DE3836696C1

DE3836696C1 - Lock for transporting material between clean rooms

Info

Publication number: DE3836696C1
Application number: DE3836696A
Authority: DE
Inventors: Manfred Dipl.-Ing. 7016 Gerlingen De Kelemen; Wilfried 7140 Ludwigsburg De Seyfang
Original assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Current assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority date: 1988-10-28
Filing date: 1988-10-28
Publication date: 1989-12-07

Abstract

In an arrangement having at least two clean rooms (1, 1') for the treatment of substrates (4), which clean rooms adjoin one another with their end faces (2, 2') and, for transportation of the substrates (4), are connected to one another via lock openings (3, 3') provided in the end faces (2, 2'), excess pressure prevailing in at least one of the clean rooms (1, 1') in relation to its external region (5), it is proposed for avoiding contamination, for time-saving alteration of the arrangement or for simple repair or maintenance that the two mutually adjoining clean rooms (1, 1') are arranged mechanically separated from one another by a gap-like free interspace (7) between their adjoining end faces (2, 2'), that the mutually corresponding lock openings (3, 3') in the end faces (2, 2') are surrounded by at least one lock frame (6, 6'), by means of which a throttling of the excess-pressure gas flow between lock opening (3, 3') and external region (5) takes place. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit mindestens zwei mit ihren Stirnseiten aneinandergrenzenden Reinräumen für die Behandlung von Substraten, die zum Transport der Substrate über in den Stirnseiten vorgesehene Schleusenöffnungen miteinander in Verbindung stehen, wobei in mindestens einem der Reinräume gegenüber dessen Außenbereich Überdruck herrscht.The invention relates to a device with at least two their end faces adjoining cleanrooms for the Treatment of substrates used to transport the substrates over lock openings provided in the end faces with each other in Connect, being in at least one of the cleanrooms overpressure prevails over its outside area.

Solche Vorrichtungen finden Verwendung zum Substrattransfer zwischen Reinräumen und lokalen Reinräumen bei der Halbleiterfertigung. Die als Baueinheiten ausgebildeten Reinräume sind unter Zwischenlage von Dichtungen fest miteinander verschraubt. Der Schleusenbereich wird bei dieser Anordnung nicht definiert durchströmt, so daß es zu unerwünschten Partikelansammlungen im Schleusenbereich kommen kann. Bei der Änderung der Anordnung sind hier aufwendige Montagearbeiten erforderlich, bei denen immer die Gefahr besteht, daß in die Reinräume selbst Verunreinigungen eindringen können, die dann Ursache für hohe Ausschußquoten sind.Such devices are used for substrate transfer between cleanrooms and local cleanrooms at the Semiconductor manufacturing. The trained as building units Clean rooms are solid with the interposition of seals screwed together. The lock area is at this Flow through arrangement not defined, so that it too unwanted particle accumulations in the lock area can. When changing the arrangement here are complex Assembly work required, always with the danger is that impurities enter the clean rooms themselves can, which are then the cause of high reject rates.

In Vermeidung der geschilderten Nachteile liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art so zu verbessern, daß eine Änderung der Anordnung zeitsparend ohne Gefahr des Eindringens von Verunreinigungen in die Reinräume ermöglicht wird und im Betrieb eine unerwünschte Ablagerung von Partikeln im Schleusenbereich verhindert wird.In avoiding the disadvantages described, the present lies Invention, the object of a device of the beginning to improve the type mentioned so that a change in arrangement saves time without the risk of contamination entering the cleanrooms is enabled and undesirable in operation Deposition of particles in the lock area is prevented.

Zur Lösung dieser Aufgabe sieht die Erfindung vor, daß die beiden aneinander angrenzenden Reinräume durch einen spaltartigen freien Zwischenraum als Schleusenraum zwischen ihren angrenzenden Stirnseiten mechanisch voneinander getrennt angeordnet sind, daß die miteinander korrespondierenden Schleusenöffnungen in den Stirnseiten von mindestens einem Schleusenrahmen umschlossen sind, durch den eine Drosselung der Überdruckgasströmung Schleusenöffnungen-Außenbereich erfolgt.To achieve this object, the invention provides that the two adjoining clean rooms by a gap-like free space as a lock space between their adjacent faces mechanically separated from each other that the corresponding lock openings in the End faces enclosed by at least one lock frame are, by throttling the pressure gas flow Lock openings outside.

Ein unerwünschtes Eindringen von Verunreinigungen wird auch noch bei unterschiedlichen Drücken in den einzelnen Reinräumen verhindert. Ein Reinraum ist bei herrschendem Überdruck sogar öffenbar, ohne daß Schmutz eindringt, wenn im benachbarten angeschlossenen Reinraum ein ausreichend hoher Überdruck aufrechterhalten wird.An unwanted one Penetration of contaminants is also reduced different pressures in the individual cleanrooms prevented. A clean room is even in the presence of overpressure can be opened without dirt entering if in the neighboring a sufficiently high overpressure is maintained.

Durch die mechanische Trennung der aneinander angrenzenden Reinräume ist eine Änderung der Anordnung bequem ohne Lösen von Flanschverschraubungen sehr zeitsparend möglich, wobei durch die Minimierung der Montagearbeiten auch eine wesentliche Herabsetzung der Gefahr des Eindringens von Schmutz in die Reinräume erfolgt.Due to the mechanical separation of the adjacent Clean rooms is easy to change the arrangement without loosening Flange screw connections possible in a very time-saving way Minimizing assembly work is also an essential Reduce the risk of dirt entering the Clean rooms are done.

In besonders vorteilhafter Weise kann der Schleusenrahmen die Schleusenöffnung mit Randabstand umschließen, um so einen Schleusenzwischenraum mit größerem Querschnitt gegenüber der Schleusenöffnung zu bilden. Durch diese Querschnittserweiterung erfolgt eine Strömungsberuhigung der Reinatmosphäre verbunden mit einem Ansteigen des statischen Druckes, so daß durch diesen Überdruck ein Eindringen von Luft aus dem Außenbereich sicher verhindert ist.In a particularly advantageous manner, the lock frame can Enclose the lock opening with a margin to create one Lock interstice with a larger cross section than the Form lock opening. Through this cross-sectional expansion a flow calming of the pure atmosphere is connected with an increase in static pressure so that by this Overpressure ensures that air can penetrate from outside is prevented.

Eine gute Durchspülung zur sicheren Vermeidung des Eindringens oder sogar Ablagerns von unerwünschten Partikeln in Ecken kann dadurch erreicht werden, daß im Randbereich mindestens einer der Schleusenöffnungen mindestens eine Leitfläche vorgesehen ist, durch die eine etwa 90°-Umlenkung der Gasströmung im Randbereich der Schleusenöffnung erfolgt. A good flushing to safely avoid penetration or even depositing unwanted particles in corners can be achieved in that at least one of the Lock openings at least one guide surface is provided, due to the approximately 90 ° deflection of the gas flow in the edge area the lock is opened.

Solche Leitflächen können konstruktiv besonders einfach in den äußeren Bereich des Schleusenraums abgewinkelt sein, wobei eine 90°-Umlenkung im engsten Querschnitt der üblicherweise quadratisch ausgebildeten Schleusenöffnungen angeordnet sein kann. Ohne solche Leitflächen können in den Ecken Sogwirkungen durch Wirbel auftreten und Schmutz angesaugt werden, insbesondere bei nur geringem Überdruck.Such guiding surfaces can be constructed in a particularly simple manner in the outer area of the lock room be angled, one 90 ° deflection in the narrowest cross section of the usual be square-shaped lock openings can. Without such baffles, suction can occur in the corners occur through eddies and dirt is sucked in, especially with only slight overpressure.

Montagemäßig besonders einfach können der oder die Schleusenrahmen parallele Stirnflächen aufweisen, von denen eine dicht mit der Stirnseite des zugeordneten Rahmens verbunden ist und die andere mit der Stirnseite des angrenzenden Reinraums oder ggf. mit der Stirnfläche des angrenzenden Schleusenrahmens des angrenzenden Reinraums zusammenwirkt.The assembly can be particularly simple Lock frame have parallel faces, one of which is tightly connected to the face of the associated frame and the other with the front of the adjacent clean room or possibly with the end face of the adjacent lock frame of the adjacent clean room interacts.

Um bei einer Änderung der Anordnung Beschädigungen weitestgehend zu vermeiden, können die Leitflächen einer Schleusenöffnung die Stirnflächen des sie umschließenden Schleusenrahmens nicht überragen und sie sind innerhalb der lichten Weite des Schleusenrahmens angeordnet.To largely damage when changing the arrangement to avoid the guiding surfaces of a lock opening Not face of the lock frame enclosing them tower and they are within the clear width of the Lock frame arranged.

Zweckmäßigerweise sind die Schleusenrahmen und die Leitflächen der aneinander angrenzenden Reinräume symmetrisch gleich ausgebildet, so daß bei einer Änderung der Anordnung nicht auf die besondere Ausbildung der Schleusenrahmen und/oder Leitflächen geachtet werden muß. The lock frames and the guide surfaces are expedient of the adjacent clean rooms are symmetrically the same trained so that when changing the arrangement not on the special training of the lock frame and / or Guiding surfaces must be observed.

Dadurch, daß die Schleusenrahmen zweier aneinander angrenzender Reinräume mindestens an zwei gegenüberliegenden Seiten aneinander anliegen, kann einmal die Austrittsmenge der durch die Schleusenrahmen austretenden Reinatmosphäre begrenzt und der Austrittsstrom ausgerichtet werden. Ohne die zweiseitige Abdichtung an gegenüberliegenden Seiten können sich in den Ecken der Schleusenrahmen Wirbel bilden, durch die eine Partikeleintragung erfolgen kann. Es kann mindestens einer der aneinander anliegenden Schleusenrahmen auf mindestens einer Seite mit einer Dichtlippe vorzugsweise in Form mindestens einer Leiste, eines Wulstes od. dgl. versehen sein.The fact that the lock frame two adjacent to each other Cleanrooms at least on two opposite sides abut each other, can be the amount of leakage through the pure atmosphere exiting the lock frame is limited and the Outlet flow can be aligned. Without the two-sided Sealing on opposite sides can occur in the corners the lock frame form vortices through which one Particle entry can take place. At least one of the adjoining lock frame on at least one Side with a sealing lip, preferably in the form of at least one Bar, a bead or the like.

In Weiterentwicklung kann die Dichtlippe Durchströmkanäle freilassen und es können hierzu Aussparungen oder Durchbrüche in der Dichtlippe selbst oder in der Gegenfläche des angrenzenden, mit der Dichtlippe zusammenwirkenden Schleusenrahmens und/oder der angrenzenden Stirnseite des angrenzenden Reinraums vorgesehen sein. Hierdurch wird durch eine definierte Durchströmung der Schleusenöffnungen ein Eindringen oder gar eine Ablagerung von Partikeln verhindert. Strömungstote Ecken können so vollkommen vermieden werden und es kann trotzdem die Menge der austretenden Reinluft klein gehalten werden. Dem kommt außerdem entgegen, daß bei vielen Fertigungsprozessen die Reinluft in den Reinräumen ständig ausgetauscht werden muß, so daß es überhaupt kein Nachteil ist, daß zwischen den einzelnen Reinräumen ein Teil der Reinatmosphäre nach außen abströmt.As a further development, the sealing lip can have flow channels leave blank and there can be recesses or openings in the sealing lip itself or in the counter surface of the adjacent one, with the sealing lip interacting lock frame and / or the adjacent face of the adjacent clean room be provided. This is defined by a Flow through the lock openings an intrusion or even a deposition of particles is prevented. Current dead corners can be avoided completely and it can still The amount of exiting clean air can be kept small. That comes also opposes that in many manufacturing processes Clean air in the clean rooms must be exchanged constantly, so that it is not a disadvantage at all that between the individual Part of the clean atmosphere flows out to clean rooms.

Zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.Advantageous embodiments of the invention are the subclaims refer to.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnungen in der nachstehenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigtEmbodiments of the invention are based on the Drawings in the description below explained. It shows

Fig. 1 eine schematische Draufsicht auf die Anordnung zweier Reinräume, Fig. 1 is a schematic plan view of the arrangement of two clean rooms,

Fig. 2 eine Teildraufsicht auf einen Eckbereich zweier aneinander angrenzender Reinräume in Richtung des Pfeils II in Fig. 3, Fig. 2 is a partial plan view of a corner area of two adjacent clean rooms in the direction of arrow II in Fig. 3,

Fig. 3 einen Teilschnitt durch den Schleusenöffnungsbereich zweier aneinander angrenzender Reinräume mit angedeutetem Strömungsverlauf der Reinatmosphäre, Fig. 3 is a partial section through the lock opening area of two adjacent clean rooms with indicated flow path of the clean atmosphere,

Fig. 4 eine der Fig. 3 entsprechende Darstellung bei anderen Innendruckverhältnissen in den beiden aneinander angrenzenden Reinräumen und Fig. 4 is a representation corresponding to Fig. 3 with different internal pressure ratios in the two adjacent clean rooms and

Fig. 5 eine Teilseitenansicht eines Reinraums im Bereich der Linie V-V in Fig. 3. Fig. 5 is a partial side view of a clean room in the line VV in Fig. 3.

Für alle entsprechenden Teile werden bei der nachfolgenden Beispielsbeschreibung die gleichen Bezugszeichen verwendet. For all corresponding parts, the following are Example description uses the same reference numerals.

Beim in Fig. 1 schematisch dargestellten Ausführungsbeispiel sind zwei Reinräume 1, 1′ mit ihren Stirnseiten 2, 2′ nebeneinanderliegend angeordnet, wobei einander zugeordnete Schleusenöffnungen 3, 3′ in den Stirnseiten 2, 2′ zur Übergabe von Substraten 4 miteinander fluchten.In the embodiment shown schematically in Fig. 1, two clean rooms 1, 1 ' are arranged side by side with their end faces 2, 2' , with mutually assigned lock openings 3, 3 ' in the end faces 2, 2' for transferring substrates 4 aligned.

In den Reinräumen 1, 1′ ist zur Behandlung der Substrate 4 eine besondere Reinatmosphäre und es muß, um Ausschuß bei der Bearbeitung der Substrate 4 zu vermeiden, unbedingt verhindert werden, daß aus dem Außenbereich 5 Luft geringerer Reinheit in die Reinräume 1, 1′ eindringen kann. Dazu herrscht, wie im Ausführungsbeispiel der Fig. 3 angedeutet, in den Reinräumen 1, 1′ gegenüber dem Außenbereich 5 Überdruck, so daß, wie durch die Pfeile in Fig. 3 angedeutet, aus den Reinräumen 1, 1′ Reinluft zum Außenbereich 5 abströmen kann.In the clean rooms 1, 1 ' is a special clean atmosphere for the treatment of the substrates 4 and, in order to avoid rejects when processing the substrates 4 , it is essential to prevent air of lower purity 5 from the outside from entering the clean rooms 1, 1' can penetrate. There is, as indicated in the embodiment of FIG. 3, in the clean rooms 1, 1 ' compared to the outside 5 overpressure, so that, as indicated by the arrows in Fig. 3, from the clean rooms 1, 1' clean air to the outside 5 can.

Um dieses Abströmen zu lenken und zu begrenzen, sind an den Stirnseiten 2, 2′ der Reinräume 1, 1′ um die Schleusenöffnungen 3, 3′ herum Schleusenrahmen 6, 6′ angeordnet.In order to direct and limit this outflow, lock frames 6, 6 ' are arranged on the end faces 2, 2' of the clean rooms 1, 1 ' around the lock openings 3, 3' .

Die Schleusenrahmen 6, 6′ umschließen die Schleusenöffnung 3, 3′ mindestens auf zwei gegenüberliegenden Seiten mit Abstand, so daß ein im Querschnitt gegenüber den Schleusenöffnungen 3, 3′ größerer Schleusenraum 7 zwischen den Stirnseiten 2, 2′ und den Schleusenrahmen 6, 6′ gebildet wird, der ausreichend Platz für Leitflächen 12 bietet, wobei diese Leitflächen 12 nicht über die Kontur der Schleusenrahmen 6, 6′ hinausragen um einen leichten Austausch der Reinräume 1, 1′ zur Wartung oder Reparatur zu ermöglichen.The lock frame 6, 6 ' enclose the lock opening 3, 3' at least on two opposite sides with a distance, so that a cross-section compared to the lock openings 3, 3 ' larger lock space 7 between the end faces 2, 2' and the lock frame 6, 6 ' is formed, which offers sufficient space for guide surfaces 12 , these guide surfaces 12 not protruding beyond the contour of the lock frame 6, 6 'to enable easy replacement of the clean rooms 1, 1' for maintenance or repair.

Die Stirnflächen 8, 8′ der Schleusenrahmen 6, 6′ sind mit den Stirnseiten 2, 2′ der Reinräume 1, 1′ verklebt, während die gegenüberliegenden Stirnflächen 9, 9′ parallel zueinander verlaufend, oben und unten Ausströmzonen 10, 10′ bilden, während im seitlichen Bereich, wie in Fig. 2 ersichtlich, die Schleusenrahmen 6, 6′ durch eine oder mehrere Dichtlippen 11 abgedichtet im wesentlichen dicht aneinander anliegen und mit den Seitenkanten der Schleusenöffnungen 3, 3′ abschließen.The end faces 8, 8 'of the lock frame 6, 6' are glued to the end faces 2, 2 'of the clean rooms 1, 1' , while the opposite end faces 9, 9 ' parallel to each other, form outflow zones 10, 10' , while in the side area, as can be seen in Fig. 2, the lock frame 6, 6 ' sealed by one or more sealing lips 11 lie substantially close to each other and complete with the side edges of the lock openings 3, 3' .

Zur Umlenkung der Strömung aus den Reinräumen 1, 1′ sind in den Schleusenöffnungen 3, 3′ symmetrisch Leitflächen 12 angeordnet, durch die eine 90°-Umlenkung der Luftströmung in die Ausströmzonen 10, 10′ erfolgt. Die Leitflächen erstrecken sich über die gesamte Breite der quadratischen Schleusenöffnungen 3, 3′ und sind im Ausführungsbeispiel überhöht dick dargestellt.To deflect the flow from the clean rooms 1, 1 ' are arranged in the lock openings 3, 3' symmetrically guide surfaces 12 through which a 90 ° deflection of the air flow into the outflow zones 10, 10 ' takes place. The guide surfaces extend over the entire width of the square lock openings 3, 3 ' and are shown in the exemplary embodiment exaggerated thick.

Nachdem in den beiden Reinräumen 1, 1′ beim in Fig. 3 dargestellten Ausführungsbeispiel etwa der gleiche Überdruck gegenüber dem Außenbereich 5 herrscht, erfolgt, wie durch die Strömungspfeile angedeutet, eine symmetrische Gasströmung in Richtung zum Außenbereich 5. Beim in Fig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Überdruck im Reinraum 1 größer als im Reinraum 1′, so daß sich eine Strömung entsprechend den eingezeichneten Strömungspfeilen vom Reinraum 1 zum Reinraum 1′ ergibt. Weitere Gasströme strömen über die Ausströmzonen 10, 10′ nach außen, so daß auch hier vom Außenbereich 5 keinerlei Luft in die Reinräume 1, 1′ eindringen kann. Die Reinräume 1, 1′ selbst sind mechanisch praktisch nicht miteinander verbunden, so daß die einzelnen Reinräume 1, 1′ leicht ausgetauscht und auch andere Anordnungen getroffen werden können, in denen eine größere Anzahl von Reinräumen 1 zur Bearbeitung von Substraten 4 in mehreren oder vielen Arbeitsstufen durch die Reinräume 1, 1′ hindurch weitertransportiert werden können, ohne daß sie durch die Außenatmosphäre irgendwie verunreinigt werden können.After in the two clean rooms 1, 1 ' in the embodiment shown in FIG. 3 there is approximately the same overpressure with respect to the outer region 5 , as indicated by the flow arrows, a symmetrical gas flow takes place in the direction of the outer region 5 . In the embodiment shown in Fig. 4, the overpressure in the clean room 1 is greater than in the clean room 1 ' , so that there is a flow corresponding to the flow arrows drawn from the clean room 1 to the clean room 1' . Further gas flows flow out through the outflow zones 10, 10 ' , so that here, too, no air can penetrate into the clean rooms 1, 1' from the outer region 5 . The clean rooms 1, 1 ' themselves are practically not mechanically connected to each other, so that the individual clean rooms 1, 1' can be easily replaced and other arrangements can be made in which a larger number of clean rooms 1 for processing substrates 4 in several or many Working stages through the clean rooms 1, 1 ' can be transported through without being contaminated by the outside atmosphere.

In Fig. 5 ist noch eine Stirnseitenansicht eines Reinraums 1 dargestellt, bei der besonders gut die Anordnung der Leitflächen 12 erkennbar ist.In Fig. 5 is an end view of a clean room 1 is also shown, in which particularly the arrangement of the fins can be seen 12th

Die von den statischen Druckdifferenzen zwischen den Reinräumen 1, 1′ und dem Außenbereich 5 beschleunigte aus dem Reinraum 1 ausströmende Reinstluft strömt zum Teil direkt durch die Schleusenöffnungen 3, 3′ in den Reinraum 1′ über. Der andere Teil der Strömung aus dem Reinraum 1 wird durch die Leitflächen 12 umgelenkt und strömt in den Schleusenraum 7. Durch die Querschnittsverengung in den Ausströmzonen 10, 10′ durch die Schleusenrahmen 6, 6′ wird die Strömung aufgestaut, wodurch ein Teil des dynamischen Druckanteils im Schleusenraum 7 in statischen Druck umgewandelt wird, so daß dieser höher ist als der Umgebungsdruck im Außenbereich 5. Die Reinstluft aus dem Schleusenraum 7 strömt aufgrund dieser Druckdifferenz nun zum Teil in den Reinraum 1′. Der verbleibende Anteil strömt durch die Ausströmzonen 10, 10′ in den Außenbereich 5 ab (Fig. 4). Somit ist sichergestellt, daß auch bei diesen Betriebsverhältnissen keine Luft aus dem Außenbereich 5 in die Reinräume 1, 1′ eindringen kann.The accelerated from the clean room 1 accelerated from the static pressure differences between the clean rooms 1, 1 ' and the outer area 5 flowing pure air partly flows directly through the lock openings 3, 3' into the clean room 1 ' . The other part of the flow from the clean room 1 is deflected by the guide surfaces 12 and flows into the lock room 7 . Due to the narrowing of the cross-section in the outflow zones 10, 10 ' through the lock frame 6, 6' , the flow is dammed up, whereby part of the dynamic pressure component in the lock chamber 7 is converted into static pressure, so that it is higher than the ambient pressure in the outer region 5 . The ultrapure air from the lock room 7 now flows partly into the clean room 1 ' due to this pressure difference. The remaining portion flows through the outflow zones 10, 10 ' into the outer region 5 ( Fig. 4). This ensures that even in these operating conditions, no air can penetrate from the outer area 5 into the clean rooms 1, 1 ' .

Claims

1. Device with at least two with their end faces ( 2, 2 ' ) adjoining clean rooms ( 1, 1' ) for the treatment of substrates ( 4 ) which are used to transport the substrates ( 4 ) in the end faces ( 2, 2 ' ) The proposed lock openings ( 3, 3 ' ) are connected to one another, with overpressure prevailing in at least one of the clean rooms ( 1, 1' ) with respect to its outer area ( 5 ), characterized in that the two adjacent clean rooms ( 1, 1 ' ) pass through a gap-like free space as a lock space ( 7 ) between their adjacent end faces ( 2, 2 ' ) are mechanically separated from each other, that the corresponding lock openings ( 3, 3' ) in the end faces ( 2, 2 ' ) of at least one lock frame ( 6, 6 ' ) are enclosed, through which throttling the pressurized gas flow lock openings ( 3, 3' ) - outside area ( 5 ).

2. Device according to claim 1, characterized in that the lock frame ( 6, 6 ' ) encloses the lock opening ( 3, 3' ) at least on two opposite sides with edge spacing and thus a lock chamber ( 7 ) with a larger cross section than the lock openings ( 3 , 3 ′ ) forms.

3. Apparatus according to claim 2, characterized in that in the edge region at least one of the lock openings ( 3, 3 ' ) at least one guide surface ( 12 ) is provided, through which an approximately 90 ° deflection of the gas flow in the edge region of the lock opening ( 3, 3rd ' ) Takes place.

4. The device according to claim 3, characterized in that the or the lock frame ( 6, 6 ' ) have parallel end faces ( 8, 8', 9, 9 ' ), one of which is tight with the end face ( 2, 2' ) of the associated clean room ( 1, 1 ' ) and the other ( 9, 9' ) with the end face ( 2, 2 ' ) of the adjacent clean room ( 1, 1' ) or possibly with the end face ( 9, 9 ' ) of the adjacent lock frame ( 6, 6 ' ) of the adjacent clean room ( 1, 1' ) cooperates.

5. Apparatus according to claim 3 and 4, characterized in that the guide surfaces ( 12 ) of a lock opening ( 3, 3 ' ) the end faces ( 9, 9' ) of the surrounding lock frame ( 6, 6 ' ) do not protrude and within the clear Width of the lock frame ( 6, 6 ' ) are arranged.

6. Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that the lock frame ( 6, 6 ' ) and the guide surfaces ( 12 ) of the adjacent clean rooms ( 1, 1' ) are formed symmetrically the same.

7. Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the lock frame ( 6, 6 ' ) of two adjacent clean rooms ( 1, 1' ) abut against each other at least on two opposite sides.

8. The device according to claim 7, characterized in that at least one of the abutting lock frame ( 6, 6 ' ) is provided on at least one side with a sealing lip ( 11 ) preferably in the form of at least one bar or a bead.

9. The device according to claim 8, characterized in that the sealing lip ( 11 ) leaves flow channels and recesses or openings in the sealing lip ( 11 ) itself or in the counter surface of the adjacent cooperating with the sealing lip outer frame ( 6, 6 ' ) or the adjacent End face ( 2, 2 ' ) are provided.

10. The device according to claim 9, characterized in that the flow channel or the flow channels are provided in particular in the vicinity of the lock openings ( 3, 3 ' ).