DE4033881A1 - Sun screen mfr. for vehicles and buildings - by coating glass or translucent plastic substrate with titanium nitride- tin oxide- titanium nitride triple layer - Google Patents
Sun screen mfr. for vehicles and buildings - by coating glass or translucent plastic substrate with titanium nitride- tin oxide- titanium nitride triple layerInfo
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Sonnenschutzscheiben mit einer vorgegebenen Trans mission für sichtbares Licht und für Sonnenstrahlung durch Beschichtung von aus Mineralglas oder durch scheinendem Kunststoff bestehenden Substraten.The invention relates to a method for manufacturing of sunshades with a given trans mission for visible light and solar radiation by coating from mineral glass or by seeming plastic existing substrates.
Die Transmission für sichtbares Licht soll bei einer derartigen Sonnenschutzscheibe zwischen 8% und 40% betragen, während die für Sonnenstrahlung vergleichs weise deutlich geringer sein soll.The transmission for visible light should at such a sunscreen between 8% and 40% amount, while comparatively for solar radiation wise should be significantly lower.
Ein solcher Typ von Scheibe dient vor allem dazu, in Gegenden mit hoher Sonnenintensität und an Gebäuden mit großen Glasflächen den Anteil der in das Gebäude oder Fahrzeug eingestrahlten Sonnenenergie so gering wie möglich zu halten, um dadurch die Aufwendungen für eine Klimatisierung zu reduzieren.Such a type of disc is mainly used in Areas with high sun intensity and on buildings with large glass areas the proportion of in the building or Vehicle solar energy as low as possible to keep possible in order to thereby reduce the expenses for a To reduce air conditioning.
Die Scheiben sollen darüber hinaus eine gute und neu trale Durchsicht vom Gebäudeinneren nach draußen ermög lichen. Dies bedeutet, daß die Transmissionscharakteri stik der Scheiben selektiv sein sollte in dem Sinne, daß im Bereich des für das menschliche Auge sichtbaren Lichtes eine möglichst hohe Transmission angestrebt wird, und für den Wellenlängenbereich, der außerhalb des Sichtbaren liegt, insbesondere des nahen Infratrot bereichs (ca. 800-2500 nm), jedoch eine möglichst geringe Transmission, wobei gleichzeitig eine hohe Reflexion bevorzugt wird. Besonders vorteilhaft ist es, wenn durch einfache Änderungen der Verfahrensparameter die Transmissionswerte den jeweiligen geographischen Anforderungen angepaßt werden können. So wird man beispielsweise in Mitteleuropa Lichttransmissionswerte von etwa 40% bevorzugen, da die Sonnenintensität im Mittel wesentlich geringer ist als beispielsweise im Süden der USA, wo Scheiben mit einer Lichttransmission von 8% eingesetzt werden können.The discs are also said to be good and new a clear view from inside the building to the outside lichen. This means that the transmission characteristics stik of the disks should be selective in the sense that in the range of what is visible to the human eye Light strives for the highest possible transmission and for the wavelength range that is outside of the visible, especially the near infrared red range (approx. 800-2500 nm), but one if possible low transmission, while high Reflection is preferred. It is particularly advantageous if by simply changing the process parameters the transmission values the respective geographical Requirements can be adjusted. That's how you become for example in Central Europe light transmission values prefer about 40%, because the sun intensity in the Average is much lower than, for example, in Southern United States, where panes with light transmission of 8% can be used.
Die Scheiben sollen weiterhin in ihrem äußeren Ausse hen, insbesondere ihrer Farbe, den architektonischen Gegebenheiten und Wünschen mit wenig Aufwand anpaßbar sein, um eine kostengünstige Produktion einer großen Palette von Farben und Transmissionswerten mit dem gleichen Verfahren bzw. den gleichen Materialien zu ermöglichen. The disks should continue to be in their outer exterior hen, especially their color, the architectural Conditions and wishes can be adapted with little effort to be an inexpensive production of a large Range of colors and transmission values with the same procedures or the same materials enable.
Ein weiterer Vorteil, der von derartigen Sonnenschutz gläsern gefordert wird, ist die Einsatzmöglichkeit als Einzelglas, bei dem die Scheibe nicht durch ein Deck glas wie bei der Isolierverglasung geschützt wird, weshalb dieses Glas seine Eigenschaften durch chemi schen und mechanischen Angriff bei der Reinigung sowie durch ungehemmt einwirkende Umweltangriffe im Verlauf ihrer Lebensdauer nicht verändern darf. Wenn, wie im vorliegenden Falle, die Sonnenschutzeigenschaften durch Aufbringen einer Beschichtung erreicht werden soll, muß diese Schicht extrem widerstandsfähig gegenüber che misch korrosiven Angriffen und mechanischem Abrieb sein.Another advantage of such sun protection glass is required, the application is as Single glass where the pane is not through a deck glass is protected as with double glazing, which is why this glass is characterized by chemi mechanical and mechanical attack during cleaning as well through uninhibited environmental attacks in the course must not change their lifespan. If, as in present case, the sun protection properties by Application of a coating must be achieved this layer is extremely resistant to che mixed corrosive attacks and mechanical abrasion be.
Sonnenschutzgläser, die durch Beschichtung mit dünnen Metall- oder Metalloxidschichten hergestellt werden, sind bereits bekannt (DE-OS 33 11 815, US-PS 44 62 884, EP 01 85 314). In allen Fällen wird eine metallische reflektierende Schicht auf klares oder getöntes Glas aufgebracht, die aufgrund seiner metallischen Reflexion und starken Absorption für sichtbares Licht zu einer Reduktion der die Scheibe durchdringenden Sonnenener giestrahlung führt. Die dabei verwendeten Metalle, be vorzugt Cr-, Ni-, Fe-Legierungen, zeigen jedoch keinen ausgeprägten selektiven Charakter, wie dies wünschens wert wäre. Insbesondere ist bei diesen Schichtsystemen die Erniedrigung der Sonnenenergietransmission gleich zusetzen mit einer Erniedrigung der Lichttransmission.Sun protection glasses by coating with thin Metal or metal oxide layers are produced, are already known (DE-OS 33 11 815, US-PS 44 62 884, EP 01 85 314). In all cases, a metallic reflective layer on clear or tinted glass applied due to its metallic reflection and strong absorption for visible light into one Reduction of the sun penetrating the disc casting radiation leads. The metals used, be preferably Cr, Ni, Fe alloys, but show none pronounced selective character, as desired would be worth it. In particular, with these layer systems the reduction in solar energy transmission is equal clog with a reduction in light transmission.
Weiterhin ist es bekannt (DE-OS 33 11 815), durch eine Einbettung der reflektierenden metallischen Schicht (CrN) in transparente Oxidschichten und durch eine Variation der Dicken dieser Oxidschichten über Inter ferenzeffekte bestimmte Farbaspekte zu erzeugen. Zusätzlich zu diesem Effekt der eingebetteten trans parenten Interferenzschichten können absorbierende teiltransparente Metalloxidschichten vorgesehen werden, um weitere Farbvariationen zu erzielen. Darüber hinaus hat man bereits vorgeschlagen, eine stark selektive Be schichtung im angestrebten Sinne durch das Aufbringen blanker oder in transparente Oxidschichten eingebette ter dünner Schichten aus Au, Ag, Cu zu erzielen. Diese Schichten sind jedoch mechanisch und chemisch nicht widerstandsfähig genug, um als Einzelgläser eingesetzt zu werden.Furthermore, it is known (DE-OS 33 11 815) by a Embedding the reflective metallic layer (CrN) in transparent oxide layers and through a Varying the thicknesses of these oxide layers via Inter to create certain color aspects. In addition to this effect, the embedded trans Parent interference layers can be absorbent partially transparent metal oxide layers are provided, to achieve further color variations. Furthermore has already been proposed a highly selective loading stratification in the desired sense by applying bare or embedded in transparent oxide layers to achieve thin layers of Au, Ag, Cu. These Layers, however, are not mechanical or chemical tough enough to be used as single glasses to become.
Schließlich hat man bereits vorgeschlagen, eine harte selektive Beschichtung mit einer verminderten Licht transmission zu erzielen, indem man anstelle der genannten Edelmetalle eine dünne Schicht aus Titan nitrid, Hafniumnitrid oder Zirkonnitrid zwischen zwei transparenten Oxidschichten einbettet, da diese Ver bindungen in ihren optischen Eigenschaften sehr nahe den Edelmetallen verwandt sind. Ein derartiges Schicht paket, das aus einer auf die Scheibe zunächst aufge brachten transparenten Oxidschicht mit einer darauf angeordneten Titannitrid- oder Zirkonnitridschicht und über dieser angeordneten weiteren Oxidschicht besteht, zeigt zwar einen guten selektiven Charakter, ist jedoch nur unter Verwendung von relativ dicken und damit in der Produktion sehr teuren und schwer zu kontrollieren den Oxidschichten farblich abstimmbar. Die erforderli chen Dicken der Oxidschichten zur Erzielung einer blauen oder grünen Reflexionsfarbe übersteigen dabei (wie im Fall des in der DE-OS 33 11 815 angegebenen Schichtsystems) die 100 nm Marke, was nicht nur zu einer Reduktion der Produktionskapazität führt, da die se Oxidschichten nur etwa 20-40% der Wachstumsrate einer rein metallischen Schicht aufweisen, sondern es werden - beginnend bei diesen Schichtdicken - auch die charakteristischen Eigenschaften einer Interferenz schicht sichtbar, nämlich eine Abhängigkeit der Re flexionsfarbe vom Betrachtungswinkel und eine sehr empfindliche Abhängigkeit der Farbe von geringen Schichtdickenvariationen. Diese beiden Gründe führen dazu, daß in der industriellen Produktion solcher Schichten keine Beschichtungen hergestellt werden, deren Farbe es erfordert, die Dicke der Oxidschichten auf über 100 nm zu steigern.After all, one has already proposed a tough one selective coating with a diminished light transmission by using instead of called precious metals a thin layer of titanium nitride, hafnium nitride or zirconium nitride between two transparent oxide layers, since these ver very close in their optical properties are related to precious metals. Such a layer package that first opened on the disc brought transparent oxide layer with one on it arranged titanium nitride or zirconium nitride layer and there is another oxide layer arranged above this, shows a good selective character, but is only using relatively thick and therefore in production very expensive and difficult to control the oxide layers can be color coordinated. The required Chen thicknesses of the oxide layers to achieve a blue or green reflection color exceed (as in the case of the one specified in DE-OS 33 11 815 Layer system) the 100 nm mark, which is not only too leads to a reduction in production capacity since the se oxide layers only about 20-40% of the growth rate have a purely metallic layer, but it - starting with these layer thicknesses - also characteristic properties of an interference layer visible, namely a dependence of Re inflection color from the viewing angle and a very sensitive dependence of color on minor Layer thickness variations. These two reasons result to the fact that in industrial production such Layers no coatings are made the color of which requires the thickness of the oxide layers to increase to over 100 nm.
Der vorliegenden Erfindung liegt nun die Aufgabe zu grunde, die Nachteile der bekannten Scheiben bzw. der auf diesen aufgebrachten Schichtsysteme zu vermeiden und eine Scheibe zu schaffen, die preiswert herstellbar und deren Schicht von hoher Haltbarkeit ist.The object of the present invention is now reasons, the disadvantages of the known discs or to be avoided on these applied layer systems and to create a disc that is inexpensive to manufacture and the layer of which is highly durable.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch das Aufbringen einer ersten, aus Titannitrid, Hafniumnitrid oder Zirkonnitrid gebildeten, unmittelbar auf das Sub strat durch reaktives Zerstäuben (Sputtern) eines Titan-, Hafnium- oder Zirkontargets in einer (Prozeß gas-)Atmosphäre aus Argon und Stickstoff aufgebrachten Schicht und einer zweiten Schicht aus einem transpa renten Oxid mit einem Brechungsindex von etwa zwei, beispielsweise einem Zinnoxid, einem Indiumoxid oder einem entsprechenden Mischoxid, oder einem Tantal pentoxid, einem Zirkonium- oder Zinkoxid, wobei diese Oxide vorzugsweise von einem metallischen Target in einer Argon- oder Sauerstoffatmosphäre auf die erste Schicht aufbringbar sind, und mit einer aus Titan nitrid, Hafniumnitrid oder Zirkonnitrid gebildeten, auf die zweite Schicht durch reaktives Zerstäuben eines Titan-, Hafnium- oder Zirkontargets in einer Atmosphäre aus Argon und Stickstoff aufgebrachten dritten Schicht.This object is achieved by the Application of a first, made of titanium nitride, hafnium nitride or zirconium nitride formed directly on the sub strat by reactive sputtering of one Titanium, hafnium or zircon targets in one (process gas) atmosphere made of argon and nitrogen Layer and a second layer of a transparent annuity oxide with a refractive index of about two, for example a tin oxide, an indium oxide or a corresponding mixed oxide, or a tantalum pentoxide, a zirconium or zinc oxide, these Oxides preferably from a metallic target an argon or oxygen atmosphere at first Layer can be applied, and with one made of titanium nitride, hafnium nitride or zirconium nitride the second layer by reactive sputtering one Titanium, hafnium or zircon targets in one atmosphere third layer made of argon and nitrogen.
Weitere Ausführungsformen und Merkmale der Erfindung sind in den Patentansprüchen näher beschrieben und gekennzeichnet.Further embodiments and features of the invention are described in more detail in the claims and featured.
Die Erfindung läßt die verschiedensten Ausführungsfor men zu; eine davon ist in der anhängenden Zeichnung, die das Schichtsystem im Schnitt zeigt, schematisch näher dargestellt.The invention allows a wide variety of embodiments men to; one of them is in the attached drawing, which shows the layer system in section, schematically shown in more detail.
Auf ein Substrat 1 aus klarem oder eingefärbtem Float glas, aus transparenten Kunststoffplatten (z. B. aus Lexan, PMMA etc.) oder einer Kunstoffolie (Polyester, Kapton etc.) istOn a substrate 1 made of clear or colored float glass, made of transparent plastic sheets (e.g. made of Lexan, PMMA etc.) or a plastic film (polyester, Kapton etc.)
- - eine erste Schicht 2 aus Titannitrid durch reak tives Zerstäuben eines Titantargets in einer Mischung aus Argon und Stickstoff aufgebracht. Die Dicke dieser Schicht definiert zum einen Teil die sich ergebende Lichttransmission und liegt für eine angestrebte Lichttransmission von 8-50% bei ca. 50-5 nm;- A first layer 2 of titanium nitride is applied by reactive atomization of a titanium target in a mixture of argon and nitrogen. The thickness of this layer partly defines the resulting light transmission and is about 50-5 nm for a desired light transmission of 8-50%;
- - eine zweite Schicht 3 aus einem transparenten Zinnoxid, das bevorzugt einen Brechungsindex von etwa zwei besitzt, durch reaktives Zerstäuben von einem metallischen Zinntarget in einer Argon- Sauerstoffatmosphäre auf die erste Schicht 2 aufgestäubt. Die Dicke dieser zweiten Schicht 3 bestimmt im wesentlichen die Reflexionsfarbe der beschichteten Scheibe und bewegt sich im Bereich von 0-100 nm (wodurch ein komplettes Reflexi onsfarbspektrum durchgestimmt werden kann, begin nend bei gelb über blau, grün und rot);- A second layer 3 made of a transparent tin oxide, which preferably has a refractive index of about two, is dusted onto the first layer 2 by reactive sputtering from a metallic tin target in an argon-oxygen atmosphere. The thickness of this second layer 3 essentially determines the reflection color of the coated pane and moves in the range from 0-100 nm (which enables a complete reflection color spectrum to be tuned, starting with yellow via blue, green and red);
- - eine dritte Schicht 4, die wie die erste Schicht 2 aus TiN besteht mit einer Dicke von 5-50 nm auf gesputtert.- A third layer 4 , which like the first layer 2 consists of TiN with a thickness of 5-50 nm on sputtered.
Im Rahmen von Berechnungen und Laborversuchen zeigte sich überraschenderweise, daß ein wesentlich breiterer Farbbereich des Reflexionsspektrums solcher Scheiben erzielt werden konnte, indem eine Titannitrid- oder Zirkonnitridschicht, die bereits als Einzelschicht aufgrund ihrer optischen Eigenschaften den eigentlich selektiven Charakter für sichtbares Licht und Sonnen strahlung besitzt, in zwei Einzelschichten aufgespalten würde, die durch eine transparente Oxidschicht vonein ander getrennt werden.In the context of calculations and laboratory tests showed surprisingly found that a much wider Color range of the reflection spectrum of such panes could be achieved by using a titanium nitride or Zirconium nitride layer, already as a single layer due to their optical properties selective character for visible light and sun radiation, split into two individual layers that would be due to a transparent oxide layer be separated.
Durch die Anordnung einer transparenten Oxidschicht zwischen zwei Nitridschichten ergibt sich eine Verstär kung der Interferenzwirkung dieser Schicht, da ein gro ßer Teil des einfallenden Lichts an beiden Grenzflächen der Oxidschicht infolge der hohen Reflexion der Nitrid schichten stark reflektiert wird. Da dieses Licht nun an den Nitrid/Oxid-Grenzflächen reflektiert wird, wird ein vergleichbarer Effekt erzielt, als wenn man eine wesentlich dickere Oxidschicht aufbringen würde, bei der nur an einer Grenzfläche eine hochreflektierende Schicht angebracht ist, wie dies bei konventionellen Schichtsystemen der Fall ist. Es ist jedoch weiterhin so, daß gerade die optischen Konstanten der verwendeten Nitridschichten (Real- und Imaginärteil des komplexen Brechungsindex dieser Schichten) für den beschriebenen Effekt sich sehr günstig auswirken.By arranging a transparent oxide layer there is a reinforcement between two nitride layers Interference effect of this layer, since a large Most of the incident light at both interfaces the oxide layer due to the high reflection of the nitride layers is strongly reflected. Because this light now is reflected at the nitride / oxide interfaces achieved a comparable effect as if you had a would apply much thicker oxide layer which is only highly reflective at one interface Layer is attached, as in conventional Layer systems is the case. However, it is still so that just the optical constants used Nitride layers (real and imaginary part of the complex Refractive index of these layers) for the described Effect very cheap.
Die Vorteile dieses Schichtaufbaus gegenüber bereits bekannten Sonnenschutzgläsern bestehen nun darin, daßThe advantages of this layer structure over already Known sun protection glasses now consist in that
- a) durch die Verwendung von TiN- bzw. ZrN-Schichten geeigneter Zusammensetzung sich eine deutlich aus geprägte Selektivität in bezug auf den Durchlaß von sichtbarem Licht und Sonnenstrahlung ergibt. So lassen sich Schichten mit einer Lichttransmis sion von 20% herstellen, deren Sonnenenergie transmission bei etwa 10% liegt, ein Wert, der mit Schichten, die nach dem in der DE-OS 33 11 815 angegebenen Verfahren hergestellt wurden, nur bei einer Lichttransmission von etwa 11-12% er reichbar ist,a) through the use of TiN or ZrN layers suitable composition a clearly Embossed selectivity with respect to transmission of visible light and solar radiation. This is how layers can be transmitted with light sion of 20%, their solar energy transmission is around 10%, a value that with layers according to the in DE-OS 33 11 815 specified processes were only produced at a light transmission of approximately 11-12% is reachable
- b) durch die Verwendung dieser Nitride, die für ihre mechanische Härte und chemische Beständigkeit aus dem Sektor der Werkzeugvergütung (Tribologie) bekannt sind, zusammen mit chemisch und mechanisch resistenten Oxiden wie Zinnoxid, es möglich ist, Gläser, die mit diesem Schichtsystem beschichtet wurden, als Einzelgläser einzusetzen,b) through the use of these nitrides for their mechanical hardness and chemical resistance the tool remuneration sector (tribology) are known together with chemically and mechanically resistant oxides like tin oxide, it is possible Glasses coated with this layer system were used as single glasses,
- c) eine vollständige Palette von Reflexionsfarben durch Variation einer einzelnen Schichtdicke - der Oxidschicht - produziert werden kann, wobei die Dicke dieser Schicht 100 nm nicht überschreitet, c) a full range of reflection colors by varying a single layer thickness - the Oxide layer - can be produced, the Thickness of this layer does not exceed 100 nm,
- d) das Schichtsystem nur eine einzige transparente und damit meist elektrisch isolierende Oxidschicht enthält, die in einem Gleichspannungs-Zerstäu bungsverfahren, wie es in der Produktion von groß flächigen Architekturglasbeschichtungen angewendet wird, nur mit besonderen Vorkehrungen aufgebracht werden kann. Insbesondere ist bei dieser Art von Schicht eine häufige Reinigung der Beschichtungs station erforderlich, da sich elektrisch isolie rende Schichten auch in der Umgebung der Zerstäu bungskathode aufbauen, die bei Überschreiten einer bestimmten Dicke den Zerstäubungsprozeß stören, da sie den Stromfluß von der Zerstäubungskathode zur Anode, die meist von der Vakuumkammer gebildet wird, stören. Bei den bisher bekannten Verfahren sind mindestens zwei solcher Beschichtungsstatio nen für Oxidschichten erforderlich, und selbst dann kann der Bereich der Farbpalette nicht in der Weise abgedeckt werden wie durch das erfindungsge mäße Schichtsystem,d) the layer system only a single transparent and thus usually an electrically insulating oxide layer contains that in a DC atomizer exercise procedures as it is in the production of large flat architectural glass coatings applied is only applied with special precautions can be. In particular, this type of Layer a frequent cleaning of the coating station required, because electrical insulation layers in the vicinity of the atomizer build up the exercise cathode, which is exceeded when a certain thickness interfere with the atomization process because the current flow from the sputtering cathode to Anode, mostly formed by the vacuum chamber will interfere. In the previously known methods are at least two such coating stations NEN required for oxide layers, and itself then the range of the color palette cannot be in the Ways are covered as by the fiction moderate layer system,
- e) durch die Anordnung der Interferenzschicht (Oxid schicht) zwischen den nur teildurchlässigen Nitridschichten geringe Abweichungen in der Gleichmäßigkeit der Schichtdicke der Oxidschicht nicht sofort zu einer Farbveränderung in der Reflexionsfarbe führen, sondern durch die Absorp tion in den Nitridschichten gedämpft werden, d. h. der Übergang von einer Farbe zur anderen bei einer Schichtdickenänderung ist nicht abrupt, wie dies typisch ist für reine Interferenzschichten, son dern eher weich und kontinuierlich, so daß mit größeren Produktionstoleranzen bei der Herstellung solcher Schichten gearbeitet werden kann,e) by the arrangement of the interference layer (oxide layer) between the only partially permeable Nitride layers slight deviations in the Uniformity of the layer thickness of the oxide layer not immediately to a color change in the Lead reflection color, but through the Absorp tion in the nitride layers are damped, d. H. the transition from one color to another in one Change in layer thickness is not abrupt like this is typical for pure interference layers, son rather soft and continuous, so that with greater production tolerances in manufacturing such layers can be worked
- f) durch die ausgeprägte Selektivität ist es möglich, Gläser mit einer deutlich höheren Lichttransmis sion bei gleicher Sonnenschutzwirkung herzustel len. Insbesondere für den europäischen Raum lassen sich damit die angestrebten Werte von etwa 40% Lichttransmission bei gleichzeitig guter Sonnen schutzwirkung erzielen.f) the pronounced selectivity makes it possible to Glasses with a significantly higher light transmission sion with the same sun protection effect len. Especially for the European area the desired values of around 40% Light transmission with good sunshine at the same time achieve protective effect.
Beispiel für ein erfindungsgemäßes Schichtsystem (Inverse Solar Control):Example of a layer system according to the invention (Inverse Solar Control):
Claims (5)
- a) mit einer ersten aus Titannitrid, Hafniumni trid oder Zirkonnitrid gebildeten, unmittel bar auf das Substrat (1) durch reaktives Zer täuben eines Titan-, Hafnium- oder Zirkon targets in einer Atmosphäre aus Argon und Stickstoff aufgebrachten Schicht (2),
- b) mit einer zweiten Schicht (3) aus einem transparenten Oxid mit einem Brechungsindex von etwa zwei, beispielsweise einem SnO2, In2O3, deren Mischoxide oder Ta2O5 und ZrO2 oder ZrO, wobei diese Oxide vorzugsweise durch reaktives Zerstäuben von einem metalli schen Target in einer Argon- oder Sauerstoff atmosphäre auf die erste Schicht (2) auf bringbar sind und
- c) mit einer aus Titannitrid, Hafniumnitrid oder Zirkonnitrid gebildeten, auf die zweite Schicht (3) durch reaktives Zerstäuben eines Titan-, Hafnium- oder Zirkontargets in einer Atmosphäre aus Argon und Stickstoff aufge brachten dritten Schicht (4).
- a) with a first layer formed from titanium nitride, hafnium nitride or zirconium nitride, applied directly to the substrate ( 1 ) by reactive sputtering of a titanium, hafnium or zirconium target in an atmosphere of argon and nitrogen ( 2 ),
- b) with a second layer ( 3 ) of a transparent oxide with a refractive index of about two, for example a SnO 2 , In 2 O 3 , their mixed oxides or Ta 2 O 5 and ZrO 2 or ZrO, these oxides preferably by reactive sputtering can be brought from a metallic target in an argon or oxygen atmosphere onto the first layer ( 2 ) and
- c) with a third layer ( 4 ) formed from titanium nitride, hafnium nitride or zirconium nitride, applied to the second layer ( 3 ) by reactive sputtering of a titanium, hafnium or zircon target in an atmosphere of argon and nitrogen.
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