WO2010057673A2 - Machining system, in particular for a clean room machining installation, and a transfer device therefor - Google Patents

Machining system, in particular for a clean room machining installation, and a transfer device therefor Download PDF

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WO2010057673A2 PCT/EP2009/008349 EP2009008349W WO2010057673A2 WO 2010057673 A2 WO2010057673 A2 WO 2010057673A2 EP 2009008349 W EP2009008349 W EP 2009008349W WO 2010057673 A2 WO2010057673 A2 WO 2010057673A2
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Klaus HÜGLER
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Asys Automatic Systems Gmbh & Co. Kg
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Definitions

  • Processing system in particular for a clean room processing plant, as well as transfer device therefor.
  • the invention relates to a processing system, in particular a processing system with a processing plant operating under clean-room, clean-room or high-vacuum conditions, and a transfer device which can be used in particular in connection with such a processing plant.
  • Processing plants with several, from the respective substrate in the working process to be passed stations are known as polar as well as linear processing equipment.
  • the stations are grouped around a central unit which, if appropriate, is designed as a buffer and which is provided with a transfer device, which is often designed in the form of a SCARA robot with a gripper arm.
  • the transfer device is usually linearly movable between mutually opposite rows of process stations, to which at least one handling unit of the transfer device according to a predetermined sequence in the processing access with their gripper arm access.
  • the invention has for its object to design a processing system, in particular a processing system with a processing system and a transfer device for this system to the effect that with a simple structure and in particular special and short processing times within the individual stations can achieve a high throughput with a favorable ratio of processing times to processing time through the processing plant, in particular associated with a small space requirement for the processing plant and favorable Radiound creation costs.
  • the processing system according to the invention as well as in the processing system used for this system can be achieved in an advantageous manner, a simultaneous supply and charging of the stations with the substrates to be processed, in conjunction with an implementation of the respective substrates between stations, what it makes it possible to realize a work cycle without significant dead times, in particular at approximately the same length of processing time within the respective process stations, as well as in a short, possibly very short processing time of a few seconds within the respective process stations.
  • the linear arrangement allows a total of very compact design with reduced investment costs.
  • the inventive design of the transfer device also allows for this a structure that, in particular with respect to the required drive units, possibly also for the drive of the gripper arms leads to a reduced effort, which also also pollution aspects with respect to the clean room atmosphere in which it is used is expedient and also allows a favorable management of supply lines to the gripper arms.
  • FIG. 1 shows a processing plant to be used in particular in a processing system according to the invention, in particular for the processing of flat substrates under clean-room conditions, in its basic structure and with a transfer device for the substrates, which is adapted to the processing plant,
  • FIG. 1 corresponding representations in which the predetermined workflow is illustrated by the processing plant in conjunction with the respective position of the processing system passing through substrates as well as the respective positions of the transfer device shown,
  • FIG. 16 shows, in a schematized sectional view according to line XVI-XVI in FIG. 17, the crank assembly between the gripper arms of the transfer device
  • FIG. 17 shows a section XVII of the cross-section shown in FIG Fig. 1 and Fig. 16, the embodiment of a pivot joint in the connection of the respective gripper arm to a multi-unit, lying in the connection to a drive unit connecting arm
  • FIGS. 18 and 19 show further embodiments of transfer devices that can be used in particular within the scope of the processing system according to the invention and / or the processing system according to the invention.
  • the processing system according to the invention which can be used in particular in a processing system according to the invention is denoted overall by 1 and comprises two stations 2, 3 lying parallel to one another, of which the stations belonging to the row 2 are generally associated with 4 and the stations belonging to the row 3 generally 5 are designated.
  • the stations 4, 5 of the rows 2, 3 are mirror images of a lying between the rows 2, 3 tunnel 6, in which the linear guide 7 is provided for a transfer device 8, the two handling units 9, 10 - outlined by dashed lines -.
  • Each of these handling units 9, 10, which are of identical construction, has a traveling part 11, 12, which in the present case is designed as a drive unit and is connected to a gripper arm 15, 16 via a multi-link connecting arm 13, 14.
  • the gripper arms 15, 16 via the multi-link arms 13, 14 so connected to the present case as drive units driving parts 11, 12 are connected in that the gripper arms 15, 16 in all rotational positions of the handling unit 9, 10 extend along a straight line which, relative to the drive unit 9, connects the swivel joints 17, 18 and, relative to the drive unit 10, the swivel joints 19, 20 and which, in the Represented in Fig. 1 with 21 and 22, perpendicular to the linear guide 7 extends.
  • the gripper arm side in the connection of the respective gripper arm 15, 16 to the multi-membered connecting arm 13 and 14 lying pivot joints 17, 19 are connected via a crank assembly 23 in drive connection, in which the rotary joint 24 of another gripper arm 25 is integrated such that a synchronous movement of Gripper arms 15, 16 and 25 in all pivotal positions of the multi-link arms 13, 14 is given to their drive units 11, 12.
  • each of the rows 2, 3 is associated with four stations, of which the 4, 5 at one end of the in rows 2, 3 facing each other Form stations input and output stations, the input station 26 of the series 2 and output station 27 of the series 3 is assigned.
  • an emptying station 28 or 29 is provided, and between these end provided stations 26 and 28 or 27 and 29 are each process stations, with respect to the row 2, the process stations 30 and 31 and with respect to the row 3, the process stations 32 and 33.
  • the input station 26, which lies in the access area of the gripper arm 15, is preferably designed, for example, with a turntable, so that with respect to the respective substrate, if necessary, a corresponding desired angular position can be set.
  • the input station 26 is preceded by a transfer chamber 34, which receives a handling device 35, by means of which, as exemplified, can be removed from a docked transport container 37 each delivered substrate, or one of the respectively delivered substrates.
  • a valve arrangement is provided so that in the input station 26 can already be carried out an evacuation to a clean room level preferred ter endeavour which is built in the tunnel 6, where in the tunnel 6 optionally also clean room or high vacuum conditions can be prepared and wherein in the transition from the input station 26 to the tunnel 6, a valve assembly 38 is provided, as in the transition from the process stations 30 to 33 is provided on the tunnel 6 and in the transition from the tunnel 6 to the output station 27, in which preferably a flooding is made.
  • a transfer chamber 39 is connected, which is a handling device
  • FIG. 1 additionally illustrates that between the transport containers 37 and 33 docked to the transfer chambers 34 and 39
  • the processing system according to the invention with the processing plant according to the invention is of particular interest, especially if in the process stations 30 to 33 the respective processing and thus also the necessary residence times - are about the same length and above all relatively short, for example, in the range below 10 seconds, which requires a very fast sequence in the feed.
  • This is made possible by the inventive design of the transfer device 8, which manages with very short travel paths for the drive units 11 and 12 and in particular due to the rows 4 and 5 end associated with empty stations 28, 29, which are open against the tunnel 6 and thus can be realized with little effort, without additional time, the shipment, ie the implementation of the substrates from one row 4 in the other row 5 allows.
  • For a machining pass in the processing plant 1 is achieved, which requires no additional times for the implementation of the substrates between the rows 4 and 5 and still allows based on the required area very compact design of the processing plant.
  • FIGS. 2 to 15 show reduced views of FIG. 1 and in which symbolizes the positions of the substrates according to the successive successive steps by points 45 are.
  • the starting point is the work situation illustrated in FIG. 2, which results after the work situation according to FIG. 15 after completion of a work cycle for the substrates.
  • the transfer device 8 which is reciprocated only over a distance 44 between two successive stations 4 and 5 a row 2 and 3, in which an end point of their travel as Reversal position with access of the gripper arms 15, 25 and 16 to the stations 26, 30, 31. If the transfer device 8 is moved over the distance 44, then it reaches the opposite end position as a reverse position with access of the gripper arms 15, 25, 16 to the stations 30, 31 and 28 shown in FIG. 5. In this reversal position, the gripper arms
  • crank assembly 23 is illustrated in the basic structure in Figs. 16 and 17, wherein 47 denotes a support beam, via which the swivel joints 17, 19 and 24 are connected.
  • 47 denotes a support beam, via which the swivel joints 17, 19 and 24 are connected.
  • the connection takes place, with the same structure in the three hinges 17, 19, 24, mediated by a respective eccentric disc 48, the eccentric to the respective, for all three hinges 17, 19, 24 at 49 designated axis of rotation of the respective pivot 17, 19, 24 and is attached to a flange 50 of the respective rotary joint 17, 19, 24.
  • the respective bearings Stored on the eccentric discs 48 of the support beam 47, the respective bearings are designated 52.
  • Each of the eccentric discs 48 has a cup-shaped, fixed to the disc 48 essay 53 which is centrally, and thus also centrally to the eccentric disc 48 is provided with a pivot pin 54.
  • the axle bolts 54 are connected via a drive rod 55, so that due to the offset of the Achsbol- zen 54 to the axis of rotation 49 of the respective rotary joint 17, 19, 24 via the gripper arms 15 and 16, a synchronous drive for connected to the rotary joint 24 gripper arm 25 results.
  • the function of this drive system corresponds to that of a crank mechanism with a crank carried by the rotation axis 49 and a crank pin formed by the axle pin 54, which is connected to the respective crank pin of the drive-connected rotary joint via a connecting rod. Not shown in Fig. 17, that the respective gripper arm 15, 16 and 25 is mounted on the cup-shaped attachment 53.
  • the drive linkage 55 is in the respective overlap region to the rotary joint 17, 19, 24 within the cup-shaped attachment 53 delimited Napfraumes 56 and it is to carry out the drive linkage 55, the peripheral wall of this Napfraumes 56 via a circumference corresponding to a circle circumference with a recess 57 which allows the transverse displacement of the drive rod 55, which is due to the eccentricity of the axle pin 54 to the axis of rotation 49 in the pivoting of the gripper arms 15, 16, 25 in the operation, as described with reference to FIGS. 2 to 15 results.
  • the described embodiment of the crank assembly 23 has the further advantage that connecting cables, so in particular cables can be guided centrally through the hinges 17, 19, 24, as are avoided by the formation of the crank mechanism as Exzentertrieb pivotal movements of free-running cranks.
  • the described embodiment provides favorable conditions for an at least substantially encapsulated structure of the swivel joints 17, 19, 24, so that impurities are avoided both in the process stations as well as within the tunnel 6, in which preferably clean or pure dream working conditions prevail.
  • a transfer device 8 which can be used in particular with such a processing installation 1 has two linearly displaceable handling units 9, 10 arranged at a distance from one another, each of which has a drive unit 11, 12 and, starting therefrom, a multi-membered connecting arm 13 which runs onto a gripper arm 15, 16. 14 and which are coupled via a crank assembly 23 which is supported on the lying between the connecting arms 13, 14 and the gripper arms 15, 16 pivot joints 17, 19, wherein the crank assembly 23, the support and drive connection for a third, with its hinge 24 in the crank assembly 23 integrated Greifefarm 25 forms, which is supported on the crank assembly 23 on the handling units 9, 10 and diverted from the drive units 11, 12 driven.
  • a processing system 1 according to the invention in particular for flat substrates under clean and / or clean-room conditions, is thus in each case approximately the same for short residence times in view of a small space requirement at high throughput and in the respective stations 4, 5, in particular in process stations 30 to 33 a transfer device 8 which can be moved linearly between the stations 4, 5 arranged in rows 2, 3 and which is reciprocated at short travel distances.
  • each clocks the access to several stations 4, 5 first of the one row 2 and then the other row 3 in a manner continuously through the series allows that at the same clock sequence and reversing the direction of passage in the transition from the one row 2 on the another row 3 one pass over all stations 4, 5 results.
  • FIG. 18 illustrates an embodiment of the processing installation 1 according to FIGS. 1 to 15 in a positioning corresponding to the representation according to FIG. 3, which for reasons of representation has been selected to interpose the rigid drive connection 58 illustrated in addition to the aforementioned figures in FIG the driving parts 11 and 12 to be clearly visible.
  • this results in a stiffened basic structure of the conversion unit 8 designed as a structural unit, such a design also proving to be particularly expedient in order to avoid undesired oscillations occurring in connection with fast adjustment processes.
  • Fig. 19 serves to illustrate an extension of the connection processing system according to the illustrated with reference to FIGS. 1 to 15 basic structure, wherein instead of the structure shown in Fig. 1 to 15 with only four process stations now - as an example - each row 2, 3 a another process station 61, 62 is provided.
  • the reference numerals used in FIGS. 1 to 15 are retained for corresponding parts, five stations 4 and 5 are provided for each row 2, 3, and the stations 26, 30, 31 in the second row , 61 and 28 and in the series 5 the stations 27, 32, 33, 62 and 29.
  • the number of gripper arms is increased, and there is provided an additional gripper arm 63, the component a dashed outline handling unit 64th is that has a driving part 65 and the driving part 65 is connected to the gripper arm 63 via a connecting arm 66.
  • the handling unit 64 corresponds in structure to the handling units 9 and 10, as explained with reference to the transfer device 8 to Fig. 1 to 15. Reference is made to these statements.
  • a transfer device 67 is illustrated, which in turn represents a total of 68 as a unit, but composed of a corresponding transfer device 8 assembly 59 and an assembly 69 composed by the handling unit 64 is formed. According to the functional sequence explained with reference to FIGS.
  • a synchronous operation of the gripper arms 15, 16, 25, 63 is also required in this embodiment, and in a corresponding manner a joint adjustability of the traveling parts 11, 12 and 65, for which according to the illustration in Fig. 18 is a coupling of the driving parts 11, 12 and 65 is provided via a train-push rod connection 60.
  • FIG. 19 is at the same time an example of the extensibility of the processing system according to the invention, or of the processing plant according to the invention, also on a larger number of stations, it being possible to work with assemblies which, like the assembly 59, already comprise a plurality of gripper arms or with assemblies 69 formed by individual handling units, such as the handling unit 64.
  • the processing system according to the invention with respect to the transfer device from independent handling units, such as the handling unit 64, which are rigidly coupled to one another in the adjustment direction along the linear guide 7 and are synchronized with respect to their gripper arms at least as far in their adjustment movements, that a common clocking adjustment can be realized, if necessary in the access times at the stations individualized movements of individual gripper arms.
  • independent handling units such as the handling unit 64

Abstract

A machining installation (1), in particular for machining flat substrates under clean room and/or ultra-clean room conditions, is designed, with regard to a low space requirement with high throughput and approximately the same short residence times in the respective stations (4, 5), with a transfer device (8), which can move in a linear fashion between the stations (4, 5) arranged in rows (2, 3) and allows access to multiple stations (4, 5) of first one row (9) and then the other row (3), in a clocked manner with short travel paths, so as to yield passage through all stations (4, 5) at the same clock sequence and with reversal of the direction of passage during the transition from the one row (2) to row (3).

Description

Bearbeitungssystem, insbesondere für eine Reinraum- Bearbeitungsanlage, sowie Umsetzvorrichtung hierfür. Processing system, in particular for a clean room processing plant, as well as transfer device therefor.
Die Erfindung betrifft ein Bearbeitungssystem, insbesondere ein Bearbeitungssystem mit einer unter Reinraum-, Reinstraum- oder Hochvakuumbedingungen arbeitenden Bearbeitungsanlage sowie eine insbesondere in Verbindung mit einer solchen Bearbeitungsanlage einsetzbare Umsetzvorrichtung.The invention relates to a processing system, in particular a processing system with a processing plant operating under clean-room, clean-room or high-vacuum conditions, and a transfer device which can be used in particular in connection with such a processing plant.
Bearbeitungsanlagen mit mehreren, vom jeweiligen Substrat im Arbeitsprozess zu durchlaufenden Stationen sind als polar wie auch als linear aufgebaute Bearbeitungsanlagen bekannt. Bei polarem Aufbau sind die Stationen um eine Zentraleinheit gruppiert, die gegebenenfalls als Zwischenspeicher ausgestaltet und die mit einer Umsetzvorrichtung versehen ist, welche häufig in Form eines SCARA-Roboters mit einem Greiferarm ausgebildet ist.Processing plants with several, from the respective substrate in the working process to be passed stations are known as polar as well as linear processing equipment. In the case of a polar construction, the stations are grouped around a central unit which, if appropriate, is designed as a buffer and which is provided with a transfer device, which is often designed in the form of a SCARA robot with a gripper arm.
Bei linearem Aufbau ist die Umsetzvorrichtung linear meist zwischen einander gegenüberliegenden Reihen von Prozessstationen verfahrbar, auf die zumindest eine Handhabungseinheit der Umsetzvorrichtung entsprechend einem vorgegebenen Ablauf in der Bearbeitung mit ihrem Greiferarm Zugriff nimmt.In a linear structure, the transfer device is usually linearly movable between mutually opposite rows of process stations, to which at least one handling unit of the transfer device according to a predetermined sequence in the processing access with their gripper arm access.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Bearbeitungssystem, insbesondere ein Bearbeitungssystem mit einer Bearbeitungsanlage und einer Umsetzvorrichtung für diese Anlage dahingehend auszugestalten, dass sich bei einfachem Aufbau und ins- besondere auch kurzen Bearbeitungszeiten innerhalb der einzelnen Stationen ein hoher Durchsatz bei günstigem Verhältnis der Bearbeitungszeiten zur Durchlaufzeit durch die Bearbeitungsanlage erreichen lässt, insbesondere verbunden mit einem geringen Raumbedarf für die Bearbeitungsanlage und günstigen Betriebsund Erstellungskosten.The invention has for its object to design a processing system, in particular a processing system with a processing system and a transfer device for this system to the effect that with a simple structure and in particular special and short processing times within the individual stations can achieve a high throughput with a favorable ratio of processing times to processing time through the processing plant, in particular associated with a small space requirement for the processing plant and favorable Betriebsund creation costs.
Gemäß der Erfindung wird dies mit einem Bearbeitungssystem gemäß Anspruch 1, einer Bearbeitungsanlage gemäß dem Anspruch 8 und insbesondere auch einer in Kombination mit einer in einer solchen Bearbeitungsanlage eingesetzten Umsetzvorrichtung gemäß Anspruch 17 erreicht, wobei die jeweiligen Unteransprüche hierzu zweckmäßige Weiterbildungen aufzeigen.According to the invention, this is achieved with a processing system according to claim 1, a processing plant according to claim 8 and in particular also in combination with a transfer apparatus used in such a processing plant according to claim 17, the respective subclaims pointing out expedient further developments for this purpose.
Bei dem erfindungsgemäßen Bearbeitungssystem, sowie auch bei der für dieses System genutzten Bearbeitungsanlage lässt sich in vorteilhafter Weise eine zeitgleiche Versorgung und Beschickung der Stationen mit den zu bearbeitenden Substraten erreichen, und zwar in Verbindung auch mit einer Umsetzung der jeweiligen Substrate zwischen den Stationen, was es insbesondere bei etwa gleich langen Bearbeitungszeiten innerhalb der jeweiligen Prozessstationen, sowie bei auch kurzer, gegebenenfalls sehr kurzer Bearbeitungszeit von wenigen Sekunden innerhalb der jeweiligen Prozessstationen möglich macht, einen Arbeitsdurchlauf ohne wesentliche Totzeiten zu realisieren. Zudem ermöglicht die lineare Anordnung einen insgesamt sehr kompakten Aufbau mit verringertem Investitionsaufwand.In the processing system according to the invention, as well as in the processing system used for this system can be achieved in an advantageous manner, a simultaneous supply and charging of the stations with the substrates to be processed, in conjunction with an implementation of the respective substrates between stations, what it makes it possible to realize a work cycle without significant dead times, in particular at approximately the same length of processing time within the respective process stations, as well as in a short, possibly very short processing time of a few seconds within the respective process stations. In addition, the linear arrangement allows a total of very compact design with reduced investment costs.
Die erfindungsgemäße Ausgestaltung der Umsetzvorrichtung ermöglicht auch für diese einen Aufbau, der, insbesondere bezüglich der erforderlichen Antriebseinheiten, gegebenenfalls auch für den Antrieb der Greiferarme zu einem verringerten Aufwand führt, der zudem auch unter Verunreinigungsgesichtspunkten in Bezug auf die Reinraumatmosphäre, in der er eingesetzt ist, zweckmäßig ist und auch eine günstige Führung von Versorgungsleitungen bis hin zu den Greiferarmen ermöglicht.The inventive design of the transfer device also allows for this a structure that, in particular with respect to the required drive units, possibly also for the drive of the gripper arms leads to a reduced effort, which also also pollution aspects with respect to the clean room atmosphere in which it is used is expedient and also allows a favorable management of supply lines to the gripper arms.
Weitere Vorteile und zweckmäßige Ausführungen sind den Ansprüchen, der Figurenbeschreibung und den Zeichnungen zu entnehmen. Es zeigen:Further advantages and expedient embodiments can be found in the claims, the description of the figures and the drawings. Show it:
Fig. 1 eine insbesondere in einem Bearbeitungssystem gemäß der Erfindung einzusetzende Bearbeitungsanlage, insbesondere für die Bearbeitung flächiger Substrate unter Reinraumbedingungen, in ihrem grundsätzlichen Aufbau und mit einer auf die Bearbeitungsanlage abgestimmten Umsetzvorrichtung für die Substrate,1 shows a processing plant to be used in particular in a processing system according to the invention, in particular for the processing of flat substrates under clean-room conditions, in its basic structure and with a transfer device for the substrates, which is adapted to the processing plant,
Fig. 2 bis 15 der Fig. 1 entsprechende Darstellungen, in denen der vorgegebene Arbeitsablauf durch die Bearbeitungsanlage in Verbindung mit der jeweiligen Lage der die Bearbeitungsanlage durchlaufenden Substrate sowie auch der jeweiligen Stellungen der gezeigten Umsetzvorrichtung veranschaulicht ist,2 to 15 of FIG. 1 corresponding representations in which the predetermined workflow is illustrated by the processing plant in conjunction with the respective position of the processing system passing through substrates as well as the respective positions of the transfer device shown,
Fig. 16 und 17FIGS. 16 and 17
Details der insbesondere aus Fig. 1 ersichtlichen und dort in ihrem grundsätzlichen Aufbau erläuterten Umsetzvorrichtung, wobei Fig. 16 in einer schematisierten Schnittdarstellung gemäß Linie XVI-XVI in Fig. 17 den Kurbelverbund zwischen den Greiferarmen der Umsetzvorrichtung zeigt und Fig. 17 in einem Schnitt XVII-XVII, der in Fig. 1 und Fig. 16 angegeben ist, die Ausgestaltung eines Drehgelenks in der Verbindung des jeweiligen Greiferarms zu einem mehrgliedrigen, in der Verbindung zu einer Antriebseinheit liegenden Verbindungsarm, und Fig. 18 und 19 weitere Ausgestaltungen von insbesondere im Rahmen des erfindungsgemäßen Bearbeitungssystems und/oder der erfindungsgemäßen Bearbeitungsanlage einsetzbaren Umsetzvorrichtungen .FIG. 16 shows, in a schematized sectional view according to line XVI-XVI in FIG. 17, the crank assembly between the gripper arms of the transfer device, and FIG. 17 shows a section XVII of the cross-section shown in FIG Fig. 1 and Fig. 16, the embodiment of a pivot joint in the connection of the respective gripper arm to a multi-unit, lying in the connection to a drive unit connecting arm, and FIGS. 18 and 19 show further embodiments of transfer devices that can be used in particular within the scope of the processing system according to the invention and / or the processing system according to the invention.
Die insbesondere in einem Bearbeitungssystem gemäß der Erfindung einsetzbare, erfindungsgemäße Bearbeitungsanlage ist insgesamt mit 1 bezeichnet und umfasst zwei in zueinander parallelen Reihen 2, 3 liegende Stationen, von denen die der Reihe 2 zugehörigen Stationen allgemein mit 4 und die der Reihe 3 zugehörigen Stationen allgemein mit 5 bezeichnet sind. Die Stationen 4, 5 der Reihen 2, 3 liegen spiegelbildlich zu einem zwischen den Reihen 2, 3 liegenden Tunnel 6, in dem die Linearführung 7 für eine Umsetzvorrichtung 8 vorgesehen ist, die zwei Handhabungseinheiten 9, 10 - strichliert umrissen - umfasst. Jede dieser Handhabungseinheiten 9, 10, die gleich aufgebaut sind, weist einen Fahrteil 11, 12 auf, der vorliegend als Antriebseinheit ausgebildet ist und über einen mehrgliedrigen Verbindungsarm 13, 14 mit einem Greiferarm 15, 16 verbunden ist. Entsprechend der jeweils bevorzugten Ausbildung der mehrgliedrigen und bezüglich ihrer Glieder untereinander antriebsverbundenen Verbindungsarme 13, 14 in der von SCARA-Robotern bekannten Bauweise sind die Greiferarme 15, 16 über die mehrgliedrigen Verbindungsarme 13, 14 so mit den vorliegend als Antriebseinheiten ausgebildeten Fahrteilen 11, 12 verbunden, dass die Greiferarme 15,16 in allen Drehlagen der Handhabungseinheit 9, 10 sich längs einer Geraden erstrecken, die bezogen auf die Antriebseinheit 9 die Drehgelenke 17, 18 und bezogen auf die Antriebseinheit 10 die Drehgelenke 19, 20 verbindet und die sich, in der Darstellung gemäß Fig. 1 mit 21 bzw. 22 bezeichnet, senkrecht zur Linearführung 7 erstreckt. Die greiferarmseitigen, in der Verbindung des jeweiligen Greiferarms 15, 16 zum mehrgliedrigen Verbindungsarm 13 bzw. 14 liegenden Drehgelenke 17, 19 stehen über einen Kurbelverbund 23 in Antriebsverbindung, in den das Drehgelenk 24 eines weiteren Greiferarmes 25 derart eingebunden ist, dass eine synchrone Bewegung der Greiferarme 15, 16 und 25 in allen Schwenklagen der mehrgliedrigen Verbindungsarme 13, 14 zu ihren Antriebseinheiten 11, 12 gegeben ist.The processing system according to the invention which can be used in particular in a processing system according to the invention is denoted overall by 1 and comprises two stations 2, 3 lying parallel to one another, of which the stations belonging to the row 2 are generally associated with 4 and the stations belonging to the row 3 generally 5 are designated. The stations 4, 5 of the rows 2, 3 are mirror images of a lying between the rows 2, 3 tunnel 6, in which the linear guide 7 is provided for a transfer device 8, the two handling units 9, 10 - outlined by dashed lines -. Each of these handling units 9, 10, which are of identical construction, has a traveling part 11, 12, which in the present case is designed as a drive unit and is connected to a gripper arm 15, 16 via a multi-link connecting arm 13, 14. According to the respective preferred embodiment of the multi-membered and with their members drivingly connected to each other connecting arms 13, 14 in the known from SCARA robots design, the gripper arms 15, 16 via the multi-link arms 13, 14 so connected to the present case as drive units driving parts 11, 12 are connected in that the gripper arms 15, 16 in all rotational positions of the handling unit 9, 10 extend along a straight line which, relative to the drive unit 9, connects the swivel joints 17, 18 and, relative to the drive unit 10, the swivel joints 19, 20 and which, in the Represented in Fig. 1 with 21 and 22, perpendicular to the linear guide 7 extends. The gripper arm side, in the connection of the respective gripper arm 15, 16 to the multi-membered connecting arm 13 and 14 lying pivot joints 17, 19 are connected via a crank assembly 23 in drive connection, in which the rotary joint 24 of another gripper arm 25 is integrated such that a synchronous movement of Gripper arms 15, 16 and 25 in all pivotal positions of the multi-link arms 13, 14 is given to their drive units 11, 12.
Dadurch ist ein synchroner Zugriff der mit ihren Drehgelenken 17, 19 und 24 über den Kurbelverbund 23 verbundenen Greiferarme 15, 17, 25 auf jeweils eine entsprechende Anzahl der in Reihen 2, 3 angeordneten Stationen 4, 5 möglich, wobei die in den Reihen 2 und 3 angeordneten Stationen 4 und 5 zueinander jeweils den gleichen Abstand 44 aufweisen und wobei dieser Abstand dem Abstand der Drehachsen 49 der Drehgelenke 17, 24 bzw. 24, 19 entspricht .As a result, a synchronous access of the connected with their hinges 17, 19 and 24 via the crank assembly 23 gripper arms 15, 17, 25 is possible in each case a corresponding number of arranged in rows 2, 3 stations 4, 5, wherein in the rows 2 and 3 arranged stations 4 and 5 each have the same distance 44 to each other and wherein this distance corresponds to the distance of the axes of rotation 49 of the swivel joints 17, 24 and 24, 19.
Der Zugriff der Greiferarme 15, 16, 25 auf die jeweiligen Stationen 4 oder 5 der Reihe 2 oder 3 erfolgt bei lediglich hin- und hergehender Verstellung der Umsetzvorrichtung 8 längs der Linearführung 7 in ihren Umkehrlagen, wobei die hin- und hergehende Bewegung über eine dem Abstand 44 zweier Stationen 4 oder 5 einer Reihe 2, 3 entspricht und somit die Umkehrlagen im Abstand 44 zueinander liegen.The access of the gripper arms 15, 16, 25 to the respective stations 4 or 5 of the series 2 or 3 takes place with only reciprocating adjustment of the transfer device 8 along the linear guide 7 in their reversal positions, the reciprocating motion on a the Distance 44 of two stations 4 or 5 of a row 2, 3 corresponds and thus the reversal positions at a distance 44 to each other.
Wenn vorstehend vom Abstand 44 der jeweiligen Stationen 4 bzw. 5 einer Reihe 2 bzw. 3 die Rede ist, so ist hiermit der bezogen auf die jeweilige Station gegebene Arbeitspunkt bezeichnet, auf den der jeweilige Greiferarm 15, 16,25 beim Zugriff auf diese Station ausgerichtet ist und ausgerichtet auf den über den jeweiligen Greiferarm 15, 16, 25 die Ablage des jeweiligen Substrates in der Station erfolgen soll, und in entsprechender Weise die Aufnahme des Substrates bei dessen Herausnahme aus der Station.If above from the distance 44 of the respective stations 4 and 5 of a row 2 or 3 is mentioned, so hereby referred to the respective station given operating point referred to the respective gripper arm 15, 16,25 when accessing this station is aligned and aligned to the over the respective gripper arm 15, 16, 25, the storage of the respective substrate in the station to take place, and in a corresponding Make the recording of the substrate when it is removed from the station.
Bezogen auf den in Fig. 1 grundsätzlich veranschaulichten und eine bevorzugte Ausgestaltung einer erfindungsgemäßen Bearbeitungsanlage 1 zeigenden Aufbau sind jeder der Reihen 2, 3 vier Stationen zugeordnet, von denen die an einem Ende der in Reihen 2, 3 einander gegenüberliegenden, mit 4, 5 bezeichneten Stationen Eingabe- und Ausgabestationen bilden, wobei die Eingabestation 26 der Reihe 2 und Ausgabestation 27 der Reihe 3 zugeordnet ist.1, each of the rows 2, 3 is associated with four stations, of which the 4, 5 at one end of the in rows 2, 3 facing each other Form stations input and output stations, the input station 26 of the series 2 and output station 27 of the series 3 is assigned.
Am jeweils gegenüberliegenden Ende der jeweiligen Reihe 2, 3 ist eine Leerstation 28 bzw. 29 vorgesehen, und zwischen diesen endseitig vorgesehenen Stationen 26 und 28 bzw. 27 und 29 liegen jeweils Prozessstationen, bezüglich der Reihe 2 die Prozessstationen 30 und 31 und bezüglich der Reihe 3 die Prozessstationen 32 und 33.At the respective opposite end of the respective row 2, 3, an emptying station 28 or 29 is provided, and between these end provided stations 26 and 28 or 27 and 29 are each process stations, with respect to the row 2, the process stations 30 and 31 and with respect to the row 3, the process stations 32 and 33.
Die Eingabestation 26, die im Zugriffsbereich des Greiferarmes 15 liegt, ist bevorzugt beispielsweise mit einem Drehteller ausgestaltet, so dass bezogen auf das jeweilige Substrat, falls erforderlich, eine entsprechende gewünschte Drehwinkellage eingestellt werden kann. Der Eingabestation 26 ist eine Übergabekammer 34 vorgelagert, die ein Handhabungsgerät 35 aufnimmt, mittels dessen, wie beispielsweise veranschaulicht, aus einem angedockten Transportbehälters 37 das jeweils angelieferte Substrat, oder eines der jeweils angelieferten Substrate entnommen werden kann. Aus der Übergabekammer 34 erfolgt mittels des Handhabungsgerätes 35 die Übergabe des jeweiligen Substrates auf die Eingabestation 26, wobei zwischen der Übergabekammer 34 und der Eingabestation 26 bevorzugt eine Ventilanordnung vorgesehen ist, so dass in der Eingabestation 26 bereits eine Evakuierung auf ein Reinraumniveau erfolgen kann, das bevorzugt un- terhalb dessen liegt, das im Tunnel 6 aufgebaut wird, wobei im Tunnel 6 gegebenenfalls auch Reinstraum- oder Hochvakuumbedingungen hergestellt werden können und wobei im Übergang von der Eingabestation 26 auf den Tunnel 6 eine Ventilanordnung 38 vorgesehen ist, wie sie auch im Übergang von den Prozessstationen 30 bis 33 auf den Tunnel 6 und im Übergang vom Tunnel 6 auf die Ausgabestation 27 vorgesehen ist, in der bevorzugt eine Flutung vorgenommen wird. An die Ausgabestation 27 ist wiederum eine Übergabeskammer 39 angeschlossen, die ein HandhabungsgerätThe input station 26, which lies in the access area of the gripper arm 15, is preferably designed, for example, with a turntable, so that with respect to the respective substrate, if necessary, a corresponding desired angular position can be set. The input station 26 is preceded by a transfer chamber 34, which receives a handling device 35, by means of which, as exemplified, can be removed from a docked transport container 37 each delivered substrate, or one of the respectively delivered substrates. From the transfer chamber 34 by means of the handling device 35, the transfer of the respective substrate to the input station 26, between the transfer chamber 34 and the input station 26 preferably a valve arrangement is provided so that in the input station 26 can already be carried out an evacuation to a clean room level preferred terhalb which is built in the tunnel 6, where in the tunnel 6 optionally also clean room or high vacuum conditions can be prepared and wherein in the transition from the input station 26 to the tunnel 6, a valve assembly 38 is provided, as in the transition from the process stations 30 to 33 is provided on the tunnel 6 and in the transition from the tunnel 6 to the output station 27, in which preferably a flooding is made. To the output station 27, in turn, a transfer chamber 39 is connected, which is a handling device
40 aufnimmt, über das Substrate auf einen nachgeordneten, angedockten Transportbehälter 41 ausgegeben werden.40 receives, are spent on the substrates on a downstream, docked transport container 41.
Fig. 1 veranschaulicht ergänzend, dass zwischen den an die Ü- bergabekammern 34 und 39 angedockten Transportbehältern 37 undFIG. 1 additionally illustrates that between the transport containers 37 and 33 docked to the transfer chambers 34 and 39
41 - den dadurch gegebenen, zu einem nicht dargestellten Zufuhrweg offenen Freiraum nutzend - Beistellanordnungen 42, 43 für weitere Transportbehälter vorgesehen sind, die eine bevorratende Anordnung von Transportbehältern ermöglichen, wobei diese Beistellanordnungen 42, 43 über Beistelltische, bevorzugt und erfindungsgemäß über verfahrbare Beistelltische gebildet sind, die zweckmäßigerweise mit einer galgenförmigen Übergabeeinrichtung versehen sind, wie sie beispielsweise in der DE 102 27 213 B4 angesprochen und insbesondere in deren Fig. 8 auch dargestellt ist. Eine solche galgenförmige Übergabeeinrichtung ermöglicht auf unkompliziertem Wege einen schnellen Austausch des jeweils an die nachfolgende Übergabeskammer 34 bzw. 39 angeschlossenen Transportbehälters 37, 41, wie dies im Hinblick auf in der Bearbeitungsanlage 1 ablaufende, kurze Verweilzeiten bedingende Arbeitsprozesse zweckmäßig ist.41 - using the open space provided thereby, which is open to a feed path (not shown) - additional arrangements 42, 43 are provided for further transport containers which allow a storing arrangement of transport containers, these side arrangements 42, 43 being formed by side tables, preferably and according to the invention by movable side tables , which are expediently provided with a gallows-shaped transfer device, as for example in DE 102 27 213 B4 addressed and in particular in their Fig. 8 also shown. Such a gallows-shaped transfer device allows a straightforward way a quick exchange of each connected to the subsequent transfer chamber 34 and 39 transport container 37, 41, as in view of running in the processing plant 1, short residence times conditional working processes is appropriate.
Gerade für solche Bearbeitungsprozesse ist das erfindungsgemäße Bearbeitungssystem mit der erfindungsgemäßen Bearbeitungsanlage von besonderem Interesse, vor allem dann, wenn in den Prozessstationen 30 bis 33 die jeweiligen Bearbeitungs- und damit auch die nötigen Verweilzeiten - etwa gleich lang und vor allem verhältnismäßig kurz sind, so beispielsweise im Bereich auch unterhalb von 10 Sekunden liegen, was eine sehr schnelle Abfolge in der Beschickung bedingt. Dies wird durch die erfindungsgemäße Ausgestaltung der Umsetzvorrichtung 8 ermöglicht, die mit sehr kurzen Verfahrwegen für die Antriebseinheiten 11 und 12 auskommt und die insbesondere aufgrund der den Reihen 4 und 5 endseitig zugeordneten Leerstationen 28, 29, die gegen den Tunnel 6 offen sind und somit auch mit geringem Aufwand zu realisieren sind, ohne zeitlichen Zusatzaufwand die Verbringung, also die Umsetzung der Substrate von der einen Reihe 4 in die andere Reihe 5 ermöglicht. Damit wird ein Bearbeitungsdurchlauf in der Bearbeitungsanlage 1 erreicht, der keine Zusatzzeiten für die Umsetzung der Substrate zwischen den Reihen 4 und 5 bedingt und trotzdem einen bezogen auf die erforderliche Fläche sehr kompakten Aufbau der Bearbeitungsanlage ermöglicht.Especially for such machining processes, the processing system according to the invention with the processing plant according to the invention is of particular interest, especially if in the process stations 30 to 33 the respective processing and thus also the necessary residence times - are about the same length and above all relatively short, for example, in the range below 10 seconds, which requires a very fast sequence in the feed. This is made possible by the inventive design of the transfer device 8, which manages with very short travel paths for the drive units 11 and 12 and in particular due to the rows 4 and 5 end associated with empty stations 28, 29, which are open against the tunnel 6 and thus can be realized with little effort, without additional time, the shipment, ie the implementation of the substrates from one row 4 in the other row 5 allows. For a machining pass in the processing plant 1 is achieved, which requires no additional times for the implementation of the substrates between the rows 4 and 5 and still allows based on the required area very compact design of the processing plant.
Der angesprochene Durchlauf der Substrate, die in Fig. 1 nicht dargestellt sind, wird anhand der Fig. 2 bis 15 veranschaulicht, die verkleinerte Darstellungen zur Fig. 1 zeigen und in denen die Positionen der Substrate entsprechend den jeweilig aufeinander erfolgende Arbeitsschritten durch Punkte 45 symbolisiert sind.The mentioned passage of the substrates, which are not shown in Fig. 1, is illustrated with reference to FIGS. 2 to 15, which show reduced views of FIG. 1 and in which symbolizes the positions of the substrates according to the successive successive steps by points 45 are.
Ausgangspunkt ist die in Fig. 2 dargestellte Arbeitssituation, die sich anschließend an die Arbeitssituation gemäß Fig. 15 nach Abschluss eines Arbeitsdurchlaufes für die Substrate ergibt. In der in Fig. 2 veranschaulichten Ausgangslage befindet sich die Umsetzvorrichtung 8, die lediglich über eine dem Abstand 44 zwischen zwei aufeinander folgenden Stationen 4 bzw. 5 einer Reihe 2 bzw. 3 hin- und hergehend verfahrbar ist, in dem einen Endpunkt ihres Verfahrweges als Umkehrlage mit Zugriff der Greiferarme 15, 25 und 16 auf die Stationen 26, 30, 31. Wird die Umsetzvorrichtung 8 über den Abstand 44 verfahren, so erreicht sie die gegenüberliegende Endlage als Umkehrlage mit Zugriff der Greiferarme 15, 25, 16 auf die Stationen 30, 31 und 28 gemäß Fig. 5. In dieser Umkehrlage werden die GreiferarmeThe starting point is the work situation illustrated in FIG. 2, which results after the work situation according to FIG. 15 after completion of a work cycle for the substrates. In the illustrated in Fig. 2 starting position is the transfer device 8, which is reciprocated only over a distance 44 between two successive stations 4 and 5 a row 2 and 3, in which an end point of their travel as Reversal position with access of the gripper arms 15, 25 and 16 to the stations 26, 30, 31. If the transfer device 8 is moved over the distance 44, then it reaches the opposite end position as a reverse position with access of the gripper arms 15, 25, 16 to the stations 30, 31 and 28 shown in FIG. 5. In this reversal position, the gripper arms
15, 16, 25 von ihrer Ausrichtung auf die Reihe 2 durch Verschwenken über 180° auf die Reihe 3 ausgerichtet und es erfolgt ausgehend von dieser Umkehrlage der Zugriff der Greiferarme 15, 25, 16 zunächst auf die Stationen 29, 33 und 32 und nach Verfahren in die gegenüberliegende Umkehrlage auf die Stationen 33, 32 und 27, gemäß Fig. 12. Ausgehend hiervon erfolgt eine erneute Schwenkung der Greiferarme in der Ausrichtung auf die Reihe 2 über einen Schwenkwinkel von 180°, womit gemäß Fig. 15 eine Zugriffslage auf die Stationen 26, 30 und 31 der Reihe 2 erreicht ist. In den über den Abstand 44 beabstandeten Umkehrlagen erfolgt somit jeweils die Umstellung der Greiferarme 15,15, 16, 25 aligned by their orientation on the series 2 by pivoting over 180 ° on the series 3 and it is based on this reversal position of the gripper arms 15, 25, 16 first to the stations 29, 33 and 32 and by method Starting from this there is a renewed pivoting of the gripper arms in alignment with the row 2 over a pivoting angle of 180 °, which according to FIG. 15, an access position to the stations 26, 30 and 31 of the series 2 is reached. In the over the distance 44 spaced reversal positions thus takes place in each case the conversion of the gripper arms 15,
16, 25 auf die Stationen 4 bzw. 5 der gegenüberliegenden Reihe 2, 3.16, 25 on the stations 4 and 5 of the opposite row 2, 3rd
Für den veranschaulichten Durchlauf jeweils zur Voraussetzung hat, dass seitens der Eingabestation 26 ein Substrat zur Verfügung steht, wenn die Umsetzvorrichtung 8 in Durchlaufrichtung - Pfeil 46 - ein Substrat von der Prozessstation 30 auf die Prozessstation 31 bei gleichzeitiger Befüllung der Prozessstation 30 umsetzt, wobei das auf dem Greiferarm 16 befindliche Substrat in die Leerstation 28 eingeführt wird, und zwar unter Verbleib auf dem Greiferarm 16, von dem es beim nachfolgenden Verschwenken der Umsetzvorrichtung 8 mit entsprechender Ausrichtung der Greiferarme auf die gegenüberliegende Reihe in den Bereich der Leerstation 29 verlagert wird.For the illustrated run in each case has the prerequisite that from the input station 26, a substrate is available when the transfer device 8 in the direction of passage - arrow 46 - a substrate from the process station 30 to the process station 31 while filling the process station 30 converts, the placed on the gripper arm 16 substrate is inserted into the emptying station 28, while remaining on the gripper arm 16, from which it is displaced in the region of the emptying station 29 during subsequent pivoting of the transfer device 8 with a corresponding orientation of the gripper arms on the opposite row.
Dies entspricht einer Ausgangsposition, die bei Umsetzung des Substrates aus der Prozessstation 33 über den Greiferarm 25 auf die Prozessstation 32 bei gleichzeitiger Umsetzung des der Prozessstation 32, über den Greiferarm 15 entnommenen Substrates auf die Ausgabestation 27, eine unmittelbare, gleichzeitig er- folgende erneute Beschickung der Prozessstation 33 ermöglicht, so dass die Prozessstationen 30 bis 33 lediglich während des eigentlichen Umsetzvorganges innerhalb einer Reihe 2, 3 nicht belegt sind und ansonsten quasi in Gleichtakt arbeiten, was in Anbetracht der kurzen Verstellzeiten für die Bearbeitungsanlage einen sehr hohen Durchsatz ermöglicht, und zwar bei sehr günstigem Verhältnis zwischen den Bearbeitungszeiten und den Umsetzungszeiten, und damit geringen Verlustzeiten auch bei kurzen Bearbeitungszeiten.This corresponds to a starting position which, when the substrate is transferred from the process station 33 via the gripper arm 25 to the process station 32, is simultaneously converted into the output station 27, which is the substrate 27 removed from the process station 32 via the gripper arm 15. the following re-feeding of the process station 33 allows, so that the process stations 30 to 33 only during the actual conversion process within a row 2, 3 are not occupied and otherwise virtually operate in common mode, which allows a very high throughput in view of the short adjustment times for the processing plant , and with a very favorable ratio between the processing times and the conversion times, and thus low loss times even with short processing times.
Der Kurbelverbund 23 ist im Grundaufbau in den Fig. 16 und 17 veranschaulicht, wobei mit 47 ein Tragbalken bezeichnet ist, über den die Drehgelenke 17, 19 und 24 verbunden sind. Die Verbindung erfolgt, bei gleichem Aufbau in den drei Drehgelenken 17, 19, 24, unter Vermittlung von jeweils einer Exzenterscheibe 48, die exzentrisch zur jeweiligen, für alle drei Drehgelenke 17, 19, 24 mit 49 bezeichneten Drehachse des jeweiligen Drehgelenkes 17, 19, 24 liegt und an einem Flansch 50 des jeweiligen Drehgelenkes 17, 19, 24 befestigt ist. Gelagert auf den Exzenterscheiben 48 ist der Tragbalken 47, die jeweiligen Lager sind mit 52 bezeichnet. Über die zu den Drehachsen 49 exzentrische Verbindung der Flansche 50 der Drehgelenke 17, 19, 24 zum Tragbalken 47 sind die von den Drehgelenken 17, 19, 24 ausgehenden Greiferarme 15, 16 bezüglich ihrer jeweilige Drehstellung synchronisiert. Abgeleitet vom Antrieb für die Greiferarme 15, 16 erfolgt auch der Antrieb des mittig dazwischen liegenden Geiferarmes 25, der über den Tragbalken 47 mit den Handhabungseinheiten 9, 10 verbunden und auf diesen abgestützt ist.The crank assembly 23 is illustrated in the basic structure in Figs. 16 and 17, wherein 47 denotes a support beam, via which the swivel joints 17, 19 and 24 are connected. The connection takes place, with the same structure in the three hinges 17, 19, 24, mediated by a respective eccentric disc 48, the eccentric to the respective, for all three hinges 17, 19, 24 at 49 designated axis of rotation of the respective pivot 17, 19, 24 and is attached to a flange 50 of the respective rotary joint 17, 19, 24. Stored on the eccentric discs 48 of the support beam 47, the respective bearings are designated 52. About the eccentric to the axes of rotation 49 connection of the flanges 50 of the swivel joints 17, 19, 24 to the support beam 47 of the swivel joints 17, 19, 24 outgoing gripper arms 15, 16 are synchronized with respect to their respective rotational position. Derived from the drive for the gripper arms 15, 16 is also the drive of the centrally intermediate Geiferarmes 25, which is connected via the support beam 47 with the handling units 9, 10 and supported on this.
Jede der Exzenterscheiben 48 weist einen napfförmigen, zur Scheibe 48 lagefesten Aufsatz 53 auf, der zentral, und damit auch zentrisch zur Exzenterscheibe 48 mit einem Achsbolzen 54 versehen ist. Die Achsbolzen 54 sind über ein Antriebsgestänge 55 verbunden, so dass sich aufgrund des Versatzes der Achsbol- zen 54 zur Drehachse 49 des jeweiligen Drehgelenkes 17, 19, 24 über die Greiferarme 15 und 16 ein synchroner Antrieb für den mit dem Drehgelenk 24 verbundenen Greiferarm 25 ergibt. Die Funktion dieses Antriebsverbundes entspricht der eines Kurbeltriebes mit durch die Drehachse 49 getragener Kurbel und einem durch den Achsbolzen 54 gebildeten Kurbelzapfen, der jeweils mit dem entsprechenden Kurbelzapfen des hierzu antriebsverbundenen Drehgelenkes über eine Kurbelstange verbunden ist. Nicht dargestellt ist in Fig. 17, dass der jeweilige Greiferarm 15, 16 bzw. 25 auf dem napfförmigen Aufsatz 53 befestigt ist.Each of the eccentric discs 48 has a cup-shaped, fixed to the disc 48 essay 53 which is centrally, and thus also centrally to the eccentric disc 48 is provided with a pivot pin 54. The axle bolts 54 are connected via a drive rod 55, so that due to the offset of the Achsbol- zen 54 to the axis of rotation 49 of the respective rotary joint 17, 19, 24 via the gripper arms 15 and 16, a synchronous drive for connected to the rotary joint 24 gripper arm 25 results. The function of this drive system corresponds to that of a crank mechanism with a crank carried by the rotation axis 49 and a crank pin formed by the axle pin 54, which is connected to the respective crank pin of the drive-connected rotary joint via a connecting rod. Not shown in Fig. 17, that the respective gripper arm 15, 16 and 25 is mounted on the cup-shaped attachment 53.
Das Antriebsgestänge 55 liegt im jeweiligen Überdeckungsbereich zum Drehgelenk 17, 19, 24 innerhalb des durch den napfförmigen Aufsatz 53 begrenzten Napfraumes 56 und es ist zur Durchführung des Antriebsgestänges 55 die Umfangswand dieses Napfraumes 56 über einen einem Teilkreis entsprechenden Umfangsbereich mit einer Aussparung 57 versehen, die den Querversatz des Antriebsgestänges 55 ermöglicht, der sich aufgrund der Exzentrizität des Achsbolzens 54 zur Drehachse 49 bei der Verschwenkung der Greiferarme 15, 16, 25 im Betriebsablauf, wie anhand der Fig. 2 bis 15 geschildert ist, ergibt. Die geschilderte Ausgestaltung des Kurbelverbundes 23 hat weiter den Vorteil, dass Verbindungsleitungen, so insbesondere Kabel zentral durch die Drehgelenke 17, 19, 24 geführt werden können, da durch die Ausbildung des Kurbeltriebs als Exzentertrieb Schwenkbewegungen frei laufender Kurbeln vermieden werden. Darüber hinaus bietet die geschilderte Ausgestaltung günstige Voraussetzungen für einen zumindest im Wesentlichen gekapselten Aufbau der Drehgelenke 17, 19, 24, so dass Verunreinigungen sowohl in den Prozessstationen wie auch innerhalb des Tunnels 6, in dem bevorzugt Rein- oder Reinstraumarbeitsbedingungen herrschen, vermieden werden.The drive linkage 55 is in the respective overlap region to the rotary joint 17, 19, 24 within the cup-shaped attachment 53 delimited Napfraumes 56 and it is to carry out the drive linkage 55, the peripheral wall of this Napfraumes 56 via a circumference corresponding to a circle circumference with a recess 57 which allows the transverse displacement of the drive rod 55, which is due to the eccentricity of the axle pin 54 to the axis of rotation 49 in the pivoting of the gripper arms 15, 16, 25 in the operation, as described with reference to FIGS. 2 to 15 results. The described embodiment of the crank assembly 23 has the further advantage that connecting cables, so in particular cables can be guided centrally through the hinges 17, 19, 24, as are avoided by the formation of the crank mechanism as Exzentertrieb pivotal movements of free-running cranks. In addition, the described embodiment provides favorable conditions for an at least substantially encapsulated structure of the swivel joints 17, 19, 24, so that impurities are avoided both in the process stations as well as within the tunnel 6, in which preferably clean or pure dream working conditions prevail.
Durch die Erfindung ist somit insgesamt eine Bearbeitungsanlage 1, insbesondere für die Bearbeitung flächiger Substrate unter Rein- und/oder Reinstraum- bis hin zu Hochvakuumbedingungen, geschaffen, die mit in zwei Reihen 2, 3 angeordneten Stationen 4, 5 und mit einer Umsetzvorrichtung 8 ausgebildet ist, welche linear zwischen den in den Reihen 2, 3 angeordneten Stationen 4, 5 derart pendelnd getaktet zwischen Zugriffsstellungen auf jeweils mehrere Stationen 4 bzw. 5 einer Reihe 2 bzw. 3 verfahrbar ist, dass sich bei gleicher Taktfolge unter Umkehr der Durchlaufrichtung der Substrate beim Übergang von der einen Reihe 2 auf die andere Reihe 3 entlang der Reihen 2, 3 ein Durchlauf über alle Stationen 4, 5 ergibt.As a result of the invention, a total of one processing installation 1, in particular for the processing of flat substrates under Pure and / or clean room to high vacuum conditions, created, which is arranged in two rows 2, 3 stations 4, 5 and with a transfer device 8, which linearly between the arranged in the rows 2, 3 stations 4, 5th clocked such oscillating between access positions to a plurality of stations 4 and 5 of a row 2 or 3 is moved, that at the same clock sequence by reversing the direction of passage of the substrates in the transition from one row 2 to the other row 3 along the rows 2, 3 a pass over all stations 4, 5 results.
Eine insbesondere mit einer solchen Bearbeitungsanlage 1 einsetzbare Umsetzvorrichtung 8 weist zwei zueinander beabstandet angeordnete, linear verfahrbare Handhabungseinheiten 9, 10 auf, die jeweils eine Antriebseinheit 11, 12 und ausgehend von dieser einen auf einen Greiferarm 15, 16 auslaufenden, mehrglied- rigen Verbindungsarm 13, 14 aufweisen und die über einen Kurbelverbund 23 gekoppelt sind, der auf den zwischen den Verbindungsarmen 13, 14 und den Greiferarmen 15, 16 liegenden Drehgelenken 17, 19 abgestützt ist, wobei der Kurbelverbund 23 die Trag- und Antriebsverbindung für einen dritten, mit seinem Drehgelenk 24 in den Kurbelverbund 23 integrierten Greifefarm 25 bildet, welcher über den Kurbelverbund 23 auf den Handhabungseinheiten 9, 10 abgestützt und abgezweigt von deren Antriebseinheiten 11, 12 angetrieben ist.A transfer device 8 which can be used in particular with such a processing installation 1 has two linearly displaceable handling units 9, 10 arranged at a distance from one another, each of which has a drive unit 11, 12 and, starting therefrom, a multi-membered connecting arm 13 which runs onto a gripper arm 15, 16. 14 and which are coupled via a crank assembly 23 which is supported on the lying between the connecting arms 13, 14 and the gripper arms 15, 16 pivot joints 17, 19, wherein the crank assembly 23, the support and drive connection for a third, with its hinge 24 in the crank assembly 23 integrated Greifefarm 25 forms, which is supported on the crank assembly 23 on the handling units 9, 10 and diverted from the drive units 11, 12 driven.
Eine erfindungsgemäße Bearbeitungsanlage 1, insbesondere für flächige Substrate unter Rein- und/oder Reinstraumbedingungen, ist somit im Hinblick auf einen geringen Raumbedarf bei hohem Durchsatz und in den jeweiligen Stationen 4, 5, insbesondere in Prozessstationen 30 bis 33 jeweils etwa gleichen, kurzen Verweilzeiten mit einer Umsetzvorrichtung 8 ausgebildet, die linear zwischen den in Reihen 2, 3 angeordneten Stationen 4, 5 verfahrbar ist und hin- und hergehend bei kurzen Verfahrwegen ge- taktet jeweils den Zugriff auf mehrere Stationen 4, 5 zunächst der einen Reihe 2 und danach der anderen Reihe 3 in einer Weise jeweils über die Reihe durchlaufend ermöglicht, dass sich bei gleicher Taktfolge und unter Umkehrung der Durchlaufrichtung beim Übergang von der einen Reihe 2 auf die andere Reihe 3 ein Durchlauf über alle Stationen 4, 5 ergibt.A processing system 1 according to the invention, in particular for flat substrates under clean and / or clean-room conditions, is thus in each case approximately the same for short residence times in view of a small space requirement at high throughput and in the respective stations 4, 5, in particular in process stations 30 to 33 a transfer device 8 which can be moved linearly between the stations 4, 5 arranged in rows 2, 3 and which is reciprocated at short travel distances. each clocks the access to several stations 4, 5 first of the one row 2 and then the other row 3 in a manner continuously through the series allows that at the same clock sequence and reversing the direction of passage in the transition from the one row 2 on the another row 3 one pass over all stations 4, 5 results.
Fig. 18 veranschaulicht eine Ausgestaltung der Bearbeitungsanlage 1 gemäß den Fig. 1 bis 15 in einer der Darstellung gemäß Fig. 3 entsprechenden Positionierung, die aus Darstellungsgründen gewählt wurde, um die in Ergänzung zu den genannten Figuren in Fig. 18 veranschaulichte starre Antriebsverbindung 58 zwischen den Fahrteilen 11 und 12 deutlich sichtbar werden zu lassen. In Verbindung mit der Linearführung 7 ergibt sich so ein versteifter Grundaufbau der als Baueinheit ausgestaltete Umsetzvorrichtung 8, wobei sich eine solche Ausgestaltung insbesondere auch als zweckmäßig erweist, um in Verbindung mit schnellen Verstellvorgängen auftretenden Beschleunigungskräften unerwünschte Schwingungen zu vermeiden.FIG. 18 illustrates an embodiment of the processing installation 1 according to FIGS. 1 to 15 in a positioning corresponding to the representation according to FIG. 3, which for reasons of representation has been selected to interpose the rigid drive connection 58 illustrated in addition to the aforementioned figures in FIG the driving parts 11 and 12 to be clearly visible. In conjunction with the linear guide 7, this results in a stiffened basic structure of the conversion unit 8 designed as a structural unit, such a design also proving to be particularly expedient in order to avoid undesired oscillations occurring in connection with fast adjustment processes.
Fig. 19 dient der Veranschaulichung einer Erweiterung des verbindungsgemäßen Bearbeitungssystems über den anhand den Fig. 1 bis 15 veranschaulichten Grundaufbau hinaus, wobei anstelle des in Fig. 1 bis 15 gezeigten Aufbaus mit lediglich vier Prozessstationen nunmehr - als Beispiel - je Reihe 2, 3 eine weitere Prozessstation 61, 62 vorgesehen ist. Nunmehr sind also, bezogen auf Fig. 19, wobei für entsprechende Teile die in Fig. 1 bis 15 verwendeten Bezugszeichen beibehalten werden, je Reihe 2, 3 fünf Stationen 4 bzw. 5 vorgesehen, in der Reihe 2 die Stationen 26, 30, 31, 61 und 28 und in der Reihe 5 die Stationen 27, 32, 33, 62 und 29. Entsprechend der vergrößerten Anzahl der Stationen 4 bzw. 5 ist auch die Zahl der Greiferarme erhöht, und es ist ein zusätzlicher Greiferarm 63 vorgesehen, der Bestandteil einer strichliert umrissenen Handhabungseinheit 64 ist, die einen Fahrteil 65 aufweist und deren Fahrteil 65 mit dem Greiferarm 63 über einen Verbindungsarm 66 verbunden ist. Die Handhabungseinheit 64 entspricht im Aufbau den Handhabungseinheiten 9 und 10, wie sie anhand der Umsetzvorrichtung 8 zu Fig. 1 bis 15 erläutert ist. Auf diese Ausführungen wird verwiesen. In Fig. 19 ist, entsprechend der erhöhten Zahl der Stationen 4 und 5 eine Umsetzvorrichtung 67 veranschaulicht, die sich wiederum insgesamt als Baueinheit 68 darstellt, die sich aber aus einer entsprechenden Umsetzvorrichtung 8 gestalteten Baugruppe 59 und einer Baugruppe 69 zusammensetzt, die durch die Handhabungseinheit 64 gebildet ist. Entsprechend dem anhand der Fig. 1 bis 15 erläuterten funktionalen Ablauf ist auch bei dieser Ausgestaltung ein synchrones Arbeiten der Greiferarme 15, 16, 25, 63 gefordert, und in entsprechender Weise eine gemeinsame Verstellbarkeit der Fahrteile 11, 12 und 65, wozu entsprechend der Darstellung in Fig. 18 eine Verkopplung der Fahrteile 11, 12 und 65 über eine Zug-Druckstangenverbindung 60 vorgesehen ist.Fig. 19 serves to illustrate an extension of the connection processing system according to the illustrated with reference to FIGS. 1 to 15 basic structure, wherein instead of the structure shown in Fig. 1 to 15 with only four process stations now - as an example - each row 2, 3 a another process station 61, 62 is provided. Now, with reference to FIG. 19, the reference numerals used in FIGS. 1 to 15 are retained for corresponding parts, five stations 4 and 5 are provided for each row 2, 3, and the stations 26, 30, 31 in the second row , 61 and 28 and in the series 5 the stations 27, 32, 33, 62 and 29. According to the increased number of stations 4 and 5, the number of gripper arms is increased, and there is provided an additional gripper arm 63, the component a dashed outline handling unit 64th is that has a driving part 65 and the driving part 65 is connected to the gripper arm 63 via a connecting arm 66. The handling unit 64 corresponds in structure to the handling units 9 and 10, as explained with reference to the transfer device 8 to Fig. 1 to 15. Reference is made to these statements. In Fig. 19, corresponding to the increased number of stations 4 and 5, a transfer device 67 is illustrated, which in turn represents a total of 68 as a unit, but composed of a corresponding transfer device 8 assembly 59 and an assembly 69 composed by the handling unit 64 is formed. According to the functional sequence explained with reference to FIGS. 1 to 15, a synchronous operation of the gripper arms 15, 16, 25, 63 is also required in this embodiment, and in a corresponding manner a joint adjustability of the traveling parts 11, 12 and 65, for which according to the illustration in Fig. 18 is a coupling of the driving parts 11, 12 and 65 is provided via a train-push rod connection 60.
Fig. 19 ist gleichzeitig ein Beispiel für die Erweiterbarkeit des erfindungsgemäßen Bearbeitungssystems, bzw. der erfindungsgemäßen Bearbeitungsanlage auch auf eine größere Anzahl von Stationen, wobei mit Baugruppen gearbeitet werden kann, die ihrerseits, wie die Baugruppe 59, bereits mehrere Greiferarme umfassen oder mit Baugruppen 69, die durch einzelne Handhabungseinheiten, wie die Handhabungseinheit 64, gebildet sind. Dementsprechend liegt es auch im Rahmen der Erfindung, die erfindungsgemäße Bearbeitungsanlage bezüglich der Umsetzvorrichtung aus eigenständigen Handhabungseinheiten, wie der Handhabungseinheit 64, aufzubauen, die untereinander in Verstellrichtung entlang der Linearführung 7 starr verkoppelt sind und bezüglich ihrer Greiferarme zumindest so weit in ihren Verstellbewegungen synchronisiert sind, dass sich eine gemeinsame taktende Verstellung realisieren lässt, bei gegebenenfalls in den Zugriffs- zeiten auf die Stationen individualisierten Bewegungsabläufen einzelner Greiferarme. FIG. 19 is at the same time an example of the extensibility of the processing system according to the invention, or of the processing plant according to the invention, also on a larger number of stations, it being possible to work with assemblies which, like the assembly 59, already comprise a plurality of gripper arms or with assemblies 69 formed by individual handling units, such as the handling unit 64. Accordingly, it is also within the scope of the invention to construct the processing system according to the invention with respect to the transfer device from independent handling units, such as the handling unit 64, which are rigidly coupled to one another in the adjustment direction along the linear guide 7 and are synchronized with respect to their gripper arms at least as far in their adjustment movements, that a common clocking adjustment can be realized, if necessary in the access times at the stations individualized movements of individual gripper arms.

Claims

Patentansprüche claims
1. Bearbeitungssystem für flächige Substrate, insbesondere unter Rein-, Reinstraum- oder Hochvakuumbedingungen, mit Stationen (4, 5), die in zueinander parallelen Reihen (2, 3) einander gegenüberliegend mit gleichem Abstand zueinander angeordnet sind, und einer zwischen den Reihen (2, 3) liegenden Umsetzvorrichtung (8), welche bei in einer Reihe (2 bzw. 3) liegenden n- Stationen (4 bzw. 5) n-1 angetriebene, auf die Stationen (4, 5) zugreifende Greiferarme (15, 16, 25) aufweist, welche in Längsrichtung der Reihen (2, 3) lediglich hin- und hergehend zwischen im Abstand zweier aufeinander folgender Stationen (4 bzw. 5) einer Reihe 2 bzw. 3 zueinander liegenden Umkehrlagen verfahrbar ist, in denen die Greiferarme (15, 16, 25) jeweils von ihrer Zugriffslage auf die eine Reihe (2 bzw. 3) in ihre Zugriffslage auf die andere Reihe (3 bzw. 2) schwenken, und in deren einer Umkehrlage die Substrate nach Durchlauf über die Stationen (4) einer ersten Reihe (2) von einer Leerstation (28) dieser ersten Reihe (2) auf eine gegenüberliegende Leerstation1. Processing system for flat substrates, in particular under clean, clean dream or high vacuum conditions, with stations (4, 5) arranged in mutually parallel rows (2, 3) opposite each other with the same distance from each other, and one between the rows (2) 2, 3) lying transfer device (8), which at n (1) in a row (2 or 3) stations (4 or 5) driven n-1, on the stations (4, 5) accessing gripper arms (15, 16 , 25), which in the longitudinal direction of the rows (2, 3) only reciprocally between at two successive stations (4 or 5) of a series 2 or 3 mutually lying reversal positions is movable, in which the gripper arms ( 15, 16, 25) each pivot from their access position to one row (2 or 3) in their access position to the other row (3 or 2), and in which one reversal position the substrates after passing through the stations (4) a first row (2) of an emptying station (28) of this first row (2) on an opposite empty station
(29) der anderen, zweiten Reihe (3) umgesetzt werden und die zweite Reihe (3) in Gegenrichtung zur ersten Reihe (2) durchlaufen.(29) of the other, second row (3) are implemented and the second row (3) in the opposite direction to the first row (2).
2. Bearbeitungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass in den Reihen (2, 3) die Leerstationen (28, 29) in Verfahrrichtung der Umsetzvorrichtung (8) gegenüberliegend zur Eingabe- und Ausgabestationen (26, 27) vorgesehen sind.2. Processing system according to claim 1, characterized that in the rows (2, 3) the empty stations (28, 29) in the direction of travel of the transfer device (8) opposite to the input and output stations (26, 27) are provided.
3. Bearbeitungssystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Umsetzvorrichtung (8) längs einer Linearfϋhrung (7) verfahrbare Handhabungseinheiten (9, 10) aufweist, die auf der Linearführung (7) über Greiferarme (15, 16) tragende Fahrteile (11, 12) abgestützt sind.3. Processing system according to claim 1 or 2, characterized in that the transfer device (8) along a Linearfϋhrung (7) movable handling units (9, 10), on the linear guide (7) via gripper arms (15, 16) carrying driving parts ( 11, 12) are supported.
4. Bearbeitungssystem nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Fahrteile (11, 12) längs der Linearführung (7) ab- standsgesteuert verfahrbar sind.4. Processing system according to claim 3, characterized in that the driving parts (11, 12) along the linear guide (7) are distance controlled movable.
5. Bearbeitungssystem nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Fahrteile (11, 12) in Richtung der Linearführung (7) lagefest gegeneinander abgestützt sind.5. Processing system according to claim 3, characterized in that the driving parts (11, 12) in the direction of the linear guide (7) are firmly supported against each other.
6. Bearbeitungssystem nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Umsetzvorrichtung (8) aus mehreren, zumindest eine Handhabungseinheit (9, 10) umfassenden Baugruppen aufgebaut ist, die untereinander in Richtung der Linearführung (7) lagefest gegeneinander abgestützt sind und eine gemeinsam verfahrbare Baueinheit bilden.6. Processing system according to claim 5, characterized in that the transfer device (8) of several, at least one handling unit (9, 10) comprising assemblies is constructed, which are supported against each other in the direction of the linear guide (7) against each other and a jointly movable assembly form.
7. Bearbeitungssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Fahrteil (11, 12) der Umsetzvorrichtung (8) angetrieben ist und oder als Antrieb ausgebildet ist. 7. Processing system according to one of claims 1 to 6, characterized in that at least one driving part (11, 12) of the transfer device (8) is driven and or is designed as a drive.
8. Bearbeitungsanlage, insbesondere für die Bearbeitung flächiger Substrate unter Rein-, Reinstraum- oder Hochvakuumbedingungen, insbesondere in einem Bearbeitungssystem gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7 einsetzbare Bearbeitungsanlage, mit in zueinander parallelen Reihen (2, 3) angeordneten Stationen (4, 5) und zwischen den Reihen (2, 3) längs derselben verfahrbarer Umsetzvorrichtung (8) mit schwenkbaren und in die Stationen (4,8. Processing plant, in particular for the processing of flat substrates under clean, clean-dream or high-vacuum conditions, in particular in a processing system according to one of claims 1 to 7 usable processing plant, with in parallel rows (2, 3) arranged stations (4, 5) and between the rows (2, 3) along the same movable transfer device (8) with pivotable and in the stations (4,
5) ausfahrbaren Greiferarmen (15, 16, 25), bei der die insbesondere eine Baueinheit bildende Umsetzvorrichtung (8) n-1 mit ihren Drehachsen (49) in dem Abstand (44) zweier in einer Reihe (2, 3) aufeinander folgender Stationen (4, 5) entsprechendem Abstand zueinander liegende, insbesondere synchron angetriebene Greiferarme (15, 16, 25) aufweist, die über eine in Längsrichtung der Reihen verlaufende Umschlagebene zwischen Zugriffslagen aufeinander gegenüberliegende Stationen (4, 5) verschwenkbar sind, wobei die Substrate die einander gegenüberliegenden Reihen (2, 3) in entgegengesetzter Richtung durchlaufen, wobei ferner - in Richtung der Reihen (2, 3) - an einem Ende einander gegenüberliegende Ein- und Ausgabestationen (26, 27) und am anderen Ende einander gegenüberliegende Leerstationen (28, 29) vorgesehen sind, und wobei die Umsetzvorrichtung (8) - in Längsrichtung der Reihen (2, 3) - lediglich über eine dem Abstand (44) zwischen aufeinander folgenden Stationen (4, 5) einer Reihe (2, 3) entsprechende Strecke hin- und hergehend zwischen Umkehrlagen verfahrbar ist, in denen die Greiferarme (15, 16, 25) jeweils von ihrer Zugriffslage auf die eine Reihe (2 bzw. 3) in ihre Zugriffslage auf die andere Reihe (3 bzw. 2) schwenken .5) extendable gripper arms (15, 16, 25), in which the particular one assembly forming conversion device (8) n-1 with their axes of rotation (49) in the distance (44) of two in a row (2, 3) successive stations (4, 5) corresponding spaced apart, in particular synchronously driven gripper arms (15, 16, 25) which are pivotable over a longitudinal direction of the rows extending envelope between access layers to each other opposite stations (4, 5), wherein the substrates, the one another through opposite rows (2, 3) in the opposite direction, further - in the direction of the rows (2, 3) - at one end opposite input and output stations (26, 27) and at the other end opposite to each other empty stations (28, 29 ), and wherein the transfer device (8) - in the longitudinal direction of the rows (2, 3) - only over a distance (44) between successive stations (4, 5) of a Re (2, 3) corresponding reciprocating path between reversal positions is movable, in which the gripper arms (15, 16, 25) respectively from their access position on one row (2 or 3) in their access position to the other row ( 3 or 2).
9. Bearbeitungsanlage nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Umsetzvorrichtung (8) mehrere Handhabungseinheiten (9, 10) aufweist, die über ihre Fahrteile (11, 12) längs einer Linearführung (7) verfahrbar sind. 9. Processing plant according to claim 8, characterized in that the transfer device (8) has a plurality of handling units (9, 10) which are movable over their travel parts (11, 12) along a linear guide (7).
10. Bearbeitungsanlage nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Fahrteile (11, 12) der Handhabungseinheiten (9, 10) in Richtung der Linearführung (7) starr miteinander verbunden sind.10. Processing installation according to claim 8 or 9, characterized in that the driving parts (11, 12) of the handling units (9, 10) in the direction of the linear guide (7) are rigidly interconnected.
11. Bearbeitungsanlage nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Fahrteile (11, 12) über eine durchlaufende Zug- Druckstangenverbindung aneinander angeschlossen sind.11. Processing plant according to claim 10, characterized in that the driving parts (11, 12) via a continuous train push rod connection are connected to each other.
12. Bearbeitungsanlage nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Eingabestation (26) eine im Anschluss an eine mit einem Handhabungsgerät (35) versehene Übergabekammer (34) liegende Evakuierungskammer (36) aufweist.12. Processing plant according to one of claims 8 to 11, characterized in that the input station (26) has an evacuation chamber (36) located adjacent to a transfer device (35) provided with a handling device (35).
13. Bearbeitungsanlage nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Evakuierungskammer (36) eine Vorrichtung, insbesondere einen Drehteller, zur Ausrichtung der jeweiligen Substrate auf eine gewünschte Drehlage aufweist.13. Processing plant according to claim 12, characterized in that the evacuation chamber (36) has a device, in particular a turntable, for aligning the respective substrates to a desired rotational position.
14. Bearbeitungsanlage nach einem der Ansprüche 8 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass als Ausgabestation (27) eine im Übergang zu einer Übergabekammer (39), die ein Handhabungsgerät (40) aufnimmt, liegende Flutungseinrichtung (51) vorgesehen ist.14. Processing installation according to one of claims 8 to 13, characterized in that the output station (27) is provided in the transition to a transfer chamber (39) which receives a handling device (40), lying flooding device (51).
15. Bearbeitungsanlage nach einem der Ansprüche 8 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Umsetzvorrichtung (8) in einem geschlossenen, gegen die Umgebungsatmosphäre abgegrenzten, insbesondere unter Rein-, Reinstraum- oder Hochvakuumbedingungen stehenden Tunnel (6) angeordnet ist, an den von den Stationen (4, 5) die prozessabhängig dagegen abzugrenzenden Stationen, insbesondere die Eingabe- und Ausgabestationen (26, 27) und die Prozessstationen (30 bis 33) über Ventilanordnungen (38) angeschlossen sind.15. Processing installation according to one of claims 8 to 14, characterized in that the transfer device (8) in a closed, demarcated from the ambient atmosphere, in particular under clean, Reinstraum- or high-vacuum conditions standing tunnel (6) is arranged at the of the stations (4, 5) the process-dependent abzuzugrenzenden stations, in particular the input and output stations (26, 27) and the process stations (30 to 33) via valve assemblies ( 38) are connected.
16. Bearbeitungsanlage nach einem der Ansprüche 8 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Leerstationen (28, 29) gegen den Tunnel (6) offen sind und insbesondere ein Teil des Tunnels (6) bilden.16. Processing installation according to one of claims 8 to 15, characterized in that the emptying stations (28, 29) against the tunnel (6) are open and in particular form a part of the tunnel (6).
17. Umsetzvorrichtung für eine Bearbeitungsanlage, insbesondere für eine unter Rein-, Reinsträum- oder Hochvakuumbedingungen arbeitende Bearbeitungsanlage von flächigen Substraten gemäß den Ansprüchen 8 bis 16, mit in Reihe angeordneten Stationen (3, 4), längs derer die Umsetzvorrichtung (8) linear verfahrbar ist, welche Handhabungseinheiten (8, 9) für die Substrate aufweist, wobei eine Handhabungseinheit (8, 9) mit einem längs einer Linearführung (7) verfahrbaren Fahrteil (11, 12), einen vom insbesondere angetriebenen Fahrteil (11, 12) ausgehenden, bevorzugt mehrgliedrigen Verbindungsarm (13, 14) und einen daran anschließenden Greiferarm (15, 16) versehen ist und wobei die Umsetzvorrichtung (8) mehrere, entsprechend den Stationen (4,17. Transfer device for a processing plant, in particular for working under clean, clean room or high vacuum conditions processing plant of flat substrates according to claims 8 to 16, arranged in series stations (3, 4), along which the transfer device (8) linearly movable which comprises handling units (8, 9) for the substrates, a handling unit (8, 9) having a traveling part (11, 12) movable along a linear guide (7), a drive part (11, 12) driven by the in particular driven, is preferably multi-link arm (13, 14) and a subsequent gripper arm (15, 16) is provided and wherein the transfer device (8) a plurality, according to the stations (4,
5) beabstandete, auf Fahrteilen (11, 12) abgestützte Greiferarme (15, 16) aufweist und mehrere Handhabungseinheiten (9, 10) der Umsetzvorrichtung (8) mindesten eine Baugruppe einer verfahrbaren Baueinheit bilden.5) spaced, on ride parts (11, 12) supported gripper arms (15, 16) and a plurality of handling units (9, 10) of the transfer device (8) form at least one assembly of a movable unit.
18. Umsetzvorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die zu einer Baueinheit verbundenen Handhabungseinheiten (9, 10) untereinander antriebsverbundene Fahrteile (11, 12) aufweisen. 18. Transfer device according to claim 17, characterized in that the handling units (9, 10) connected to a structural unit have drive parts (11, 12) connected to each other.
19. Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die angetriebenen Fahrteile (11, 12) symmetrisch angesteuert verfahrbar sind.19. Handling device according to claim 18, characterized in that the driven driving parts (11, 12) are moved symmetrically controlled.
20. Umsetzvorrichtung nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Fahrteile (11, 12) der Handhabungseinheiten (9, 10) über eine Zug-Druckverbindung (70), insbesondere eine Stangenverbindung gegeneinander abgestützt sind.20. Conversion device according to claim 18 or 19, characterized in that the driving parts (11, 12) of the handling units (9, 10) via a train-pressure connection (70), in particular a rod connection are supported against each other.
21. Umsetzvorrichtung, insbesondere nach einem der Ansprüche 17 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass, bezogen auf eine Handhabungseinheit (9, 10), der Fahrteil (11, 12) mit dem Verbindungsarm (13, 14) und der Verbindungsarm (13, 14) mit dem Greiferarm (15, 16) jeweils über Drehgelenke (17, 19) antriebsverbunden ist, dass der Greiferarm (15, 16) sich in allen Drehlagen der Handhabungseinheit (9, 10) längs einer die Drehgelenke (17, 18; 19, 20) verbindenden Geraden erstreckt, dass die greiferarmseitigen Drehgelenke (17, 19) der jeweils einem Fahrteil (11, 12) zugehörigen Greiferarme (15, 16) über einen Kurbelverbund (23) verbunden sind und dass zumindest ein weiterer Greiferarm (25) mit seinem greiferarmseitigen Drehgelenk (24) im Kurbelverbund (23) der den Handhabungseinheiten (9, 10) zugehörigen Greiferarme (15, 16) liegt und über den Kurbelverbund (23) getragen und angetrieben ist, derart, dass die über den Kurbelverbund (23) verbundenen Greiferarme (15, 16, 25) mit den zugehörigen Fahrteilen (11, 12) eine Baugruppe bilden.21. Transfer device, in particular according to one of claims 17 to 20, characterized in that, based on a handling unit (9, 10), the traveling part (11, 12) with the connecting arm (13, 14) and the connecting arm (13, 14 ) is in each case drive-connected to the gripper arm (15, 16) via rotary joints (17, 19), that the gripper arm (15, 16) extends in all rotary positions of the handling unit (9, 10) along one of the swivel joints (17, 18; 20) connecting lines extending that the gripper arm side hinges (17, 19) of each one driving part (11, 12) associated gripper arms (15, 16) via a crank assembly (23) are connected and that at least one further gripper arm (25) with his Greiferarmseitigen rotary joint (24) in the crank assembly (23) of the handling units (9, 10) associated gripper arms (15, 16) and is supported and driven via the crank assembly (23), such that the over the crank assembly (23) connected to the gripper arms (15, 16, 25) with the Zugeh membered driving parts (11, 12) form an assembly.
22. Umsetzvorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass der Kurbelverbund (23) bei gleicher Exzentrizität eine zu den Drehachsen (49) der greiferarmseitigen Drehgelenke (17, 19, 24) exzentrisch gelagerten Tragbalken (51) und ein die Drehgelenke (17, 19, 24) verbindendes Antriebsgestänge (55) umfasst.22. Transfer device according to claim 21, characterized that the crank assembly (23) at the same eccentricity eccentrically to the axes of rotation (49) of the gripper arm side hinges (17, 19, 24) mounted support bar (51) and the pivot joints (17, 19, 24) connecting the drive linkage (55).
23. Umsetzvorrichtung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass die greiferarmseitigen Drehgelenke (17, 19, 24) jeweils eine Exzenterscheibe (48) umfassen und über Lager (52) tragend mit dem Tragbalken (51) verbunden sind.23. Transfer device according to claim 22, characterized in that the gripper arm side pivot joints (17, 19, 24) each comprise an eccentric disc (48) and are connected via bearings (52) supporting the support beam (51).
24. Umsetzvorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass das Traggestänge (25) zur jeweiligen Exzenterscheibe (48) zentrisch drehbar abgestützt ist.24. Transfer device according to claim 23, characterized in that the support rod (25) to the respective eccentric disc (48) is rotatably supported centrally.
25. Umsetzvorrichtung nach einem der Ansprüche 17 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass die Umsetzvorrichtung (67) mehrere zu einer Baugruppe (59) zusammengefasste Greiferarme (15, 16, 25) mit gemeinsamer Abstützung gegen die Linearführung (7) über Fahrteile (11, 12) sowie zumindest eine weitere Handhabungseinheit (64) mit einem Fahrteil (65) als weitere Baugruppe (69) mit Fahrteil (65) umfasst, wobei die Fahrteile (11, 12, 65) der eine Baueinheit bildenden Umsetzvorrichtung (67) in Richtung der Linearführung (7) synchron angetrieben und/oder starr verbunden sind. 25. Transfer device according to one of claims 17 to 24, characterized in that the transfer device (67) comprises a plurality of assembly (59) combined gripper arms (15, 16, 25) with common support against the linear guide (7) via driving parts (11, 12) and at least one further handling unit (64) with a drive part (65) as a further module (69) with drive part (65), wherein the drive parts (11, 12, 65) of a unit forming conversion device (67) in the direction of Linear guide (7) are synchronously driven and / or rigidly connected.
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