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VeröffentlichungsnummerDE69712637 T2
PublikationstypErteilung
AnmeldenummerDE1997612637
Veröffentlichungsdatum30. Jan. 2003
Eingetragen30. Juli 1997
Prioritätsdatum30. Juli 1996
Auch veröffentlicht unterDE69703957D1, DE69703957T2, DE69712637D1, EP0822164A2, EP0822164A3, EP0822164B1, EP0947469A2, EP0947469A3, EP0947469B1, US5962343, US6372003
Veröffentlichungsnummer1997612637, 97612637, DE 69712637 T2, DE 69712637T2, DE-T2-69712637, DE1997612637, DE69712637 T2, DE69712637T2, DE97612637
ErfinderToshio Kasai, Isao Ota, Takao Kaga, Tohru Nishimura, Kenji Tanimoto
AntragstellerNissan Chemical Ind Ltd
Zitat exportierenBiBTeX, EndNote, RefMan
Externe Links: DPMA, Espacenet
Schleifmittel
DE 69712637 T2
Zusammenfassung  auf verfügbar
Beschreibung  auf verfügbar
Ansprüche  auf verfügbar
Klassifizierungen
Internationale KlassifikationC01F17/00, C09K3/14, H01L21/3105
UnternehmensklassifikationH01L21/31053, C01P2004/61, B82Y30/00, C09K3/1463, C01P2006/12, C01P2002/72, C01P2002/76, C01F17/0043, C09K3/1409, C01P2004/64, C01P2004/62
Europäische KlassifikationB82Y30/00, C09K3/14B, H01L21/3105B2, C01F17/00F, C09K3/14D2