DE3642937A1

DE3642937A1 - Non-contacting conveying device

Info

Publication number: DE3642937A1
Application number: DE19863642937
Authority: DE
Inventors: Hiroshi Akashi
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1985-12-30
Filing date: 1986-12-16
Publication date: 1987-08-06
Also published as: KR870005887A

Abstract

The invention relates to a non-contacting conveying device for conveying high-precision workpieces. The conveying device has a housing which is closed at the top and open at the bottom, which is provided in its upper region with an air feed nozzle and whose lower clear end region is rounded off and continuously curved. By means of a feed of air into the housing, a partial vacuum is formed in the latter if the distance from a workpiece is relatively large, as a result of which the workpiece can be lifted. If the distance from the workpiece becomes smaller, a positive pressure is formed which presses the workpiece away from the housing. <IMAGE>

Description

Die Einrichtung bezieht sich auf eine berührungslose Fördereinrichtung zum berührungslosen Fördern und Aufhängen von Werkstücken. Hochpräzise Werkstücke, beispielsweise SI-Scheiben, harte Speicherplatten und Fotomasken dürfen nicht beschädigt oder verschmutzt werden. Deshalb müssen sie besonders vorsichtig gefördert werden.The facility relates to a non-contact conveyor for contactless conveying and hanging of workpieces. High-precision workpieces, for example SI disks, hard storage disks and photo masks are allowed not be damaged or soiled. Therefore have to they are promoted with particular care.

Eine übliche Fördereinrichtung für diese Werkstücke verwendet ein Vakuumkissen, weist jedoch den Nachteil auf, daß sie Flecken auf den Werkstücken erzeugen kann, daß zwei oder drei Werkstücke gleichzeitig gefördert werden können und daß Werkstücke, welche aus weichem Material bestehen, wegen der großen aufgebrachten Kraft zerstört werden können.A common conveyor for these workpieces uses a vacuum pad, has the disadvantage, however, that it Stains on workpieces can produce two or three workpieces can be conveyed simultaneously and that workpieces made of soft material can be destroyed because of the great force exerted.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Fördereinrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, welche die Nachteile des Standes der Technik vermeidet.The invention has for its object a conveyor of the type mentioned at the beginning, which avoids the disadvantages of the prior art.

Die erfindungsgemäße Fördereinrichtung wegen der zu ihr erfolgenden Luftzufuhr zwei Betriebsfunktionen auf. Die eine Betriebsfunktion ist die Erzeugung eines Unterdruckes oder Vakuums mit Hilfe eines Ejektors, die andere Funktion ist die Ausbildung eines Druckluftkissens. Wenn der Abstand zwischen einem Werkstück und der berührungslosen Fördereinrichtung größer ist, wirkt diese als Ejektor mit derFolge, daß der Druck in einer Luftkissenkammer negativ wird. Auf diese Weise wird das Werkstück emporgehoben. Wenn der Abstand geringer wird, wirkt die Fördereinrichtung in der Funktion eines Druckluftkissens, wobei der Druck in der Luftkissenkammer positiv wird. In dieser Weise kann ein Werkstück gefördert werden, wobei die erfindungsgemäße berührungslose Fördereinrichtung das Werkstück nicht berührt. Bei Anordnung der erfindungsgemäßen berührungslosen Fördereinrichtung an einem bewegbaren Roboterarm können somit Werkstücke in vorbestimmter Weise gefördert werden.The conveyor according to the invention because of air supply has two operating functions. One of the operating functions is the generation of a vacuum or vacuum with the help of one ejector, the other Function is the formation of a compressed air cushion. If the distance between a workpiece and the non-contact Conveyor is larger, it acts as an ejector with the result that the pressure in an air cushion chamber becomes negative. In this way, the workpiece is lifted up. If the distance becomes smaller, the Conveyor in the function of a compressed air cushion, the pressure in the air cushion chamber becomes positive. In a workpiece can be conveyed in this way, whereby the contactless conveyor device according to the invention Workpiece not touched. When arranging the invention non-contact conveyor on a movable Robot arm can thus workpieces in a predetermined Way to be promoted.

Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen in Verbindung mit der Zeichnung beschrieben. Dabei zeigen:In the following, the invention is based on exemplary embodiments described in connection with the drawing. Show:

Fig. 1 eine Draufsicht auf ein erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel, Fig. 1 is a plan view of an embodiment of this invention,

Fig. 2 eine Seitenansicht, teils im Schnitt, des Ausführungsbeispiels von Fig. 1, Fig. 2 is a side view, partly in section, of the embodiment of Fig. 1,

Fig. 3 eine schematische Darstellung des Ejektors. Fig. 3 is a schematic representation of the ejector.

Fig. 4 eine Draufsicht auf ein Ausführungsbeispiel mit Trennplatten, Fig. 4 is a plan view of an exemplary embodiment with partition plates,

Fig. 5 eine Seitenansicht, teils im Schnitt, des Ausführungsbeispiels von Fig. 4, Fig. 5 is a side view, partly in section, of the embodiment of Fig. 4,

Fig. 6 und 7 eine Draufsicht und eine Seitenansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels mit Trennplatten, FIGS. 6 and 7 is a plan view and a side view of another embodiment with partition plates,

Fig. 8, eine Draufsicht auf eine Ausgestaltungsform mit Führungen, Fig. 8 is a plan view of an embodiment form with guides,

Fig. 9 eine Seitenansicht auf das Ausführungsbeispiel von Fig. 8, Fig. 9 is a side view of the embodiment of FIG. 8,

Fig. 10 eine Seitenansicht, teils im Schnitt, auf ein weiteres Ausführungsbeispiel, welches mit einem Anschlag versehen ist, Fig. 10 is a side view, partly in section, of a further embodiment which is provided with a stop,

Fig. 11 eine Draufsicht auf das Ausführungsbeispiel von Fig. 10, Fig. 11 is a plan view of the embodiment of Fig. 10,

Fig. 12 eine Draufsicht auf ein mit einem Abluftkanal versehenes Ausführungsbeispiel, Fig. 12 is a plan view of an exhaust duct provided with an embodiment

Fig. 13 eine Seiten-Schnittansicht des Ausführungsbeispiels von Fig. 12, Fig. 13 is a side sectional view of the embodiment of Fig. 12,

Fig. 14 eine schematische Gesamtansicht einer Fördereinrichtung, Fig. 14 is a schematic overall view of a conveying device,

Fig. 15 bis 18 Schnittansichten verschiedener Ausgestaltungsformen von Randbereichen, Fig. 15 to 18 sectional views of different embodiments of edge portions,

Fig. 19 eine Seitenansicht, teils im Schnitt, eines mit Nuten versehenen Ausführungsbeispiels, Fig. 19 is a side view, partly in section, of an embodiment provided with grooves,

Fig. 20 eine Draufsicht auf das Ausführungsbeispiel von Fig. 19, Fig. 20 is a plan view of the embodiment of Fig. 19,

Fig. 21 bis 23 Ausführungsbeispiele von Nuten und Ausnehmungen und Fig. 21 to 23 embodiments of grooves and recesses and

Fig. 24 und 25 Druckkurven der Luftkissenkammer. FIGS. 24 and 25 pressure curves of the air cushion chamber.

In den Fig. 1 und 2 ist ein erstes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Fördereinrichtung dargestellt. Dieses weist ein Gehäuse 1 auf, welches an seinem oberen Ende geschlossen und an seinem unteren Ende geöffnet ist und an seinem oberen Bereich eine Düse 5 aufweist. Der innenliegende Öffnungsbereich des Gehäuses 1 ist mit einer Rundung 3 versehen, welche in einen sich nach außen erstreckenden Randbereich 4 übergeht.In Figs. 1 and 2, a first embodiment of the conveyor according to the invention. This has a housing 1 , which is closed at its upper end and opened at its lower end and has a nozzle 5 at its upper region. The inside opening area of the housing 1 is provided with a curve 3 which merges into an outwardly extending edge area 4 .

Das der Erfindung zugrundeliegende Prinzip soll anhand der Fig. 3, welche eine schematische Darstellung eines Ejektors zeigt, erklärt werden. Ein Vakuum- oder Unterdruckraum 7 eines Ejektors ist mit einer Luftkissenkammer 2, welche im Inneren des Gehäuses 1 der Fördereinrichtung A ausgebildet ist, verbunden. Ein Mischbereich 13 und ein Diffuser 8 sind jeweils in Form der Rundung 3 und des Abstandes zwischen dem Randbereich 4 und einem Werkstück B ausgebildet. Durch Zufuhr von Luft C aus der Düse 5 in die Fördereinrichtung A wirkt diese als Ejektor, wenn der Abstand h zwischen der Fördereinrichtung und dem Werkstück B größer ist. In diesem Fall wird der Druck in der Luftkissenkammer 2 negativ, was dazu führt, daß das Werkstück B angehoben wird. Wenn der Abstand h geringer ist, wirkt die Fördereinrichtung A wie ein Druckluftkissen, wobei der Druck in der Luftkissenkammer 2 positiv wird und das Werkstück B von der Fördereinrichtung A getrennt wird. Auf diese Weise wird erreicht, daß die Fördereinrichtung A das Werkstück B nicht berührt und daß der Abstand zwischen diesen in ausreichender Weise eingehalten wird.The principle on which the invention is based will be explained with reference to FIG. 3, which shows a schematic illustration of an ejector. A vacuum or vacuum chamber 7 of an ejector is connected to an air cushion chamber 2 , which is formed in the interior of the housing 1 of the conveying device A. A mixing area 13 and a diffuser 8 are each formed in the form of the curve 3 and the distance between the edge area 4 and a workpiece B. By supplying air C from the nozzle 5 into the conveyor A, the latter acts as an ejector if the distance h between the conveyor and the workpiece B is greater. In this case, the pressure in the air cushion chamber 2 becomes negative, resulting in the workpiece B being raised. If the distance h is less, the conveyor device A acts like a compressed air cushion, the pressure in the air cushion chamber 2 becoming positive and the workpiece B being separated from the conveyor device A. In this way it is achieved that the conveyor A does not touch the workpiece B and that the distance between them is sufficiently maintained.

Die Rundung 8 kann in Form einer geometrischen Rundung ausgebildet werden, es kann jedoch in Abhängigkeit von der Form des Werkstückes B vorteilhaft sein, die Rundung 3 in Form einer winkelmäßig geneigten Fläche auszubilden.The curve 8 can be designed in the form of a geometric curve, but it can be advantageous, depending on the shape of the workpiece B , to form the curve 3 in the form of an angularly inclined surface.

Die Fig. 4 bis 7 zeigen weitere Ausführungsbeispiele der erfindungsgemäßen Fördereinrichtung. Wenn sich bei Beginn des Anhebevorganges das Werkstück B außermittig zu der Fördereinrichtung A befindet oder wenn das Gewicht des Werkstücks B gleichmäßig verteilt ist, führt dies dazu, daß das Werkstück schief an der Fördereinrichtung hängt und es besteht die Gefahr, daß die Fördereinrichtung A und das Werkstück B sich berühren. Um das zu verhindern, ist bei den genannten Ausführungsbeispielen der Luftkissenraum 2 in mehrere Luftkissenräume 2′ unterteilt, wobei dies mittels Trennplatten 9′ erfolgt, welche in radialer Richtung von der Düse 5 ausgehend an der Innenseite des Luftkissenraums 2 vorgesehen sind. Wenn aus der Düse 5 in gleichmäßiger Weise Luft C in jede der Luftkissenkammern 2′ geleitet wird, erfolgt in Abhängigkeit von dem Abstand zwischen jeder Luftkissenkammer 2′ und dem Werkstückbereich B eine Erzeugung von Zug- bzw. Druckkräften. Die Erzeugung von Druckkräften erfolgt in der oben beschriebenen Weise. Die durch die Düse 5 in jede Luftkissenkammer 2′ eingebrachte Luft C wird durch den Zwischenraum zwischen der Fördereinrichtung A und dem Werkstück B ausgeleitet und gelangt nicht in die benachbarten Luftkissenkammern. Somit bildet sich sehr schnell in der Luftkissenkammer 2 c der entsprechende, vom Abstand des Werkstücks B abhängige Luftdruck aus, so daß das Werkstück B die Fördereinrichtung A nicht berührt. Somit es ausgeschlossen, daß beim Hochheben des Werkstücks oder wenn dessen Massenverteilung ungleichmäßig ist, dieses die Fördereinrichtung A berührt. FIGS. 4 to 7 show further embodiments of the conveyor according to the invention. If, at the start of the lifting process, the workpiece B is eccentric to the conveyor A or if the weight of the workpiece B is evenly distributed, this leads to the workpiece hanging obliquely on the conveyor and there is a risk that the conveyor A and that Touch workpiece B. To prevent this, the air cushion space 2 is divided into a plurality of air cushion spaces 2 ' in the above-mentioned exemplary embodiments, this being done by means of separating plates 9' , which are provided in the radial direction from the nozzle 5 on the inside of the air cushion space 2 . If from the nozzle 5 air C is passed in a uniform manner into each of the air cushion chambers 2 ' , depending on the distance between each air cushion chamber 2' and the workpiece area B, a generation of tensile or compressive forces occurs. Pressure forces are generated in the manner described above. The introduced through the nozzle 5 in each air cushion chamber 2 ' air C is discharged through the space between the conveyor A and the workpiece B and does not get into the adjacent air cushion chambers. Thus, the corresponding air pressure, which is dependent on the distance of the workpiece B, forms very quickly in the air cushion chamber 2 c , so that the workpiece B does not touch the conveying device A. Thus, it is excluded that when the workpiece is lifted or if its mass distribution is uneven, it touches the conveying device A.

Fig. 25 zeigt die Druckverteilung in der Luftkissenkammer 2. Wenn der Abstand h innerhalb des vorgegebenen Bereiches größer wird, tritt in der Luftkissenkammer 2 ein negativer Druck auf, während in dem Fall, daß der Abstand h geringer wird, ein positiver Druck auftritt. Die in Fig. 25 verwendeten Bezeichnungen sind wie folgt: Fig. 25 shows the distribution of pressure in the air cushion chamber 2. When the distance h becomes larger within the predetermined range, a negative pressure occurs in the air cushion chamber 2 , while in the case that the distance h becomes smaller, a positive pressure occurs. The designations used in Fig. 25 are as follows:

D :Innerer Durchmesser der Luftkissenkammer 2, r :Radialer Abstand vom Zentrum der Fördereinrichtung A, Po :Druck der zugeführten Luft C, P :Druck im Abstand r vom Zentrum der Fördereinrichtung A, h :Abstand zwischen dem Randbereich 4 und dem Werkstück B. D : inner diameter of the air cushion chamber 2 , r : radial distance from the center of the conveyor A , Po : pressure of the supplied air C , P : pressure at a distance r from the center of the conveyor A , h : distance between the edge region 4 and the workpiece B.

In den Fig. 8 und 9 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Fördereinrichtung dargestellt. Wenn ein Werkstück B berührungslos an der Fördereinrichtung A hängt, kann sich dieses frei in seitlicher Richtung bewegen. Das könnte dazu führen, daß das Werkstück den Einflußbereich der Fördereinrichtung verläßt und herabfällt. Um dies zu verhindern, sind Führungen 10 an dem Gehäuse 1 vorgesehen, welche nach unten hin länger augebildet sind, als die IKante des Werkstücks B, um somit die freie Bewegung des Werkstückes B zu begrenzen und um zu verhindern, daß das Werkstück herabfällt, wobei dies durch eine Berührung der Kante des Werkstücks erfolgt. Eine andere Ausgestaltungsform der Führungen 10′ gewährleistet einen geeigneten Abstand zwischen der Fördereinrichtung A und dem Werkstück B, indem ein funktionsunwichtiger Teil des Werkstücks B berührt wird. Die Führungen 10 und 10′ erlauben, ein Werkstück B in jeder Richtung einem vorbestimmten Ort zuzuführen und das Werkstück zu drehen.In FIGS. 8 and 9, another embodiment of the conveyor according to the invention. If a workpiece B hangs contactlessly on the conveyor A , it can move freely in the lateral direction. This could lead to the workpiece leaving the area of influence of the conveyor and falling. To prevent this, guides 10 are provided on the housing 1 , which are formed downwards longer than the I edge of the workpiece B , so as to limit the free movement of the workpiece B and to prevent the workpiece from falling, whereby this is done by touching the edge of the workpiece. Another embodiment of the guides 10 ' ensures a suitable distance between the conveyor A and the workpiece B by touching an unimportant part of the workpiece B. The guides 10 and 10 ' allow to feed a workpiece B in any direction to a predetermined location and to rotate the workpiece.

Wie in den Fig. 10 und 11 dargestellt, weist eine Ausführungsform der Fördereinrichtung A einen schmalen Anschlag 11 und einen großen Anschlag 11′ auf, welche an der Unterseite der Fördereinrichtung angeordnet sind und welche in eine Ausnehmung eines Werkstücks D einführbar sind, beispielsweise in die Zentralausnehmung einer harten Speicherplatte, ohne daß jedoch funktionswichtige Teile des Werkstücks berührt werden. Der schmale Anschlag 11 und der große Anschlag 11′ sind einstückig miteinander ausgebildet und mittels eines Trägers 12 an der Fördereinrichtung A gelagert. Der Durchmesser des kleinen Anschlags 11 ist geringfügig kleiner als der Durchmesser der Ausnehmung des Werkstücks D, während der Durchmesser des großen Anschlags 11′ etwas größer ist, als die Ausnehmung. Die Höhe t des großen Anschlags 11′ von dem unteren Ende der Fördereinrichtung A ergibt sich aus dem Abstand zwischen der Fördereinrichtung A und dem an dieser gehaltenen Werkstück D, wobei bei diesem Abstand der Druck in der Luftkissenkammer 2 ausreichend negativ ist, d. h. ein ausreichender Unterdruck gebildet wird, um das Werkstück D aufzuhängen. Wenn sich die Fördereinrichtung A dem Werkstück D nähert und der kleine Anschlag 11 in die Ausnehmung des Werkstücks D eingeführt ist, wird Luft C aus der Düse 5 der Fördereinrichtung A zugeführt. Wenn der Abstand zwischen dem Werkstück D und dem kleinen Anschlag 11 gering ist, gelangt keine oder nur sehr wenig Luft durch den Zwischenraum. Somit bildet sich in der Luftkissenkammer 2 ein negativer Druck aus und das Werkstück D wird an die Unterfläche des großen Anschlags 11′ angehängt. In diesem Fall berührt das Werkstück D nur mit einem geringen Bereich am Umfang der Ausnehmung die Fördereinrichtung, wobei diese Berührung vorgesehen ist und für das Werkstück nicht schädlich ist.As shown in Figs. 10 and 11, an embodiment of the conveyor A has a narrow stop 11 and a large stop 11 ' , which are arranged on the underside of the conveyor and which can be inserted into a recess of a workpiece D , for example in the Central recess of a hard storage disk, but without touching parts of the workpiece that are important for the function. The narrow stop 11 and the large stop 11 ' are integrally formed with one another and mounted on the conveyor A by means of a carrier 12 . The diameter of the small stop 11 is slightly smaller than the diameter of the recess of the workpiece D , while the diameter of the large stop 11 'is slightly larger than the recess. The height t of the large stop 11 ' from the lower end of the conveyor A results from the distance between the conveyor A and the workpiece D held thereon, at this distance the pressure in the air cushion chamber 2 is sufficiently negative, ie a sufficient negative pressure is formed to hang the workpiece D. When the conveyor A approaches the workpiece D and the small stop 11 is inserted into the recess of the workpiece D , air C is supplied from the nozzle 5 to the conveyor A. If the distance between the workpiece D and the small stop 11 is small, little or no air gets through the gap. Thus, a negative pressure forms in the air cushion chamber 2 and the workpiece D is attached to the lower surface of the large stop 11 ' . In this case, the workpiece D only touches the conveying device with a small area on the circumference of the recess, this contact being provided and not harmful to the workpiece.

Die Fig. 12 und 13 zeigen ein weiteres Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Fördereinrichtung, welches sich dann als vorteilhaft erweist, wenn die Fördereinrichtung A in einem reinen Raum verwendet werden soll. Die Abluft der Fördereinrichtung könnte nämlich den reinen Raum kontaminieren, Staubpartikel verteilen und die Luftströmung in dem reinen Raum stören. Um das zu verhindern, ist ein Abluftkanal 15 an einer Haube 14 vorgesehen, welche die Fördereinrichtung A umgibt. Die Abluft von der Fördereinrichtung A wird durch den Abluftkanal 15 abgeführt und gelangt somit nicht in den reinen Raum. Auf diese Weise wird eine Störung der Luftströmung in dem reinen Raum und eine Verteilung von Staubpartikeln vermieden. FIGS. 12 and 13 show a further embodiment of the conveyor according to the invention which proves to be advantageous if the conveying direction A to be used in a clean room. The exhaust air from the conveyor could namely contaminate the clean room, distribute dust particles and disrupt the air flow in the clean room. In order to prevent this, an exhaust air duct 15 is provided on a hood 14 which surrounds the conveying device A. The exhaust air from the conveyor A is discharged through the exhaust air duct 15 and thus does not get into the clean room. In this way, a disturbance of the air flow in the clean room and a distribution of dust particles is avoided.

Die der Fördereinrichtung A zugeführte Luft C wird durch den Zwischenraum zwischen dem Randbereich 4 und dem Werkstück B abgeführt. Zu dieser Zeit ist der Druck in der Luftkissenkammer negativ und das Werkstück B wird berührungslos aufgehängt. Die abgeführte Luft wird von der Haube 14 aufgenommen, die die Fördereinrichtung A umgibt und ihre Dimensionierung kleiner ist, als das Werkstück B. Die Menge der durch den Abluftkanal 15 abgeführten Luft F ist etwas größer bemessen, als die Luftmenge, die von der Fördereinrichtung A abgegeben wird. Auf diese Weise wird verhindert, daß die abgeführte Luft in den reinen Raum gelangt und die Luftströmung in diesem stört.The air C fed to the conveying device A is discharged through the intermediate space between the edge region 4 and the workpiece B. At this time, the pressure in the air cushion chamber is negative and the workpiece B is hung up without contact. The exhausted air is taken up by the hood 14 , which surrounds the conveying device A and whose dimensions are smaller than the workpiece B. The amount of air F discharged through the exhaust air duct 15 is dimensioned somewhat larger than the amount of air that is emitted by the conveying device A. This prevents the exhausted air from entering the clean room and disrupting the air flow in it.

Wie in den Fig. 2 und 15 bis 18 dargestellt ist, kann der Randbereich 4 in Anpassung an die Form des Werkstücks und an die Art des Werkstücks verschiedenartig ausgestaltet sein. In Fig. 2 ist eine nach außen oben geneigte Form dargestellt, während Fig. 15 eine nach innen geneigte Ausgestaltung zeigt. Fig. 18 zeigt einen ebenen Randbereich, in den Fig. 16 und 17 sind verschiedene Kombinationen dargestellt.As shown in FIGS. 2 and 15 to 18, the edge region 4 can be designed differently to match the shape of the workpiece and the type of workpiece. FIG. 2 shows an outwardly inclined shape, while FIG. 15 shows an inwardly inclined configuration. Fig. 18 shows a flat edge area, different combinations are shown in Figs. 16 and 17.

Fig. 24 zeigt die verschiedenen Druckverteilungen der jeweiligen Randbereichformen bezüglich eines gleichen Werkstückes. Fig. 24 shows the different pressure distributions of the respective edge region forms with respect to a same workpiece.

Eine weitere Ausgestaltungsform der erfindungsgemäßen Fördereinrichtung ist in den Fig. 19 bis 23 dargestellt. Dabei weist der Randbereich 4 Nuten 23, 24 und Ausnehmungen 25 auf. Bei dieser Ausführungsform wird ein größerer Druckabfall in der Luftströmung zwischen dem Randbereich 4 und dem Werkstück B hervorgerufen, da die Luftströmung C durch die Nuten 23, 24 oder durch die Ausnehmungen 25 gestört wird. So steigt der Druck in der Luftkissenkammer 2 rasch stark an, wenn ein Werkstück B sich dem Randbereich 4 nähert, wodurch eine Berührung zwischen diesen verhindert wird.A further embodiment of the conveyor device according to the invention is shown in FIGS. 19 to 23. The edge region has 4 grooves 23, 24 and recesses 25 . In this embodiment, a larger pressure drop is caused in the air flow between the edge region 4 and the workpiece B , since the air flow C is disturbed by the grooves 23, 24 or by the recesses 25 . Thus, the pressure in the air cushion chamber 2 rises rapidly rapidly when a workpiece B approaches the edge area 4 , thereby preventing contact between them.

Fig. 14 zeigt eine Ausgestaltungsform der erfindungsgemäßen berührungslosen Fördereinrichtung A, welche so in einer Gesamtanordnung eingesetzt ist, daß ein Werkstück B an einen vorbestimmten Platz versetzt werden kann. Das Fördersystem besteht aus einer Fördereinrichtung 17, einer Bewegungseinrichtung 16, einem Arbeitsarm 19, der mit der erfindungsgemäßen berührungslosen Fördereinrichtung A versehen ist und der sich drehen kann und auf und abbewegt werden kann, einem Sensor 21, 21′, der ein Werkstück B ermittelt und ein Magnetventil 20 öffnet und schließt, welches zwischen der Düse 5 und einem Gebläse 18 angeordnet ist, sowie einem Stapeltisch 22. Fig. 14 shows an embodiment of the non-contact conveying device A according to the invention, which is used in a total arrangement is that a workpiece B can be moved to a predetermined place. The conveyor system consists of a conveyor 17 , a moving device 16 , a working arm 19 which is provided with the contactless conveyor A according to the invention and which can rotate and can be moved up and down, a sensor 21, 21 ' , which determines a workpiece B and a solenoid valve 20 opens and closes, which is arranged between the nozzle 5 and a blower 18 , and a stacking table 22 .

Der Arbeitsarm 19 und die Bewegungseinrichtung 16 werden unter Verwendung von Robotern, Antriebsmotoren, Luftzylindern, Ölzylindern etc. ausgebildet, während die Fördereinrichtung 17 in Form eines Förderbandes, einer Hebeeinrichtung o. ä. ausgebildet sein kann. Der Stapeltisch 22 kann Stapelplatteninspektionseinrichtungen oder andere Einrichtungen umfassen.The working arm 19 and the movement device 16 are designed using robots, drive motors, air cylinders, oil cylinders etc., while the conveyor device 17 can be designed in the form of a conveyor belt, a lifting device or the like. The stacking table 22 may include stacking plate inspection devices or other devices.

Wenn ein Werkstück B zu dem Endbereich der Fördereinrichtung 17 gefördert ist, bewegt sich der Arbeitsarm 19, der die Fördereinrichtung A trägt, nach unten, über das Werkstück B. Wenn der an dem Arbeitsarm 19 vorgesehene Sensor 21 den vorgesehenen Abstand zwischen dem Werkstück B und der Fördereinrichtung A feststellt, wird das Magnetventil 20 geöffnet, woraufhin Luft von dem Gebläse 18 zu der Düse 5 der Fördereinrichtung A zugeführt wird, was zur Folge hat, daß das Werkstück B berührungslos an der Fördereinrichtung A hängt. Wenn der Sensor 21′ feststellt, daß das Werkstück B an der Fördereinrichtung A hängt, bewirkt die Bewegungseinrichtung ein Anheben und eine Drehbewegung. Die Bewegung endet über dem Stapeltisch 22, worauf das Magnetventil 20 geschlossen wird und das Werkstück B von der Fördereinrichtung A auf den Stapeltisch 22 absetzbar ist. Anschließend bewirkt die Bewegungseinrichtung 16 eine Rückbewegung zu der Fördereinrichtung 17. When a workpiece B is conveyed to the end portion of the conveyor 17 , the work arm 19 carrying the conveyor A moves down over the workpiece B. When the sensor 21 provided on the working arm 19 detects the intended distance between the workpiece B and the conveyor A , the solenoid valve 20 is opened, whereupon air is supplied from the blower 18 to the nozzle 5 of the conveyor A , with the result that the workpiece B hangs on the conveyor A without contact. If the sensor 21 ' detects that the workpiece B hangs on the conveyor A , the movement device causes a lifting and a rotary movement. The movement ends above the stacking table 22, whereupon the solenoid valve 20 is closed and the workpiece B from the conveying direction A on the stacking table 22 is deductible. The movement device 16 then effects a return movement to the conveyor device 17 .

Aus obiger Beschreibung ergibt sich, daß das Werkstück B, welches durch die Fördereinrichtung 17 zugeführt wird, berührungslos an einen vorbestimmten Ort gefördert werden kann. Erfindungsgemäß können somit hochpräzise Werkstücke berührungslos gefördert oder versetzt werden.From the above description it follows that the workpiece B , which is fed by the conveyor 17 , can be conveyed to a predetermined location without contact. According to the invention, high-precision workpieces can thus be conveyed or moved without contact.

Claims

1. Non-contact conveyor device, characterized by a housing ( 1 ) which is closed at its upper end and open at its lower end and has a nozzle ( 5 ) at its upper end region, and wherein the inner lower end region of the opening of the housing ( 1 ) is provided with a continuously merging curve ( 3 ) a continuously merging edge area ( 4 ).

2. Conveyor device according to claim 1, characterized in that the housing ( 1 ) is provided with separating plates ( 9 ) which extend radially in the interior of the housing ( 1 ) from the nozzle ( 5 ).

3. Conveyor device according to one of claims 1 or 2, characterized in that the housing ( 1 ) is provided with guides ( 10, 10 ' ), which are provided on the outside of the housing ( 1 ) to a lateral movement of a workpiece ( B ) to prevent.

4. Conveyor device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the housing ( 1 ) is provided with a stop ( 11, 11 ' ) which can be inserted into a recess of a workpiece ( B ) and at the lower region of the housing ( 1 ) is attached.

5. Conveying device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the housing ( 1 ) is surrounded by a hood ( 14 ) which has an exhaust air duct ( 15 ).

6. Conveying device according to one of claims 1 to 5, characterized in that the edge region ( 4 ) has grooves ( 23, 24 ) or recesses ( 25 ).

7. Non-contact conveyor system, characterized by a conveyor ( 17 ) for conveying workpieces ( B ), a movement device ( 16 ) and a working arm ( 19 ), which comprises a non-contact conveyor ( A ) and which can be moved back and forth and up and down is, the mobility between the conveyor ( 17 ) and a stacking table ( 22 ) on which the workpieces ( B ) can be stacked.