Patent US3659384 - SHEET ZGF

Patente

Erfinder: Lawrence Day, Lawrence Day
Aktuelle US-Klassifikation: 451/286

Patent beim USPTO abrufen
In Assignment Database des USPTO suchen

Zitiert von Patent	Eingetragen	Ausgestellt	Ursprünglich Bevollmächtigter	Titel
US4319432	13. Mai 1980	16. März 1982	Spitfire Tool and Machine Co.	Polishing fixture
US5597346	9. März 1995	28. Jan. 1997	Texas Instruments Incorporated	Method and apparatus for holding a semiconductor wafer during a chemical mechanical polish (CMP) process