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Patente
An improved chuck with lift pins within a probe station....
http://www.google.de/patents/US7187188?utm_source=gb-gplus-share
Patent US7187188 - Chuck with integrated wafer support
Chuck with integrated wafer support
Peter Andrews et al
Übersicht
Zusammenfassung
Zeichnungen
Beschreibung
Ansprüche
Patentnummer
: 7187188
Eingetragen
: 26. Aug. 2004
Ausgestellt
: 6. März 2007
Anmeldenummer
:
10/927,247
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