf den Verbund werkstoff nur aufgelegt wird. Zwischen den Zeilenelektroden und dem zugeordneten veränderbaren Widerstand der Sensoren besteht dann eine kraftschlüssige Verbindung.

Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird auf die Zeichnung Bezug genommen, in deren Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel einer Detektormatte gemäß der Erfindung schematisch veranschaulicht ist. Fig. 2 zeigt ein Ersatzschaltbild eines Teils der Anord nung gemäß Fig. 1. Die Fig. 3 bis 6 dienen zur Erläuterung eines besonders vorteilhaften Herstellungsverfahrens und in Fig. 7 ist eine fertige Ausführungsform schematisch veran schaulicht.

In der Darstellung gemäß Fig. 1 enthält eine Detektormatte eine Matrix aus taktilen Sensoren 2, die jeweils eine Reihen schaltung 4 aus einem durch Druck veränderbaren Widerstand 5 mit einer Kapazität 6 enthalten. Der veränderbare Widerstand 5 wird gebildet aus dem jeweils einen der Sensoren zugeordne ten Teil einer Folie mit einer Dicke von beispielsweise etwa 0,5 mm aus einem Verbundwerkstoff 7 mit druckabhängiger elek trischer Leitfähigkeit. In Richtung einer durch einen Pfeil P angedeuteten Druckbelastung ist mit dem veränderbaren Wider stand 5 des Verbundwerkstoffes 7 die Kapazität 6 eines Dielek trikums 8 in Reihe geschaltet.

Die Kapazität 6 kann in einer Ausführungsform gebildet werden durch einen Keramikkörper, der beispielsweise aus Bariumtitanat BaTiO₃ mit einer hohen Dielektrizitätskonstante ε _r von vorzugs weise wenigstens 3000 und einer Dicke von beispielsweise etwa 0,5 mm bestehen kann, dessen untere Flachseite mit einer Metallisierung versehen ist. Der Keramikkörper ist durch Längs nuten aufgeteilt, von denen in der Figur nur zwei sichtbar und mit 10 bezeichnet sind. Durch diese Längsnuten 10 entstehen an der unteren Flachseite streifenförmige Elektroden, die jeweils eine Spaltenelektrode 14 bzw. 15 bilden und denen jeweils ein entsprechend streifenförmiges Dielektrikum 8 zu geordnet ist.

Unter Umständen kann es zweckmäßig sein, den Keramikkörper auch auf seiner oberen Flachseite mit einer Metallisierung zu versehen. In diesem Falle wird diese Metallisierung durch Quer nuten 12 jeweils in eine metallische Zwischenlage 16 bis 18 für jeden der Sensoren 2 aufgetrennt. Diese metallischen Zwischen lagen 16 bis 18 wirken als elektrische Äquipotentialflächen, d.h. sobald eine der Teilflächen berührt wird, wirkt die ge samte Elektrodenfläche.

Eine Abdeckung 24 aus Kunststoff ist an ihrer unteren Flach seite mit streifenförmigen Elektroden versehen, die mit den Spaltenelektroden 14 und 15 jeweils einen Winkel, vorzugsweise einen rechten Winkel, bilden und als Zeilenelektroden 20 bis 22 dienen. Diese Abdeckung 24 der Detektormatte besteht aus einem Kunststoff hoher Zugfestigkeit, vorzugsweise einem thermostabi len Polyimid (Capton). Zwischen den Zeilenelektroden 20 bis 22 und den Spaltenelektroden 14 und 15 entsteht durch die Reihen schaltung der veränderbaren Widerstände 5 mit der wenigstens annähernd konstanten Kapazität 6 jeweils einer der Sensoren 2. Mit einer Breite der Zeilenelektroden 20 bis 22 von beispiels weise etwa 0,5 mm und einer Breite der Spaltenelektroden 14 und 15 von jeweils ebenfalls etwa 0,5 mm sowie einer Breite der Längsnuten 10 und der Quernuten 12 von beispielsweise ebenfalls etwa 0,5 mm entsteht eine Matrix von Sensoren 2 mit einem Ra ster von etwa 1 mm und einer entsprechend guten Auflösung der gesamten Detektormatte. Es kann beispielsweise über die Zeilen elektrode 20 ein Signal eingelesen und über die Spaltenelek trode 14 ausgelesen werden, wie es in der Figur durch nicht näher bezeichnete Pfeile angedeutet ist.

Die Spaltenelektroden 14 und 15 sind auf einem Träger 26 be festigt, dessen Dielektrizitätskonstante vorzugsweise wesent lich geringer ist als die Dielektrizitätskonstante des Dielek trikums 8. Geeignet ist beispielsweise ein Träger 26 aus Kunststoff, vorzugsweise Tetrafluorethylen (Teflon) oder auch Polymethylmethacrylat (Plexiglas).

Die gesamte Detektormatte kann vorzugsweise noch mit einer in der Figur nicht dargestellten Kappe versehen sein, die zugleich als Puffer für mechanische Stoßbelastung der Matte dient. Diese Wirkung als Stoßdämpfer wird zugleich unterstützt durch den elastischen Verbundwerkstoff 7. Die Zeilenelektroden 20 bis 22 bestehen aus Metall, vorzugsweise Gold, mit einer Dicke von beispielsweise etwa 20 bis 40 µm, und werden im allgemeinen auf eine besondere Haftschicht aufgedampft oder aufgesputtert, die beispielsweise wenigstens im wesentlichen aus Chrom bestehen kann. Die Ankopplung der Zeilenelektroden 20 bis 22 erfolgt über den Verbundwerkstoff 7.

In einer besonderen Ausführungsform der Detektormatte wird die Abdeckung 24 an ihrer oberen Flachseite mit einer Metallisie rung versehen, die auf Massepotential gelegt wird und dadurch als Abschirmung wirksam ist.

Mit beispielsweise 16 Zeilenleitern 20 bis 22 und 32 Spalten leitern 14 und 15 und einem Raster der Sensoren 2 von beispiels weise etwa 1 mm erhält man eine empfindliche Detektormatte mit 512 Sensoren 2, deren Schaltschwelle in der dargestellten Aus führungsform beispielsweise bei etwa 0,05 N/pixel liegen kann.

Im Ersatzschaltbild gemäß Fig. 2 sind lediglich die Spalten elektroden 14 und 15 und die Zeilenelektroden 20 und 21 schema tisch angedeutet, die in jedem ihrer nicht näher bezeichneten Kreuzungspunkte einen der Sensoren 2 bilden, die jeweils eine Reihenschaltung 4 des veränderbaren Widerstandes 5 mit der Kapazität 6 enthalten. Im unbelasteten Zustand der Detektor matte kann der Widerstand des Verbundwerkstoffes 7 in jeden der Sensoren 2 beispielsweise etwa 10 Megohm betragen und somit praktisch als Isolator wirken. Das Dielektrikum 8 wird so be messen, daß in jedem der Sensoren 2 eine Kapazität von wenig stens 10 pF, vorzugsweise wenigstens 50 pF und insbesondere wenigstens 500 pF, entsteht. Im unbelasteten Zustand fließt über die Sensoren 2 praktisch kein Strom. Wird die Reihenschal tung 4 mit dem Widerstand 5 und der Kapazität 6 mit der Kraft P belastet, so vermindert sich der Wert des Widerstandes 5 auf höchstens etwa noch 1 kOhm, vorzugsweise weniger als 0,1 kOhm, und es entsteht ein Signal, das bei Einspeisung über die Zei lenelektrode 20 an der Spaltenelektrode 15 abgenommen werden kann. In dieser Anordnung überwiegt wesentlich der kapazitive Effekt, so daß eine Auslegung der in der Figur nicht dargestell ten Außenbeschaltung wie bei einer rein kapazitiven Schaltung möglich ist, solange der Betrag der Reaktanz deutlich größer ist als der Widerstand des belasteten Verbundwerkstoffes 7.

Bei einem besonders einfachen Verfahren zum Herstellen der Detektormatte wird auf dem Träger 26 eine als Leiterschicht 28 dienende Metallschicht mit einer Dicke von vorzugsweise höch stens 1000 nm, insbesondere höchstens 200 nm, in Dünnfilm technik aufgebracht, die aus Nickel, Gold oder Silber, vorzugs weise aus Kupfer, bestehen kann. Aus dieser Leiterschicht 28 werden dann durch Mikrostrukturtechnik, beispielsweise durch Photolithographie, Längsnuten herausgearbeitet und dadurch streifenförmige Bereiche gebildet, die als Spaltenelektroden wirken. Diese Spaltenelektroden werden dann mit einer als Dielektrikum wirkenden Auflage in Dünnfilmtechnik versehen.

In einem bevorzugten Verfahren wird gemäß Fig. 3 auf die Leiterschicht 28 eine als Dielektrikum dienende Schicht 30 ebenfalls in Dünnfilmtechnik aufgebracht, deren Material und Dicke so gewählt werden, daß eine möglichst hohe Kapazität entsteht. Diese Schicht 30 kann aus Keramik, beispielsweise Aluminiumoxid Al₂0₃ oder auch aus Titanoxid TiO₂ bestehen, deren Dielektrizitätskonstante maximal etwa 50 beträgt. Die Dicke dieser Titanoxidschicht kann vorzugsweise höchstens 1000 nm, insbesondere höchstens 500 nm, betragen. Die als Dielektrikum vorgesehene Schicht 30 kann vorzugsweise aus Siliziumoxid SiO oder SiO₂ mit sehr geringer Dicke von vorzugs weise höchstens etwa 300 nm, insbesondere höchstens 100 nm, bestehen, das sich in Dünnfilmtechnik besonders einfach auf bringen läßt. Das Dielektrikum muß somit geeignet sein zum Aufbringen in Dünnfilmtechnik und sich außerdem durch Verfahren der Mikrostrukturtechnik bearbeiten lassen.

Aus den Auflagen des so vorbereiteten Trägers 26 werden dann gemäß Fig. 4 durch Mikrostrukturtechnik, beispielsweise durch Photolithographie, die Längsnuten 10 herausgearbeitet und da durch streifenförmige Bereiche gebildet, die jeweils als Spal tenelektroden 14 und 15 wirken und denen jeweils ein in glei cher Weise streifenförmig gestaltetes, sehr dünnes Dielektrikum 8 zugeordnet ist. Es wird somit zunächst eine gemeinsame Bau einheit gebildet aus dem Substrat 26, den Spaltenelektroden 14 und 15 sowie dem Dielektrikum 8.

Auf dieses Dielektrikum 8 wird dann gemäß Fig. 5 wie in der Ausführungsform gemäß Fig. 1 der Verbundwerkstoff 7 aufgelegt, an dessen oberer Flachseite die Zeilenelektroden 20 wirksam sind, die vorzugsweise an der unteren Flachseite der Abdeckung 24 angeordnet sein können.

Zum Herstellen einer besonders vorteilhaften Ausführungsform gemäß Fig. 6 wird auf das Substrat 26 zunächst eine als Haft schicht 27 dienende Metallschicht mit einer Dicke von vorzugs weise höchstens 50 nm in Dünnfilmtechnik aufgebracht, vorzugs weise aufgesputtert oder aufgedampft, die beispielsweise aus Chrom vorzugsweise aus Titan, bestehen kann. Auf diese Haft schicht 27 wird die elektrische Leiterschicht 28 aufgebracht, die dann vorzugsweise nochmals mit einer Haftschicht 29 ver sehen wird. Diese Haftschicht 29 wird dann mit der Schicht 30 für das Dielektrikum versehen. Unter Umständen kann es zweck mäßig sein, die als Dielektrikum vorgesehene Schicht 30 noch mals mit einer dünnen Metallauflage 31 zu versehen. Diese Metallschicht 31 wird dann durch Mikrostrukturierung aufge trennt, wie es in der Figur gestrichelt angedeutet ist. In der Ausführungsform gemäß Fig. 7 wird dann die gemäß Fig. 6 ge bildete Baueinheit aus dem Substrat 26, den Spaltenelektroden 14 und 15 und dem Dielektrikum 8 mit der Abdeckung 24 versehen, die an ihrer unteren Flachseite mit den Zeilenelektroden 20 und auf ihrer oberen Flachseite mit einer metallischen Abschirmung 25 versehen ist. Für die Zeilenelektroden 20 kann vorzugsweise ebenfalls eine Haftschicht 23 vorgesehen sein, die beispiels weise aus Chrom bestehen kann. Die einzelnen metallischen Be reiche 16 wirken in der Detektormatte zwischen dem Dielektrikum 8 und dem Verbundwerkstoff 7 als elektrische Äquipotential flächen.

Claims

1. Detektormatte mit einer Matrix aus taktilen Sensoren (2), die einen Verbundwerkstoff (7) mit druck- und richtungsab hängiger elektrischer Leitfähigkeit enthalten und die mit Spaltenelektroden (14, 15) und Zeilenelektroden (20 bis 22) versehen sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensoren (2) jeweils eine Reihenschaltung (4) aus dem veränderbaren Widerstand (5) des Verbundwerkstoffes (7) mit einer Kapazität (6) von wenigstens 50 pF eines Dielektrikums (8) enthalten (Fig. 1).

2. Detektormatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazität wenigstens 500 pF beträgt.

3. Detektormatte nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein Dielektrikum (8) mit einer Dielektrizitätskonstante ε _rvon mindestens 1000, vorzugsweise mindestens 3000, vorgesehen ist.

4. Detektormatte nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß als Dielektrikum (8) streifenförmige Keramikkörper vorgesehen sind, die zwischen den Spaltenelektroden (14, 15) und dem Verbundwerkstoff (7) angeordnet sind.

5. Detektormatte nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß durch mechanische Auftrennung aus der Metallisierung einer der Flachseiten des Dielektrikums (8) Zeilen- oder Spaltenleiter gebildet sind.

6. Detektormatte nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß durch mechanische Auftrennung aus der Metallisierung der gegenüber liegenden Flachseite des Dielektrikums (8) streifenförmige metallische Zwischenlagen (16 bis 18) zwischen dem Verbund werkstoff (7) und dem zugeordneten Dielektrikum (8) der einzelnen Sensoren (2) gebildet sind.

7. Detektormatte nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine elektrisch isolierende Abdeckung (24) vorgesehen ist, die an ihrer dem Verbundwerkstoff (7) zugewandten Flachseite mit streifenförmigen Zeilenelektroden (20 bis 22) versehen ist.

8. Detektormatte nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckung (24) an ihrer vom Verbundwerkstoff (7) abgewandten Flachseite mit einer als Abschirmung dienenden Metallisierung versehen ist.

9. Verfahren zum Herstellen einer Detektormatte nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:

a) auf einem Träger (26) wird eine als elektrische Leiter schicht (28) dienende Metallschicht in Dünnfilmtechnik aufgebracht;
b) aus der Leiterschicht (28) werden durch Strukturierung Nuten herausgearbeitet und damit Spaltenelektroden (14, 15) gebildet;
c) auf diese so vorbereitete Baueinheit wird eine als Dielek trikum dienende Schicht (29) in Dünnfilmtechnik aufge bracht;
d) die aus dem Träger (26) mit den streifenförmigen Elektro den (14, 15) und dem Dielektrikum (8) gebildete Baueinheit wird mit dem Verbundwerkstoff (7) abgedeckt;
e) eine elektrisch isolierende Abdeckung (24) wird an einer Flachseite mit Zeilenelektroden (20 bis 22) versehen und dann mit dieser Flachseite auf den Verbundwerkstoff (7) aufgelegt.

10. Verfahren nach Anspruch 9, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:

a) auf die Leiterschicht (28) wird zunächst eine als Dielek trikum dienende Schicht (29) in Dünnfilmtechnik aufge bracht;
b) aus diesen Auflagen des Trägers (26) werden durch Struktu rierung Nuten (10) herausgearbeitet und damit Spaltenelek troden (14, 15) mit jeweils einem entsprechend streifen förmigen Dielektrikum (8) gebildet (Fig. 3 und 4).

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß

a) die Schicht (29) für das Dielektrikum (8) mit einer Metallauflage (30) versehen wird und
b) diese Auflagen des Trägers (26) durch Strukturierung in Streifen aufgetrennt werden (Fig. 6 und 7).

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (26) vor dem Aufbringen der Leiterschicht (28) zunächst mit einer ersten elektrisch leitenden Haftschicht (27) versehen wird (Fig. 6).

13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Haftschicht (27) aufgesputtert oder aufgedampft wird.

14. Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß als erste Haftschicht (27) Titan oder Chrom aufgebracht wird.

15. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Haftschicht mit einer Dicke von höchstens 50 nm aufgebracht wird.

16. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Aufbringen der Schicht (29) für das Dielektrikum (8) auf die Leiterschicht (28) eine zweite elektrisch leitende Haft schicht aufgebracht wird (Fig. 6).

17. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß als Leiterschicht (28) Kupfer aufgebracht wird.

18. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß eine Leiterschicht (28) mit einer Dicke von höchstens 1 µm aufgebracht wird.

19. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß eine Schicht (29) für das Dielektrikum (8) aus Titanoxid TiO₂ aufgebracht wird.

20. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß Titanoxid TiO₂ mit einer Dicke von höchstens 500 nm aufgebracht wird.

21. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß eine Schicht (29) für das Dielektrikum aus Siliziumoxid SiO auf gebracht wird.

22. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß Siliziumoxid SiO mit einer Dicke von höchstens 100 nm aufgebracht wird.