WO1998024271A1 - Procede de production d'elements el organiques, elements el organiques et dispositif d'affichage el organique - Google Patents

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WO1998024271A1
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light emitting
light
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Satoru Miyashita
Hiroshi Kiguchi
Tatsuya Shimoda
Sadao Kanbe
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Seiko Epson Corporation
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Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing an organic EL device, an organic EL device, and an organic EL display device.
  • the organic EL element has a configuration in which a thin film containing a fluorescent organic compound is sandwiched between a cathode and an anode, and electrons and holes are injected into the thin film and recombined to form excitons (electrons). Exciton), and emits light using the emission of light (fluorescence and phosphorescence) when the exciton is deactivated.
  • this organic EL device can emit light with a high luminance of about 100 cd / ffl 2 at a low voltage of 10 V or less, and select the type of fluorescent substance. By doing so, light emission from blue to red is possible.
  • Organic EL devices are attracting attention as realizing inexpensive large-area full-color display devices (IEICE Technical Report, Vol. 89, No. 106, p. 49, 1989). According to this report, organic light-emitting materials that emit strong fluorescence are used in the light-emitting layer, and bright blue, green, and red light is emitted. It is considered that a high-luminance full-color display can be realized by using an organic dye that emits strong fluorescence in the form of a thin film and has few pinhole defects.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 5-778655 discloses an organic light-emitting layer in which a light-emitting material is made of a mixture of an organic charge material and an organic light-emitting material. It has been proposed to obtain a device and to broaden the range of light emitting material selection.
  • An object of the present invention is to provide an EL element and an organic EL display device.
  • a method for manufacturing an organic EL device includes the steps of: forming a pixel electrode on a transparent substrate; and emitting at least one color of an organic compound on the pixel electrode.
  • the method includes a step of patterning a layer and a step of forming a cathode facing the pixel electrode, wherein the light emitting layer is formed by an ink jet method.
  • the organic compound is preferably a high molecular weight organic compound.
  • the high molecular weight organic compound is preferably a hole injection transport material.
  • Such a polymer organic compound is preferably a polyparaphenylene vinylene and a derivative thereof, or a copolymer having at least one of them.
  • a hole injecting and transporting material can be added to the light emitting layer separately from the light emitting material.
  • the light emitting layer has three colors, and it is preferable that at least two of the three light emitting layers are patterned by an ink jet method.
  • the three colors are red, green, It is blue, and it is preferable that a red light-emitting layer and a green light-emitting layer among them are respectively patterned by an ink jet method.
  • the blue light-emitting layer is formed by a vacuum deposition method. Is more preferable.
  • the blue light emitting layer is preferably made of an electron injecting and transporting material, such as an aluminum quinolinol complex.
  • an organic EL device of the present invention it is preferable that at least one of the light-emitting layers and the hole injecting and transporting layer of one color is laminated, and that a protective film is formed on the cathode.
  • the transparent substrate has a thin film transistor for driving each pixel.
  • the pixel electrode is a transparent pixel electrode.
  • the organic EL device of the present invention comprises a transparent substrate, a pixel electrode provided on the transparent substrate, and an organic compound patterned on the pixel electrode by an ink-jet method. It is characterized by comprising a light emitting layer of at least one color and a cathode formed on the light emitting layer.
  • the organic compound is preferably a high molecular weight organic compound, and the high molecular weight organic compound is more preferably a hole injection transport material.
  • the high molecular weight organic compound is preferably a polyparaffinylene vinylene and a derivative thereof, or a copolymer having at least one of them.
  • the light emitting layer has three colors, and it is preferable that at least two of the three colors of the light emitting layers are patterned by an ink jet method, and the three colors are red, It is more preferable that the red light emitting layer and the green light emitting layer, which are green and blue, respectively, are patterned by an ink jet method. In this case, it is more preferable that the blue light emitting layer is formed by a vacuum deposition method.
  • the blue light emitting layer is preferably made of an electron injection / transport type material.
  • examples of such a blue light emitting layer include a layer containing an aluminum quinolinol complex.
  • At least one color of the light emitting layer and the hole injecting and transporting layer are laminated, and it is preferable that a protective film is formed on the cathode.
  • the pixel electrode is preferably a transparent pixel electrode.
  • An organic EL display device according to the present invention includes the organic EL element described above. BRIEF DESCRIPTION OF THE FIGURES
  • FIG. 1 is a sectional view showing a first embodiment of the method for producing an organic EL device of the present invention.
  • FIG. 2 is a sectional view showing a second embodiment of the method for producing an organic EL device of the present invention.
  • FIG. 3 is a sectional view showing a third embodiment of the method for producing an organic EL device of the present invention.
  • FIG. 4 is a sectional view showing a fourth embodiment of the method for producing an organic EL device of the present invention.
  • FIG. 5 is a sectional view showing a fifth embodiment of the method for producing an organic EL device of the present invention.
  • FIG. 6 is a sectional view showing an example of the organic EL device of the present invention.
  • FIG. 7 is a sectional view showing an example of an organic EL display device using the organic EL element of the present invention.
  • FIG. 8 is a diagram showing an example of an active matrix type organic EL display device using the organic EL element of the present invention.
  • FIG. 9 is a sectional view showing an example of a method for manufacturing an active matrix type organic EL display device.
  • FIG. 10 is a perspective plan view showing a configuration example of a printer head for an ink jet used for manufacturing the organic EL device of the present invention.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view of a nozzle part of an inkjet printer head used for manufacturing the organic EL device of the present invention.
  • FIG. 12 is a view showing another embodiment of the organic EL display device of the present invention.
  • FIG. 13 is a schematic partial sectional view of an organic EL display device of the present invention.
  • FIG. 14 is a diagram showing an example of a drive waveform of a voltage applied to an electrode.
  • FIG. 15 is a partial sectional view showing another example of the organic EL device of the present invention. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
  • FIG. 1 shows a first embodiment of the method for producing an organic EL device of the present invention.
  • the figure shows three colors 1 shows a method for manufacturing a full-color organic EL device.
  • a step of forming pixel electrodes 101, 102, 103 on a transparent substrate 104, and a light emitting layer 106, 1 made of an organic compound on each of the pixel electrodes A method for manufacturing an organic EL device, comprising: a step of patterning 07; and a step of forming a cathode 113, wherein the formation of the light emitting layer is performed by an ink jet method.
  • the transparent substrate 104 functions not only as a support but also as a surface for extracting light. Therefore, the transparent substrate 104 is selected in consideration of light transmission characteristics, thermal stability, and the like. Examples of the transparent substrate material include a glass substrate and a transparent plastic, and a glass substrate is preferable because of its excellent heat resistance.
  • the pixel electrodes 101, 102, and 103 are formed on the transparent substrate 104.
  • the forming method include photolithography, a vacuum evaporation method, a sputtering method, and a piezosol method, and the photolithography is preferable.
  • a transparent pixel electrode is preferable as the pixel electrode, and examples of a material constituting the transparent pixel electrode include a tin oxide film, an ITO film, and a composite oxide film of indium oxide and zinc oxide.
  • partition walls (banks) 105 are formed, and the spaces between the transparent pixel electrodes are filled. As a result, it is possible to improve the contrast, prevent color mixing of the luminescent material, and prevent light leakage between pixels.
  • the material constituting the partition wall 105 is not particularly limited as long as it has durability against the solvent of the EL material.
  • the material include organic materials such as acrylic resin, epoxy resin, and photosensitive polyimide.
  • examples include inorganic materials such as liquid glass.
  • the partition wall 105 may be made into a black resist by mixing carbon black or the like into the above material. Examples of a method for forming the partition wall 105 include photolithography.
  • an organic light emitting layer is formed on each pixel electrode in a predetermined pattern.
  • the organic light emitting layer is preferably provided in three colors, and among them, at least one color is preferably formed by an ink jet method.
  • a red light emitting layer 106 and a green light emitting layer 107 are formed on the pixel electrodes 101 and 102 by an ink jet method, respectively.
  • the ink jet method means that a luminescent material is dissolved or dispersed in a solvent and discharged as a discharge liquid from the head 110 of the ink jet printing apparatus 109, and a red, green, or blue color is emitted.
  • each luminescent material is discharged and patterned by an ink jet method, and then the precursor component is conjugated by heating or light irradiation. A light emitting layer is formed.
  • a blue light emitting layer 108 is formed on the red light emitting layer 106, the green light emitting layer 107 and the pixel electrode 103.
  • the level difference between the red light emitting layer 106 and the green light emitting layer 107 and the partition wall 105 can be filled and flattened.
  • the method for forming the blue light-emitting layer 108 is not particularly limited, and it can be formed by, for example, a general film forming method or an ink jet method as an evaporation method or a wet method.
  • the blue light emitting layer 108 can be made of an electron injection / transport type material such as an aluminum quinolinol complex. In this case, injection and transport of the carrier can be promoted, and the luminous efficiency can be improved. Furthermore, by laminating with a layer made of a hole injection / transport material described later, electrons and holes from the electrodes can be injected and transported into the balanced light emitting layer, thereby further improving the luminous efficiency. be able to.
  • the hole injection transport and the electron injection transport can be divided into different materials and carried, it is possible to design each material optimally.
  • the method for forming such an electron injecting and transporting layer is not particularly limited. For example, it can be formed by a general film forming method or an ink jet method as a vapor deposition method or a wet method.
  • Organic compounds capable of forming the electron injecting and transporting layer include PBD, oxadizazole derivatives such as OXD-8, DSA, aluminum quinolinol complex, Bebq, and Lyazole derivatives, azomethine complexes, porphyrin complexes, benzooxydiazole complexes and the like.One or more of these may be mixed or laminated to form an electron injection transport layer. Can be. Further, the organic compound may be doped with a fluorescent dye described later to form an electron injection transport layer. Further, the electron injection transport layer may have a light emitting function.
  • two colors of the organic light emitting layer are formed by the ink jet method, and the other color is formed by another method, so that a color forming material that is not very suitable for the ink jet method.
  • a full-color organic EL device can be formed by combining with other organic light-emitting materials used for the ink jet method, so that the design range is expanded.
  • a method of forming a light emitting layer other than the ink jet method for example, a photolithography method, a vacuum evaporation method, a printing method, a transfer method, a date coating method, a spin coating method, a casting method, The cavitation method, roll coating method, bar coating method, and the like can be used.
  • the cathode (counter electrode) 113 is formed, and the organic EL device of the present invention is manufactured.
  • the cathode 113 a metal thin-film electrode is preferable. Examples of the metal constituting the cathode include Mg, Ag, A 1, and Li.
  • a material having a small work function can be used. For example, an alkali metal, an alkaline earth metal such as Ca, and an alloy containing these can be used.
  • Such a cathode 113 can be provided by a vapor deposition method, a sputtering method, or the like.
  • the organic EL device of the present invention is manufactured. That is, as shown in FIG. 1, a red light-emitting layer 1 made of an organic compound patterned by an ink jet method is formed on pixel electrodes 101 and 102 provided on a transparent substrate 104, respectively. 06, a green light-emitting layer 107 is formed, and a blue light-emitting layer 108 is formed on the light-emitting layers 106, 107 and the pixel electrode 103 by a vacuum evaporation method. You. Then, the cathode 113 is provided thereon, and the organic EL device of the present invention is completed. Further, a protective film 415 may be formed on the cathode 413 as shown in FIG. By forming the protective film 415, it is possible to prevent the cathode 413 and the light emitting layers 406, 407, 408 from being deteriorated, damaged, peeled off and the like.
  • the constituent materials of such a protective film 415 include epoxy resin, acrylic resin, Liquid glass and the like can be mentioned.
  • Examples of the method of forming the protective film 415 include a spin coating method, a casting method, a date coating method, a bar coating method, a mouth coating method, and a capillaries method.
  • the light-emitting layer is preferably composed of an organic compound, and more preferably composed of a high-molecular organic compound.
  • a light-emitting layer made of an organic compound high-luminance surface light emission can be performed at a low voltage. Also, a wide selection of luminescent materials allows for rational design of EL light emitting devices.
  • a high molecular weight organic compound has excellent film-forming properties, and the durability of a light emitting layer composed of a high molecular weight organic compound is extremely good. Further, they have a forbidden band width in the visible region and a relatively high conductivity, and conjugated polymers are particularly prone to this tendency.
  • organic light emitting layer material a high molecular organic compound itself or a precursor of a conjugated high molecular organic compound which is made to be used (formed) by heating or the like is used.
  • the viscosity and the like can be easily adjusted as an ejection liquid of the ink, precise patterning is possible, and the light emitting layer can be used. Can easily control the light-emitting characteristics and the film properties.
  • the high molecular weight organic compound forming the light emitting layer is preferably a hole injection transport material. This promotes the injection and transport of the carrier, and can improve the luminous efficiency.
  • Examples of the organic compound capable of forming the light-emitting layer include polyalkylthiophene such as PPV (poly (paraphenylenevinylene)) or a derivative thereof, PTV (poly (2,5-chelenylenevinylene)), and PFV (poly (2,5-Chenylenevinylene)).
  • PPV poly (paraphenylenevinylene)
  • PTV poly (2,5-chelenylenevinylene
  • PFV poly (2,5-Chenylenevinylene
  • Nokino lysine, rubrene, phenanthine-linuium-opened pium complex and the like can be mentioned, and these can be used alone or in combination of two or more.
  • PPV which is a conjugated polymer organic compound, or a derivative thereof is preferable.
  • the precursor before conjugation (film formation) of PPV or its derivative is soluble in water or an organic solvent and is suitable for pattern formation by the inkjet method.
  • PPV and its derivatives have strong fluorescence, and the ⁇ -electron of the double bond is also a conductive polymer in which the ⁇ electrons are non-polarized on the polymer chain. Function, and a high-performance organic EL device can be obtained.
  • composition for an organic EL device in the case of using a polymer organic light emitting layer material can also contain at least one kind of fluorescent dye. This makes it possible to change the light emitting characteristics of the light emitting layer, and is effective, for example, as a means for improving the light emitting efficiency of the light emitting layer or changing the light absorption maximum wavelength (emission color).
  • the fluorescent dye can be used not only as a light emitting layer material but also as a dye material having a light emitting function itself.
  • the energy of excitons generated by carrier recombination on conjugated polymer organic compound molecules such as ⁇ ⁇ V can be almost transferred to fluorescent dye molecules.
  • light emission occurs only from a fluorescent dye molecule having a high fluorescence quantum efficiency, so that the current quantum efficiency of the EL device also increases. Therefore, by adding a fluorescent dye to the composition for an organic EL device, the emission spectrum of the light-emitting layer also becomes a fluorescent molecule at the same time, which is also effective as a means for changing the emission color. Become.
  • the current quantum efficiency is a scale for considering the light emitting performance based on the light emitting function, and is defined by the following equation.
  • V energy of the emitted photon input electric energy
  • the luminous efficiency of the EL device can be greatly improved.
  • DCM of a laser single dye, or a dymium or rhodamine derivative, perylene or the like can be used. These fluorescent dyes are low molecular weight, are soluble in solvents, have good compatibility with UV-V, etc., and facilitate formation of a uniform and stable light emitting layer.
  • rhodamine derivative fluorescent dye examples include rhodamine ⁇ , rhodamine ⁇ base, rhodamine 6G, rhodamine 101 perchlorate, and the like. A mixture of two or more of these is used. Is also good.
  • the fluorescent dyes used in the green light emitting layer include quinacridone, rubrene,
  • DCT and their derivatives are low-molecular and thus soluble in solvents, and have good compatibility with PPV and the like, and facilitate formation of a light emitting layer.
  • Examples of the fluorescent dye used in the blue light emitting layer include distyrylbiphenyl and derivatives thereof. These fluorescent dyes are soluble in an aqueous solution like the above-mentioned red fluorescent dye, and have good compatibility with PPV and the like, so that a light emitting layer can be easily formed.
  • fluorescent dyes used in the blue light-emitting layer include coumalin and tamarin-1, coumarin-16, coumarin-17, coumarin 120, coumarin 132, Bears such as Lin 152, Kumarin 153, Kumarin 311, Kumarin 314, Kumarin 334, Kumarin 337, Kumarlin 343 Lin derivatives are mentioned.
  • Examples of the light-emitting material used for another blue light-emitting layer include tetraphenylbutadiene (TPB) or TPB ⁇ conductor, DPV Bi, and the like. These light-emitting materials are also low in molecular weight, like the red fluorescent dyes and the like, and thus are soluble in solvents, and have good compatibility with PPV and the like, and facilitate formation of a light-emitting layer.
  • TPB tetraphenylbutadiene
  • DPV Bi tetraphenylbutadiene
  • the above-described fluorescent dyes and luminescent materials can be used alone or in combination of two or more.
  • FIGS. 10 and 11 show the structure of an ink jet head used in the method for producing an organic EL device of the present invention.
  • the ink jet head 10 includes, for example, a nozzle plate 11 made of stainless steel and a diaphragm 13, both of which are connected via a partition member (reservoir plate) 15. .
  • a plurality of spaces 19 and a liquid reservoir 21 are formed between the nozzle plate 11 and the diaphragm 13 by the partition member 15.
  • Each space 19 and the inside of the liquid reservoir 21 are filled with the composition of the present invention, and each space 19 and the liquid reservoir 21 communicate with each other through a supply port 23.
  • the nozzle plate 11 is provided with a nozzle hole 25 for jetting the composition in a jet form from the space 19.
  • the diaphragm 13 has a hole 27 for supplying the composition to the liquid reservoir 21.
  • a piezoelectric element 29 is bonded on the surface of the diaphragm 13 opposite to the surface facing the space 19 so as to correspond to the position of the space 19.
  • the piezoelectric element 29 is located between the pair of electrodes 31. When energized, the piezoelectric element 29 bends so as to protrude outward, and at the same time, the diaphragm 13 to which the piezoelectric element 29 is joined is also formed. It flexes outward as one. This increases the volume of the space 19. Accordingly, the composition corresponding to the increased volume flows into the space 19 from the liquid reservoir 21 through the supply port 23.
  • the piezoelectric element 29 and the diaphragm 13 both return to their original shapes.
  • the space 19 also returns to the original volume, so that the pressure of the composition inside the space 19 rises, and the composition is ejected from the nozzle holes 25 toward the substrate.
  • a water-repellent layer 26 is provided around the nozzle hole 25 to prevent the composition from bending and clogging.
  • a water-repellent layer 26 made of, for example, a Ni—tetrafluoroethylene eutectoid plating layer is provided around the nozzle hole 25.
  • a composition corresponding to, for example, the three primary colors of red, blue and green is discharged in a predetermined pattern, whereby each organic light emitting layer can be provided to form a pixel.
  • an organic light emitting material composition used in an ink jet system may have the following characteristics.
  • the composition may have a contact angle of 30 ° to 170 ° with respect to a material constituting a nozzle surface 251, of a nozzle for discharging the composition provided on an ink jet head. Preferably, 35 ° to 65 ° is more preferred.
  • the composition has a contact angle in this range, flight bending of the composition can be suppressed, and precise patterning can be performed.
  • the contact angle when the contact angle is less than 30 °, the wettability of the composition to the constituent material of the nozzle surface increases, so that the composition adheres asymmetrically around the nozzle hole when the composition is discharged.
  • an attractive force acts between the composition adhering to the nozzle hole and the substance to be ejected, so that the composition is ejected by a non-uniform force, so that the composition cannot reach the target position.
  • the flight bends, and the flight Frequency increases. If the temperature exceeds 170 °, the interaction between the composition and the nozzle hole becomes extremely small, and the shape of the meniscus at the tip of the nozzle becomes unstable, so that it becomes difficult to control the discharge amount and the discharge timing of the composition. .
  • flight bending means that, when the composition is discharged from the nozzle, the position where the dot lands is shifted by 50 ⁇ m or more from the target position.
  • the term "turning frequency of flight” refers to the time until the above-described flight turning occurs when continuous discharge is performed at a frequency of 720 OHz. Flying bends are mainly caused by non-uniform wettability of nozzle holes or by clogging due to adhesion of solid components of the composition, and can be eliminated by cleaning the head. . The higher the frequency of this flight bend, the more frequent head cleaning is required, and it can be said that this is a composition that reduces the manufacturing efficiency of the EL device by the inkjet method. At a practical level, the frequency of flight turns must be at least 1000 seconds.
  • the viscosity of the composition is 1 c P ⁇ 2 0 cp, and is preferably Ri yo a 2 cp ⁇ 4 cp. If the viscosity of the composition is less than 1 cp, the contents of the precursor and the fluorescent dye in the material become too small, and the formed light emitting layer cannot exhibit sufficient color developing ability. On the other hand, if it exceeds 20 cp, the composition cannot be discharged smoothly from the nozzle holes, and patterning becomes difficult unless the specifications of the apparatus are changed, such as increasing the nozzle hole diameter. Further, when the viscosity is high, solid components in the composition are easily precipitated, and the frequency of clogging of the nozzle holes increases.
  • the composition preferably has a surface tension of 20 dyne e / cm to 70 dyne / cm, and 25 dyne / cn! ⁇ 40 dyn eZ cm is more preferred.
  • the surface tension in this range, similarly to the case of the contact angle described above, the flight bend can be suppressed, and the frequency of the flight bend can be suppressed. If the surface tension is less than 20 dyn eZ cm, the wettability of the composition to the constituent material of the nozzle surface increases, so that a flying bend occurs as in the case of the contact angle, and the frequency of the flying bend increases.
  • the organic color-forming material composition suitable for the method for producing an organic EL device of the present invention may be any one that satisfies the numerical range of at least one of the contact angle, viscosity and surface tension described above. Those satisfying the conditions for the characteristics of an arbitrary combination, and those satisfying all the characteristics are more preferable.
  • FIG. 2 is a view showing a second embodiment of the method for producing an organic EL device of the present invention.
  • pixel electrodes 201, 202, 203, and partition walls 205 are provided on a transparent substrate 204 in the same manner as in the first embodiment, and then red by an ink jet method.
  • a light emitting layer 206 and a green light emitting layer 107 are provided.
  • the third embodiment is different from the first embodiment in that a hole injection / transport layer 208 is provided on the pixel electrode 203 and a blue light emitting layer 210 is stacked thereon.
  • a hole injection / transport layer 208 is provided on the pixel electrode 203 and a blue light emitting layer 210 is stacked thereon.
  • the method of manufacturing an organic EL device of the present invention it is preferable that at least one color light emitting layer and a hole injection transport layer are laminated. Thereby, the luminous efficiency can be improved, and the stability of the thin film element itself can be further improved.
  • a part of the materials contained in both layers may be present in a state where they are impregnated and diffused with each other to the other layer side.
  • the hole injecting and transporting layer 208 is preferably a layer that does not develop color.
  • the light emitting portion can be formed on the pixel electrode 203 of the blue light emitting layer 210, and a full-color organic EL device can be manufactured more easily.
  • the method for forming such a hole injection / transport layer 208 is not particularly limited, but it can be formed, for example, by an ink jet method. This allows the hole injection / transport layer 208 to be accurately arranged in a predetermined pattern.
  • Examples of the constituent material of the hole injecting and transporting layer 208 include aromatic diamine-based compounds such as TPD, MTDATA, quinatalidone, bis-stillane-thracene derivative, PVK (polyvinyl carbazolyl), and copper phthalocyanine. Phthalocyanine-based complex, porphyrin-based compound, NPD, TAD, polyaniline, etc., of which PVK is preferred. By using PVK, a non-colored hole injection transport layer can be formed. Can be achieved.
  • the organic EL device of the present invention can be obtained by forming the blue light emitting layer 210 and the cathode 211 in the same manner as in Example 1 above.
  • the constituent materials and the forming method of the blue light emitting layer 210 and the cathode 211 are the same as those in the above embodiment.
  • FIG. 3 is a view showing a third embodiment of the method for producing an organic EL device of the present invention.
  • pixel electrodes 301, 302, 303 and partition walls 305 are provided on a transparent base 304, as in the first embodiment, and then the ink jet method is used.
  • a red light emitting layer and a green light emitting layer are provided.
  • a hole injecting / transporting layer 308 is provided on the entire surface of the red light emitting layer 306, the green light emitting layer 307, and the pixel electrode 303.
  • the method for forming such a hole injection transport layer 308 is not particularly limited, and examples thereof include an ink jet method, a vacuum evaporation method, a date coating method, a spin coating method, a casting method, a capillary method, a roll coating method, and a bar coating method.
  • One-coat method and the like can be mentioned. In this embodiment, it can be formed by a vacuum deposition method.
  • the constituent material of the hole injecting / transporting layer the same material as in the above-described second embodiment can be used.
  • the organic EL device of the present invention can be obtained by forming the blue light-emitting layer 309 and the cathode 311 on the hole injection / transport layer 308.
  • the constituent materials and the forming method of the cathode 311 are the same as those in the above embodiment.
  • FIG. 4 is a view showing a fourth embodiment of the method for producing an organic EL device of the present invention.
  • the ink-jet method is used after the pixel electrodes 800, 802, 803, and the partition walls 805 are provided on the transparent substrate 804, the ink-jet method is used.
  • Light emitting layers 806, 807, and 808 are formed on the pixel electrodes 801, 802, and 803, respectively, by an injection method. This makes it possible to easily and easily adjust, for example, the discharge amount, the number of discharges, and the formation pattern of each light-emitting layer material, and easily control the light-emitting characteristics and the film properties such as the film thickness of each light-emitting layer. .
  • an electron injection / transport layer 811 is formed on each of the light emitting layers 806, 807, and 808.
  • the electron injecting and transporting layer 811 facilitates the injection of electrons from the cathode, prevents quenching of the electrode by keeping the light emitting portion away from the cathode, and contributes to forming a better contact with the cathode.
  • an undoped aluminum quinolinol complex can be used as the electron injecting and transporting layer 811.
  • the electron injection transfer layer 811 can be formed by a vacuum evaporation method.
  • the method for forming the electron injecting and transporting layer 811 is not limited to this, and examples thereof include an ink jet method, a vacuum evaporation method, a dive method, a spin coating method, a casting method, a cabillary method, and a roll coating method. Method, bar coating method, etc.
  • FIG. 5 is a view showing a fifth embodiment of the method for producing an organic EL device of the present invention.
  • pixel electrodes 800, 802, 803 are provided on a transparent substrate 804, as in the first embodiment.
  • a hole injection transport star 815 composed of, for example, PVK is formed on the entire surface by, for example, the Sincoat method. As described above, since the hole injection / transport layer 815 can be formed into a solid film without patterning, the production efficiency is improved.
  • the method for forming the hole injecting and transporting layer 815 is not limited to this, and examples thereof include an ink jet method, a vacuum evaporation method, a dive method, a spin coating method, a casting method, a casting method, and a roll method.
  • a coating method, a bar coating method, or the like may be used.
  • the hole injection / transport layer 815 is preferably a layer that does not develop color.
  • the light emitting layers 806, 807, 808 are formed on the hole injection / transport layer 815. It is preferable that the light emitting layer of at least one of the colors is formed in a pattern by an ink jet method using an ink jet printing apparatus 809.
  • the organic EL device of the present invention can be obtained.
  • the constituent materials of the cathodes 8 13 and the forming method are the same as those in the above embodiment.
  • R, G, and B can be separately applied with high accuracy. Manufacturing efficiency can be improved.
  • the pixel may be formed by providing a partition wall in the same manner as in the above embodiment.
  • the organic EL device of the present invention can be manufactured by the above-described manufacturing method, but is not limited thereto. For example, the following configuration can be adopted.
  • FIG. 15 is a partial sectional view showing another example of the organic EL device of the present invention.
  • the organic EL device of the present embodiment includes a reflective layer 62, a transparent conductive film (ITO film) 63, a hole injection / transport layer 64, an organic light emitting layer 65, and a metal layer 6 on a transparent substrate 61. 6.
  • Transparent conductive film (ITO film) 67 is laminated in order. Regarding the material and forming method of each layer, the same matters as those in the above embodiments will not be described, and only the differences will be described.
  • a reflective layer 62 made of a metal thin film such as A 1 is provided directly on a transparent substrate 61.
  • the metal layer 66 laminated on the light-emitting layer 65 as a cathode is extremely thin (about 10 to 50 A), and therefore has a light-transmitting property, and develops a color from the light-emitting layer 65. Transmits light.
  • a transparent conductive film (ITO film) 6 is formed on the metal layer 6 6. 7 are stacked.
  • ITO film transparent conductive film
  • FIG. 7 is a diagram illustrating an example of the organic EL display device of the present invention.
  • a bus line (gate line) 511 made of A1 is provided on a glass plate 501 by photolithography, and a thin film transistor (not shown) is formed on the busline.
  • the ITO transparent pixel electrode is formed.
  • the light emitting layers 502 (red) and 503 (green) are formed by an ink jet method in the same manner as in Example 1, and the blue light emitting layer 505 is formed by a vacuum evaporation method.
  • a cathode 506 is provided by a vacuum evaporation method, and an organic EL device similar to that of the first embodiment is manufactured.
  • the protective substrate 507 is fixed to the transparent substrate 501 via a peripheral seal 509. And glue them together.
  • the sealing material 508 is preferably made of a material that does not transmit the inert gas 512.
  • the silver paste 510 has a function of realizing a contact between the cathode 506 and the gate line 511 on the element.
  • the gate line 511 plays a role of controlling on / off of a TFT provided for each display pixel for selection of the display pixel on a row-by-row basis.
  • the potential of the gate line 511 of one row is set to the selected level, and the TFT of this row is turned on.
  • the video signal voltage of the corresponding pixel is supplied from the source electrode wiring (not shown) of each column, the video signal voltage reaches the pixel electrode through the TFT and is stored in the pixel up to the signal voltage level.
  • the other charges can be charged or discharged.
  • FIG. 8 is a diagram showing an example of an active matrix type organic EL display device using the organic EL device of the present invention.
  • the organic EL display device of the embodiment is arranged in a matrix and has an image display array composed of a plurality of luminescent pixels each including R, G, and B light emitting portions.
  • a signal line (signal electrode) 601 and a gate line (gate electrode) 602 arranged at positions orthogonal to each other are provided on a substrate (not shown). Further, a thin film transistor (TFT) 604 connected to the signal line 601 and the gate line 602 for each pixel, and a light emitting layer 60 composed of an organic EL element connected on the TFT 604 5, 606 are laminated. At least one color of the organic light emitting layer is formed by an ink jet method.
  • TFT thin film transistor
  • FIG. 9 is a cross-sectional view showing one example of a method for manufacturing an active matrix type organic EL display device of the present invention.
  • a predetermined thin film transistor 915 and gate lines and signal lines are formed on the transparent substrate 904.
  • predetermined functional elements such as the thin-film transistor 915
  • a hole injection / transport layer 911 is formed on each of the pixel electrodes ( ⁇ ⁇ ⁇ ) 901, 902, and 903 having pixels so as to cover the individual pixel electrodes.
  • the same material as in the above embodiment can be used as the hole injection transport material.
  • the method for forming the hole injection / transport layer 911 is not particularly limited, and may be formed by any of the above methods.
  • the respective light emitting layers 906 (red), 907 (green) and 908 (blue) are formed by patterning.
  • the light emitting layer may be formed as long as at least one color is formed by an ink jet method using an ink jet printing apparatus 910.
  • the reflective electrode 913 is formed, and the organic EL display device of the present invention is manufactured.
  • the reflection electrode 913 for example, a Mg—Ag electrode having a thickness of about 0.1 to 0.2 ⁇ m is formed.
  • a thin film transistor is used as a switching element.
  • the present invention is not limited to this, and other types of switching elements, It is also possible to use a two-terminal element, for example, a switching element such as a MIM.
  • passive drive and static drive are also possible.
  • the number of switching elements per pixel is not limited to one, and one pixel may include a plurality of switching elements.
  • FIG. 12 shows an example of an organic EL display device having a plurality of switching elements in one pixel.
  • the switching thin film transistor 14 2 transmits the potential of the signal electrode 13 2 to the power lent thin film transistor 14 3 in accordance with the potential of the scanning electrode 13 1, and the current thin film transistor 14 3 It plays the role of controlling the conduction between 133 and the pixel electrode 141.
  • FIG. 13 is a schematic partial enlarged sectional view of the organic EL display device of the present invention.
  • the scan electrode 53 and the signal electrode 54 formed in a strip shape are interposed through the organic EL element 52.
  • the scanning electrodes 53 are sequentially pulsed. When the selection is made and the scanning electrode 53 is selected, it is performed by selecting the signal electrode 54 corresponding to each pixel and applying a voltage. Such selection is controlled by controller 55.
  • the power source (cathode) must be patterned and separated for each line.
  • a cathode is cut by a partition wall and naturally formed into a pattern.
  • the cathode is patterned by, for example, a mask evaporation method or a laser cutting method.
  • FIG. 14 shows an example of the driving waveform of the voltage applied to the scanning electrode 13 and the signal electrode 14.
  • a voltage V s sufficient to emit light is applied to the selected pixel.
  • the display density of pixels is controlled by a pulse width waveform that matches the gray scale to be displayed.
  • a voltage Vn equal to or lower than the light emission threshold voltage is applied to the unselected pixels.
  • T f indicates one operation time.
  • driving is performed at a duty ratio of 1/1/100.
  • the light emission of the blue light emitting layer 808 of the organic EL display device including the organic EL element of the fourth embodiment had a brightness of 100 cdZnf at a driving voltage of 20 V.
  • ITO transparent pixel electrodes 101, 102, and 103 were formed on a glass substrate 104 by photolithography, with a pitch of ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ , Form a 1 ⁇ m thick pattern.
  • partition walls 105 are formed by photolithography, filling the spaces between the ITO transparent pixel electrodes and also serving as light blocking layers and ink dripping prevention walls.
  • the partition wall 105 had a width of 20 ⁇ m and a thickness of 2. ⁇ .
  • a 0.1 / m electron-injecting / transporting layer-type blue light-emitting layer 108 was formed by vacuum-depositing an aluminum quinolinol complex to which a perylene-condensed aromatic was added as a dopant.
  • an Mg—Ag electrode 113 having a thickness of 0.8 ⁇ as a cathode was formed by a vapor deposition method to produce an organic EL device.
  • ITO transparent pixel electrodes 201, 202, and 203 were formed on a glass substrate 204 as shown in FIG.
  • a photosensitive polyimide resist (partition wall) 205 which served as both a light blocking layer and a wall for preventing ink dripping was formed.
  • red and green light-emitting materials shown in Tables 1 and 2 were patterned and applied using the ink jet printing apparatus 209 in the same manner as in Example 1, and then the film was heated at 150 ° C. in a nitrogen atmosphere. C, heat-treated for 4 hours to polymerize the precursor in the composition to form the respective light emitting layers 206 (red) and 207 (green).
  • a hole injection / transport layer made of polyvinyl carbazole (PVK) was pattern-formed on the transparent pixel electrode 203 using the above-described ink jet printing apparatus 209. Virazolin dimer was applied thereon to form a blue light emitting layer 210.
  • an A1—Li electrode 211 having a thickness of 0.8 ⁇ was formed as a cathode by a vapor deposition method to produce an organic EL device.
  • each ITO transparent pixel electrode 800, 802, 803 and a partition 805 were formed on a glass substrate 804.
  • an organic hole injecting and transporting material was mixed with the luminescent materials shown in Tables 1 and 2, and the respective luminescent layers 806 (red), 807 ( Green) and 808 (blue).
  • a 1 to 1 electrode 8 13 having a thickness of 0.2111 as a cathode was formed by a vapor deposition method to produce an organic EL device.
  • each ITO transparent pixel electrode 301, 302, 303 and a partition 304 were formed on a glass substrate 304.
  • the red and green light-emitting materials shown in Tables 1 and 2 were patterned and applied using the ink-jet printing apparatus 310 in the same manner as in Example 1, and then were applied under a nitrogen atmosphere. Heat treatment was performed at 4 ° C. for 4 hours to polymerize the precursor in the composition, thereby forming each of the light emitting layers 303 (red) and 307 (green).
  • a hole injection / transport layer 308 made of polyvinyl carbazole (PVK) was formed on the entire surface of the light emitting layers 306 and 307 and the transparent pixel electrode 303 by a coating method. Thereafter, a blue light emitting layer 309 made of a distyryl derivative was provided on the hole injecting and transporting layer 308 by a vacuum evaporation method.
  • PVK polyvinyl carbazole
  • the cathode 311 is naturally cut off and insulated by the partition walls 304 as described above, and is in a state of being patterned according to each of the pixel electrodes 301, 302, and 303.
  • each ITO transparent pixel electrode 800, 802, 803 and a partition 805 were formed on a glass substrate 804 as shown in FIG.
  • each of the light-emitting layers 806 (red), 807 (green), and 808 (blue) that emit red, green, and blue by heating for a period of time to polymerize the precursor in the composition ) was formed.
  • a 0.1- jum electron transport layer 811 was formed by vacuum-depositing an undoped aluminum quinolinol complex.
  • an A 1 —Li electrode 8 1 2 with a thickness of 0.8 ⁇ is formed as a cathode by vapor deposition.
  • an organic EL device was manufactured.
  • a predetermined voltage was applied to the device, and the voltage applied when observing the light emission luminance of lcd_m 2 was defined as a light emission start voltage [V, h ].
  • the initial luminance after stabilization is 100%, a constant current is applied with a standard waveform to emit light continuously, and the change in luminance is measured until the luminance decreases to 50% of the initial luminance.
  • the time is defined as the luminescence lifetime.
  • the driving conditions were as follows: room temperature: 40 ° C, humidity: 23%, and current value: 2 O mA / cm 2 .
  • the maximum absorption wavelength of each light emitting layer was measured.
  • the evaluation was performed as follows.
  • Examples 1 to 5 were all excellent in the light emitting characteristics of each light emitting layer and the film properties of the light emitting layer.
  • the light emitting layer was made of a high molecular weight organic compound, no defect was observed in each light emitting layer, and a very good thin film was formed.
  • the composition for an organic EL device and the method for producing an organic EL device of the present invention have been described in accordance with the illustrated examples. However, the present invention is not limited to these examples. Instead, for example, there may be a step of providing an arbitrary functional intermediate layer between the layers. Further, the fluorescent dye added to change the light emission characteristics is not limited to these.
  • a layer made of, for example, 1,2,4-triazole derivative (TAZ) can be provided as a buffer layer between each layer, thereby further improving the light emission luminance and light emission lifetime. it can.
  • TEZ 1,2,4-triazole derivative
  • the method for manufacturing an organic EL device of the present invention includes a surface treatment such as a plasma treatment, a UV treatment, and a coupling treatment on the surface of the resin resist, the pixel electrode, and the lower layer so that the EL material is easily attached. May be performed. Further, the method for producing an organic EL device of the present invention can be applied to a method for producing an inorganic EL device.
  • the organic EL display device of the present invention is applied to a low-information field such as a segment display and a simultaneous image display of the entire surface, for example, a picture, a character, a label, or the like, or has a dot, line, or surface shape. It can also be used as a light source.
  • a rational design of the EL light emitting device is possible by selecting a wide range of light emitting materials.
  • various display lights can be obtained by a combination of a light emitting material and a fluorescent dye.
  • the size and pattern of the light-emitting element are arbitrarily and precisely set by forming and arranging the organic light-emitting layer, the hole injection transport layer and the electron injection transport layer of at least one color by an ink jet method. It becomes possible.
  • the degree of freedom in setting conditions such as viscosity is large, and it is adjusted to conditions suitable for an ejection liquid for inkjet. It is easy to do.
  • the conditions such as the film thickness and the number of dots can be arbitrarily adjusted, so that the light emitting characteristics of the light emitting layer can be easily controlled.
  • the head can be freely moved on the transparent substrate, so that an element of an arbitrary size can be formed without limiting the substrate size.
  • waste such as waste liquid can be eliminated as much as possible. This makes it possible to manufacture an inexpensive, large-screen, full-color display device.
  • Luminescent material CN-PPV precursor PPV precursor Aluminum complex
  • RGBRGBRGBRGB Example 1 2. 0 2. 2 3. 1 8000 8000 8000 210 230 200 600 500 400 Example 2 1. 7 1. 8 3.2 10000 10000 9000 230 230 180 600 500 410 Example 3 4. 0 3 5 3. 8 4000 5000 4000 150 180 100 580 510 420 Example 4 1.7 1.8 2. 2 10000 10000 10000 250 250 200 600 530 480 Example 5 3. 0 3.2 5.00 5000 5000 5000 200 200 200 590 530 420
  • Example 1 o o o
  • Example 2 o o o
  • Example 4 o o o
  • Example 5 o o o

Description

明 細 書
有機 E L素子の製造方法、 有機 E L素子および有機 E L表示装置 技術分野
本発明は、 有機 E L素子の製造方法、 有機 E L素子および有機 E L表示装置に 関する。 背景技術
有機 E L素子は、 蛍光性有機化合物を含む薄膜を、 陰極と陽極とで挟んだ構成 を有し、 前記薄膜に電子および正孔 （ホール） を注入して再結合させることによ り励起子 （エキシ トン） を生成させ、 このエキシトンが失活する際の光の放出 (蛍光 · 燐光） を利用して発光させる素子である。
この有機 E L素子の特徴は、 1 0 V以下の低電圧で 1 0 0〜； L 0 0 0 0 0 cd/ ffl2程度の高輝度の面発光が可能であり、 また蛍光物質の種類を選択することによ り 青色から赤色までの発光が可能なことである。
有機 E L素子は、 安価な大面積フルカラ一表示素子を実現するものと して注目 を集めている （電子情報通信学会技術報告、 第 89巻、 No. 106、 49ページ、 1989 年） 。 この報告によると、 強い蛍光を発する有機発光材料を発光層に使用し、 青、 緑、 赤色の明るい発光を得ている。 これは薄膜状で強い蛍光を発し、 ピンホール 欠陥の少ない有機色素を用いることで高輝度のフルカラ一表示を実現できると考 えられている。
さらに特開平 5 - 7 8 6 5 5号公報には、 発光材料が有機電荷材料と有機発光 材料との混合物からなる有機発光層を設け、 これによ り濃度消光を防止して高輝 度なフルカラー素子を得ると ともに発光材料の選択の幅を広げることが提案され ている。
また、 App l. Phys. Lett. , 64 ( 1994 ) p. 815では、 ポリ ビニルカルバゾ一ル ( P V K ) を発光材料と して用い、 これに 3原色 R G Bに相当する色素を ド一プ することによ り 白色発光を得たという報告がされている。 しかし、 いずれの場合 にも実際のフル力ラー表示パネルの構成や製造方法については示されていない。 前述の有機発光材料を用いた有機薄膜 E L素子は、 フルカラー表示装置を実現 するために、 3原色を発光する各有機発光層を画素毎に配置する必要がある。 と ころが、 有機発光層を形成するポリマーや前駆体がフォ ト リ ソグラフィ一等のパ ターニング工程に対して耐性がなく、 精度良くパターニングを行う ことは非常に 困難であるという問題があった。
また、 真空蒸着法によって数層もの有機層を形成する場合は、 長時間を要する ため効率的な素子の製造方法とは言えないものであった。 発明の開示
本発明の目的は、 簡便にかつ精度の高いパターニングを行なう ことができると ともに、 膜設計の最適化を簡単に行う ことができ、 さ らに発光特性に優れた有機 E L素子の製造方法、 有機 E L素子および有機 E L表示装置を提供することにあ る。
このよ うな目的を達成するために、 本発明にかかる有機 E L素子の製造方法は、 透明基板上に画素電極を形成する工程と、 前記画素電極上に有機化合物からなる 少なく と も 1色の発光層をパターン形成する工程と、 前記画素電極に対向する陰 極を形成する工程とを有し、 前記発光層の形成をィンクジエツ ト方式により行う ことを特徴とする。
前記有機化合物は高分子有機化合物であることが好ましい。 この場合、 高分子 有機化合物は正孔注入輸送型材料であることが好ましい。 このような、 前記高分 子有機化合物はポリパラフエ二レンビニレンおよびその誘導体、 またはそれらの うち少なく ともいずれか一方を有する共重合体であることが好ましい。
なお、 上記高分子有機化合物のよ うに有機発光材料自身が正孔注入輸送型材料 ではない場合、 発光層中に発光材料とは別に正孔注入輸送型材料を添加すること も可能である。
前記発光層は 3色あって、 該 3色の前記発光層のう ち少なく とも 2色をインク ジェッ ト方式によ りパターン形成することが好ましい。 前記 3色は、 赤色、 緑色、 青色であって、 それらのう ち赤色発光層と緑色発光層とを各々イ ンクジエツ ト方 式によ りパターン形成することが好ましく、 この場合、 前記青色発光層は真空蒸 着法によ り形成することがより好ましい。 また、 青色発光層は電子注入輸送型材 料からなるものであることが好ましく、 例えばアルミニゥムキノ リ ノ一ル錯体か らなるものが挙げられる。
本発明の有機 E L素子の製造方法においては、 少なく とも 1色の前記発光層と正 孔注入輸送層とを積層することが好ましく、 また、 前記陰極の上に保護膜を形成 することが好ましい。
本発明の有機 E L素子の製造方法においては、 前記透明基板は各画素を駆動す るための薄膜トランジスタを有するものであることが好ましい。
また、 前記画素電極が透明画素電極であることが好ましい。
さらに本発明の有機 E L素子は、 透明基板と、 前記透明基板上に設けられた画 素電極と、 前記画素電極上にインクジ: c 'ノ ト方式によ りパターン形成された有機 化合物とからなる少なく とも 1色の発光層と、 前記発光層の上に形成された陰極 とを備えることを特徴とする。
前記有機化合物は高分子有機化合物であることが好ましく、 前記高分子有機化 合物は正孔注入輸送型材料であることがよ り好ましい。
また、 前記高分子有機化合物はポリ パラフエ二レンビニレンおよびその誘導体、 またはそれらのう ち少なく とも一方を有する共重合体であることが好ま しい。 前記発光層は 3色あり、 該 3色の前記発光層のう ち少なく とも 2色はイ ンクジェ ッ ト方式によ りパターン形成されたものであることが好ましく 、 前記 3色は、 赤 色、 緑色、 青色であって、 それらのうち赤色発光層と緑色発光層は各々インクジ エツ ト方式によりパターン形成されるものがより好ましい。 この場合、 前記青色 発光層は真空蒸着法により形成されることがさらに好ましい。
前記青色発光層は電子注入輸送型材料からなるものが好ま しい。 このよ う な青 色発光層と してはアルミニウムキノ リ ノール錯体を含むものが挙げられる。
また、 少なく と も 1色の前記発光層と正孔注入輸送層とが積層されたものが好 ましく、 前記陰極の上には保護膜が形成されていることが好ま しい。
さらに、 前記画素電極が透明画素電極であるが好ま しい。 本発明の有機 E L表示装置は、 前述した有機 E L素子を有することを特徴とす る。 図面の簡単な説明
第 1図は本発明の有機 E L素子の製造方法の第 1実施例を示す断面図である。 第 2図は本発明の有機 E L素子の製造方法の第 2実施例を示す断面図である。 第 3図は本発明の有機 E L素子の製造方法の第 3実施例を示す断面図である。 第 4図は本発明の有機 E L素子の製造方法の第 4実施例を示す断面図である。 第 5図は本発明の有機 E L素子の製造方法の第 5実施例を示す断面図である。 第 6図は本発明の有機 E L素子の一例を示す断面図である。
第 7図は本発明の有機 E L素子を用いた有機 E L表示装置の一例を示す断面図 である。
第 8図は本発明の有機 E L素子を用いたアクティブマ ト リ クス型有機 E L表示 装置の一例を示す図である。
第 9図はアクティブマ ト リ クス型有機 E L表示装置の製造方法の一例を示す断 面図である。
第 1 0図は本発明の有機 E L素子の製造に用いられるインクジエツ ト用プリ ン タへッ ドの構成例を示す平面斜視図である。
第 1 1図は本発明の有機 E L素子の製造に用いられるイ ンクジヱッ ト用プリ ン タへッ ドのノ ズル部分の断面図である。
第 1 2図は本発明の有機 E L表示装置の他の実施例を示す図である。
第 1 3図は本発明の有機 E L表示装置の概略部分断面図である。
第 1 4図は電極に印加される電圧の駆動波形の一例示す図である。
第 1 5図は本発明の有機 E L素子の他の一例を示す部分断面図である。 発明の実施するための最良の形態
以下、 本発明の有機 E L素子の製造方法、 および有機 E L素子を添付図面に示 す好適実施例に基づいて詳細に説明する。
第 1図は本発明の有機 E L素子の製造方法の第 1実施例を示す。 同図は 3色の フルカラー有機 E L素子の製造方法を示すものである。 図に示すよ うに、 透明基 板 1 0 4上に画素電極 1 0 1 、 1 0 2 、 1 0 3を形成する工程と、 該各画素電極 上に有機化合物からなる発光層 1 0 6 、 1 0 7をパターン形成する工程と、 陰極 1 1 3を形成する工程とを有する有機 E L素子の製造方法であって、 発光層の形 成をイ ンクジエツ ト方式によ り行う ことを特徴とする。
透明基板 1 0 4は、 支持体であると同時に光を取り 出す面と して機能する。 し たがって、 透明基板 1 0 4は、 光の透過特性や熱的安定性等を考慮して選択され る。 透明基板材料と しては、 例えばガラス基板、 透明プラスチック等が挙げられ るが、 耐熱性に優れることからガラス基板が好ましい。
まず、 透明基板 1 0 4上に、 画素電極 1 0 1 、 1 0 2、 1 0 3を形成する。 形 成方法と しては、 例えばフォ ト リ ソグラフィ一、 真空蒸着法、 スパッタ リ ング法、 パイ口ゾル法等が挙げられるが、 フォ ト リ ソグラフィ一によることが好ま しい。 画素電極と しては透明画素電極が好ましく、 透明画素電極を構成する材料と して は、 酸化スズ膜、 I T O膜、 酸化イ ンジウム と酸化亜鉛との複合酸化物膜等が挙 げられる。
次に、 隔壁 （バンク） 1 0 5を形成し、 上記の各透明画素電極間を埋める。 これにより、 コントラス トの向上、 発光材料の混色の防止、 画素と画素との間 からの光洩れ等を防止することができる。
隔壁 1 0 5を構成する材料と しては、 E L材料の溶媒に対し耐久性を有するも のであれば特に限定されず、 例えばアク リル樹脂、 エポキシ樹脂、 感光性ポリイ ミ ド等の有機材料、 液状ガラス等の無機材料等が挙げられる。 また、 隔壁 1 0 5 は、 上記材料にカーボンブラック等を混入してブラック レジス ト と してもよい。 この隔壁 1 0 5 の形成方法と しては、 例えばフォ ト リ ソグラフィ一等が挙げら れる。
さらに、 各画素電極上に、 所定のパターンで有機発光層を形成する。 有機発光 層は 3色設けることが好ましく、 このうち、 少なく とも 1色をインクジェッ ト方 式により形成することが好ましい。
第 1図の実施例では、 画素電極 1 0 1 、 1 0 2の上に、 各々インクジェッ ト方 式により赤色発光層 1 0 6および緑色発光層 1 0 7を形成する。 ここで、 イ ンクジェッ ト方式とは、 発光材料を溶媒に溶解または分散させ吐出 液と してインクジェッ トプリ ント装置 1 0 9のヘッ ド 1 1 0から吐出し、 赤色、 緑色、 青色のような 3原色またはその中間色のうち少なく とも 1色の面素を形成 する二とをいう。
かかるインクジエツ ト方式によれば、 微細なパターニングを簡便にかつ短時間 で行うことができる。 また、 吐出量の増減による膜厚の調整、 またはイ ンクの濃 度調整による発色バランス、 輝度等の発光能を容易かつ自由に制御することがで きる。
なお、 有機発光材料が後述する共役高分子前駆体である場合には、 イ ンクジェ ッ ト方式により各発光材料を吐出してパターニングした後、 加熱または光照射等 によって前駆体成分を共役化 （成膜） し発光層を形成する。
次いで、 第 1図に示すよ うに青色発光層 1 0 8を赤色発光層 1 0 6、 緑色発光 層 1 0 7および画素電極 1 0 3の上に形成する。 これにより、 赤、 緑、 青の 3原 色を形成するのみならず、 赤色発光層 1 0 6および緑色発光層 1 0 7 と隔壁 1 0 5 との段差を埋めて平坦化することができる。
かかる青色発光層 1 0 8 の形成方法と しては特に限定されず、 例えば蒸着法、 湿式法と して一般的な成膜法またはィンクジェッ ト法でも形成可能である。
また、 青色発光層 1 0 8は、 例えばアルミニゥムキノ リ ノール錯体のような電 子注入輸送型材料から構成することができる。 この場合にはキヤリャの注入およ び輸送を促進し、 発光効率を向上させることができる。 さらに、 後述する正孔注 入輸送材料からなる層と積層することにより、 電極からの電子と正孔とをバラン スょく発光層中に注入 · 輸送することができ、 発光効率をより向上させることが できる。
さらに、 正孔注入輸送型材料等と積層する場合、 正孔注入輸送と電子注入輸送 とを別々の材料に分けて担わせることができるため、 各々に材料の最適設計が可 能になる。 かかる電子注入輸送層の形成方法と しては特に限定されず、 例えば蒸 着法、 湿式法と して一般的な成膜法またはィンクジェッ ト法でも形成可能である。 なお、 電子注入輸送層を形成し得る有機化合物と しては、 P B D、 O X D - 8 等のォキサジァゾ一ル誘導体、 D S A、 アルミキノ リ ノール錯体、 B e b q、 ト リアゾール誘導体、 ァゾメチン錯体、 ポルフ ィ ン錯体、 ベンゾオイキジァゾ一ル 錯体等が挙げられ、 これらのうち、 1種または 2種以上を混合も しくは積層して 電子注入輸送層を形成することができる。 また、 上記有機化合物に、 後述する蛍 光色素を ドーピングして電子注入輸送層を形成してもよい。 さらに、 前記電子注 入輸送層が発光機能を担う ものであってもよい。
本実施例のように、 有機発光層のうち 2色をインクジエツ ト方式によ り形成し、 他の 1色を別の方法により形成することによ り、 インクジエツ ト方式にあまり適 さない発色材料であっても、 ィンクジェッ ト方式に用いられる他の有機発光材料 と組合せることによ りフルカラー有機 E L素子を形成することができるため、 設 計の幅が拡がる。
イ ンクジエツ ト方式以外の発光層の形成方法と しては、 例えぱフォ ト リ ソグラ フィ一法、 真空蒸着法、 印刷法、 転写法、 デイ ツビング法、 ス ピンコー ト法、 キ ヤス ト法、 キヤビラリ一法、 ロールコート法、 バーコ一ト法等が挙げられる。 最後に、 陰極 （対向電極） 1 1 3を形成し、 本発明の有機 E L素子が作製され る。 陰極 1 1 3 と しては金属薄膜電極が好ま しく、 陰極を構成する金属と しては、 例えば M g、 A g、 A 1 、 L i等が挙げられる。 また、 これらの他に仕事関数の 小さい材料を用いることができ、 例えばアルカ リ金属や、 C a等のアルカ リ土類 金属およびこれらを含む合金を用いることができる。 このよ うな陰極 1 1 3は蒸 着法およびスパッタ法等により設けることができる。
以上のよ うな工程を経て本発明の有機 E L素子が製造される。 すなわち、 第 1 図に示すよ うに透明基板 1 0 4上に設けられた画素電極 1 0 1および 1 0 2の上 に、 各々イ ンクジェッ ト方式によりパターユングされた有機化合物からなる赤色 発光層 1 0 6、 緑色発光層 1 0 7が形成され、 さらに前記発光層 1 0 6、 1 0 7、 および画素電極 1 0 3の上に青色発光層 1 0 8が真空蒸着法によ り形成されてい る。 そして、 その上に陰極 1 1 3が設けられ、 本発明の有機 E L素子が完成する。 さらに、 第 6図に示すよ うに陰極 4 1 3の上に保護膜 4 1 5が形成されていて もよい。 保護膜 4 1 5を形成することにより 、 陰極 4 1 3および各発光層 4 0 6、 4 0 7、 4 0 8の劣化、 損傷および剥離等を防止することができる。
このよ うな保護膜 4 1 5 の構成材料と しては、 エポキシ樹脂、 ァク リル樹脂、 液状ガラス等が挙げられる。 また、 保護膜 4 1 5の形成方法と しては、 例えばス ビンコ一ティ ング法、 キャスティング法、 デイ ツビング法、 バーコー ト法、 口一 コート法、 キヤビラ リ一法等が挙げられる。
発光層は有機化合物からなるものが好ましく、 高分子有機化合物からなるもの がより好ま しい。 有機化合物からなる発光層を設けることによ り、 低電圧で高輝 度の面発光を可能にすることができる。 また、 発光材料の幅広い選択により E L 発光素子の合理的設計が可能となる。
特に高分子有機化合物は成膜性に優れ、 また高分子有機化合物からなる発光層 の耐久性は極めて良好である。 また、 可視領域の禁止帯幅と比較的高い導電性を 有しており、 なかでも共役系高分子はこのよ うな傾向が顕著である。
有機発光層材料と しては、 高分子有機化合物そのもの、 または加熱等によ り共 役化 （成膜） する共役高分子有機化合物の前駆体等が用いられる。
共役化 （成膜） する前の前駆体を発光材料と して用いる場合には、 イ ンクジェ ッ トの吐出液と して粘度等の調整が容易であり、 精密なパターニングが可能で、 発光層の発光特性や膜性状を容易に制御することができる。
発光層を形成する高分子有機化合物は、 正孔注入輸送型材料であることが好ま しい。 これによ り キヤリャの注入おょぴ輸送を促し、 発光効率を向上させること ができる。
発光層を形成し得る有機化合物と しては、 例えば P P V (ポリ （パラーフエ二 レンビニ レン） ） またはその誘導体、 P T V (ポリ （2， 5-チェ二 レンビニレ ン） ） 等のポリ アルキルチオフェン、 P F V (ポリ （2, 5-フ リ レンビニレン） ） 、 ポリ パラ フエ二レン、 ポリ アルキルフルオレン等のポリ ア リ レンビニレン、 ビラ ゾリ ンダイマ一、 キノ リ ジンカルボン酸、 ベンゾピリ リ ウムパ一ク ロ レー ト、 ベ ンゾピラ ノキノ リ ジン、 ルブレン、 フヱナン ト 口 リ ンユウ口 ピウム錯体等が挙げ られ、 これらを 1種または 2種以上を混合して用いることができる。
これらのなかでも共役高分子有機化合物である P P Vまたはその誘導体が好ま しい。 P P Vまたはその誘導体の共役化 （成膜） 前の前駆体は、 水あるいは有機 溶媒に可溶であり、 インクジェッ ト方式によるパターン形成に適している。 また、 高分子であるため光学的にも高品質で耐久性に優れた薄膜を得ることができる。 さらに、 P P Vまたはその誘導体は強い蛍光を持ち、 二重結合の π電子がポリマ —鎖上で非極在化している導電性高分子でもあるため Ρ Ρ Vの薄膜は正孔注入輸 送層と しても機能し、 高性能の有機 E L素子を得ることができる。
さらに、 高分子有機発光層材料を用いる場合の有機 E L素子用組成物は、 少な く とも 1種の蛍光色素を含むことも可能である。 これによ り、 発光層の発光特性 を変化させることができ、 例えば、 発光層の発光効率の向上、 または光吸収極大 波長 （発光色） を変える手段と して有効である。
すなわち、 蛍光色素は単に発光層材料と してではなく、 発光機能そのものを担 う色素材料と して利用することができる。 例えば、 Ρ Ρ V等のよ うな共役系高分 子有機化合物分子上のキヤリア再結合で生成したエキシトンのエネルギーをほと んど蛍光色素分子上に移すことができる。 この場合、 発光は蛍光量子効率が高い 蛍光色素分子からのみ起こるため、 E L素子の電流量子効率も増加する。 したが つて、 有機 E L素子用組成物中に蛍光色素を加えることにより、 同時に発光層の 発光スぺク トルも蛍光分子のものとなるので、 発光色を変えるための手段と して も有効となる。
なお、 ここでいう電流量子効率とは、 発光機能に基づいて発光性能を考察する ための尺度であって、 下記式により定義される。
V =放出されるフォ トンのエネルギーノ入力電気エネルギー
そして、 蛍光色素の ド一プによる光吸収極大波長の変換によって、 例えば赤、 青、 緑の 3原色を発光させることができ、 その結果フルカラ一表示装置を得るこ とが可能となる。
さらに蛍光色素を ドーピングすることによ り、 E L素子の発光効率を大幅に向 上させることができる。
赤色発光層に用いられる蛍光色素と しては、 レーザ一色素の D C Mあるいは口 —ダミ ンまたはローダミ ン誘導体、 ペリ レン等を用いることができる。 これらの 蛍光色素は、 低分子であるため溶媒に可溶であり、 また Ρ Ρ V等と相溶性がよく、 均一で安定した発光層の形成が容易である。 ローダミ ン誘導体蛍光色素と しては、 例えばローダミ ン Β、 ローダミ ン Βベース、 ローダミ ン 6 G、 ローダミ ン 1 0 1 過塩素酸塩等が挙げられ、 これらを 2種以上混合したものであってもよい。 また、 緑色発光層に用いられる蛍光色素と しては、 キナク リ ドン、 ルブレン、
D C J Tおよびそれらの誘導体が挙げられる。 これらの蛍光色素は上記赤色蛍光 色素と同様、 低分子であるため溶媒に可溶であり、 また P P V等と相溶性がよく 発光層の形成が容易である。
青色発光層に用いられる蛍光色素と しては、 ジスチリルビフエニルおよびその 誘導体が挙げられる。 これらの蛍光色素は上記赤色蛍光色素と同様、 水溶液に可 溶であり 、 また P P V等と相溶性がよく発光層の形成が容易である。
また、 他に青色発光層に用いられる蛍光色素と しては、 クマ リ ンおよびタマリ ンー 1、 クマリ ン一 6、 クマリ ン一 7、 クマ リ ン 1 2 0、 クマ リ ン 1 3 8、 クマ リ ン 1 5 2、 クマ リ ン 1 5 3、 クマ リ ン 3 1 1、 クマ リ ン 3 1 4、 クマ リ ン 3 3 4、 クマ リ ン 3 3 7、 クマ リ ン 3 4 3等のクマ リ ン誘導体が挙げられる。
さらに別の青色発光層に用いられる発光材料と しては、 テ トラフェニルブタジ ェン （T P B) または T P B锈導体、 D P V B i 等が挙げられる。 これらの発光 材料もまた上記赤色蛍光色素等と同様、 低分子であるため溶媒に可溶であり、 ま た P P V等と相溶性がよく発光層の形成が容易である。
以上のよ うな蛍光色素および発光材料は、 1種または 2種以上を混合して用い ることができる。
本発明の有機 E L素子の製造方法において使用されるィンク ジェッ ト用へッ ド の構造を第 1 0図および第 1 1図に示す。
当該イ ンクジエ ツ ト用へッ ド 1 0は、 例えばステンレス製のノズルプレー ト 1 1 と振動板 1 3 とを備え、 両者は仕切部材 （リザーバプレー ト） 1 5を介して接 合されている。
ノズルプレート 1 1 と振動板 1 3 との間には、 仕切部材 1 5によって複数の空 間 1 9 と液溜り 2 1 とが形成されている。 各空間 1 9および液溜り 2 1の内部は 本発明の組成物で満たされており、 各空間 1 9 と液溜り 2 1 とは供給口 2 3を介 して連通している。
さらに、 ノズルプレー ト 1 1には、 空間 1 9から組成物をジヱッ ト状に噴射す るためのノズル孔 2 5が設けられている。 一方、 振動板 1 3には、 液溜り 2 1に 組成物を供給するための孔 2 7が形成されている。 また、 振動板 1 3の空間 1 9に対向する面と反対側の面上には、 前記空間 1 9 の位置に対応させて圧電素子 2 9が接合されている。
この圧電素子 2 9は 1対の電極 3 1の間に位置し、 通電すると圧電素子 2 9が 外側に突出するよ うに撓曲し、 同時に圧電素子 2 9が接合している振動板 1 3も 一体となって外側に撓曲する。 これによつて空間 1 9の容積が増大する。 したが つて、 空間 1 9内に増大した容積分に相当する組成物が液溜り 2 1から供給口 2 3を介して流入する。
次に、 圧電素子 2 9への通電を解除すると、 該圧電素子 2 9 と振動板 1 3はと もに元の形状に戻る。 これにより空間 1 9も元の容積に戻るため空間 1 9内部の 組成物の圧力が上昇し、 ノ ズル孔 2 5から基板に向けて組成物が噴出する。 なお、 ノ ズル孔 2 5の周辺部には、 組成物の飛行曲がり ' 孔詰ま り を防止する ために撥水層 2 6が設けられている。
すなわち、 ノズル孔 2 5の周辺部は、 第 1 1図に示すように例えば N i —テ ト ラフルォロエチレン共析メ ツキ層からなる撥水層 2 6が設けられている。
このよ うなへッ ドを用いて、 例えば赤 · 青 · 緑の 3原色に対応する組成物を所 定のパターンで吐出することにより各有機発光層を設け、 画素を形成することが できる。
本発明の有機 E L素子の製造方法において、 インクジエツ ト方式に用いられる 有機発光材料組成物は、 以下のような特性を有するものを用いることができる。 前記組成物は、 イ ンクジエツ ト用へッ ドに設けられた該組成物を吐出するノズ ルのノズル面 2 5 1 を構成する材料に対する接触角が 3 0 ° 〜 1 7 0 ° であるこ とが好ま しく、 3 5 ° 〜 6 5 ° がよ り好ましい。 組成物がこの範囲の接触角を有 することにより組成物の飛行曲がり を抑制することができ、 精密なパターニング が可能となる。
すなわち、 この接触角が 3 0 ° 未満である場合、 組成物のノ ズル面の構成材料 に対する濡れ性が増大するため、 組成物を吐出する際、 組成物がノズル孔の周囲 に非対称に付着することがある。 この場合、 ノズル孔に付着した組成物と吐出し よう とする付着物との相互間に引力が働くため、 組成物は不均一な力によ り吐出 されることになり 目標位置に到達できない所謂飛行曲がりが生じ、 また飛行曲が り頻度も高くなる。 また、 1 7 0 ° を超えると、 組成物とノズル孔との相互作用 が極小となり、 ノズル先端でのメニスカスの形状が安定しないため組成物の吐出 量、 吐出タイ ミ ングの制御が困難になる。
ここで飛行曲がり とは、 組成物を前記ノズルから吐出させたとき、 ドッ トの着 弾した位置が、 目標位置に対し 5 0 μ m以上のずれを生じることをいう。 また、 飛行曲がり頻度とは、 周波数 7 2 0 O H zで連続吐出したとき上記の飛行曲がり が生じるまでの時間をいう。 飛行曲がりは、 主にノズル孔の濡れ性が不均一であ る場合や組成物の固型成分の付着による目詰り等によって発生し、 ヘッ ドをク リ —ニングすることにより解消することができる。 この飛行曲がり頻度が高いほど 頻繁なへッ ドク リ一エングが必要となり、 インクジェッ ト方式による E L素子の 製造効率を低下させる組成物であるといえる。 実用レベルでは飛行曲がり頻度は 1 0 0 0秒以上であることが必要である。
このよ うな飛行曲がりが防止されることによ り、 高精細なパターニングも可能 であり、 しかも精度よく行うことができる。
また、 前記組成物の粘度は 1 cP〜 2 0 cpであることが好ましく、 2 cp〜 4 cpで あることがよ り好ましい。 組成物の粘度が 1 cp未満である場合、 前記前駆体およ び蛍光色素の材料中の含有量が過小となり、 形成された発光層が十分な発色能を 発揮し得なくなる。 一方、 2 0 cpを超える場合、 ノズル孔から組成物を円滑に吐 出させることができず、 ノ ズル孔径を大きくする等の装置の仕様を変更しない限 りパターニングが困難となる。 さらに、 粘度が大きい場合、 組成物中の固型分が 析出し易く、 ノズル孔の目詰りの発生頻度が高くなる。
また、 前記組成物は表面張力が 2 0 dyn eZ cm〜 7 0 dyn e / cmであることが好ま しく、 2 5 dyn e/ cn！〜 4 0 dyn eZ cmがよ り好ましい。 この範囲の表面張力にする ことによ り、 上述した接触角の場合と同様、 飛行曲がりを抑制し、 飛行曲がり頻 度を低く抑えることができる。 表面張力が 2 0 d yn eZ cm未満であると、 組成物の ノズル面の構成材料に対する濡れ性が増大するため、 上記接触角の場合と同様飛 行曲がりが生じ、 飛行曲がり頻度が高くなる。 また、 7 0 dyn e / cmを超えるとノ ズル先端でのメニスカス形状が安定しないため、 組成物の吐出量、 吐出タイ ミ ン グの制御が困難になる。 また、 本発明の有機 E L素子の製造方法に適する有機発色材料組成物は、 上述 した接触角、 粘度および表面張力について少なく とも 1つについて数値範囲を満 足するものであればよく、 2以上の任意の組合せの特性について条件を満足する もの、 さらにはすべての特性について満足するものがさらに好ましい。
第 2図は、 本発明の有機 E L素子の製造方法の第 2実施例を示す図である。 本実施例では、 第 1実施例と同様に透明基材 2 0 4上に画素電極 2 0 1 、 2 0 2、 2 0 3、 および隔壁 2 0 5を設けた後、 イ ンクジェッ ト方式により赤色発光 層 2 0 6、 緑色発光層 2 0 7を設ける。
画素電極 2 0 3上に正孔注入輸送層 2 0 8を設け、 その上に青色発光層 2 1 0 を積層する点で上記第 1実施例と相異なる。 このよ うに正孔注入輸送層 2 0 8を 積層することによ り、 前述したよ うに電極からの正孔の注入、 輸送を促し、 発光 効率を向上させることができる。
このよ う に、 本発明の有機 E L素子の製造方法においては、 少なく と も 1色の 発光層と正孔注入輸送層とを積層することが好ましい。 これによ り、 発光効率を 向上させることができ、 さらに、 薄膜素子自体の安定性をよ り向上させることが できる。
なお、 積層された発光層と正孔注入輸送層との界面付近において、 両層に含ま れる材料の一部が、 相互に他層側へ含浸 · 拡散した状態で存在してもよい。
正孔注入輸送層 2 0 8は発色しない層であることが好ましい。 これによつて青 色発光層 2 1 0の画素電極 2 0 3上を発光部とすることができ、 フルカラーの有 機 E L素子をより容易に作製することができる。
かかる正孔注入輸送層 2 0 8の形成方法は特に限定されないが、 例えばイ ンク ジェッ ト方式によ り形成することができる。 これによ り、 該正孔注入輸送層 2 0 8を精度良く所定のパターンで配置することができる。
正孔注入輸送層 2 0 8の構成材料と しては、 例えば、 T P D等の芳香族ジァミ ン系化合物、 M T D A T A、 キナタ リ ドン、 ビススチルアン ト ラセン誘導体、 P V K (ポリ ビニルカルバゾ一ル） 、 銅フタロシアニン等のフタ ロ シアニン系錯体、 ポルフィ ン系化合物、 N P D、 T A D、 ポリア二リ ン等が挙げられるが、 なかで も P V Kが好ましい。 P V Kを用いることにより発色しない正孔注入輸送層を形 成することができる。
さらに、 上記実施例 1 と同様に青色発光層 2 1 0、 陰極 2 1 1 を形成すること により本発明の有機 E L素子を得ることができる。 青色発光層 2 1 0、 陰極 2 1 1の構成材料、 および形成方法は上記実施例と同様である。
第 3図は、 本発明の有機 E L素子の製造方法の第 3実施例を示す図である。 本実施例では、 第 1実施例と同様に透明基材 3 0 4上に画素電極 3 0 1 、 3 0 2、 3 0 3、 および隔壁 3 0 5を設けた後、 インクジエツ ト方式によ り赤色発光 層 3 0 6、 緑色発光層 3 0 7を設ける。
次に、 正孔注入輸送層 3 0 8を赤色発光層 3 0 6、 緑色発光層 3 0 7および画 素電極 3 0 3上の全面に設ける。 このよ うに正孔注入輸送層 3 0 8 と発光層 3 0 6および 3 0 7 とを積層することによ り、 前述したよ うに電極からの正孔の注入、 輸送を促し、 発光効率を向上させることができる。
また、 上記と同様の理由により正孔注入輸送層 3 0 8 と しては、 発色しない層 を設けることが好ましい。
かかる正孔注入輸送層 3 0 8 の形成方法は特に限定されず、 例えばィンクジェ ッ ト方式、 真空蒸着法、 デイ ツビング法、 スピンコー ト法、 キャス ト法、 キヤピ ラリー法、 ロールコ一ト法、 バ一コート法等が挙げられる。 本実施例では真空蒸 着法によ り形成することができる。 なお正孔注入輸送層の構成材料と しては、 上 記第 2実施例と同様のものを用いることができる。
さらに、 正孔注入輸送層 3 0 8 の上に青色発光層 3 0 9、 陰極 3 1 1 を形成す ることによ り本発明の有機 E L素子を得ることができる。 陰極 3 1 1の構成材料、 および形成方法は上記実施例と同様である。
第 4図は、 本発明の有機 E L素子の製造方法の第 4実施例を示す図である。 本実施例においては、 第 1実施例と同様に透明基材 8 0 4の上に画素電極 8 0 1 、 8 0 2 、 8 0 3、 および隔壁 8 0 5を設けた後、 インクジェッ ト方式により 画素電極 8 0 1 、 8 0 2 、 8 0 3上に発光層 8 0 6 、 8 0 7 、 8 0 8を各々イ ン クジェッ ト方式によ りパターン形成する。 これにより 、 例えば各発光層材料の吐 出量、 吐出回数、 形成パターンを容易かつ簡便に調整することができ、 各発光層 の発光特性、 膜厚等の膜性状を容易に制御することができる。 さらに、 各発光層 8 0 6、 8 0 7、 8 0 8 の上に電子注入輸送層 8 1 1 を形成 する。 電子注入輸送層 8 1 1は陰極からの電子の注入を容易にし、 また陰極から 発光部分を遠ざけることにより電極消光を防ぎ、 陰極とのよ り良いコ ンタク トを 形成することに寄与する。 電子注入輸送層 8 1 1 と してはドーピングしていない アルミニウムキノ リ ノール錯体を用いることができる。 かかる電子注入輪送層 8 1 1は真空蒸着法により形成することができる。
なお、 電子注入輸送層 8 1 1 の形成方法はこれに限定されず、 例えばイ ンクジ ヱッ ト方式、 真空蒸着法、 デイ ツビング法、 スピンコート法、 キャス ト法、 キヤ ビラリ一法、 ロールコー ト法、 バーコート法等であってもよい，
さらに、 その上に陰極 8 1 3を形成することによ り本発明の有機 E L素子が得 られる。 陰極 8 1 3の構成材料、 および形成方法は上記実施例と同様である。 第 5図は、 本発明の有機 E L素子の製造方法の第 5実施例を示す図である。 本実施例では、 まず第 1実施例と同様に、 透明基材 8 0 4上に画素電極 8 0 1、 8 0 2、 8 0 3を設ける。 その上全面に例えば P V Kからなる正孔注入輸送星 8 1 5を例えばスビンコ一ト法により形成する。 このよ うに正孔注入輸送層 8 1 5 をパターニングすることなくベタ付けで成膜できるため製造効率が向上する。 なお、 正孔注入輸送層 8 1 5の形成方法はこれに限定されず、 例えばイ ンクジ エツ ト方式、 真空蒸着法、 デイ ツビング法、 ス ピンコー ト法、 キャス ト法、 キヤ ビラリ一法、 ロールコート法、 バーコート法等であってもよい。
また、 上記と同様の理由により、 正孔注入輸送層 8 1 5は発色しない層である ことが好ま しい。
さらに、 正孔注入輸送層 8 1 5の上に、 発光層 8 0 6、 8 0 7、 8 0 8を形成 する。 このうち少なく ともいずれか 1色の発光層はインクジヱッ トプリ ント装置 8 0 9によるインクジェッ ト法によ りパターン形成されることが好ましい。
そして、 発光層の上に陰極 8 1 3を形成することにより、 本発明の有機 E L素 子が得られる。 陰極 8 1 3 の構成材料、 および形成方法は上記実施例と同様であ る。
なお、 本実施例の製造方法においては、 隔壁を設けないが、 本発明の有機 E L 素子の製造方法によれば、 R、 G、 Bの塗り分けを精度よく行う ことができ、 製 造効率の向上を図ることができる。 上述の実施例と同様に隔壁を設けて各画素を 形成するものであってもよレ、。
本発明の有機 E L素子は、 以上のような製造方法により製造することができる が、 これに限定されるものではなく、 例えば次のような構成とすること もできる。 第 1 5図は、 本発明の有機 E L素子の他の一例を示す部分断面図である。
本実施例の有機 E L素子は、 透明基板 6 1 の上に、 反射層 6 2、 透明導電性膜 ( I T O膜） 6 3、 正孔注入輸送層 6 4、 有機発光層 6 5、 金属層 6 6、 透明導 電性膜 （ I T O膜） 6 7が順次積層された構成である。 各層の材料、 形成方法に ついて上記の各実施例と同様の事項については説明を省略し、 相違点のみについ て説明する。
本実施例の有機 E L素子は、 透明基板 6 1 に直接 A 1 等の金属薄膜からなる反 射層 6 2が設けられている。
また、 陰極と して発光層 6 5の上に積層された金属層 6 6は、 極めて薄く （ 1 0〜 5 0 A程度） 、 そのために光透過性を有し、 発光層 6 5からの発色光を透過 する。 一方、 極めて薄いことから抵抗値が高く導電性が不十分であり、 陰極と し ての機能を+分に発揮し得ないため、 金属層 6 6上には透明導電性膜 （ I T O 膜） 6 7が積層されている。 なお、 このような金属層 6 6は、 例えば A 1 - L i 合金等から構成され、 蒸着法、 スパッタ法等によ り形成することができる。
このよ うな構成とすることにより、 電極から注入された電流が発光層 6 5中で 変換した光は、 図中、 矢印方向に透過する。 したがって、 透明基板 6 1 を介する ことなく光を取り 出すことができるため、 よ り高輝度の表示が可能となる。
第 7図は、 本発明の有機 E L表示装置の一例を表す図である。
本実施例では、 ガラス板 5 0 1上に A 1 製のバスライン （ゲー ト線） 5 1 1 を フォ ト リ ソパターニングにより設け、 その上に図示しない薄膜トランジスタを形 成し、 5 0 4等の I T O透明画素電極を形成する。 その後、 実施例 1 と同様にし て発光層 5 0 2 (赤） 、 5 0 3 (緑） をインクジェッ ト方式によ り形成し、 青色 発光層 5 0 5を真空蒸着法により形成する。 次に、 陰極 5 0 6を真空蒸着法によ り設け、 前述の第 1実施例と同様の有機 E L素子を作製する。
さらに、 保護基材 5 0 7 を透明基板 5 0 1 に周辺シール 5 0 9を介して固定す るよ うに貼り合わせる。
次に、 これをアルゴンガス等のよ うな不活性ガス雰囲気中で、 封孔 5 1 3から 不活性ガス 5 1 2を導入し、 最後に封孔 5 1 3を封孔材 5 0 8でシールする。 不 活性ガス 5 1 2を封入しシールすることによ り、 水分等の外部からの汚染や環境 変化から有機 E L素子を防護することができ、 有機 E L表示装置の発光特性を維 持することができる。 封孔材 5 0 8は、 不活性ガス 5 1 2を透過しない材料で構 成されていることが好ましい。
銀ペース ト 5 1 0は、 陰極 5 0 6 とゲー ト線 5 1 1 とのコ ンタク トを素子上で 実現する機能を有する。
ゲート線 5 1 1 は、 表示画素の選択のために該表示画素毎に設けられた T F T のオン · オフを行単位で制御する役割を果たす。 書き込み時には、 1 つの行のゲ —ト線 5 1 1の電位を選択レベルにし、 この行の T F Tを導通状態にする。 この とき、 各列のソース電極配線 （図示せず） から対応する画素の映像信号電圧を供 給すれば、 映像信号電圧は T F Tを通って画素電極に到達し、 信号電圧レベルに まで画素に溜まつた電荷を充電または放電することができる。
第 8図は、 本発明の有機 E L素子を用いたアクティブマ ト リ ックス型有機 E L 表示装置の一例を示す図である。 実施例の有機 E L表示装置は、 マ ト リ クス状に 配置され、 かつ各々が R、 G、 Bの発光部からなる複数の発光画素からなる画像 表示配列を有するものである。
この図に示すよ うに、 基板 （図示せず） 上に、 互いに直交する位置に配列され た信号線 （信号電極） 6 0 1 とゲー ト線 （ゲー ト電極） 6 0 2 とが設けられ、 さ らに画素ごとに信号線 6 0 1 とゲー ト線 6 0 2に接続された薄膜トランジスタ ( T F T ) 6 0 4 と、 該 T F T 6 0 4上に接続された有機 E L素子からなる発光 層 6 0 5 、 6 0 6が積層される。 なお、 有機発光層のうち、 少なく とも 1色はィ ンクジエツ ト方式によ り形成される。
第 9図は、 本発明のアクティブマ ト リ クス型有機 E L表示装置の製造方法の一 例を示す断面図である。
まず、 透明基板 9 0 4上に所定の薄膜トラ ンジスタ 9 1 5および図示しないゲ ー ト線、 信号線等を形成する。 次に、 該薄膜トラ ンジスタ 9 1 5等所定の機能素 子を備えた各画素電極 （ Ι Τ Ο ) 9 0 1 、 9 0 2 、 9 0 3の上に、 個々の画素電 極を覆う よ うに正孔注入輸送層 9 1 1 を形成する。 正孔注入輸送型材料は、 上記 実施例と同様のものを使用することができる。 また、 正孔注入輸送層 9 1 1の形 成方法は特に限定されず、 上記のいずれの方法で形成されてもよい。
さらに、 各発光層 9 0 6 (赤） 、 9 0 7 (緑） 、 9 0 8 (青） をパターニング 形成する。 発光層の形成は、 少なく とも 1色をイ ンクジエツ トプリ ント装置 9 1 0を用いたインクジヱッ ト方式によ り形成したものであればよい。
最後に反射電極 9 1 3を形成し、 本発明の有機 E L表示装置が作製される。 反 射電極 9 1 3 と しては、 例えば厚さ 0 . 1 〜 0 . 2 μ m程度の M g — A g電極等 が形成される。
本発明のァクティブマ ト リ クス型有機 E L表示装置の上記実施例では、 スィ ッ チング素子と して薄膜トランジスタが用いられているが、 これに限定されるもの ではなく 、 他の種類のスイ ッチング素子、 二端子素子、 例えば M I M等のスイ ツ チング素子を用いることも可能である。 さらにパッシブ駆動、 スタティ ック駆動 (静止画、 セグメ ン ト表示） も可能である。
また、 1画素につきスイ ッチング素子は 1つに限られず、 1画素に複数のスィ ツチング素子を備えるものであってもよい。
第 1 2図に、 1画素にスイ ッチング素子を複数個有する有機 E L表示装置の一 例を示す。 ここで、 スイ ッチング薄膜トランジスタ 1 4 2は、 走査電極 1 3 1の 電位に応じて信号電極 1 3 2の電位を力レン ト薄膜トランジスタ 1 4 3に伝達し、 カレン ト薄膜トランジスタ 1 4 3は、 共通電極 1 3 3 と画素電極 1 4 1 との導通 を制御する役割を果たしている。
次に、 本発明の有機 E L素子を用いたパッシブマ ト リ クス （単純マ ト リ クス） 型有機 E L表示装置の一例を図に基づいて説明する。
第 1 3図は、 本発明の有機 E L表示装置の概略部分拡大断面図である。
図に示すように、 本実施例の有機 E L表示装置は、 有機 E L素子を製造する際 に、 短冊状に形成された走査電極 5 3 と信号電極 5 4 とが、 有機 E L素子 5 2を 介して互いに直交するよう配置されている。
このよ うなパッシブマ ト リ クス型の駆動は、 パルス的に走査電極 5 3を順番に 選択し、 その走査電極 5 3を選択する際、 各画素に対応する信号電極 5 4を選ん で電圧を印加することによ り行われる。 そのような選択はコン トローラ 5 5によ り制御される。
なお、 パッシブ駆動型の場合には、 力ソー ド （陰極） がパターニングされ、 各 ライ ンごとにセパレー ト していることが必要である。 例えば、 本発明の第 3実施 例において、 厚さ 0. 2 μ m程度の薄い陰極を形成する場合、 かかる陰極は、 隔 壁によ り寸断されて自然にパターン形成された状態となる。
陰極は、 例えばマスク蒸着法、 レーザーカッティング法によ りパターン形成さ れる。
第 1 4図に走査電極 1 3および信号電極 1 4に印加される電圧の駆動波形の一 例を示す。 図に示す駆動波形において、 選択された画素には発光するのに十分な 電圧 V s を印加する。 また、 表示する階調に合わせたパルス幅の波形により、 画 素の表示濃度を制御する。 一方、 選択されない画素には発光閾値電圧以下の電圧 V nを印加する。
第 1 4図において、 T f は 1操作時間を示している。 ここではデューティ一比 1 / 1 0 0で駆動する。 なお、 上記第 4実施例の有機 E L素子からなる有機 E L 表示装置の青色発光層 8 0 8の発光は、 駆動電圧 2 0 Vで 1 0 0 cdZnfの明るさ であった。
(実施例）
[有機 E L素子の作製]
(実施例 1 )
第 1図に示すよ うに、 ガラス基板 1 0 4上に I TO透明画素電極 1 0 1、 1 0 2、 および 1 0 3をフォ ト リ ソグラフィ一によ り、 Ι Ο Ο μ πιピッチ、 0. 1 μ m厚のパターンを形成する。
次に、 I T O透明画素電極間を埋め、 光遮断層とインク垂れ防止用壁とを兼ね た隔壁 1 0 5をフォ ト リ ソグラフィ一により形成する。 隔壁 1 0 5は幅 2 0 μ m , 厚さ 2. Ο μ ιηと した。
さらに、 インクジェッ トプリ ント用装置 1 0 9のヘッ ド 1 1 0から表 1および 表 2に示す赤色、 緑色の各発光材料をパターニングした後、 窒素雰囲気下で 1 5 Οΐ：、 4時間加熱処理し、 組成物中の前駆体を高分子化させることによ り各発光 層 1 0 6 (赤） 、 1 0 7 (緑） を形成した。
次に、 ド一パントと してペリ レン縮合芳香族を添加したアルミニウムキノ リ ノ —ル錯体を真空蒸着することにより 0. 1 / mの電子注入輸送層型の青色発光層 1 08を形成した。
最後に、 陰極と して厚さ 0. 8 μ πιの M g — A g電極 1 1 3を蒸着法により形 成し、 有機 E L素子を作製した。
(実施例 2 )
実施例 1 と同様にして、 第 2図に示すようにガラス基板 2 0 4上に I T O透明 画素電極 2 0 1、 2 0 2、 および 2 0 3を形成し、 I T O透明画素電極間を埋め、 光遮断層とインク垂れ防止用壁とを兼ねた感光性ポリイ ミ ドの レジス ト （隔壁） 2 0 5を形成した。
さらに、 実施例 1 と同様にイ ンクジエツ トプリ ント用装置 2 0 9を用いて表 1 および表 2に示す赤色、 緑色の各発光材料をパターニング塗布した後、 窒素雰囲 気下で 1 5 0 °C、 4時間加熱処理し、 組成物中の前駆体を高分子化させることに より各発光層 2 0 6 (赤） 、 2 0 7 (緑） を形成した。
次に、 透明画素電極 2 0 3上に上記イ ンクジエツ トプリ ン ト用装置 2 0 9を用 いてポリ ビニルカルバゾ一ル （ P V K) からなる'正孔注入輸送層をパターン形成 した。 その上からビラゾリ ンダイマ一を塗布し青色発光層 2 1 0を形成した。 最後に、 陰極と して厚さ 0. 8 μ ιηの A 1 — L i電極 2 1 1 を蒸着法により形 成し、 有機 E L素子を作製した。
(実施例 3 )
まず実施例 1 と同様にして、 第 4図に示すよ うにガラス基板 8 0 4上に各 I T O透明画素電極 8 0 1、 8 0 2、 8 0 3および隔壁 8 0 5を形成した。
次に、 表 1および表 2に示す発光材料に有機正孔注入輸送型材料を混合し、 ィ ンクジェッ トプリ ント用装置 8 0 9を用いて各発光層 8 0 6 (赤） 、 8 0 7 (緑） 、 8 0 8 (青） を形成した。
次に、 ドーピングしていないアルミニウムキノ リ ノ一ル錯体を真空蒸着するこ とにより 0. 1 μ mの電子注入輸送層 8 1 1 を形成した。
最後に、 陰極と して厚さ 0. 2 111の 1 ー し 1電極 8 1 3を蒸着法にょり形 成し、 有機 E L素子を作製した。
(実施例 4 )
実施例 1 と同様にして、 第 3図に示すようにガラス基板 3 0 4上に各 I TO透 明画素電極 3 0 1、 3 0 2、 3 0 3および隔壁 3 0 4を形成した。
次に、 実施例 1 と同様にインクジ工ッ トプリ ント用装置 3 1 0を用いて表 1お よび表 2に示す赤色、 緑色の各発光材料をパターニング塗布した後、 窒素雰囲気 下で 1 5 0 °C、 4時間加熱処理し、 組成物中の前駆体を高分子化させることによ り各発光層 3 0 6 (赤） 、 3 0 7 (緑） を形成した。
発光層 3 0 6、 3 0 7および透明画素電極 3 0 3の上全面にポリ ビニルカルバ ゾ一ル （ P VK) からなる正孔注入輸送層 3 0 8を塗布法によ り形成した。 この後、 正孔注入輸送層 3 0 8上にジスチリル誘導体による青色発光層 3 0 9 を真空蒸着法によ り設けた。
最後に、 陰極と して厚さ 0. 8 1!1の 1 _し 〖電極 3 1 1 を蒸着法にょり形 成し、 有機 E L素子を作製した。 このとき、 陰極 3 1 1は前述のよ うに隔壁 3 0 4により 自然に寸断 ' 絶縁され、 各画素電極 3 0 1、 3 0 2、 3 0 3にしたがい パターニングされた状態となる。
(実施例 5 )
まず実施例 1 と同様にして、 第 4図に示すようにガラス基板 8 0 4上に各 I T O透明画素電極 8 0 1、 8 0 2、 8 0 3および隔壁 8 0 5を形成した。
さらに、 インクジェッ トプリ ント用装置 8 0 9を用いて表 1および表 2に示す 高分子有機発光材料を吐出することにより各色発光材料をパターニング塗布した 後、 窒素雰囲気下で 1 5 0 °C、 4時間加熱処理し、 組成物中の前駆体を高分子化 させることによ り赤色、 緑色、 青色を発色する各発光層 8 0 6 (赤） 、 8 0 7 (緑） 、 8 0 8 (青） を形成した。
次に、 ドーピングしていないアルミニウムキノ リ ノ一ル錯体を真空蒸着するこ とによ り 0. 1 ju mの電子輸送層 8 1 1を形成した。
最後に、 陰極と して厚さ 0. 8 μ πιの A 1 — L i電極 8 1 2を蒸着法によ り形 成し有機 E L素子を作製した。
2 . 発光層の発光特性および膜特性の評価
前述の実施例 1〜 5で作製した有機 E L素子の発光層の発光特性および膜特性 について下記の方法によ り評価をした。
①発光開始電圧
所定の電圧を素子に印加し、 l c d _ m 2 の発光輝度を観測したときの印加電圧を 発光開始電圧 [ V ,h] と した。
②発光寿命
安定化処理後の初期輝度を 1 0 0 %と し、 標準波形で一定の電流を印加して連 続的に発光させ、 輝度の変化を測定し、 初期輝度に対し 5 0 %に低下するまでの 時間を発光寿命とする。
なお、 駆動条件は、 室温 ： 4 0 °C、 湿度 ： 2 3 %、 電流値 ： 2 O mA/ cm2である。
③発光輝度
電流値を 2 O mA/cm2と したときの輝度を観測した。
④吸収極大波長
各発光層の吸収極大波長を測定した。
⑤成膜安定性
発光層を 2 0 0でで 6 0分間加熱した後、 発光層のクラックや変形等欠陥の発 生状況を顕微鏡で観察した。
評価は次のように行った。
© · · · 非常に良好
〇 . . . 良好
X · · · 不良
これらの結果を表 3およぴ表 4に示す。
表 3、 表 4に示すように、 実施例 1 〜 5はいずれも各発光層の発光特性および 発光層の膜性状に優れたものであった。 特に、 発光層が高分子有機化合物からな る場合には各発光層中に欠陥が全く観察されず、 非常に良好な薄膜を形成した。 以上、 本発明の有機 E L素子用組成物および有機 E L素子の製造方法について、 図示の各実施例にしたがって説明したが、 本発明はこれらに限定されるものでは なく、 例えば各層の間に任意の機能性中間層を設ける工程があってもよい。 また、 発光特性を変化させるために添加される蛍光色素はこれらに限られるものではな レゝ
さらに、 各層間にバッファ一層と して、 例えば 1，2，4-ト リァゾ一ル誘導体 （T A Z ) からなる層を設けることもでき、 これにより発光輝度および発光寿命等を よ り向上させることができる。
また、 本発明の有機 E L素子の製造方法は、 E L材料が付着し易いよ うに、 樹 脂レジス ト、 画素電極および下層となる層の表面に対し、 プラズマ、 U V処理、 カップリ ング等の表面処理を行う工程を有するものであってもよい。 さ らに、 本 発明の有機 E L素子の製造方法を無機 E L素子の製造方法に応用することも可能 である。
そして、 本発明の有機 E L表示装置は、 セグメ ン ト表示や全面同時発光の静止 画表示、 例えば絵、 文字、 ラベル等といったローイ ンフォメーショ ン分野への応 用、 または点 · 線 · 面形状をもった光源と しても利用することができる。 産業上の利用可能性
以上述べたように、 本発明の有機 E L素子の製造方法によれば、 発光材料の幅 広い選択により E L発光素子の合理的設計が可能となる。 例えば、 発光材料と蛍 光色素との組合せ等によ り種々の表示光を得ることができる。
また、 有機発光材料を用いることによ り高輝度 · 長寿命で多種多様な E L素子 設計を展開することができる。
そして、 少なく とも 1色の有機発光層、 正孔注入輸送層および電子注入輸送層 をイ ンクジエツ ト方式によ りパターン形成および配列することにより、 発光素子 のサイズやパターンも任意かつ精密に設定することが可能となる。
発光材料と して加熱硬化させることにより共役化 （成膜） する前駆体を使用す る場合、 粘度等の条件設定の自由度が大きく 、 インクジェッ ト用の吐出液と して 適した条件に調製することが容易である。
さらに、 本発明の有機 E L素子の製造方法によれば、 膜厚、 ドッ ト数等の条件 を任意に調整可能であるため発光層の発光特性を容易に制御することができる。 また、 ィンクジェッ ト方式によれば、 へッ ドを透明基板上に自由に動かすこと ができるので、 基板サイズを限定せず、 任意の大きさの素子を形成することがで きる。 さ らに、 必要な場所に必要な分量だけ材料を配置することができるので、 廃液等の無駄を極力排除することができる。 これによ り、 安価で大画面のフル力 ラー表示装置の製造が可能となる。
発 光 層
IS
赤 緑 青
発光材料 CN - PPV前駆体 PPV前駆体 アルミニウムキハ ール錯体
卖施例 1
形成方法 ィンクジ Αッ卜方式 インクジェット方式 真空蒸着法
発光材料 CN - PPV前駆体 PPV前駆体 ビラゾリンダイマ一 PVK (正孔注入層） 実施例 2
形成方法 インクジエツト方式 インクジヱット方式 塗布法 ィンクジヱッ卜方式
2-13 ',4' -タヒ Fロキシフエニル -3, 5, 2,3.6.7-テトラヒ阳 -11-ォキ'ノ -1H 2, 3.6.7-テトラヒ! f口- 9-メチル -11-
7屮 卩 πキジ- 1- ゾビリリウ 口 ,511.1111-(1)べンゾビラノ【6,7.8- ォキ y-ΙΗ.5H.11H- (1)ベンゾビラバ
ΤίΛ^ ffi? c , ο i ϊΊ—一
実施例 3 発光材料
_ι/7- (A~K W— ί?
X» A 14 Π, Π一 一 It A 1 Ι,Γ Γ kH i1R0-H cpiryT*i/it ΠΙ /一— / HV、 7lt ήλ ル)シクロへキサン ル)シクロへキサン
(正孔注 US材料） (正孔注入層材料） (正孔注入層材料）
形成方法 インクジヱッ 卜方式 インクジエツ 卜方式 インクジェッ 卜方式
発光材料 CN - PPV前駆体 PPV前駆体 ジスチル誘導体 PVK (正孔注入層） 実施例 4
形成方法 インクジエツ卜方式 インクジヱッ卜方式 塗布法 真空蒸着法
PPV前駆体 PPV前駆体 P P V前駆体
発光材料
実施例 5 ローダミン B ジスチリルビフエニル
(蛍光色素） (蛍光色素）
形成方法 インクジエツト方式 インクジエツ卜方式 インクジエツ卜方式
表 2
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表 3
発光開始電圧【V 発 光 寿 命 〖 h r ] 発光輝度 kd/m ] 吸収' • Inmj
R G B R G B R G B R G B 実施例 1 2. 0 2. 2 3. 1 8000 8000 8000 210 230 200 600 500 400 実施例 2 1. 7 1. 8 3. 2 10000 10000 9000 230 230 180 600 500 410 実施例 3 4. 0 3. 5 3. 8 4000 5000 4000 150 180 100 580 510 420 実施例 4 1. 7 1. 8 2. 2 10000 10000 10000 250 250 200 600 530 480 実施例 5 3. 0 3. 2 5. 0 5000 5000 5000 200 200 200 590 530 420
表 4
成膜安定性
R G B
実施例 1 o o o 実施例 2 o o o
00 実施例 3 o 〇 〇
実施例 4 o o o 実施例 5 o o o

Claims

請求の範囲
1 . 透明基板上に画素電極を形成する工程と、
前記画素電極上に有機化合物からなる少なく とも 1色の発光層をパターン形成 する工程と、
前記画素電極に対向する対向電極を形成する工程とを有する有機 E L素子の製 造方法であって、
前記発光層の形成をィンクジ ッ ト方式により行うことを特徴とする有機 E L 素子の製造方法。
2 . 前記有機化合物は高分子有機化合物である請求の範囲第 1項に記載の有機 E L素子の製造方法。
3 . 前記高分子有機化合物は正孔注入輸送型材料である請求の範囲第 2項に記 載の有機 E L素子の製造方法。
4 . 前記高分子有機化合物はポリバラフヱ二レンビニレンおよびその誘導体、 またはそれらのうち少なく ともいずれか一方を有する共重合体である請求の範囲 第 2項または第 3項に記載の有機 E L素子の製造方法。
5 . 前記発光層は 3色あり、 該 3色の前記発光層のうち少なく とも 2色をイン クジ ッ ト方式によりパターン形成する請求の範囲第 1項ないし第 4項のいずれ かに記載の有機 E L素子の製造方法。
6 . 前記 3色は、 赤色、 緑色、 青色であって、 それらのうち赤色発光層と緑色 発光層とを各々ィンクジ ッ ト方式によりパターン形成する請求の範囲第 5項に 記載の有機 E L素子の製造方法。
7 . 前記青色発光層は真空蒸着法により形成する請求の範囲第 6項に記載の有 機 E L素子の製造方法。
8 . 前記青色発光層は電子注入輸送型材料からなる請求の範囲第 7項に記載の 有機 E L素子の製造方法。
9 . 少なくとも 1色の前記発光層と正孔注入輸送層とを積層する請求の範囲第 1項ないし第 8項のいずれかに記載の有機 E L素子の製造方法。
1 0 . 前記陰極の上に保護膜を形成する請求の範囲第 1項ないし第 9項のいず れかに記載の有機 E L素子の製造方法。
1 1 . 前記透明基板上に各画素を駆動するための電極を形成する請求の範囲第 1項ないし第 1 0項のいずれかに記載の有機 E L素子の製造方法。
1 2 . 前記画素電極が透明画素電極である請求の範囲第 1項ないし第 1 1項の いずれかに記載の有機 E L素子の製造方法。
1 3 . 透明基板と、
前記透明基板上に設けられた画素電極と、
前記画素電極上にィンクジ Xッ ト方式によりパターン形成された有機化合物か らなる少なくとも 1色の発光層と、
前記発光層の上に形成された対向電極とを備えることを特徴とする有機 E L素 子。
1 4 . 前記有機化合物は高分子有機化合物である請求の範囲第 1 3項に記載の 有機 E L素子。
1 5 . 前記高分子有機化合物は正孔注入輸送型材料である請求の範囲第 1 4項 に記載の有機 E L素子。
1 6 . 前記高分子有機化合物はポリバラフヱ二レンビニレンおよびその誘導体 、 またはそれらのうち少なくとも一方を有する共重合体である請求の範囲第 1 4 項または第 1 5項に記載の有機 E L素子。
1 7 . 前記発光層は 3色あり、 該 3色の前記発光層のうち少なく とも 2色はィ ンクジヱッ ト方式によりパターン形成されたものである請求の範囲第 1 3項ない し第 1 6項のいずれかに記載の有機 E L素子。
1 8 . 前記 3色は、 赤色、 緑色、 青色であって、 それらのうち赤色発光層と緑 色発光層は各々ィンクジ ッ ト方式によりパターン形成される請求の範囲第 1 7 に記載の有機 E L素子。
1 9 . 前記青色発光層は真空蒸着法により形成される請求の範囲第 1 3項ない し第 1 8項のいずれかに記載の有機 E L素子。
2 0 . 前記青色発光層は電子注入輸送型材料からなる請求の範囲第 1 9項に記 載の有機 E L素子。
2 1 . 少なくとも 1色の前記発光層と正孔注入輸送層とが積層された請求の範 囲第 1 3項ないし第 2 0項のいずれかに記載の有機 E L素子。
2 2 . 前記対向電極の上に保護膜が形成される請求の範囲第 1 3項ないし第 2 1項のいずれかに記載の有機 E L素子。
2 3 . 前記画素電極が透明画素電極である請求の範囲第 1 3項ないし第 2 2項 に記載の有機 E L素子。
2 4 . 請求の範囲第 1 3項ないし 2 3項のいずれかに記載の有機 E L素子を有 することを特徴とする有機 E L表示装置。
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