DE4031432A1 - Integrierte halbleiterschaltung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine integrierte Halbleiterschaltung, insbesondere eine solche integrierte Halbleiterschaltung, die geeignet ist, einen Spannungsstoß von einer Ausgangsschaltung auszuhalten, die von Feldeffekttransistoren mit hoher Durchbruchspannung gebildet wird.

In den letzten Jahren hat man Vakuum-Fluoreszenzanzeigen oder dergleichen in zunehmendem Maße direkt mit einem Ausgangs­ signal von einer Mikrosteuereinheit oder einer Steuerung direkt angetrieben, wobei eine integrierte Halbleiterschal­ tung, die einen Hochspannungs-MOS-Transistor enthält, für solche Zwecke als Ausgangsschaltung zu Treiberzwecken verwen­ det worden ist.

Fig. 6 zeigt eine herkömmliche Ausgangsschaltung zum Treiben einer Vakuum-Fluoreszenzanzeige. Wie in Fig. 6 dargestellt, weist eine solche Ausgangsschaltung einen p-Kanal MOS Transi­ stor 1 mit hoher Durchbruchspannung sowie einen Pulldown- Widerstand 2 auf, der zum Herunterziehen der Spannung dient und eine Last bildet. Der p-Kanal MOS Transistor 1 hat einen Sourcebereich und ein Volumen, die an einen ersten Versor­ gungsanschluß 3 angeschlossen sind, einen Gatebereich, der an eine Eingangsklemme IN angeschlossen ist, und einen Drainbe­ reich, der an eine Ausgangsklemme OUT angeschlossen ist. Der Pulldown-Widerstand 2 ist zwischen den Drainbereich des p-Kanal MOS Transistors 1 sowie einen zweiten Versorgungsan­ schluß 4 geschaltet.

Im allgemeinen wird ein positives Potential VCC von bei­ spielsweise 5 Volt von einer Stromquelle mit hohem Potential an den ersten Versorgungsanschluß 3 angelegt, während ein negatives Potential VP von beispielsweise -35 Volt von einer Stromquelle mit niedrigem Potential an den zweiten Versor­ gungsanschluß 4 angelegt wird. Eine Spannung von 0 bis 5 Volt wird als Steuersignal an die Eingangsklemme IN angelegt. Eine Ziffer oder ein Segment der Fluoreszenzanzeige ist an die Ausgangsklemme OUT angeschlossen.

Wenn die Eingangsklemme IN ein Steuersignal mit hohem Pegel von 5 Volt in dieser Ausgangsschaltung erhält, wird der p-Kanal MOS Transistor 1 abgeschaltet, so daß die Ausgangs­ klemme OUT das negative Potential VP von -35 Volt von dem Versorgungsanschluß 4 erhält und auf niedrigen Pegel geht. Somit leuchtet die Fluoreszenzanzeige nicht.

Wenn andererseits die Eingangsklemme IN ein Steuersignal mit niedrigem Pegel von 0 Volt erhält, wird der p-Kanal MOS Transistor 1 durchgeschaltet, so daß die Ausgangsklemme OUT das positive Potential VCC von 5 Volt von dem Versorgungsan­ schluß 3 erhält und auf hohen Pegel geht. Somit leuchtet die Fluoreszenzanzeige.

Fig. 7 zeigt eine schematische Schnittansicht zur Erläuterung einer Halbleiteranordnung, welche die Ausgangsschaltung gemäß Fig. 6 bildet. Wie in Fig. 7 dargestellt, ist ein n⁻-Typ Muldenbereich 6, der als Volumen des p-Kanal MOS Transistors 1 dient, auf einer ersten Hauptfläche eine p⁻-Typ Substrats 5 ausgebildet. Ein p⁺-Typ Diffusionsbereich 7, der den Source­ bereich des p-Kanal MOS Transistors 1 bildet, und ein weiterer p⁺-Typ Diffusionsbereich 8, der den Drainbereich des MOS Transistors 1 bildet, sind auf einer Oberfläche des n⁻-Typ Muldenbereiches 6 vorgesehen, wobei sie voneinander beabstandet sind.

Ein n⁺-Typ Diffusionsbereich 9 ist an den p⁺-Typ Diffusions­ bereich 7 angrenzend vorgesehen, während ein p⁺-Typ Diffu­ sionsbereich 11 so vorgesehen ist, daß er über eine Feldoxid­ schicht 10 an den anderen p⁺-Typ Diffusionsbereich 8 angrenzt und als Pulldown-Widerstand 2 dient. Ferner ist eine Gate­ elektrode 13 auf einem Bereich des n⁻-Typ Muldenbereiches 6 vorgesehen, und zwar unter Zwischenschaltung einer Isolier­ schicht 12 zwischen den beiden p⁺-Typ Diffusionsbereichen 7 und 8.

Somit wird der p-Kanal MOS Transistor 1 gebildet von dem n⁻-Typ Muldenbereich 6, den p⁺-Typ Diffusionbereichen 7 und 8, der Isolierschicht 12 und der Gateelektrode 13. Der n⁺-Typ Diffusionsbereich 9 und der p⁺-Typ Diffusionsbereich 7 sind mit dem ersten Versorgungsanschluß 3 verbunden, an den das positive Potential VCC angelegt wird, während die Gateelek­ trode 13 mit der Eingangsklemme IN verbunden ist.

Ferner sind der p⁺-Typ Diffusionsbereich 8 und das eine Ende des p⁺-Typ Diffusionsbereiches 11 mit der Ausgangsklemme OUT verbunden, während das andere Ende des p⁺-Typ Diffusionsbe­ reiches 11 mit dem zweiten Versorgungsanschluß 4 verbunden ist, an den das negative Potential VP angelegt wird. Diese Halbleiteranordnung arbeitet in gleicher Weise wie vorstehend unter Bezugnahme auf Fig. 6 erläutert, so daß auf die obige Beschreibung Bezug genommen wird.

Während Fig. 7 den p-Kanal MOS Transistor 1 mit hoher Durchbruchspannung in dem Aufbau eines üblichen Transistors mit hoher Durchbruchspannung, die mit einer herkömmlichen Technik, wie z. B. einer Doppeldiffusion realisiert wird, in geeigneter Weise gewählt und für einen entsprechenden prakti­ cher Struktur unterscheidet sich jedoch nicht wesentlich im Betrieb von dem eines MOS-Transistors mit hoher Durchbruchspannung, abgesehen von dem Aspekt der Eigenschaft der hohen Durchbruchspannung, so daß die nachstehende Erläuterung sich auf eine Anordnung mit üblichem Aufbau bezieht, der in Fig. 7 dargestellt ist.

Bei einer herkömmlichen integrierten Halbleiterschaltung mit dem oben beschriebenen Aufbau wird gemäß Fig. 6 eine parasi­ täre Diode 14 zwischen der Ausgangssklemme OUT und dem Versorgungsanschluß 3 gebildet, und zwar von dem p-n-Übergang zwischen dem p⁺-Typ Diffusionsbereich 8 und dem n⁻-Typ Muldenbereich 6, wie sich aus Fig. 7 ergibt. Daher ist es erforderlich, die folgenden Gegenmaßnahmen gegen Spannungs­ stöße zu berücksichtigen: Es wird angenommen, daß die Ausgangsklemme OUT einen positi­ ven Spannungsstoß (+) erhält. In diesem Falle fließt ein Stromstoß längs eines Strompfades in der nachstehend angege­ benen Weise: Ausgangsklemme OUT → parasitäre Diode 14 → (p⁺-Typ Diffusionsbereich 8 → n⁻-Typ Muldenbereich 6 → n⁺-Typ Difffusionbereich 9) → Versorgungsanschluß 3, und somit wird eine hohe Stehspannung bei Spannungsstößen gewähr­ leistet.

Es wird nun angenommen, daß die Ausgangsklemme OUT einen negativen Spannungsstoß (-) erhält. Wenn der p-Kanal MOS Transistor 1 zu diesem Zeitpunkt im EIN-Zustand oder durchge­ schalteten Zustand ist, so fließt der Stromstoß längs eines Strompfades in der nachstehenden Weise: Versorgungsanschluß 3 → MOS Transistor 1 → Ausgangsklemme OUT, so daß kein Problem auftritt. Wenn jedoch der p-Kanal MOS Transistor 1 im AUS- Zustand oder gesperrten Zustand ist, wird kein elektrischer Strompfad für den Stromstoß gebildet, da die Impedanz des Pulldown-Widerstandes 2 im allgemeinen auf einen hohen Wert von einigen zehn Kiloohm gesetzt ist, um die Leistungsauf­ nahme zu verringern.

Infolgedessen erleidet der p-Kanal MOS Transistor 1 einen Durchbruch, und der Stromstoß läuft längs eines Strompfades in folgender Weise: Versorgungsanschluß 3 → MOS Transistor 1 → Ausgangsklemme OUT. Somit hat eine derartige Halbleiteranord­ nung eine extrem niedrige Durchbruchspannung gegenüber nega­ tiven Spannungsstößen.

Es kann in Betracht gezogen werden, eine zusätzliche p-n- Diode in dem n⁻-Typ Muldenbereich 6 auszubilden, um den Stromstoß von der Ausgangsklemme OUT durch diese p-n-Diode zum Versorgungsanschluß 4 abzuziehen. Es ist jedoch unmög­ lich, eine solche p-n-Diode auszubilden, da das p⁻-Typ Substrat 5 mit einem Massepotential verbunden ist, um den Betrieb des Transistors zu stabilisieren, und der n⁻-Typ Muldenbereich 6 kann nicht auf ein Potential gesetzt werden, das niedriger ist als das Massepotential.

Im allgemeinen wird daher die Gatebreite des p-Kanal MOS Transistors 1 verbreitert, um die Wärme abzugeben, die durch den Transistorbetrieb erzeugt wird, um dadurch die Stehspan­ nung gegenüber Spannungsstößen zu vergrößern.

Fig. 8 zeigt eine generelle Form einer Meßschaltung für die Stehspannung gegenüber Spannungsstößen unter Verwendung eines Kondensatorladeverfahrens. Bei dieser Meßschaltung wird ein Schalter 15 zu einem ersten Übergangskontakt 15a umgeschal­ tet, um eine Spannung von einer Stromversorgung 16 an einen Kondensator 17 anzulegen und dadurch den Kondensator 17 zu laden, wie es Fig. 8 zeigt. Danach wird der Schalter 15 zu einem zweiten Übergangskontakt 15b umgeschaltet, um die Ladungen aus dem Kondensator 17 über einen Widerstand 18 zu einer Einrichtung 19 zu entladen, um den Durchbruchzustand der Einrichtung 19 zu untersuchen. Dabei wird die an den Kondensator 17 angelegte Spannung sequentiell geändert, um den Durchbruchzustand der Einrichtung 19 zu untersuchen und auf diese Weise die Durchbruchspannung der Einrichtung 19 festzustellen.

Fig. 9 zeigt ein erhaltenes Ergebnis, in dem man die Kapazi­ tät des Kondensators 17 auf einen Wert von C = 200 pF und den Widerstandswert des Widerstandes 18 auf einen Wert von R = 0 in der Meßschaltung gemäß Fig. 8 setzt und die Durchbruchspannung der Ausgangsschaltung gemäß Fig. 6 in der Praxis mißt. In der Fig. 9 bezeichnet die Ordinate die Durchbruchspannung, während die Abszisse die Gatebreite des p-Kanal MOS Transistors 1 bezeichnet. Wie aus Fig. 9 ersichtlich, nimmt die Stehspannung gegenüber Spannungsstößen mit zunehmender Gatebreite zu. Da die Transistorgröße im Verhältnis zu der Gatebreite zunimmt, sind große Transistorabmessungen erforderlich, um eine hohe Stehspannung gegenüber Spannungsstößen zu erzielen.

Beispielsweise sind extrem große Transistorabmessungen mit einer Gatebreite von 2000 µm erforderlich, um eine Stehspan­ nung von -300 Volt bei Spannungsstößen zu gewährleisten. Wenn die Gatebreite so breit wird, nimmt der durch den Transistor fließende Strom zu. Für einen Segmentantrieb einer Fluores­ zenzanzeige oder dergleichen ist jedoch im allgemeinen nur ein Strom von einigen Milliampere erforderlich, und somit stellt eine vorstehend geschilderte Struktur eine erhebliche Verschwendung dar.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine integrierte Halblei­ terschaltung anzugeben, die in der Lage ist, hohe Spannungs­ stöße auszuhalten, ohne die Abmessungen des entsprechenden Halbleiterchips zu vergrößern und ohne den üblichen Betrieb in irgendeiner Weise zu behindern.

Die integrierte Halbleiterschaltung gemäß der Erfindung weist folgendes auf: eine Eingangsklemme zum Anlegen eines Steuer­ signals; einen ersten Feldeffekttransistor mit einer ersten Elektrode und einem Volumen, die mit einem ersten Potential­ punkt verbunden sind, mit einer Steuerelektrode, die mit der Eingangsklemme verbunden ist, und mit einer zweiten Elek­ trode; eine Last, die zwischen die zweite Elektrode des ersten Feldeffekttransistors und einen zweiten Potentialpunkt geschaltet ist; eine Ausgangsklemme, die an die zweite Elektrode des ersten Feldeffekttransistors angeschlossen ist; und einen zweiten Feldeffekttransistor mit einer ersten Elektrode und einer Steuerelektrode, die mit der Ausgangs­ klemme verbunden sind, mit einer zweiten Elektrode, die mit dem zweiten Potentialpunkt verbunden ist, und mit einem Volu­ men, das mit dem ersten Potentialpunkt verbunden ist.

Wenn bei der erfindungsgemäßen integrierten Halbleiterschal­ tung ein Spannungsstoß an die Ausgangsklemme angelegt wird, der einen Durchbruch des ersten Feldeffekttranistors bewirken könnte so leitet der zweite Feldeffekttransistor und läßt einen Stromstoß hindurch, so daß verhindert wird, daß der erste Feldeffekttransistor einen Durchbruch erleidet. Im anderen Falle bleibt der zweite Feldeffekttransistor regulär in einem Sperrzustand oder AUS-Zustand und garantiert einen Normalbetrieb der Schaltung.

Die Erfindung wird nachstehend, auch hinsichtlich weiterer Merkmale und Vorteile, anhand der Beschreibung von Ausfüh­ rungsbeispielen und unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Die Zeichnungen zeigen in

Fig. 1 eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 2 eine schematische Schnittansicht zur Erläute­ rung des Aufbaus einer Halbleiteranordnung zur Realisierung der Schaltung gemäß Fig. 1;

Fig. 3 eine Schnittansicht zur Erläuterung eines we­ sentlichen Teiles der Halbleiteranordnung mit einem Aufbau mit besonders hoher Durchbruch­ spannung;

Fig. 4 eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 5 eine Schnittansicht zur schematischen Erläute­ rung einer Halbleiteranordnung zur Realisierung der Schaltung gemäß Fig. 4;

Fig. 6 eine herkömmliche Ausgangsschaltung zum Treiben einer Fluoreszenzanzeige;

Fig. 7 eine Schnittansicht zur schematischen Erläute­ rung einer Halbleiteranordnung zur Realisierung der Schaltung gemäß Fig. 6;

Fig. 8 eine schematische Darstellung zur Erläuterung einer Meßschaltung für eine Stehspannung gegen­ über Spannungsstößen; und in

Fig. 9 ein Diagramm zur Erläuterung des Zusammenhanges zwischen der Gatebreite eines MOS Transistors und seiner Durchbruchspannung.

Fig. 1 zeigt eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemä­ ßen integrierten Halbleiterschaltung, die als Ausgangsschal­ tung dient, beispielsweise für den Treiber einer Vakuum- Fluoreszenzanzeige. Wie in Fig. 1 dargestellt, ist ein zusätzlicher p-Kanal MOS Transistor 20 mit hoher Durchbruchspannung zwischen eine Ausgangsklemme OUT und einen zweiten Versorgungsanschluß 4 geschaltet, an den ein negatives Potential VP angelegt wird.

Dieser p-Kanal MOS Transistor 20 hat einen Drainbereich und einen Gatebereich, die mit der Ausgangsklemme OUT verbunden sind, einen Sourcebereich, der mit dem Versorgungsanschluß 4 verbunden ist, und ein Volumen, das mit einem ersten Versor­ gungsanschluß 3 verbunden ist, an den ein positives Potential VCC angelegt wird. Im übrigen ist die Schaltung in gleicher Weise aufgebaut wie die Ausgangsschaltung gemäß Fig. 6, so daß identische Teile auch mit denselben Bezugszeichen verse­ hen sind, wobei eine erneute Beschreibung an dieser Stelle entbehrlich erscheint.

Fig. 2 zeigt eine schematische Schnittansicht zur Erläuterung einer Halbleiteranordnung zur Realisierung der Ausgangsschal­ tung gemäß Fig. 1. Wie in Fig. 2 dargestellt, ist ein zusätz­ licher n⁻-Typ Muldenbereich 21, der als Volumen des p-Kanal MOS Transistors 20 dient, auf einer ersten Hauptfläche eines p⁻-Typ Substrats 5 ausgebildet, und zwar in der Nähe eines n⁻-Typ Muldenbereiches 6. Ein p⁺-Typ Diffusionbereich 22, der als Drainbereich des p-Kanal MOS Transistors 20 dient, und ein weiterer p⁺-Typ Diffusionsbereich 23, der als Sourcebe­ reich des p-Kanal MOS Transistors 20 dient, sind auf einer Oberfläche des n⁻-Typ Muldenbereiches 21 vorgesehen, und zwar im Abstand voneinander.

Ein n⁺-Typ Diffusionsbereich 24 ist so vorgesehen, daß er über eine Feldoxidschicht 10 an den p⁺-Typ Diffusionsbereich 23 angrenzt. Weiterhin ist eine Gateelektrode 26 auf einem Bereich des n⁻-Typ Muldenbereiches 21 ausgebildet, und zwar auf einer Isolierschicht 25 zwischen den beiden p⁺-Typ Diffu­ sionsbereichen 22 und 23. Somit wird der p-Kanal MOS Transi­ stor 20 gebildet von dem n⁻-Typ Muldenbereich 21, den p⁺-Typ Diffusionbereichen 22 und 23, der Isolierschicht 25 und der Gateelektrode 26.

Der p⁺-Typ Diffusionsbereich 22 und die Gateelektrode 26 sind an die Ausgangsklemme OUT angeschlossen, während der andere p⁺-Typ Diffusionsbereich 23 mit dem Versorgungsanschluß 4 verbunden ist. Der n⁺-Typ Diffusionsbereich 24 ist mit dem Versorgungsanschluß 3 verbunden.

Wie aus Fig. 2 ersichtlich, wird eine parasitäre Diode 14 gemäß Fig. 1 zwischen der Ausgangsklemme OUT und dem Versor­ gungsanschluß 3 gebildet, und zwar durch den p-n-Übergang zwischen dem p⁺-Typ Diffusionsbereich 22 und dem n⁻-Typ Muldenbereich 21, während eine andere parasitäre Diode 27 gemäß Fig. 1 zwischen den Versorgungsanschlüssen 4 und 3 von dem p-n-Übergang zwischen dem p⁺-Typ Diffusionsbereich 23 und dem n⁻-Muldenbereich 21 gebildet wird.

Während Fig. 2 p-Kanal MOS Transistoren 1 sowie 20 mit hoher Durchbruchspannung jeweils mit üblichem Transistoraufbau zeigt, um die Darstellung zu erleichtern, kann ein Aufbau mit hoher Durchbruchspannung mit herkömmlicher Technik, beispielsweise durch Doppeldiffusion, realisiert werden, die in geeigneter Weise gewählt und im jeweiligen Anwendungsfall verwendet wird. Um einen Aufbau mit hoher Durchbruchspannung durch Doppeldiffusion zu realisieren, wird beispielsweise der Sourcebereich des p-Kanal MOS Transistors 1 fertiggestellt durch eine Doppeldiffusionsstruktur aus einem p⁻-Typ Diffusi­ onsbereich 7a und einem p⁺-Typ Diffusionsbereich 7b, während der dazugehörige Drainbereich ebenfalls durch eine Doppeldif­ fusionsstruktur realisiert wird, und zwar aus einem p⁻-Typ Diffusionsbereich 8a und einem p⁺-Typ Diffusionsbereich 8b, wie es in Fig. 3 dargestellt ist.

Weiterhin ist der n⁺-Typ Diffusionsbereich 9 von dem genann­ ten Sourcebereich durch die Feldoxidschicht 10 getrennt. Die Source- und Drainbereiche des weiteren p-Kanal MOS Transi­ stors 20 werden auch durch entsprechende Doppeldiffusion re­ alisiert. Die p-Kanal MOS Transistoren 1 und 20 mit dem Auf­ bau für eine hohe Durchbruchspannung unterscheiden sich jedoch nicht wesentlich in ihrem Betrieb von MOS Transistoren mit üblichem Aufbau, abgesehen von dem Aspekt der hohen Durchbruchspannung, so daß die nachstehende Beschreibung unter Bezugnahme auf den herkömmlichen Aufbau gemäß Fig. 2 erfolgt.

Die Wirkungsweise der oben beschriebenen Ausgangsschaltung ist folgende: Wenn die Eingangsklemme IN ein Steuersignal mit niedrigem Pegel im Normalbetrieb erhält, wird der p-Kanal MOS Transi­ stor 1 durchgeschaltet, so daß die Ausgangsklemme OUT auf ein Potential mit hohem Pegel von VCC = 5 Volt gebracht wird. Wenn die Eingangsklemme IN ein Steuersignal mit hohem Pegel erhält, wird hingegen der p-Kanal MOS-Transistor 1 abgeschal­ tet oder gesperrt, so daß die Ausgangsklemme OUT auf ein Potential mit niedrigem Pegel von VP = -35 Volt gebracht wird.

Somit nimmt die Ausgangsklemme OUT ein Potential in dem Bereich zwischen VCC von +5 Volt und VP von -35 Volt an, und der p-Kanal MOS Transistor 20 bleibt in einem gesperrten Zustand, da das Potential an seinem Gateanschluß höher als das oder identisch mit dem an seinem Sourceanschluß bei Nor­ malbetrieb ist. In diesem Falle hat der p-Kanal MOS Transi­ stor 20 eine ausreichende Durchbruchspannung, um keinen schädlichen Einfluß auf den Normalbetrieb auszuüben, da der p-Kanal MOS Transistor 20 in ähnlicher Weise wie der p-Kanal MOS Transistor 1 einen Aufbau mit hoher Durchbruchsspannung besitzt, beispielsweise durch Doppeldiffusion oder dergleichen.

Der p-Kanal MOS Transistor 20 bleibt auch in einem gesperrten Zustand, wenn ein positiver Spannungsstoß an die Ausgangs­ klemme OUT angelegt wird, wobei eine hohe Stehspannung gegen­ über Spannungsstößen gewährleistet ist, da der Stromstoß längs eines Strompfades fließt, der folgenden Verlauf hat: Ausgangsklemme OUT → parasitare Diode 14 (p⁺-Typ Diffusions­ bereich 8 → n⁻-Typ Muldenbereich 6 → n⁺-Typ Diffusions­ bereich 9 und p⁺-Typ Diffusionsbereich 22 → n⁻-Typ Mulden­ bereich 21 → n⁺-Typ Diffusionsbereich 24) → Versorgungs­ anschluß 3.

Wenn ein negativer Spannungsstoß an die Ausgangsklemme OUT angelegt wird, ist andererseits der Spannungsstoß ausreichend niedriger als das negative Potential VP. Somit geht der p-Kanal MOS Transistor 20 in einen durchgeschalteten Zustand, da die Spannung an seinem Gateanschluß niedriger wird als die an seinem Sourceanschluß, so daß der Stromstoß längs eines Strompfades fließt, der folgenden Verlauf hat: Versorgungsan­ schluß 4 → p-Kanal MOS Transistor 20 → Ausgangsklemme OUT. Infolgedessen erfolgt kein Durchbruch beim p-Kanal MOS Transistor 1, sondern es liegt auch bei negativen Spannungs­ stößen eine hohe Stehspannung gegenüber solchen Spannungsstö­ ßen vor.

Somit kann die Stehspannung gegenüber Spannungsstößen vergrö­ ßert werden, ohne einen nachteiligen Einfluß auf den Normalbetrieb auszuüben, indem man den zusätzlichen p-Kanal MOS Transistor 20 verwendet, und die Chipgröße kann reduziert werden, da es nicht erforderlich ist, die Gatebreite des p-Kanal MOS Transistors 1 breiter zu machen, was herkömm­ licherweise die Gegenmaßnahme für Spannungsstöße darstellt.

Fig. 4 zeigt eine integrierte Halbleiterschaltung gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung, die beispielsweise eine Ausgangsschaltung für einen Treiber für Vakuum-Fluores­ zenzanzeigen darstellt.

Wie in Fig. 4 dargestellt, wird eine hohe Spannung VH an einen ersten Versorgungsanschluß 3 von einer Stromversorgung mit hohem Potential angelegt, während ein zweiter Versor­ gungsanschluß 4 mit Masse GND oder einer Stromversorgung mit niedrigem Potential verbunden ist. Weiterhin wird ein n-Kanal MOS Transistor 28 mit hoher Durchbruchspannung als Ausgangs­ transistor verwendet, während ein weiterer n-Kanal MOS Transistor 29 mit hoher Durchbruchspannung als Transistor verwendet wird, um einen Stromstoß hindurchzulassen.

Der n-Kanal MOS Transistor 28 ist zwischen den Versorgungsan­ schluß 4 und eine Ausgangsklemme OUT geschaltet, während der n-Kanal MOS Transistor 29 und ein Pulldown-Widerstand 2 zwischen den Versorgungsanschluß 3 und die Ausgangsklemme OUT geschaltet sind. Im übrigen ist der Aufbau dieser Schaltung der gleiche wie bei der Ausgangsschaltung gemäß Fig. 1, wobei gleiche oder entsprechende Teile mit entsprechenden Bezugs­ zeichen versehen sind, so daß auf die obige Beschreibung insofern Bezug genommen wird.

Fig. 5 zeigt eine schematische Schnittansicht zur Erläuterung einer Halbleiteranordnung zur Realisierung der Ausgangsschal­ tung gemäß Fig. 4. Diese Halbleiteranordnung ist hinsichtlich der p-Dotierung und n-Dotierung im Vergleich mit der Anord­ nung gemäß Fig. 2 invertiert, wobei die Versorgungsanschlüsse 3 und 4 miteinander vertauscht sind. Im übrigen ist der Auf­ bau der gleiche wie bei der Anordnung gemäß Fig. 2, so daß gleiche oder entsprechende Teile auch mit den entsprechenden Bezugszeichen versehen sind, so daß eine erneute Beschreibung an dieser Stelle entbehrlich erscheint.

Eine parasitäre Diode 30 gemäß Fig. 4 wird von einem p-n- Übergang zwischen einem p⁻-Typ Muldenbereich 6 und einem n⁺-Typ Diffusionsbereich 8 sowie einem weiteren p-n-Übergang zwischen einem weiteren p⁻-Typ Muldenbereich 21 und einem weiteren n⁺-Typ Diffusionsbereich 22 gebildet, während eine weitere parasitäre Diode 31 gemäß Fig. 4 von einem p-n-Über­ gang zwischen dem p⁻-Typ Muldenbereich 21 und einem weiteren n⁺-Typ Diffusionsbereich 23 gebildet wird.

Der Betrieb der oben beschriebenen Schaltung ist wie folgt: Wenn eine Eingangsklemme IN ein Steuersignal mit hohem Pegel im Normalbetrieb erhält, wird der n-Kanal MOS Transistor 28 durchgeschaltet, so daß die Ausgangsklemme OUT auf niedrigen Pegel, also auf Massepotential oder GND-Potential geht. Wenn andererseits die Eingangsklemme IN ein Steuersignal mit nied­ rigem Pegel erhält, wird der n-Kanal MOS Transistor 28 abge­ schaltet bzw. gesperrt, so daß die Ausgangsklemme OUT auf hohen Pegel VH geht.

Somit nimmt die Ausgangsklemme OUT ein Potential in einem Bereich zwischen GND und VH an, während der andere n-Kanal MOS Transistor 29 in einem gesperrten Zustand bleibt, da das Potential an seinem Gateanschluß niedriger als das oder iden­ tisch mit dem seines Sourceanschlusses im Normalbetrieb ist. Somit übt der n-Kanal MOS Transistor 29 keinen schädlichen Einfluß auf den Normalbetrieb aus.

Der n-Kanal MOS Transistor 29 bleibt auch in einem gesperrten Zustand, wenn ein negativer Spannungsstoß an die Ausgangs­ klemme OUT angelegt wird, wobei eine hohe Stehspannung gegen­ über Spannungsstößen gewährleistet ist, da der Stromstoß durch einen Strompfad fließt, der folgendermaßen gebildet wird: Versorgungsanschluß 4 → parasitäre Diode 30 → Ausgangsklemme OUT.

Wenn andererseits ein positiver Spannungsstoß an die Ausgangsklemme OUT angelegt wird, wird die Stehspannung gegenüber Spannungsstößen reduziert, wenn kein n-Kanal MOS Transistor 29 vorgesehen ist, da der Stromstoß durch den Durchbrucheffekt des n-Kanal MOS Transistors 28 hindurchgeht. Bei dieser Ausführungsform ist jedoch der n-Kanal MOS Transi­ stor 29 vorgesehen, der beim Anlegen des positiven Spannungs­ stoßes in einen durchgeschalteten Zustand geht, da das Poten­ tial an seinem Gateanschluß höher wird als das an seinem Sourceanschluß.

Somit geht der Stromstoß längs eines Strompfades hindurch, der folgendermaßen aussieht: Ausgangsklemme OUT → n-Kanal MOS Transistor 29 → Versorgungsanschluß 3, wobei der n-Kanal MOS Transistor 28 keinen Durchbruch erleidet, vielmehr eine hohe Stehspannung gegenüber positiven Spannungsstößen zeigt.

Die jeweiligen MOS Transistoren 20 und 29 gemäß Fig. 1 und Fig. 4 lassen den Stromstoß in einem durchgeschalteten Zustand hindurch, so daß der EIN-Widerstandswert niedrig ist und ein ausreichend hoher Stromstoß hindurchfließen kann, ohne daß der Transistor in seinen Abmessungen erheblich größer sein müßte.

Auch wenn die Last bei den oben beschriebenen Ausführungsfor­ men von dem Widerstand 2 gebildet wird, kann eine derartige Last auch von einer anderen Komponente als dem Widerstand gebildet werden, beispielsweise von einem Relais oder der­ gleichen.

Auch wenn die oben beschriebenen Ausführungsformen im Zusammenhang mit einer Ausgangsschaltung für einen Treiber für eine Vakuum-Fluoreszenzanzeige erläutert worden sind, ist die Erfindung keinesfalls hierauf beschränkt, sondern auch anwendbar auf eine andere Ausgangsschaltung, beispielsweise als Treiberschaltung für eine Plasmaanzeige oder dergleichen, wobei hohe Stehspannungen gegenüber Spannungsstößen erforder­ lich sind, die 100 Volt überschreiten.

Selbstverständlich ist die vorliegende Erfindung auch anwend­ bar auf andere Halbleiteranordnungen, die Feldeffekttransi­ storen enthalten, beispielsweise Transistoren in den folgen­ den Techniken: CMOS, p-MOS, n-MOS sowie Bi-CMOS.

Claims (4)

1. Integrierte Halbleiterschaltung, gekennzeichnet durch

• - eine Eingangsklemme (IN), zum Anlegen eines Steuersignals;
• - einen ersten Feldeffekttransistor (1; 28) mit einer ersten Elektrode (7) und einem Volumen (6), die an einen ersten Potentialpunkt (VCC; GND) angeschlossen sind, mit einer Steuerelektrode (13), die an die Eingangsklemme (IN) ange­ schlossen ist, und mit einer zweiten Elektrode (8);
• - eine Last (2; 11), die zwischen die zweite Elektrode (8) des ersten Feldeffekttransistors (1; 28) und einen zweiten Potentialpunkt (VP; VH) geschaltet ist;
• - eine Ausgangsklemme (OUT), die an die zweite Elektrode (8) des ersten Feldeffekttransistors (1; 28) angeschlossen ist; und
• - einen zweiten Feldeffekttransistor (20; 29) mit einer er­ sten Elektrode (22) und einer Steuerelektrode (26), die an die Ausgangsklemme (OUT) angeschlossen sind, mit einer zweiten Elektrode (23), die an den zweiten Potentialpunkt (VP; VH) angeschlossen ist, und mit einem Volumen (21), das an den ersten Potentialpunkt (VCC; GND) angeschlossen ist.

2. Schaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der erste Feldeffekttransistor (1) und der zweite Feldef­ fekttransistor (20) p-Kanal MOS Transistoren sind,
daß der erste Potentialpunkt (VCC) ein Punkt mit hohem Poten­ tial ist, und
daß der zweite Potentialpunkt (VP) ein Punkt mit niedri­ gem Potential ist.

3. Schaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß der erste Feldeffekttransistor (28) und der zweite Feld­ effekttransistor (29) n-Kanal MOS Transistoren sind,
daß der erste Potentialpunkt (GND) ein Punkt mit niedrigem Potential ist, und
daß der zweite Potentialpunkt (VP) ein Punkt mit hohem Potential ist.

4. Schaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten (1, 20) und zweiten Feldeffekttransistoren (28, 29) Transistoren mit hoher Durchbruchspannung sind, die jeweils einen Sourcebereich (7a, 7b) und einen Drainbereich (8a, 8b) mit Doppeldiffusion aufweisen.