DE4116295A1 - Zusammengesetztes elektronisches bauteil und verfahren zur frequenzjustierung - Google Patents

Zusammengesetztes elektronisches bauteil und verfahren zur frequenzjustierung

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Description

Die Erfindung betrifft ein zusammengesetztes elektronisches Bauteil wie einen Resonator oder ein Bandpaßfilter, bei dem Dank einer Schichtstruktur eine Anzahl von Schaltungsele­ menten einschließlich einer Induktivität zusammengefaßt sind, sowie ein Verfahren zur Justierung der Resonanzfre­ quenz und der Mittenfrequenz des Durchlaßbandes eines sol­ chen zusammengesetzten elektronischen Bauteils.
Es ist sehr schwierig, eine gewünschte Frequenzcharakteri­ stik in einem elektronischen Bauteil wie einem Resonator oder einem Bandpaßfilter zu erzielen, selbst wenn es, wie entworfen, hergestellt wird. Aufgrund dessen muß in den meisten Fällen die Frequenz des elektronischen Bauteils nach der Herstellung justiert werden.
Wenn das elektronische Bauteil einen Aufbau besitzt, in dem unabhängige Schaltungselemente wie eine Induktivität und ein Kondensator auf einer gedruckten Schaltungsplatine auf­ gelötet sind, kann seine Frequenz einfach durch Austauschen des Kondensators durch einen Kondensator mit anderer Kapa­ zität eingestellt werden. Falls jedoch ein zusammengesetz­ tes elektronisches Bauteil durch Aufschichten einer Anzahl von Elektroden hergestellt wird, kann im allgemeinen die Frequenz nach dem Herstellen nicht einfach justiert werden. Es ist deshalb erforderlich, das zusammengesetzte elektro­ nische Bauteil so aufzubauen, daß die Frequenz in einfacher Weise justiert werden kann.
Die Anmelderin hat ein Verfahren zur Frequenzeinstellung eines Resonators in der japanischen Patentanmeldung 1-2 89 693 vorgeschlagen. Bei diesem Verfahren ist die Elektrode eines Frequenzeinstellungskondensators auf der äußeren Oberfläche eines Resonators mit Schichtstruktur angeordnet, und die Frequenz wird durch Trimmen der Elektrode des Fre­ quenzeinstellungskondensators justiert.
Falls jedoch das Trimmen unter Verwendung eines Laser­ strahls oder mit Sandstrahlen erfolgt, wird eine Elektrode aus verformbarem Material wie Kupfer gedehnt, was zu einem ungenauen Trimmen führt. Es ist deshalb schwierig, die Fre­ quenz in gewünschter Weise einzustellen.
Falls insbesondere das zusammengesetzte elektronische Bau­ teil einen Hochfrequenz-LC-Filter enthält, ist sehr genaues Trimmen erforderlich, da geringe Änderungen des Kondensa­ tors zu großen Frequenzfluktuationen führen.
Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, ein zusam­ mengesetztes elektronisches Bauteil zu schaffen, dessen Frequenz einfach in gewünschter Weise justiert werden kann.
Diese Aufgabe wird gelöst durch ein zusammengesetztes elek­ tronisches Bauteil mit zumindest zwei Schaltungselementen einschließlich einer Induktivität, wobei das zusammenge­ setzte elektronische Bauteil aufweist einen Bauteilkörper mit einem Schichtkörper, der durch Schichtung einer Anzahl nichtleitender Schichten erhalten wird, einer Induktivi­ tätselektrode, die zwischen jeweils zwei aneinandergrenzen­ den nichtleitenden Schichten des Schichtkörpers ausgebildet ist, einer Kondensatorelektrode, die zwischen zwei anderen aneinandergrenzenden nichtleitenden Schichten des Schicht­ körpers ausgebildet ist, zwei auf den beiden Oberflächen des Schichtkörpers ausgebildeten Abschirmelektroden, wobei eine der Abschirmelektroden gegenüber der Kondensatorelek­ trode angeordnet ist, um einen Kondensator zu bilden, eine Frequenzeinstellungs-Kondensatorelektrode, die außerhalb von zumindest einer der Abschirmelektroden durch eine nichtleitende Schicht gebildet ist, und eine kleinere Fläche als die Kondensatorelektrode aufweist, und einer nichtlei­ tenden Schutzschicht aus nichtverformbarem Material zur Abdeckung der äußeren Oberfläche der Frequenzeinstellung- Kondensatorelektrode, wobei die Schutzschicht zusammen mit der Frequenzeinstellungs-Kondensatorelektrode zur Frequenz­ justierung getrimmt wird, und zumindest zwei Verbindungs­ elektroden mit einer ersten Verbindungselektrode, die die Kondensatorelektrode mit der Frequenzeinstellungs-Kondensa­ torelektrode verbindet, und einer zweiten Verbindungselek­ trode, die die beiden Abschirmelektroden miteinander ver­ bindet.
Die nichtleitende Schutzschicht kann aus Keramik gebildet sein.
Die Frequenzeinstellungs-Kondensatorelektrode kann eine längliche Form aufweisen, so daß sie in feinen Einheiten getrimmt werden kann.
Ein Ende der Induktivitätselektrode kann mit der Kondensa­ torelektrode und das andere Ende der Induktivitätselektrode kann mit den Abschirmelektroden verbunden sein, um eine parallele LC-Resonanzschaltung zu bilden.
Die erste Verbindungselektrode kann ferner mit einem Ende der Induktivitätselektrode verbunden sein, die Kondensator­ elektrode und die Frequenzeinstellungs-Kondensatorelektrode mit einem anderen, und die zweite Verbindungselektrode kann ferner das andere Ende der Induktivitätselektrode mit den Abschirmelektroden verbinden.
Beide Enden der Induktivitätselektrode können bis zur ersten bzw. zweiten Seitenfläche des Bauteilkörpers verlän­ gert werden, so daß sie freiliegen, wobei die erste und die zweite Seitenfläche einander gegenüber stehen. Die Konden­ satorelektrode und Frequenzeinstellungs-Kondensatorelek­ trode können freiliegend zur ersten Seitenfläche und die Abschirmelektroden können freiliegend zur zweiten Seiten­ fläche verlängert werden. Die erste Verbindungselektrode kann auf der ersten Seitenfläche so ausgebildet sein, daß sie die freiliegenden Teile auf der ersten Seitenfläche abdeckt, und die zweite Verbindungselektrode kann auf der zweiten Seitenfläche so ausgebildet sein, daß sie die frei­ liegenden Teile auf der zweiten Seitenfläche abdeckt.
Bei dem obigen Aufbau kann die Frequenzeinstellungs-Konden­ satorelektrode innerhalb der Abschirmelektrode geschichtet sein, so daß ein Teil der Abschirmelektrode gegenüber der Frequenzeinstellungs-Kondensatorelektrode anstatt der Fre­ quenzeinstellungs-Kondensatorelektrode getrimmt werden kann.
Die oben genannte Aufgabe wird ferner durch ein zusammenge­ setztes elektronisches Bauteil gelöst, das in gleicher Weise mit einer Bandpaßfilterschaltung versehen ist, wobei das zusammengesetzte elektronische Bauteil aufweist einen Bauteilkörper mit einem Schichtkörper aus einer Anzahl nichtleitender Schichten, einem ersten Paar Abschirmelek­ troden, die zwischen einem ersten und einer zweiten nicht­ leitenden Schicht des Schichtkörpers gebildet ist, einem magnetisch gekoppelten Paar von Induktivitätselektroden, die zwischen der zweiten nichtleitenden Schicht und einer dritten nichtleitenden Schicht des Schichtkörpers gebildet ist, einem ersten Paar Kondensatorelektroden, das zwischen der dritten nichtleitenden Schicht und einer vierten nicht­ leitenden Schicht des Schichtkörpers gebildet ist, einem zweiten Paar Abschirmelektroden, das zwischen der vierten nichtleitenden Schicht und einer fünften nichtleitenden Schicht des Schichtkörpers gebildet ist und einem zweiten Paar Kondensatorelektroden, das zwischen der fünften nicht­ leitenden Schicht und einer sechsten nichtleitenden Schicht des Schichtkörpers gebildet ist, zur Einstellung der Fre­ quenz, wobei jede der Kondensatorelektroden des zweiten Paares eine geringere Fläche aufweist als jede der Konden­ satorelektroden des ersten Paares und wobei die sechste nichtleitende Schicht aus einem nichtverformbaren Material besteht, einer ersten Verbindungselektrode, die eine Kon­ densatorelektrode des ersten Paares, einer Kondensatorelek­ trode des zweiten Paares und ein Ende einer Induktivitäts­ elektrode verbindet, wobei die mit der ersten Verbindungs­ elektrode verbundenen Elektroden vertikal zusammengeführt sind, eine zweite Verbindungselektrode, die eine Abschirm­ elektrode des ersten Paares, eine Abschirmelektrode des zweiten Paares und das andere Ende der Induktivitätselek­ trode verbindet, wobei die mit der zweiten Verbindungselek­ trode verbundenen Elektroden vertikal zusammengeführt sind, eine dritte Verbindungselektrode, die die andere Kondensa­ torelektrode des ersten Paares, die andere Kondensatorelek­ trode des zweiten Paares und ein Ende der anderen Indukti­ vitätselektrode verbindet, und eine vierte Verbindungselek­ trode, die die andere Abschirmelektrode des ersten Paares, die andere Abschirmelektrode des zweiten Paares und das andere Ende der anderen Induktivitätselektrode verbindet, wobei die mit der ersten und der zweiten Verbindungselek­ trode verbundenen Elektroden eine erste LC-Resonanzschal­ tung und die mit der dritten und vierten Verbindungselek­ trode verbundenen Elektrode eine zweite LC-Resonanzschal­ tung bilden, die erste und die zweite LC-Resonanzschaltung magnetisch miteinander über das Paar Induktivitätselektro­ den gekoppelt sind und einen Bandpaßfilter bilden, und wobei die Frequenz des Bandpaßfilters durch Trimmen des zweiten Paares Kondensatorelektroden zusammen mit der sech­ sten nichtleitenden Schicht justiert wird.
Das zusammengesetzte elektronische Bauteil kann ferner auf­ weisen, eine fünfte Verbindungselektrode, eine sechste Ver­ bindungselektrode, ein drittes Paar Kondensatorelektroden, das dem ersten Paar Kondensatorelektroden gegenüberliegt und innerhalb der dritten nichtleitenden Schicht ausgebil­ det ist und ein viertes Paar Kondensatorelektroden, das dem dritten Paar Kondensatorelektroden gegenüberliegt und innerhalb der dritten nichtleitenden Schicht ausgebildet ist, wobei das dritte Paar Kondensatorelektroden mit der fünften oder der sechsten Verbindungselektrode verbunden ist, so daß die zwischen dem dritten Paar Kondensatorelek­ troden und dem ersten Paar Kondensatorelektroden erhaltene Kapazität zwischen der fünften Verbindungselektrode und der sechsten Verbindungselektrode und dem Bandpaßfilter einge­ fügt ist, um die Eingangs-/Ausgangsimpedanz des Bandpaßfil­ ters einzustellen, und wobei die zwischen dem vierten Paar Kondensatorelektroden und dem dritten Paar Kondensatorelek­ troden erhaltene Kapazität mit der fünften Verbindungselek­ trode und der sechsten Verbindungselektrode parallel zum Bandpaßfilter verbunden ist, so daß Pole außerhalb des Paßbandes gebildet werden.
Der Abstand zwischen dem Paar Induktivitätselektroden kann von den mit den Abschirmungselektroden verbundenen Enden zu den mit den Kondensatorelektroden verbundenen Enden gerin­ ger werden, um den magnetischen Kopplungsgrad zu erhöhen.
Eine weitere Aufgabe der Erfindung liegt in der Schaffung eines Verfahrens zur Einstellung der Frequenz eines elek­ tronischen Bauelementes mit dem oben beschriebenen Aufbau.
Diese Aufgabe wird gelöst durch Trimmen der Frequenzein­ stellungs-Kondensatorelektrode zusammen mit der nichtlei­ tenden Schutzschicht oder durch Trimmen des zweiten Paares von Kondensatorelektroden zusammen mit der sechsten nicht­ leitenden Schicht.
Gemäß dem oben genannten Aufbau und dem Verfahren wird die Frequenzeinstellungs-Kondensatorelektrode zusammen mit der nichtleitenden Schicht getrimmt, die aus einem nichtver­ formbaren Material besteht. Aufgrund dessen wird eine Auf­ weitung der Frequenzeinstellungs-Kondensatorelektrode beim Trimmen vermieden, wenn Sandstrahlen oder Laserstrahlen für das Trimmen verwendet werden.
Falls ferner die Frequenzeinstellungs-Kondensatorelektrode eine längliche Form hat und ihre kürzere Seite getrimmt wird, ist eine feinere Einstellung möglich. Dies ist insbe­ sondere für Hochfrequenzbauteile sehr vorteilhaft.
Ausführungsformen der Erfindung werden anhand der beigefüg­ ten Zeichnungen erläutert, es zeigen:
Fig. 1 eine Explosionsdarstellung eines Bandpaßfilters in einer Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 2 eine vordere Schnittansicht von Fig. 1,
Fig. 3 eine Aufsicht, die im wesentlichen die Induktivi­ tät des Bandpaßfilters der Fig. 1 zeigt,
Fig. 4 eine Aufsicht, die den Kondensator des Bandpaßfil­ ters von Fig. 1 zeigt,
Fig. 5 ein Ersatzschaltbild des Bandpaßfilters von Fig. 1,
Fig. 6 einen Querschnitt, der den Zustand nach dem Trim­ men zeigt,
Fig. 7 einen Graph, der die Frequenzcharakteristik des Bandpaßfilters der Fig. 1 vor dem Trimmen zeigt,
Fig. 8 einen Graph, der die Frequenzcharakteristik des Bandpaßfilters von Fig. 1 nach dem Trimmen zeigt,
Fig. 9 eine Vorderschnittansicht, die einen Resonator in einer zweiten Ausführungsform der Erfindung zeigt,
Fig. 10 eine Aufsicht auf die Induktivität des Resonators von Fig. 8,
Fig. 11 eine Aufsicht auf den Kondensator des Resonators von Fig. 8,
Fig. 12 einen Graph, der die Frequenzcharakteristik des Resonators von Fig. 9 vor dem Trimmen zeigt,
Fig. 13 einen Graph, der die Frequenzcharakteristik des Bandpaßfilters von Fig. 9 nach dem Trimmen zeigt, und
Fig. 14 eine Teilschnittdarstellung eines weiteren Aufbaus gemäß der Erfindung.
Das in Fig. 1 dargestellte Bandpaßfilter würde durch Auf­ schichtung einer Anzahl von ungebrannten Blättern ("green sheets"; z. B. die elektrischen Blätter) zur Ausbildung eines Schichtkörpers und durch Brennen des Schichtkörpers zur Fertigung eines Bandpaßfilterkörpers hergestellt. Einige der oben genannten Rohblätter tragen auf ihren Ober­ flächen aufgedruckte Elektrodenschichten aus leitendem Material.
Der Bandpaßfilterkörper wird im einzelnen wie folgt herge­ stellt. Zunächst werden ein nichtleitendes Blatt 1, das auf seiner einen Oberfläche ein paar Abschirmelektroden 2a und 2b trägt, ein nichtleitendes Blatt 3 ohne Elektrode, ein nichtleitendes Blatt 4 mit einem Paar Induktivitätselektro­ den 5a und 5b auf seiner einen Oberfläche, ein nichtleiten­ des Blatt 6 ohne Elektrode, ein nichtleitendes Blatt 7 mit einem Pol, der eine Kondensatorelektrode 8 bildet, auf sei­ ner Oberfläche, ein nichtleitendes Blatt 9, das auf seiner Oberfläche Kondensatorelektroden 10a und 10b zur Einstel­ lung der Eingangs-/Ausgangsimpedanz trägt, ein nichtleiten­ des Blatt 11 mit Kondensatorelektroden 12a und 12b auf sei­ ner Oberfläche, ein nichtleitendes Blatt 13 mit Abschirm­ elektroden 14a und 15b auf seiner Oberfläche, ein nichtlei­ tendes Blatt 15, das auf seiner Oberfläche Kondensatorelek­ troden 16a und 16b mit kleiner Fläche zur Einstellung der Frequenz trägt, und ein nichtleitendes Blatt 17 ohne Elek­ troden in dieser Reihenfolge zur Ausbildung des Schichtkör­ pers aufgeschichtet. Anschließend wird der Schichtkörper gepreßt und gebrannt. Die nichtleitenden Blätter nach dem Brennen werden im folgenden als nichtleitende Schichten bezeichnet.
Die Induktivitätselektroden 5a und 5b sind mit ihren einen Enden mit spannungsführenden (Eingang/Ausgang) Anschluß­ elektroden 18b und 18c und mit ihren anderen Enden mit Erdungsanschlußelektroden 18e und 18h verbunden. Der Abstand zwischen den Induktivitätselektroden 5a und 5b wird geringer von den Enden, die mit den Anschlußelektroden 18e und 18h verbunden sind, zu den Enden, die mit den Anschluß­ elektroden 18b und 18c verbunden sind, wodurch die Indukti­ vitätselektroden 5a und 5b mit einem Kopplungsgrad M magne­ tisch gekoppelt sind. Des weiteren sind die Bereiche der Induktivitätselektroden 5a und 5b, die an die Erdungsan­ schlußelektroden 18e und 18h angrenzen, durch eine Indukti­ vitätselektrode 5c miteinander verbunden.
Die Abschirmelektroden 2a, 2b, 14a bzw. 14b weisen Zulei­ tungselektroden 2c, 2d, 14c und 14d auf, die sich bis zu einer Seitenfläche des Filters erstrecken und freiliegen. Die Abschirmelektroden 2a und 14a sind mit der Erdungsan­ schlußelektrode 18e über die freiliegenden Teile der Zulei­ tungselektroden 2c und 14c verbunden, und die Abschirmelek­ troden 2b und 14b sind über die freiliegenden Teile der Zuleitungselektroden 2d und 14d mit der Erdungsanschluß­ elektrode 18h verbunden.
Obwohl in Fig. 1 zwei Paare von Abschirmelektroden darge­ stellt sind, kann das untere Paar Abschirmelektroden 2a und 2b durch eine Abschirmelektrode ersetzt werden, falls sie eine Fläche aufweist, die im wesentlichen gleich der Summe der Flächen der Abschirmelektroden 2a und 2b ist. Anderer­ seits kann das obere Paar Abschirmelektroden 14a und 14b nicht durch eine Abschirmelektrode ersetzt werden, da sie als Kondensatorelektroden dienen.
Die Kondensatorelektroden 12a und 12b weisen Zuleitungs­ elektroden 12c bzw. 12d auf, die sich in die der Zulei­ tungselektroden 2c, 2d, 14c und 14d entgegengesetzte Rich­ tung erstrecken und zur anderen Seite des Filterkörpers freiliegen. Die Kondensatorelektroden 12a und 12b sind jeweils mit den Spannungsanschlußelektroden 18b und 18c durch die freiliegenden Teile der Zuleitungselektroden 12c und 12d verbunden.
Die Kondensatorelektroden 12a und 12b und die Frequenzein­ stellungs-Kondensatorelektroden 16a und 16b liegen sich gegenüber, wobei die Abschirmelektroden 14a und 14b dazwi­ schen liegen, so daß in gleicher Weise Kondensatoren mit Kapazitäten C2, C4, C2x und C4x bilden. Jede der Kapazitä­ ten C2 und C4 ist bestimmt durch den Oberflächenbereich, in den die Kondensatorelektrode 12a oder 12b der Abschirmelek­ trode 14a oder 14b gegenüberliegt, durch den Abstand zwi­ schen den Kondensatorelektroden 12a oder 12b und der Abschirmelektrode 14a oder 14b und durch die dielektrische Konstante der nichtleitenden Schicht zwischen den Kondensa­ torelektroden 12a oder 12b und der Abschirmelektrode 14a oder 14b. Jede der Kapazitäten C2x und C4x ist bestimmt durch den Oberflächenbereich, in dem die Frequenzeinstel­ lungs-Kondensatorelektrode 16a oder 16b der Abschirmelek­ trode 14a oder 14b gegenüberliegt. Durch den Abstand zwi­ schen der Frequenzeinstellungs-Kondensatorelektrode 16a oder 16b und der Abschirmelektrode 14a oder 14b und durch die dielektrischen Konstante der nichtleitenden Schicht zwischen der Frequenzeinstellungs-Kondensatorelektrode 16a oder 16b und der Abschirmelektrode 14a oder 14b. Die Kon­ densatorelektrode 12a und die Frequenzeinstellungs-Konden­ satorelektrode 16a sind mit der spannungsführenden Anschlußelektrode 18b verbunden, die Kondensatorelektrode 12b und die Frequenzeinstellungs-Kondensatorelektrode 16b sind mit der spannungsführenden Anschlußelektrode 18c ver­ bunden und die Abschirmelektroden 14a und 14b sind jeweils mit den Erdungsanschlußelektroden 18e und 18h verbunden. Auf diese Weise wird ein Kondensator mit einer Kapazität von C2+C2x zwischen den Anschlußelektroden 18b und 18e gebildet sowie ein Kondensator mit einer Kapazität von C4+C4x zwischen den Anschlußelektroden 18c und 18h. Da die Induktivitätselektrode 5a mit den Anschlußelektroden 18b und 18e verbunden ist und die Induktivitätselektrode 5b mit den Anschlußelektroden 18c und 18h werden zwei parallele LC-Resonanzschaltungen zwischen den Anschlußelektroden 18b und 18e bzw. zwischen den Anschlußelektroden 18c und 18h gebildet. Des weiteren sind diese parallelen LC-Resonanz­ schaltungen magnetisch miteinander mit einer Kopplungsgrad M über die Induktivitätselektroden 5a und 5b gekoppelt, so daß ein Bandpaßfilter gebildet ist.
Die Impedanzeinstellungs-Kondensatorelektroden 10a und 10b sind die gleiche Richtung wie die Kondensatorelektroden 12a und 12b zur Seitenfläche des Filterkörpers verlängert und liegen frei, so daß die freiliegenden Teile außer Kontakt sind mit den Leitungen, die die freiliegenden Teile der Kondensatorelektrode 12a und 12b verbinden. Die Kondensato­ relektroden 10a und 10b sind mit den Anschlußelektroden 18a und 18d verbunden. Die Impedanzeinstellungs-Kondensator­ elektroden 10a und 10b liegen den Kondensatorelektroden 12a und 12b gegenüber, so daß Kondensatoren mit den Kapazi­ täten C1 und C3 gebildet werden. Da diese Kondensatoren zwischen den Anschlußelektroden für den Eingang/Ausgang und den oben genannten parallelen LC-Resonanzschaltungen gebil­ det sind, dienen sie zur Einstellung der Eingangs- /Ausgangsimpedanz des Bandpaßfilters. Teile der Kondensato­ relektroden 10a und 10b liegen einer unterhalb angeordneten Kondensatorelektrode 8 gegenüber, so daß Kondensatoren mit Kapazitäten C5 und C6 gebildet werden. Da diese Kondensato­ ren in Reihenbeziehung mit den Anschlußelektroden 18a und 18b stehen, dienen sie zur Ausbildung von Polen außerhalb des Paßbandes des Bandpaßfilters.
Fig. 5 ist ein Ersatzbild des oben beschriebenen Bandpaß­ filters. In Fig. 5 bezeichnen L1, L2 und L5 Induktivitäten der Induktivitätselektroden 5a, 5b und 5c, und C7 bezeich­ net die zusammengesetzte Kapazität der Kapazitäten C5 und C6. L3 bezeichnet die Induktivität der Anschlußelektrode 18e, die mit der Abschirmelektrode 14a verbunden ist, und L4 bezeichnet die Induktivität der Anschlußelektrode 18h, die mit der Abschirmelektrode 14b verbunden ist.
Fig. 7 zeigt die Frequenzcharakteristik eines Bandpaßfil­ ters mit dem oben beschriebenen Aufbau. Wie aus Fig. 7 ersichtlich ist, werden Pole P1 und P2 auf beiden Seiten der Mittenfrequenz f0 aufgrund der Induktivität L5 und der Kapazität C5 ausgebildet. Die durchgezogene Linie bezeich­ net den Abstimmfaktor und die gestrichelte Linie bezeichnet den Eingangsverlust.
Zur Einstellung der Frequenz des Bandpaßfilters mit dem erfindungsgemäßen Verfahren werden die Frequenzeinstel­ lungs-Kondensatorelektroden 16a und 16b zusammen mit einer Schutzschicht 17, die darauf geschichtet ist, getrimmt.
Bei diesem Verfahren wird Dank des Vorhandenseins der Schutzschicht 17, die schwer verformbar ist, wie in Fig. 6 dargestellt ist, verhindert, daß die Frequenzeinstellungs- Kondensatorelektroden 16a und 16b verformt werden, egal ob Sandstrahlen oder Laserstrahlen verwendet werden. Auf diese Weise wird ein akkurates Trimmen realisiert.
Da ferner die Frequenzeinstellungs-Kondensatorelektroden 16a und 16b geringe Flächen und eine längliche Form aufwei­ sen, kann eine feinere Justierung durchgeführt werden, wenn die kurzen Seiten der Elektroden 16a und 16b getrimmt wer­ den. In der Praxis kann erfindungsgemäß die Frequenz in Einheiten von 1/100 bezüglich der zwischen den Kondensator­ elektroden 12a und 12b erhaltenen Kapazität eingestellt werden.
Fig. 8 ist ein Graph, der die Frequenzeigenschaften des Bandpaßfilters nach dem Trimmen der ganzen Elektroden 16a und 16b zeigt. In Fig. 8 bezeichnet die durchgezogene Linie den Abstimmfaktor, und die gestrichelte Linie bezeichnet den Eingangsverlust (insertion loss). Im Ver­ gleich mit der Frequenzcharakteristik der Fig. 7 ist die Mittenfrequenz f0 um etwa 26 MHz nach dem Trimmen erhöht worden. Der Anstieg der Mittenfrequenz f0 kann durch Ände­ rung der Flächen der Elektroden 16a und 16b, die zu trimmen sind, variiert werden. Das bedeutet, in diesem Bandpaßfil­ ter kann die Mittenfrequenz f0 genau mit einer maximalen Mittenfrequenz von etwa 26 MHz eingestellt werden.
Fig. 9 ist ein Frontquerschnitt einer weiteren Ausfüh­ rungsform, wobei die Erfindung bei einem Resonator ange­ wandt wurde. Fig. 10 ist eine Aufsicht auf die Induktivi­ täten dieses Resonators, und Fig. 11 ist eine Aufsicht auf dessen Kondensator. Der Resonator hat einen Aufbau, der durch Aufteilung des oben beschriebenen Bandpaßfilters in zwei Teile erhalten wird. Insbesondere werden eine Schutz­ schicht 21, eine Abschirmelektrode 22, eine nichtleitende Schicht 23, eine Induktivitätselektrode 24, eine nichtlei­ tende Schicht 25, eine Kondensatorelektrode 26, eine nicht­ leitende Schicht 27, eine Abschirmelektrode 28, eine nicht­ leitende Schicht 29, eine Frequenzeinstellungs-Kondensator­ elektrode 30 und eine Schutzschicht 31 in dieser Reihen­ folge aufeinander geschichtet und bilden einen Resonator­ körper, wobei zwei Anschlußelektroden 32 und 33 an den Sei­ tenflächen des Resonatorkörpers ausgebildet sind.
Auch bei diesem Resonator wird die Frequenzeinstellungs- Kondensatorelektrode 30 zusammen mit der Schutzschicht 31 getrimmt, wobei effektives und genaues Trimmen realisiert werden kann.
Als Ergebnis kann die Resonanzfrequenz fr von etwa 932 MHz wie in Fig. 12 zu einer Frequenz von 950 MHz wie in Fig. 13 erhöht werden.
Im oben beschriebenen Ausführungsbeispiel sind die Konden­ satorelektrode und Frequenzeinstellungs-Kondensatorelek­ trode der gleichen Abschirmelektrode gegenüberliegend ange­ ordnet, um gewünschte Kapazitäten zu erhalten. Jedoch kann die Erfindung auch bei einem Aufbau angewendet werden, in dem die Kondensatorelektrode und die Frequenzeinstellungs- Kondensatorelektrode verschiedenen Abschirmelektroden gegenüberliegt.
Des weiteren kann ein Teil der Abschirmelektrode, die der Frequenzeinstellungs-Kondensatorelektrode gegenüberliegt, getrimmt werden anstatt die Frequenzeinstellungs-Kondensa­ torelektrode selbst zu trimmen. Fig. 14 zeigt einen sol­ chen Aufbau. In diesem Fall ist die Frequenzeinstellungs- Kondensatorelektrode 41 innerhalb einer Abschirmelektrode 42 so geschichtet, daß die Frequenzeinstellungs-Kondensato­ relektrode 41 nicht der Kondensatorelektrode 43 gegenüber­ liegt. Das Trimmen der Abschirmelektrode beeinträchtigt die Abschirmfunktion nicht, da der zu trimmende Bereich klein ist.

Claims (22)

1. Zusammengesetztes elektronisches Bauteil, das zumin­ dest zwei Schaltungselemente einschließlich einer Induktivität enthält, mit
einem Bauteilkörper einschließlich eines Schichtkörpers, der durch Aufeinanderschichten einer Anzahl von nichtleitenden Schichten hergestellt ist,
einer Induktivitätselektrode, die zwischen jeweils zwei aneinandergrenzenden nichtleitenden Schichten des Schichtkörpers ausgebildet ist,
einer Kondensatorelektrode, die zwischen zwei anderen aneinandergrenzenden nichtleitenden Schichten des Schichtkörpers ausgebildet ist,
zwei Abschirmelektroden, die auf beiden Oberflächen des Schichtkörpers ausgebildet ist, wobei eine der Abschirmelektroden zur Ausbildung eines Kondensators der Kondensatorelektrode gegenüberliegt,
einer Frequenzeinstellungs-Kondensatorelektrode, die außerhalb zumindest einer der Abschirmelektroden über eine nichtleitende Schicht ausgebildet ist und eine kleinere Fläche als die Kondensatorelektrode aufweist, und
einer nichtleitenden Schutzschicht aus nichtverform­ barem Material zur Abdeckung der Außenfläche der Fre­ quenzeinstellungs-Kondensatorelektrode, wobei die Schutzschicht zusammen mit der Frequenzeinstellungs- Kondensatorelektrode zur Frequenzeinstellung getrimmt wird, und
zumindest zwei Verbindungselektroden einschließlich einer ersten Verbindungselektrode, die die Kondensato­ relektrode mit der Frequenzeinstellungs-Kondensator­ elektrode verbindet und einer zweiten Verbindungselek­ trode, die die zwei Abschirmelektroden miteinander verbindet.
2. Bauteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die nichtleitende Schutzschicht aus Keramik besteht.
3. Bauteil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenzeinstellungs-Kondensatorelektrode längliche Form aufweist, so daß sie in kleinen Einheiten getrimmt werden kann.
4. Bauteil nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein Ende der Induktivitätselektrode mit der Kondensator­ elektrode und das andere Ende der Induktivitätselek­ trode mit den Abschirmelektroden zur Bildung einer parallelen LC-Resonanzschaltung verbunden ist.
5. Bauteil nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Verbindungselektrode ferner ein Ende der Induk­ tivitätselektrode, die Kondensatorelektrode und die Frequenzeinstellungs-Kondensatorelektrode miteinander verbindet und daß die zweite Verbindungselektrode fer­ ner das andere Ende der Induktivitätselektrode mit den Abschirmelektroden verbindet.
6. Bauteil nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß beide Enden der Induktivitätselektrode bis zu einer ersten und zweiten Seitenfläche des Bauteilkörpers verlängert sind und freiliegen, wobei die erste und die zweite Seitenfläche einander gegenüberliegen, wobei die Kondensatorelektrode und die Frequenzein­ stellungs-Kondensatorelektrode verlängert sind und zur ersten Seitenfläche freiliegen, die Abschirmelektroden verlängert sind und zur zweiten Seitenfläche freilie­ gen, und wobei die erste Verbindungselektrode auf der ersten Seitenfläche so ausgebildet ist, daß sie die freiliegenden Teile auf der ersten Seitenfläche deckt und die zweite Verbindungselektrode auf der zweiten Seitenfläche so ausgebildet ist, daß sie die freilie­ genden Teile auf der zweiten Seitenfläche abdeckt.
7. Verfahren zur Frequenzeinstellung eines zusammenge­ setzten elektronischen Bauteiles mit
einem Bauteilkörper einschließlich eines Schichtkör­ pers, der durch Aufeinanderschichten einer Anzahl nichtleitender Schichten gebildet ist,
einer Induktivitätselektrode, die zwischen jeweils zwei aneinandergrenzenden nichtleitenden Schichten des Schichtkörpers ausgebildet ist,
einer Kondensatorelektrode, die zwischen zwei anderen aneinandergrenzenden nichtleitenden Schichten des Schichtkörpers ausgebildet ist,
zwei Abschirmelektroden, die auf beiden Oberflächen des Schichtkörpers ausgebildet sind,
einer Frequenzeinstellungs-Kondensatorelektrode, die außerhalb zumindest einer der Abschirmelektroden über eine nichtleitende Schicht ausgebildet ist und einen kleineren Flächenbereich als die Kondensatorelektrode aufweist,
einer nichtleitenden Schutzschicht aus einem nichtver­ formbaren Material zur Abdeckung der Außenfläche der Frequenzeinstellungs-Kondensatorelektrode,
wobei die Kondensatorelektrode und die Frequenzein­ stellungs-Kondensatorelektrode elektrisch miteinander verbunden sind und ein erster Kondensator, der aus der ersten Kondensatorelektrode und der ihr gegenüberlie­ genden Abschirmelektrode gebildet ist, und ein zweiter Kondensator, der zwischen einer der Abschirmelektroden und der Frequenzeinstellungs-Kondensatorelektrode gebildet ist, elektrisch parallel verbunden sind,
wobei ein Ende der Induktivitätselektrode mit der Kon­ densatorelektrode und das andere Ende der Induktivi­ tätselektrode mit den Abschirmelektroden verbunden ist und
wobei das Verfahren einen Schritt zum Trimmen der Fre­ quenzeinstellungs-Kondensatorelektrode zusammen mit der nichtleitenden Schutzschicht umfaßt.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Trimmen entlang der kürzeren Seite der Frequenzein­ stellungs-Kondensatorelektrode erfolgt.
9. Zusammengesetztes elektronisches Bauteil, das zumin­ dest zwei Schaltungselemente einschließlich einer Induktivität aufweist, mit
einem Bauteilkörper einschließlich eines Schichtkörpers, der durch Aufeinanderschichten einer Anzahl nichtleitender Schichten gebildet ist,
einer Induktivitätselektrode, die zwischen zwei anein­ andergrenzenden nichtleitenden Schichten des Schicht­ körpers gebildet ist,
einer ersten Kondensatorelektrode, die zwischen zwei aneinandergrenzenden nichtleitenden Schichten des Schichtkörpers gebildet ist,
einer zweiten Kondensatorelektrode, die zwischen jeweils zwei aneinandergrenzenden nichtleitenden Schichten des Schichtkörpers gebildet ist, zur Fre­ quenzeinstellung, wobei die zweite Kondensatorelek­ trode eine kleinere Fläche aufweist als die erste Kon­ densatorelektrode,
zwei Abschirmelektroden, die jeweils auf den beiden Seitenflächen des Schichtkörpers ausgebildet ist,
einer nichtleitenden Schutzschicht aus nichtverform­ barem Material zur Abdeckung der Außenfläche von zumindest einer der Abschirmelektroden, und
zumindest zwei Verbindungselektroden einschließlich einer ersten Verbindungselektrode, die die erste Kon­ densatorelektrode mit der zweiten Kondensatorelektrode verbindet, und einer zweiten Verbindungselektrode, die die beiden Abschirmelektroden miteinander verbindet,
wobei die erste Kondensatorelektrode einer der Abschirmelektroden gegenüberliegt, so daß ein erster Kondensator gebildet wird, und die zweite Kondensator­ elektrode der anderen Abschirmelektrode gegenüber­ liegt, so daß ein zweiter Kondensator gebildet wird, und
wobei ein Teil der anderen Abschirmelektrode, die der zweiten Kondensatorelektrode gegenüberliegt, einen Bereich aufweist, der zusammen mit der nichtleitenden Schutzschicht zur Frequenzeinstellung getrimmt wird.
10. Bauteil nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die nichtleitende Schutzschicht aus Keramik besteht.
11. Bauteil nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Kondensatorelektrode und die zweite Kondensator­ elektrode so ausgebildet sind, daß sie derselben Abschirmelektrode gegenüberliegen, ohne daß sie sich einander gegenüberliegen.
12. Verfahren zur Frequenzeinstellung eines zusammenge­ setzten elektronischen Bauteils mit
einem Bauteilkörper einschließlich eines Schichtkörpers, der durch Aufeinanderschichten von nichtleitenden Schichten gebildet ist,
einer Induktivitätselektrode, die zwischen jeweils zwei aneinandergrenzenden nichtleitenden Schichten des Schichtkörpers gebildet ist,
einer ersten Kondensatorelektrode, die zwischen zwei anderen aneinandergrenzenden nichtleitenden Schichten des Schichtkörpers gebildet ist,
einer zweiten Kondensatorelektrode, die zwischen zwei jeweils aneinandergrenzenden nichtleitenden Schichten des Schichtkörpers gebildet ist, wobei die zweite Kon­ densatorelektrode eine kleinere Fläche als die erste Kondensatorelektrode aufweist,
zwei Abschirmelektroden, die auf beiden Seitenflächen des Schichtkörpers gebildet sind,
einer nichtleitenden Schutzschicht aus nichtverform­ barem Material zur Abdeckung der Außenfläche von zumindest einer der Abschirmelektroden und zumindest zwei Verbindungselektroden einschließlich einer ersten Verbindungselektrode, die die erste Kon­ densatorelektrode mit der zweiten Kondensatorelektrode verbindet, und einer zweiten Verbindungselektrode, die zwei Abschirmelektroden aneinander verbindet,
wobei das Verfahren zumindest einen Schritt zum Trim­ men eines Teils der Abschirmelektrode, der der zweiten Kondensatorelektrode gegenüberliegt, zusammen mit der nichtleitenden Schutzschicht umfaßt.
13. Zusammengesetztes elektronisches Bauteil, das mit einer Bandpaßfilterschaltung versehen ist, mit
einem Bauteilkörper einschließlich eines Schichtkörpers einer Anzahl nichtleitender Schichten,
einem ersten Paar Abschirmelektroden, die zwischen einer ersten nichtleitenden Schicht und einer zweiten nichtleitenden Schicht des Schichtkörpers gebildet sind,
ein magnetisch gekoppeltes Paar Induktivitätselektro­ den, das zwischen der zweiten nichtleitenden Schicht und einer dritten nichtleitenden Schicht des Schicht­ körpers gebildet ist,
einem ersten Paar Kondensatorelektroden, das zwischen der dritten nichtleitenden Schicht und einer vierten nichtleitenden Schicht des Schichtkörpers gebildet ist,
einem Paar Abschirmelektroden, das zwischen der vier­ ten nichtleitenden Schicht und einer fünften nichtlei­ tenden Schicht des Schichtkörpers gebildet ist und einem zweiten Paar Kondensatorelektroden, das zwischen der fünften nichtleitenden Schicht und einer sechsten nichtleitenden Schicht des Schichtkörpers gebildet ist, zur Frequenzeinstellung, wobei jeder Kondensator­ elektrode des zweiten Paares eine kleinere Fläche auf­ weist, als jede Kondensatorelektrode des ersten Paares und wobei die sechste nichtleitende Schicht aus einem nichtverformbaren Material gebildet ist,
einer ersten Verbindungselektrode, die eine Kondensa­ torelektrode des ersten Paares, eine Kondensatorelek­ trode des zweiten Paares und ein Ende einer Induktivi­ tätselektrode miteinander verbindet, wobei die mit der ersten Verbindungselektrode verbundenen Elektroden vertikal gesammelt sind,
einer zweiten Verbindungselektrode, die eine Abschirm­ elektrode aus dem ersten Paar, eine Abschirmelektrode aus dem zweiten Paar und das andere Ende der Indukti­ vitätselektrode miteinander verbindet, wobei die mit der zweiten Verbindungselektrode verbundenen Elektro­ den vertikal gesammelt sind,
einer dritten Verbindungselektrode, die die andere Kondensatorelektrode aus dem ersten Paar, die andere Kondensatorelektrode aus dem zweiten Paar und das andere Ende der anderen Induktivitätselektrode mitein­ ander verbindet,
einer vierten Verbindungselektrode, die die andere Ab­ schirmelektrode des ersten Paares, die andere Abschir­ melektrode des zweiten Paares und das andere Ende der anderen Induktivitätselektrode miteinander verbindet,
wobei die mit der ersten und mit der zweiten Verbin­ dungselektrode verbundenen Elektroden in äquivalenter Weise eine erste LC-Resonanzschaltung und die mit den dritten und vierten Verbindungselektroden verbundenen Elektroden eine zweite LC-Resonanzschaltung bilden,
wobei die erste LC-Resonanzschaltung und die zweite LC-Resonanzschaltung miteinander über das Paar Induk­ tivitätselektroden magnetisch gekoppelt sind und einen Bandpaßfilter bilden, und
wobei die Frequenz des Bandpaßfilters durch Trimmen des zweiten Paares Kondensatorelektroden zusammen mit der sechsten nichtleitenden Schicht justierbar ist.
14. Bauteil nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die nichtleitende Schicht aus Keramik besteht.
15. Bauteil nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Paar Kondensatorelektroden eine längliche Form aufweist und in feinen Einheiten getrimmt wird.
16. Bauteil nach Anspruch 15, gekennzeichnet durch eine fünfte Ver­ bindungselektrode, eine sechste Verbindungselektrode, ein drittes Paar Kondensatorelektroden, das dem ersten Paar Kondensatorelektroden gegenüberliegt und inner­ halb der dritten nichtleitenden Schicht ausgebildet ist, und ein viertes Paar Kondensatorelektroden, das dem dritten Paar Kondensatorelektroden gegenüberliegt und innerhalb der dritten nichtleitenden Schicht gebildet ist, wobei das dritte Paar Kondensatorelek­ troden mit der fünften oder der sechsten Verbindungs­ elektrode verbunden ist,
wobei eine Kapazität, die zwischen dem dritten Paar Kondensatorelektroden und dem ersten Paar Kondensator­ elektroden gebildet ist, zwischen die fünfte Verbin­ dungselektrode und die sechste Verbindungselektrode und dem Bandpaßfilter eingefügt ist zur Einstellung der Eingang-/Ausgangsimpedanz, und
wobei eine Kapazität, die zwischen dem vierten Paar Kondensatorelektroden und dem dritten Paar Kondensato­ relektroden gebildet ist, mit der fünften Verbindungs­ elektrode und der sechsten Verbindungselektrode paral­ lel zum Bandpaßfilter verbunden ist, wodurch Pole außerhalb des Paßbandes gebildet werden.
17. Bauteil nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil einer Induktivitätselektrode und ein Teil der anderen Induktivitätselektrode miteinander über eine weitere Induktivitätselektrode in der Nähe ihrer Enden, die mit den Abschirmelektroden verbunden sind, verbunden ist.
18. Bauteil nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand zwischen dem Paar Induktivitätselektroden von dem mit den Abschirmungselektroden verbundenen Enden zu den mit den Kondensatorelektroden verbundenen Enden abnimmt, so daß der magnetische Kopplungsgrad erhöht ist.
19. Verfahren zur Einstellung der Frequenz eines zusammen­ gesetzten elektronischen Bauteils, das eine Bandpaß­ filterschaltung aufweist, mit
einem Bauteilkörper einschließlich eines Schichtkörpers aus einer Anzahl nichtleitender Schichten,
einem ersten Paar Abschirmelektroden, das zwischen einer ersten nichtleitenden Schicht und einer zweiten nichtleitenden Schicht des Schichtkörpers gebildet ist,
einem magnetisch gekoppelten Paar Induktivitätselek­ troden, das zwischen der zweiten nichtleitenden Schicht und einer dritten nichtleitenden Schicht des Schichtkörpers gebildet ist,
einem ersten Paar Kondensatorelektroden, das zwischen der dritten nichtleitenden Schicht und einer vierten nichtleitenden Schicht des Schichtkörpers gebildet ist,
einem zweiten Paar Abschirmelektroden, das zwischen der vierten nichtleitenden Schicht und einer fünften nichtleitenden Schicht des Schichtkörpers gebildet ist, und
einem zweiten Paar Kondensatorelektroden, das zwischen der fünften nichtleitenden Schicht und einer sechsten nichtleitenden Schicht des Schichtkörpers gebildet ist, zur Frequenzeinstellung, wobei jede Kondensator­ elektrode des zweiten Paares eine geringere Fläche aufweist als jede Kondensatorelektrode des ersten Paares und die sechste nichtleitende Schicht aus einem nichtverformbaren Material gebildet ist,
einer ersten Verbindungselektrode, die eine Kondensa­ torelektrode des ersten Paares, eine Kondensatorelek­ trode des zweiten Paares und ein Ende der Induktivi­ tätselektrode miteinander verbindet, wobei die mit der ersten Verbindungselektrode verbundene Elektrode ver­ tikal gesammelt sind,
einer zweiten Verbindungselektrode, die eine Abschirm­ elektrode des ersten Paares, eine Abschirmelektrode des zweiten Paares und das andere Ende der Induktivi­ tätselektrode miteinander verbindet, wobei die mit der zweiten Verbindungselektrode verbundenen Elektroden vertikal gesammelt sind,
einer dritten Verbindungselektrode, die die andere Kondensatorelektrode des ersten Paares, die andere Kondensatorelektrode des zweiten Paares und ein Ende der anderen Induktivitätselektrode miteinander verbin­ det und
einer vierten Verbindungselektrode, die die andere Abschirmelektrode des ersten Paares, die andere Abschirmelektrode des zweiten Paares und das andere Ende der anderen Induktivitätselektrode miteinander verbindet,
wobei das Verfahren einen Schritt zum Trimmen des zweiten Paares der Kondensatorelektroden zusammen mit der sechsten nichtleitenden Schicht aufweist.
20. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß das Trimmen entlang der kürzeren Seite jeder Kondensator­ elektrode des zweiten Paares durchgeführt wird.
21. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß das zusammengesetzte elektronische Bauteil ferner eine fünfte Verbindungselektrode, eine sechste Verbindungs­ elektrode, ein drittes Paar Kondensatorelektroden, das dem ersten Paar Kondensatorelektroden gegenüberliegt und innerhalb der dritten nichtleitenden Schicht vor­ gesehen ist, und ein viertes Paar Kondensatorelektro­ den, das dem dritten Paar Kondensatorelektroden gegen­ überliegt und innerhalb der dritten nichtleitenden Schicht gebildet ist, aufweist, wobei das dritte Paar Kondensatorelektroden mit der fünften oder sechsten Elektrode verbunden ist,
wobei die zwischen dem dritten Paar Kondensatorelek­ troden und dem ersten Paar Kondensatorelektroden erhaltene Kapazität zwischen die fünfte Verbindungs­ elektrode und die sechste Verbindungselektrode und den Bandpaßfilter eingefügt ist, um die Eingangs- /Ausgangsimpedanz einzustellen, und
wobei die zwischen dem vierten Paar Kondensatorelek­ troden und dem dritten Paar Kondensatorelektroden von Kapazität mit der fünften Verbindungselektrode und der sechsten Verbindungselektrode parallel zu dem Bandpaß­ filter verbunden ist, so daß Pole außerhalb des Paßbandes gebildet sind.
22. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil einer Induktivitätselektrode und ein Teil der anderen Induktivitätselektrode miteinander über eine weitere Induktivitätselektrode in der Nähe ihrer mit den Abschirmelektroden verbundenen Enden verbunden ist.
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