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Siliziummikrofone werden auf Siliziumscheiben mit den Methoden der Mikromechanik hergestellt. Für derartige Wandler ist auch die Bezeichnung „MEMS ...
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Ein-chip silizium kondensator-mikrophon. Article. Jan 1996. Christiane Thielemann; G. Hess · M. Grabe · J. Glitz.
Eigenschaften von Si-Mikrofonen. Ein Mikrofon mit integriertem Sourcefolger entspricht in der Funk- tionalität dem heute üblichen Standard-Elektretmikrofon.
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Diese Mikrofone nutzen eine elektrisch geladene Polymerschicht als dauerhafte Phantomspannungsquelle, welche sich bei einem äußeren Temperaturanstieg entladen ...
Die Silizium-Wafer sind die Grundlage für die Weiterverarbeitung von MEMS-Mikrofonen und bilden das Substrat, aus dem mittels Silizium Plantar Technologie die ...
The fabrication process of a silicon condenser microphone and experimental results of the acoustic measurements are described. The microphone consists of two ...
Nov 15, 2006 · Das MEMS fungiert als Kondensator, der aus einer starren, perforierten Rückelektrode und einer flexiblen Silizium-Membran besteht. Es wandelt ...
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Schaltungsanordnung zum Betreiben eines Kondensatormikrofons nach einem Hochfrequenzverfahren mit ...
Mar 22, 2019 · Die MEMS-Membran formt einen Kondensator, sodass Schalldruckwellen eine Bewegung der Membran auslösen. MEMS-Mikrofone besitzen in der Regel ...
