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Patente
A plasma processing system capable of carrying out a uniform processing is provided....
http://www.google.de/patents/US6072147?utm_source=gb-gplus-share
Patent US6072147 - Plasma processing system
Plasma processing system
Akira Koshiishi et al
Übersicht
Zusammenfassung
Zeichnungen
Beschreibung
Ansprüche
Patentnummer
: 6072147
Eingetragen
: 2. Dez. 1997
Ausgestellt
: 6. Juni 2000
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